CN220306236U - 一种晶圆承载吸盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及晶圆加工领域，特别涉及一种晶圆承载吸盘，包括用于将整个装置连接到一起的承载机构，还包括能够装载多种尺寸晶圆的限位机构，所述限位机构安装在所述承载机构上端；通过上述技术方案，此装置在对晶圆进行承载吸附前，若是对尺寸为6寸的晶圆进行吸附处理可直接将晶圆放置在最内圈的限位环中间，若是晶圆尺寸为8寸，将最接近内圈的销轴抽出，使最内圈的限位环不固定，从而将最内圈的限位环取出使装置适用于8寸的晶圆，若是晶圆尺寸为12寸，将中间的销轴抽出使中间与内圈的限位环不固定，将其取出后使装置适用于12寸的晶圆，通过这样的方式使装置能够适用于多种尺寸的晶圆，从而使装置的适用性更佳。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工领域，特别涉及一种晶圆承载吸盘。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，晶圆在对其进行加工时大多会用到承载吸盘对待加工的晶圆进行固定处理。
现有专利公开号为CN216928533U一种晶圆承载吸盘，此装置能够广泛应用于12寸晶圆及相关同类的抛光晶圆的承载平面，使得晶圆在传送到单元时，能够在该承载吸盘上进行工艺腔室的相关工艺过程。
虽然现在的大多都是以12寸晶圆作为主力生产对象，而尺寸较小的8寸、6寸的晶圆并未完全淘汰，而此装置在对比12寸晶圆尺寸稍小的8寸与6寸的晶圆进行装载准备加工时，容易导致尺寸较小的晶圆不易进行有效的限位处理，从而容易导致此承载吸盘在对尺寸较小的晶圆进行作业时容易使晶圆出现错位的现象。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆承载吸盘。
本实用新型所采用的技术方案如下：
一种晶圆承载吸盘，包括用于将整个装置连接到一起的承载机构，还包括能够装载多种尺寸晶圆的限位机构，所述限位机构安装在所述承载机构上端；
所述限位机构包括承载盘，所述承载盘设置在所述承载机构上端，所述承载盘外圈设置有多个长杆螺栓，所述承载盘内部固定有置料板，所述置料板与所述承载盘中间均开设有十字槽，所述承载盘内圈设置有三个限位环，每个所述限位环上端均设置有多个销轴。
优选地：所述置料板表面较为光滑。
优选地：三个所述限位环的尺寸不一，三个所述限位环的内圈尺寸从外到内分别对应12寸、8寸以及6寸，且相邻两个所述限位环的内外圈尺寸对应。
优选地：所述限位环为橡胶材质，尺寸较大的两个所述限位环以及所述承载盘的内圈均开设有凹槽，且三个所述限位环对应这个凹槽设置有凸出。
优选地：所述承载盘以及尺寸较大的两个限位环对应所述销轴开设有圆孔。
优选地：所述承载机构包括承载环，所述承载环前端开设有缺口，所述承载环内部固定有密封环，所述密封环为橡胶材质，所述承载环的外圈开设有螺纹孔，所述承载环通过所述螺纹孔以及所述长杆螺栓与所述承载盘固定。
有益效果在于：此装置在对晶圆进行承载吸附前，若是对尺寸为6寸的晶圆进行吸附处理可直接将晶圆放置在最内圈的限位环中间，若是晶圆尺寸为8寸，将最接近内圈的销轴抽出，使最内圈的限位环不固定，从而将最内圈的限位环取出使装置适用于8寸的晶圆，若是晶圆尺寸为12寸，将中间的销轴抽出使中间与内圈的限位环不固定，将其取出后使装置适用于12寸的晶圆，通过这样的方式使装置能够适用于多种尺寸的晶圆，从而使装置的适用性更佳。
附图说明
附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型所述一种晶圆承载吸盘的结构示意图；
图2是本实用新型所述一种晶圆承载吸盘的主剖视图；
图3是本实用新型所述一种晶圆承载吸盘承载机构的结构示意图；
图4是本实用新型所述一种晶圆承载吸盘安装机构的结构示意图；
图5是本实用新型所述一种晶圆承载吸盘限位机构的结构示意图。
附图标记说明如下：
1、承载机构；11、承载环；12、缺口；13、密封环；14、螺纹孔；2、安装机构；21、底架；22、橡胶垫；23、安装螺栓；3、限位机构；31、承载盘；32、长杆螺栓；33、置料板；34、十字槽；35、限位环；36、销轴。
具体实施方式
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所述的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面通过实施例结合附图进一步说明本实用新型。
如图1-图5所示，一种晶圆承载吸盘，包括用于将整个装置连接到一起的承载机构1，承载机构1下端安装有用于连接真空设备的安装机构2，还包括能够装载多种尺寸晶圆的限位机构3。
