CN209766388U - 一种晶圆高效传输用机械手臂 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆高效传输用机械手臂，包括位于立柱上的若干个夹持臂，所述夹持臂为一体结构，并包括固定部和夹持部，所述固定部与所述夹持部均为左右对称结构；所述夹持部包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部之间设有不闭合的圆形固定孔，所述固定部的中部设有与所述固定孔连接的通孔，所述固定孔为倒置的圆台结构。本实用新型采用上述结构的一种晶圆高效传输用机械手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。

Description

一种晶圆高效传输用机械手臂

技术领域

本实用新型涉及晶圆传输装置技术领域，特别是涉及一种晶圆高效传输用机械手臂。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆是生产集成电路所用的载体，是最常用的半导体材料，按其直径分为6英寸、8英寸等规格，近来发展出12英寸甚至研发更大尺寸。

在生产晶圆的过程当中，将晶圆从一个工作平台转移至另一个工作平台，多采用人工手持晶圆进行搬运，效率低，稳定性差，极易因工作人员的操作不当使晶圆划破或断裂，影响晶圆品质，严重时导致晶圆报废，降低晶圆生产的良品率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种晶圆高效传输用机械手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种晶圆高效传输用机械手臂，包括位于立柱上的若干个夹持臂，所述夹持臂为一体结构，并包括固定部和夹持部，所述固定部与所述夹持部均为左右对称结构；

所述夹持部包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部之间设有不闭合的圆形固定孔，所述固定部的中部设有与所述固定孔连接的通孔，所述固定孔为倒置的圆台结构；

所述夹持部表面的缺口上设有弯折结构的支撑件，所述支撑件内沿所在圆的直径小于所述夹持部内沿所在圆的直径，所述支撑件内沿的下端设有水平结构的托架，所述支撑件的中部设有环形凹槽，所述固定孔底边的水平高度高于所述托架的水平高度。

优选的，所述支撑件包括第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件固定在所述第一支撑部和所述第二支撑部的端部，所述第二支撑件固定在所述第一支撑部和所述第二支撑部的连接处，所述第二支撑件的外侧设有位于所述通孔内的调节杆。

优选的，所述夹持臂均匀的分布在所述立柱上下两侧，所述夹持臂的数量为4个。

优选的，所述固定部固定在所述立柱上。

因此，本实用新型采用上述结构的一种晶圆高效传输用机械手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1是本实用新型一种晶圆高效传输用机械手臂实施例的示意图。

附图标记

1、夹持臂；2、固定部；3、夹持部；4、第一支撑部；5、第二支撑部；6、固定孔；7、通孔；8、第一支撑件；9、第二支撑件；10、调节杆；11、托架；12、凹槽。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施方式做进一步的说明。

图1是本实用新型一种晶圆高效传输用机械手臂实施例的示意图，如图所示，一种晶圆高效传输用机械手臂，包括位于立柱上的若干个夹持臂1，夹持臂1均匀的分布在立柱上下两侧，夹持臂1用于晶圆的运输。夹持臂1的数量为4个，运输效率高。夹持臂1为一体结构，并包括固定部2和夹持部3，夹持臂1通过固定部2固定在立柱上，固定部2与夹持部3均为左右对称结构。

夹持部3包括第一支撑部4和第二支撑部5，第一支撑部4与第二支撑部5呈对称分布。第一支撑部4和第二支撑部5之间设有不闭合的圆形固定孔6，固定孔6用于晶圆的放置提供空间。

夹持部3表面的缺口上设有弯折结构的支撑件，支撑件用于对晶圆提供支撑。支撑件内沿所在圆的直径小于夹持部3内沿所在圆的直径，即支撑件凸出于夹持部3。在晶圆固定后，夹持部3的内沿不会与晶圆接触，在晶圆运输启停过程中支撑件对晶圆具有缓冲作用，减少晃动对其造成的伤害。

支撑件包括第一支撑件8和第二支撑件9，第一支撑件8固定在第一支撑部4和第二支撑部5的端部，第一支撑件8用于第一支撑部4和第二支撑部5对晶圆的支撑。第二支撑件9固定在第一支撑部4和第二支撑部5的连接处，第二支撑件9用于晶圆中部的支撑。固定部2的中部设有与固定孔6连接的通孔7，第二支撑件9的外侧设有位于通孔7内的调节杆10，第二支撑件9的凹槽12处与调节杆10连接，通过控制调节杆10可以调节第二支撑件9的位置，从而使得第二支撑件9向前或向后移动，以对不同尺寸的晶圆进行支撑。

支撑件内沿的下端设有水平结构的托架11，托架11为晶圆提供支撑。支撑件的中部设有环形凹槽12，支撑件可以通过表面固定在夹持部3上，也可以通过凹槽12实现支撑件的进一步固定。固定孔6底边的水平高度高于托架11的水平高度，使得托架11对晶圆的稳定固定，不会坑碰在固定孔6的边缘。固定孔6为倒置的圆台结构，进一步保证固定孔6的边缘不会对晶圆造成伤害。

因此，本实用新型采用上述结构的一种晶圆高效传输用机械手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本实用新型技术方案的精神和范围。

Claims (4)

1.一种晶圆高效传输用机械手臂，其特征在于：包括位于立柱上的若干个夹持臂，所述夹持臂为一体结构，并包括固定部和夹持部，所述固定部与所述夹持部均为左右对称结构；

所述夹持部包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部之间设有不闭合的圆形固定孔，所述固定部的中部设有与所述固定孔连接的通孔，所述固定孔为倒置的圆台结构；

所述夹持部表面的缺口上设有弯折结构的支撑件，所述支撑件内沿所在圆的直径小于所述夹持部内沿所在圆的直径，所述支撑件内沿的下端设有水平结构的托架，所述支撑件的中部设有环形凹槽，所述固定孔底边的水平高度高于所述托架的水平高度。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆高效传输用机械手臂，其特征在于：所述支撑件包括第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件固定在所述第一支撑部和所述第二支撑部的端部，所述第二支撑件固定在所述第一支撑部和所述第二支撑部的连接处，所述第二支撑件的外侧设有位于所述通孔内的调节杆。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆高效传输用机械手臂，其特征在于：所述夹持臂均匀的分布在所述立柱上下两侧，所述夹持臂的数量为4个。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆高效传输用机械手臂，其特征在于：所述固定部固定在所述立柱上。