CN218975408U - 一种晶圆治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆治具，涉及半导体技术领域，该治具包括支撑架，及设于支撑架上的横梁组件；横梁组件包括具有多个放置槽的第一横梁和第二横梁、以及第三横梁，第一横梁上的放置槽和第二横梁上的放置槽相对设置，当晶圆位于治具内时，晶圆的侧部边缘与放置槽的内壁抵靠，晶圆的底部边缘与第三横梁的表面接触，以通过第三横梁，对晶圆的底部边缘进行支撑。通过该设置，实现对晶圆片的三点支撑，避免晶圆片的边缘出现破损的情况。

Description

一种晶圆治具

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆治具。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

在对晶圆片加工的过程中，需要将其放置在高温炉中进行烘烤，为了对晶圆片进行加工，需采用一治具，治具上设置有横向排列的多个放置槽，每个放置槽可对应放置一个晶圆片，通过治具将多个晶圆片放置在高温炉中进行烘烤。

然而，当晶圆片搁置在治具上时，晶圆片的边缘与放置槽的内壁为抵靠连接，并且治具上没有设置支撑晶圆片底部的抵靠件。因此，当晶圆片长时间搁置在放置槽内时，易出现晶圆片边缘破损的情况。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的是提供一种晶圆治具，以解决背景技术中现有的治具没有设置支撑晶圆片底部的抵靠件，当晶圆长时间搁置在放置槽内时，易出现晶圆片边缘破损的情况。

本实用新型的在于提供一种晶圆治具，治具包括支撑架，及设于所述支撑架上的横梁组件；

所述横梁组件包括具有多个放置槽的第一横梁和第二横梁、以及第三横梁，所述第三横梁设于所述第一横梁和所述第二横梁之间并位于所述第一横梁和所述第二横梁之下，所述第一横梁和所述第二横梁处于同一高度；

其中，所述第一横梁上的放置槽和所述第二横梁上的放置槽相对设置，当晶圆位于所述治具内时，所述晶圆的侧部边缘与所述放置槽的内壁抵靠，所述晶圆的底部边缘与所述第三横梁的表面接触，以通过所述第三横梁，对所述晶圆的底部边缘进行支撑。

进一步地，所述支撑架包括相对设置的两个支撑板，所述第一横梁、所述第二横梁和所述第三横梁均设于两个所述支撑板之间。

进一步地，所述支撑板的中部设有多个所述第二横梁，所述支撑架的两端分别设有所述第一横梁；

其中，所述第一横梁与靠近所述第一横梁的一所述第二横梁之间、及相邻两个所述第二横梁之间均设有所述第三横梁。

进一步地，所述第二横梁的相对两侧均设有多个所述放置槽，且相邻两个所述第二横梁上的所述放置槽相对设置。

进一步地，所述第一横梁、所述第二横梁和所述第三横梁均可拆卸连接于两个所述支撑板之间。

进一步地，所述第一横梁、所述第二横梁和所述第三横梁的两端均设有安装部；

所述支撑板上设有供所述安装部穿设的安装孔，所述安装部用于连接限位件，以通过所述限位件，将所述安装部限制于所述安装孔内。

进一步地，设于所述第一横梁上的所述放置槽纵向贯穿所述第一横梁，且多个所述放置槽沿着所述第一横梁的轴向间隔排列；

设于所述第二横梁上的所述放置槽纵向贯穿所述第二横梁，且多个所述放置槽沿着所述第二横梁的轴向间隔排列。

进一步地，所述支撑板的相对两侧分别设有凸起部和凹槽部，当所述晶圆治具设有多个时，通过将一个晶圆治具中的所述凸起部伸入另一所述晶圆治具中所述凹槽部，以使至少两个所述晶圆治具连接。

进一步地，所述凸起部设于所述支撑板的顶部，所述凹槽部设于所述支撑板的底部。

进一步地，所述凸起部和所述凹槽部均位于所述支撑板的两端之间。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

在本实用新型的晶圆治具中，为解决现有的治具没有对晶圆片的底部边缘提供支撑，从而导致晶圆片的边缘出现破损情况，则在本晶圆治具中包括支撑架和设置在支撑架上的横梁组件，横梁组件包括具有多个放置槽的第一横梁和第二横梁、以及第三横梁，第一横梁上的放置槽和第二横梁上的放置槽相对设置，当晶圆位于治具内时，晶圆的侧部边缘与放置槽的内壁抵靠，晶圆的底部边缘与第三横梁的表面接触，以通过第三横梁，对晶圆的底部边缘进行支撑，也就是说，通过放置槽支撑晶圆片的侧部边缘、通过第三横梁支撑晶圆片的底部边缘，从而实现对晶圆片的三点支撑，避免晶圆片的边缘出现破损的情况；并且多个放置槽的设置，还可保障同时对多个晶圆片进行加工。