在本实施例中，承载机构1包括承载环11，承载环11前端开设有缺口12，承载环11内部固定有密封环13，密封环13为橡胶材质，承载环11的外圈开设有螺纹孔14；通过密封环13的橡胶材质以及螺纹孔14，当其他结构通过螺纹孔14拧紧固定到承载环11上后能够提供良好的密封性。
在本实施例中，安装机构2包括底架21，底架21固定在承载环11下端，底架21下端固定有橡胶垫22，底架21内圈设置有三个安装螺栓23；通过安装螺栓23能够将整个装置安装到真空设备上，再通过橡胶垫22的橡胶材质将安装螺栓23拧紧后有良好的密封性。
在本实施例中，限位机构3包括承载盘31，承载盘31设置在承载机构1上端，承载盘31外圈设置有多个长杆螺栓32，承载盘31内部固定有置料板33，置料板33表面较为光滑，置料板33与承载盘31中间均开设有十字槽34，承载盘31内圈设置有三个限位环35，三个限位环35的尺寸不一，三个限位环35的内圈尺寸从外到内分别对应12寸、8寸以及6寸，且相邻两个限位环35的内外圈尺寸对应，限位环35为橡胶材质，尺寸较大的两个限位环35以及承载盘31的内圈均开设有凹槽，三个限位环35对应这个凹槽设置有凸出，每个限位环35上端均设置有多个销轴36，承载盘31以及尺寸较大的两个限位环35对应销轴36开设有圆孔；通过将销轴36抽出，使对应的限位环35能够取出装置，从而使装置能够根据晶圆的尺寸进行拆装调整，使装置的适用性更佳。
工作原理：在装置安装时，通过安装螺栓23将整个承载机构1与安装机构2安装到真空设备上，通过橡胶垫22的橡胶材质，将安装螺栓23拧紧能够提供良好的密封性，安装好后再将承载盘31放置在承载环11上，使长杆螺栓32的位置对应螺纹孔14，将多个长杆螺栓32拧紧对应的螺纹孔14中，通过密封环13的橡胶材质，将长杆螺栓32拧紧后同样能够提供良好的密封性，将装置安装完毕准备作业前，根据需要承载吸附的晶圆尺寸对限位机构3进行拆装调节，若是晶圆尺寸为6寸可直接将晶圆放置在最内圈的限位环35中间，若是晶圆尺寸为8寸，将最接近内圈的销轴36抽出，使最内圈的限位环35不固定，从而将最内圈的限位环35取出使装置适用于8寸的晶圆，若是晶圆尺寸为12寸，将中间的销轴36抽出使中间与内圈的限位环35不固定，将其取出后使装置适用于12寸的晶圆，通过这样的方式使装置能够适用于多种尺寸的晶圆，从而使装置的适用性更佳。
以上结合附图对本实用新型的优选实施方式做了详细说明，但本实用新型并不限于上述实施方式，在所属技术领域技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。
Claims (6)
1.一种晶圆承载吸盘，包括用于将整个装置连接到一起的承载机构(1)，其特征在于：还包括能够装载多种尺寸晶圆的限位机构(3)；
所述限位机构(3)包括承载盘(31)，所述承载盘(31)设置在所述承载机构(1)上端，所述承载盘(31)外圈设置有多个长杆螺栓(32)，所述承载盘(31)内部固定有置料板(33)，所述置料板(33)与所述承载盘(31)中间均开设有十字槽(34)，所述承载盘(31)内圈设置有三个限位环(35)，每个所述限位环(35)上端均设置有多个销轴(36)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆承载吸盘，其特征在于：所述置料板(33)表面较为光滑。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆承载吸盘，其特征在于：三个所述限位环(35)的尺寸不一，三个所述限位环(35)的内圈尺寸从外到内分别对应12寸、8寸以及6寸，且相邻两个所述限位环(35)的内外圈尺寸对应。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆承载吸盘，其特征在于：所述限位环(35)为橡胶材质，尺寸较大的两个所述限位环(35)以及所述承载盘(31)的内圈均开设有凹槽，且三个所述限位环(35)对应这个凹槽设置有凸出。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆承载吸盘，其特征在于：所述承载盘(31)以及尺寸较大的两个限位环(35)对应所述销轴(36)开设有圆孔。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆承载吸盘，其特征在于：所述承载机构(1)包括承载环(11)，所述承载环(11)前端开设有缺口(12)，所述承载环(11)内部固定有密封环(13)，所述密封环(13)为橡胶材质，所述承载环(11)的外圈开设有螺纹孔(14)，所述承载环(11)通过所述螺纹孔(14)以及所述长杆螺栓(32)与所述承载盘(31)固定。
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