KR101404009B1 - 리프트 핀 어셈블리 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 안치대로부터 기판을 분리하는 리프트 핀 어셈블리에 관한 것으로, 기판 안치대의 리프트 핀 홀을 관통하는 리프트 핀 몸체; 상기 리프트 핀 몸체의 하부에 설치되며, 상기 리프트 핀 몸체와 연결되는 플레이트와 상기 리프트 핀 몸체의 외곽부와 대응되는 상기 플레이트의 하부에 설치되는 구름수단을 포함하는 위치보정수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
리프트 핀, 위치보정수단, 구름수단, 기판, 기판 안치대, 기판처리장치

Description

리프트 핀 어셈블리{Lift Pin Assembly}
본 발명은 리프트 핀 어셈블리에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판 안치대로부터 기판을 분리하는 리프트 핀 어셈블리에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치 또는 반도체 제조장치에서 기판으로 사용되는 웨이퍼(wafer) 또는 유리기판 상에 박막의 적층하거나, 적층되어 있는 박막을 식각하기 위한 공정은, 최적의 상태로 환경이 조성되는 공정챔버(process chamber)의 내부에서 진행된다. 공정챔버의 내부로 기판을 인입하거나 공정챔버의 외부로 기판을 인출하기 위하여, 기판의 이송수단으로 로봇을 사용한다. 로봇에 의해 기판이 공정챔버 내부의 기판 안치대 상에 안치되거나, 공정챔버의 외부로 반출된다. 기판 안치대 상의 기판을 안치 또는 분리시키기 위한 수단으로 리프트 핀 어셈블리가 사용된다.
이하에서, 도 1 내지 도 4를 참조하여 종래기술의 리프트 핀 어셈블리를 설 명하면 다음과 같다.
도 1은 종래기술에 따른 기판처리장치의 개략도이고, 도 2는 종래기술에 따른 기판처리장치에서, 기판의 분리과정의 개략도이고, 도 3은 종래기술에 따른 기판처리장치에서, 기판 안치대와 리프트 핀의 결합 관계도이고, 도 4는 종래기술에 따른 기판처리장치에서, 리프트 핀의 파손 모식도이다.
도 1의 기판처리장치(10)는 액정표시소자의 제조장치 중에서 원료물질을 플라즈마 상태로 변환시킨 후 이를 이용하여 박막을 증착하는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 장치의 개략적인 구성을 나타낸 것이다. 기판처리장치(10)는, 반응영역을 정의하는 챔버(12), 챔버(12)의 내부에 위치하며 기판(14)을 안치하는 기판 안치대(16), 기판안치대(16)의 상부로 원료가스를 분사하는 가스 분배판(18), 가스 분배판(18)에 원료물질을 공급하는 가스 공급관(20)을 포함한다.
가스 분배판(18)의 중앙부에는 RF 전력을 제공하는 RF 전원(22)이 연결되며, RF 전력은 가스 분배판(18)과 접지된 기판 안치대(16) 사이에서 RF 전기장을 형성하고, RF 전기장에 의해 전자가 가속되어 중성기체와 충돌함으로써 활성종, 이온 및 전자의 혼합체인 플라즈마가 생성되며, 활성종 및 이온이 기판(14)의 표면과 반응하여 박막을 증착한다. 기판(14)은 로봇(도시하지 않음)에 의해 반송되며, 로봇이 기판 안치대(16)에 기판(14)을 안치하거나 기판 안치대(16)로부터 기판(14)을 분리하고 로봇에 의해 기판(14)을 이송시킬 수 있는 높이로 들어올리는 리프트 핀(24)이 필요하다.
도 1은 기판 안치대(16)가 공정영역으로 상승한 상태를 도시한 것으로서, 리프트 핀(24)은 기판 안치대(16)를 상하로 관통하여 설치되지만 기판 안치대(16)에 고정되지는 않기 때문에 상단이 기판 안치대(16)의 걸림턱(30)에 걸려서 현가된 상태이다. 공정영역에서 공정을 마친 후 기판 안치대(16)가 하강하면 도 2에 도시된 바와 같이 리프트 핀(24)의 하단이 챔버(12)의 저면(26)과 접촉하면서 리프트 핀(24)의 상단이 기판 안치대(16)의 상부로 돌출된다. 이때, 기판 안치대(16)에 안치되어 있던 기판(14)은 리프트 핀(24)에 의해 기판 안치대(24)로부터 분리된다. 기판(14)이 기판 안치대(16)로부터 분리되면 기판(14)의 하중이 리프트 핀(24)에 집중되기 때문에 리프트 핀(24)이 파손되는 현상이 종종 나타난다.