附图说明

图1为本实用新型晶圆治具的整体结构示意图；

图2为本实用新型晶圆治具的上视图；

图3为本实用新型晶圆治具的侧视图；

图4为本实用新型晶圆治具中第一横梁和安装部的结构示意图。

图中：1、支撑架；101、支撑板；2、横梁组件；201、第一横梁；202、第二横梁；203、第三横梁；3、放置槽；4、安装部；5、安装孔；6、限位件；7、凸起部；8、凹槽部。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1至图4，所示为本实用新型中一实施例中的一种晶圆治具，该治具包括支撑架1和设置在支撑架1上的横梁组件2。

支撑架1包括相对设置的两个支撑板101，横梁组件2包括设置在两个支撑板101之间的第一横梁201、第二横梁202和第三横梁203，第三横梁203设于第一横梁201和第二横梁202之间并位于第一横梁201和第二横梁202之下，第一横梁201和第二横梁202处于同一高度，其中，第一横梁201和第二横梁202上设置有多个放置槽3，第一横梁201上的放置槽3和第二横梁202上的放置槽3相对设置，以实现将晶圆片的边缘搁置在放置槽3内，并对晶圆片进行限位处理，当晶圆位于治具内时，晶圆的侧部边缘与放置槽3的内壁抵靠，晶圆的底部边缘与第三横梁203的表面接触，以通过第三横梁203，对晶圆的底部边缘进行支撑。该设置，解决了现有技术中没有对晶圆片的底部边缘提供支撑，从而导致晶圆片的边缘出现破损情况。在本实施例中，通过放置槽3抵靠晶圆片的侧部边缘、通过第三横梁203支撑晶圆片的底部边缘，从而实现对晶圆片的三点支撑，避免晶圆片的边缘出现破损的情况。

具体来说，为实现将第一横梁201、第二横梁202和第三横梁203可拆卸安装在支撑板101上，在第一横梁201、第二横梁202和第三横梁203的两端均设有安装部4，支撑板101上设有供安装部4穿设的安装孔5，安装部4用于连接限位件6，以通过限位件6，将安装部4限制于安装孔5内，示例并给限定，例如：设置在第一横梁201上的安装部4为刚性材质的柱体，其安装部4可通过焊接或一体成型的方式与第一横梁201固定连接；该限位件6可采用螺母，并且安装部4的外侧设置有与螺母相配合的螺纹，通过该设置，以确保对治具整体的拼接，需要说明的是，第二横梁202与第三横梁203的安装方式与第一横梁201一致。

在实际过程中，设于第一横梁201上的放置槽3纵向贯穿第一横梁201，且多个放置槽3沿着第一横梁201的轴向间隔排列，设于第二横梁202上的放置槽3纵向贯穿第二横梁202，且多个放置槽3沿着第二横梁202的轴向间隔排列，利用多个放置槽3的设置，以实现在一个治具上放置多个晶圆片，为加工提供一定的便捷。

为进一步同时对多个晶圆片进行加工，在支撑板101的中部设置多个第二横梁202，且支撑架1的两端分别设有第一横梁201，其中，第一横梁201与靠近第一横梁201的一第二横梁202之间、及相邻两个第二横梁202之间均设有第三横梁203，也就是说，横梁组件2的排列方式为：第一横梁201、第三横梁203、第二横梁202、第三横梁203、第二横梁202，以此类推，最后一个为第一横梁201。其中，第一横梁201和第二横梁202在同一高度，第三横梁203位于二者之下，在实际情况中当支撑板101的长度足够长时，可设置多个第二横梁202对更多的晶圆片提供放置位置。

为便于在第二横梁202上排列放置槽3，则在第二横梁202的相对两侧均设有多个放置槽3，且相邻两个第二横梁202上的放置槽3相对设置。

为合理的利用纵向加工空间，则支撑板101的相对两侧分别设有凸起部7和凹槽部8，当晶圆治具设有多个时，通过将一个晶圆治具中的凸起部7伸入另一晶圆治具中的凹槽部8，以使至少两个晶圆治具连接。

