CN219626635U - 一种晶圆加工用组合夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种晶圆加工用组合夹具。所述晶圆加工用组合夹具包括两个侧板，两个所述侧板相互靠近的一侧固定安装有四个支撑杆，所述支撑杆上固定安装有多个导向限位圆片，所述侧板的底部固定安装有定位机构，所述定位机构包括固定安装在所述侧板底部的安装块，所述安装块的底部固定安装有定位块，所述侧板的一侧开设有梯形槽，所述梯形槽的底部设置为开口，四个所述支撑杆为梯形设置，所述导向限位圆片从内至外的厚度逐渐变小。本实用新型提供的晶圆加工用组合夹具具有方便定位拆装，能够防止晶圆倾倒，保证晶圆生产质量的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆生产技术领域，尤其涉及一种晶圆加工用组合夹具。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
目前在半导体制造工艺中对晶圆进行刻蚀的过程中，在晶圆从花篮中顶出时，容易导致晶圆发生倾倒，容易导致晶圆损坏。
因此，有必要提供一种新的晶圆加工用组合夹具解决上述技术问题。
实用新型内容
本实用新型解决的技术问题是提供一种方便定位拆装，能够防止晶圆倾倒，保证晶圆生产质量的晶圆加工用组合夹具。
为解决上述技术问题，本实用新型提供的晶圆加工用组合夹具包括：两个侧板，两个所述侧板相互靠近的一侧固定安装有四个支撑杆，所述支撑杆上固定安装有多个导向限位圆片，所述侧板的底部固定安装有定位机构。
优选的，所述定位机构包括固定安装在所述侧板底部的安装块，所述安装块的底部固定安装有定位块。
优选的，所述侧板的一侧开设有梯形槽，所述梯形槽的底部设置为开口。
优选的，四个所述支撑杆为梯形设置。
优选的，所述导向限位圆片从内至外的厚度逐渐变小。
与相关技术相比较，本实用新型提供的晶圆加工用组合夹具具有如下有益效果：
本实用新型提供一种晶圆加工用组合夹具，通过定位槽和定位块的设置，能够方便整个装置与花篮定位连接，能够保障不影响蚀刻前后工序使用，通过多个呈线性分布的导向限位圆片，同时将导向限位圆片的厚度设置为渐变结构，能够方便在晶圆从花篮顶出时快速的进入整个装置，同时能够防止晶圆倾倒，保证晶圆进入整个装置中时，晶圆为立式。
附图说明
图1为本实用新型提供的晶圆加工用组合夹具的一种较佳实施例的结构示意图；
图2为图1所示的俯视结构示意图；
图3为本实用新型提供的晶圆加工用组合夹具安装在晶圆刻蚀花篮后的结构示意图。
图中标号：1、侧板，2、支撑杆，3、导向限位圆片，4、安装块，5、定位块。
具体实施方式
下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
请结合参阅图1、图2和图3，其中，图1为本实用新型提供的晶圆加工用组合夹具的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示的俯视结构示意图；图3为本实用新型提供的晶圆加工用组合夹具安装在晶圆刻蚀花篮后的结构示意图。晶圆加工用组合夹具包括：两个侧板1，两个所述侧板1相互靠近的一侧固定安装有四个支撑杆2，所述支撑杆2上固定安装有多个导向限位圆片3，所述侧板1的底部固定安装有定位机构。
所述定位机构包括固定安装在所述侧板1底部的安装块4，所述安装块4的底部固定安装有定位块5，如图3所示，所述侧板1的底部开设有定位孔，所述定位孔和所述定位块5分别与花篮上的定位块和定位孔相适配。
所述侧板1的一侧开设有梯形槽，所述梯形槽的底部设置为开口，通过开设梯形槽能够减轻整个装置的重量，同时能够方便观看晶圆。
四个所述支撑杆2为梯形设置，通过将四个支撑杆2设置为梯形能够方便晶圆从花篮移出时的定位。
所述导向限位圆片3从内至外的厚度逐渐变小，通过将导向限位圆片3厚度设置为渐变结构，能够方便晶圆进入整个装置，能够方便对晶圆进行定位。
本实用新型提供的晶圆加工用组合夹具，能够在对5寸晶圆薄片100um～600um蚀刻工序使用全能保障晶圆立片，且更充分与酸液接触，提高蚀刻效率，具体如下：
1、花篮槽内窄槽设计，晶圆装篮时立片；
2、支架圆柱卡位窄槽设计，晶片顶出时保障立片；
3、支架可拆卸式结构，保障不影响蚀刻前后工序使用。
与相关技术相比较，本实用新型提供的晶圆加工用组合夹具具有如下有益效果：
本实用新型提供一种晶圆加工用组合夹具，通过定位槽和定位块5的设置，能够方便整个装置与花篮定位连接，能够保障不影响蚀刻前后工序使用，通过多个呈线性分布的导向限位圆片3，同时将导向限位圆片3的厚度设置为渐变结构，能够方便在晶圆从花篮顶出时快速的进入整个装置，同时能够防止晶圆倾倒，保证晶圆进入整个装置中时，晶圆为立式。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (5)
1.一种晶圆加工用组合夹具，其特征在于，包括：
两个侧板，两个所述侧板相互靠近的一侧固定安装有四个支撑杆，所述支撑杆上固定安装有多个导向限位圆片，所述侧板的底部固定安装有定位机构。
2.根据权利要求1所述的晶圆加工用组合夹具，其特征在于，所述定位机构包括固定安装在所述侧板底部的安装块，所述安装块的底部固定安装有定位块。
3.根据权利要求1所述的晶圆加工用组合夹具，其特征在于，所述侧板的一侧开设有梯形槽，所述梯形槽的底部设置为开口。
4.根据权利要求1所述的晶圆加工用组合夹具，其特征在于，四个所述支撑杆为梯形设置。
5.根据权利要求1所述的晶圆加工用组合夹具，其特征在于，所述导向限位圆片从内至外的厚度逐渐变小。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320529740.9U CN219626635U (zh) | 2023-03-17 | 2023-03-17 | 一种晶圆加工用组合夹具 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2023
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