具体来说，凸起部7设于支撑板101的顶部，凹槽部8设于支撑板101的底部，且凸起部7和凹槽部8均位于支撑板101的两端之间，在实际操作时，将一个晶圆治具上的凹槽部8对准另一个晶圆治具上的凸起部7即可。

示例并非限定，为实现对晶圆片进行烘干处理，可在支撑板101的侧壁设置开口，以让气体和加工时所采用的药液流动更通畅；为便于对晶圆治具进行搬运，可在支撑板101的侧壁上设置提拉开口，并且该提拉开口的底部侧面呈弧形设置。

综上，本新型第一实施例中的一种晶圆治具，相对于现有技术中的治具，至少具有如下有益效果：

在本实用新型的晶圆治具中，为解决现有的治具没有对晶圆片的底部边缘提供支撑，从而导致晶圆片的边缘出现破损情况，则在本晶圆治具中包括支撑架1和设置在支撑架1上的横梁组件2，横梁组件2包括具有多个放置槽3的第一横梁201和第二横梁202、以及第三横梁203，第一横梁201上的放置槽3和第二横梁202上的放置槽3相对设置，当晶圆位于治具内时，晶圆的侧部边缘与放置槽3的内壁抵靠，晶圆的底部边缘与第三横梁203的表面接触，以通过第三横梁203，对晶圆的底部边缘进行支撑，也就是说，通过放置槽3支撑晶圆片的侧部边缘、通过第三横梁203支撑晶圆片的底部边缘，从而实现对晶圆片的三点支撑，避免晶圆片的边缘出现破损的情况；并且多个放置槽3的设置，还可保障同时对多个晶圆片进行加工。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种晶圆治具，其特征在于，所述治具包括支撑架，及设于所述支撑架上的横梁组件；

所述横梁组件包括具有多个放置槽的第一横梁和第二横梁、以及第三横梁，所述第三横梁设于所述第一横梁和所述第二横梁之间并位于所述第一横梁和所述第二横梁之下，所述第一横梁和所述第二横梁处于同一高度；

其中，所述第一横梁上的放置槽和所述第二横梁上的放置槽相对设置，当晶圆位于所述治具内时，所述晶圆的侧部边缘与所述放置槽的内壁抵靠，所述晶圆的底部边缘与所述第三横梁的表面接触，以通过所述第三横梁，对所述晶圆的底部边缘进行支撑。

2.根据权利要求1所述的晶圆治具，其特征在于：所述支撑架包括相对设置的两个支撑板，所述第一横梁、所述第二横梁和所述第三横梁均设于两个所述支撑板之间。

3.根据权利要求2所述的晶圆治具，其特征在于：所述支撑板的中部设有多个所述第二横梁，所述支撑架的两端分别设有所述第一横梁；

其中，所述第一横梁与靠近所述第一横梁的一所述第二横梁之间、及相邻两个所述第二横梁之间均设有所述第三横梁。

4.根据权利要求3所述的晶圆治具，其特征在于：所述第二横梁的相对两侧均设有多个所述放置槽，且相邻两个所述第二横梁上的所述放置槽相对设置。

5.根据权利要求2所述的晶圆治具，其特征在于：所述第一横梁、所述第二横梁和所述第三横梁均可拆卸连接于两个所述支撑板之间。

6.根据权利要求5所述的晶圆治具，其特征在于：所述第一横梁、所述第二横梁和所述第三横梁的两端均设有安装部；

所述支撑板上设有供所述安装部穿设的安装孔，所述安装部用于连接限位件，以通过所述限位件，将所述安装部限制于所述安装孔内。

7.根据权利要求1所述的晶圆治具，其特征在于：设于所述第一横梁上的所述放置槽纵向贯穿所述第一横梁，且多个所述放置槽沿着所述第一横梁的轴向间隔排列；

设于所述第二横梁上的所述放置槽纵向贯穿所述第二横梁，且多个所述放置槽沿着所述第二横梁的轴向间隔排列。

8.根据权利要求2-6任一项所述的晶圆治具，其特征在于：所述支撑板的相对两侧分别设有凸起部和凹槽部，当所述晶圆治具设有多个时，通过将一个晶圆治具中的所述凸起部伸入另一所述晶圆治具中所述凹槽部，以使至少两个所述晶圆治具连接。

9.根据权利要求8所述的晶圆治具，其特征在于：所述凸起部设于所述支撑板的顶部，所述凹槽部设于所述支撑板的底部。

10.根据权利要求9所述的晶圆治具，其特征在于：所述凸起部和所述凹槽部均位于所述支撑板的两端之间。

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