도 3은 리프트 핀(24)과 기판 안치대(16)의 결합관계를 나타낸 단면도로서, 리프트 핀(24)은 통상 세라믹으로 제조되며, 상단에는 기판 안치대(16)과 동일한 평면을 유지하고 걸림턱(30)에 현가되기 위해, 리프트 핀 몸체(32) 보다 큰 직경의 리프트 핀 헤드(28)를 구비한다. 리프트 핀 헤드(28)가 기판 안치대(16)의 표면에서 돌출되지 않아 기판(14)의 손상을 방지한다. 기판 안치대(16)는 리프트 핀 몸체(32)이 관통하는 리프트 핀 홀(34)을 구비하며, 리프트 핀 홀(34)의 내부에는 리프트 핀 헤드(28)가 거치되는 걸림턱(30)이 형성된다.
리프트 핀(24)은 수직으로 세워져 있는 것이 바람직하지만, 기판 안치대(16)가 자체 하중 또는 열에 의하여 변형되거나, 리프트 핀 홀(34)에서 리프트 핀(24)이 임의 방향으로 기울어지는 경우가 종종 발생한다. 특히 액정표시소자 제조에 사용되는 기판(14)은 면적이 크고 매우 얇기 때문에 도 4에 도시된 바와 같이 리프트 핀(24)에 의해 지지되지 않는 중앙부가 아래로 처지는 현상이 발생한다. 따라서 리프트 핀 헤드(28)에 수직방향의 힘만 가해지는 것이 아니라 수평방향의 힘도 가해짐으로써 기판 안치대(16)의 주변부에 설치된 리프트 핀(24)은 도시된 바와 같이 수직방향을 이탈하여 기울어진다.
리프트 핀(24)이 기울어지는 현상은 기판 안치대(16)가 하강하여 리프트 핀(16)이 기판 안치대(16)의 상부로 돌출되면서 기판 안치대(16)로부터 기판(14)이 분리되는 시점에 주로 발생한다. 리프트 핀(15)의 하단이 챔버(12)의 저면(42)와의 마찰력 때문에 잘 밀리지 않고, 리프트 핀(15)이 기울어지면서 부러지는 현상이 발생한다.
상기와 같은 종래기술의 문제를 해결하기 위하여, 본 발명은 리프트 핀의 하단에 위치보정수단을 설치하여, 기판 안치대의 승하강 및 기판의 압력에 의해 기울어진 리프트 핀을 정위치로 복원하고, 파손되는 현상을 방지하기 리프트 핀 어셈블리를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 리프트 핀의 하단에 설치된 위치보정수단에 구름수단을 설치하여, 리프트 핀의 압력 흡수 및 정위치 복원을 용이하게 하는 리프트 핀 어셈블리를 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 리프트 핀 어셈블리는, 기판 안치대의 리프트 핀 홀을 관통하는 리프트 핀 몸체; 상기 리프트 핀 몸체의 하부에 설치되며, 상기 리프트 핀 몸체와 연결되는 플레이트와 상기 리프트 핀 몸체의 외곽부와 대응되는 상기 플레이트의 하부에 설치되는 구름수단을 포함하는 위치보정수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 리프트 핀 어셈블리에 있어서, 상기 리프트 핀 몸체의 상단에 형성되며, 상기 리프트 핀 몸체보다 큰 직경을 가지는 리프트 핀 헤드를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 리프트 핀 어셈블리에 있어서, 상기 위치보정수단의 상기 플레 이트는, 상기 리트프 핀 몸체를 삽입되는 삽입부; 상기 삽입부의 주위에서 상기 리프트 핀 몸체를 지지하는 지지체; 상기 지지체와 연결되며, 상기 구름수단이 설치되는 접촉부재를 체결하기 위한 체결공;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 리프트 핀 어셈블리에 있어서, 상기 지지체는 상기 삽입구를 반분하는 직선을 따라 형성되는 완충공간과, 상기 리프트 핀 몸체를 고정시키기 위한 고정핀이 삽입되기 위한 고정구를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 리프트 핀 어셈블리에 있어서, 상기 접촉부재는 상기 체결공을 통하여 체결수단과 결합하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 리프트 핀 어셈블리에 있어서, 상기 구름수단은 상기 접촉부재에 삽입되며, 상기 구름수단과 상기 접촉부재의 사이에 다수의 베어링이 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 리프트 핀 어셈블리에 있어서, 상기 플레이트는 원형, 사각형, 및 삼각형 중 어느 하나의 형태인 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 리프트 핀 어셈블리에 있어서, 상기 위치보정수단은 상기 리프트 핀 몸체보다 2 내지 10 배의 무게를 가지는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 리프트 핀 어셈블리에 있어서, 상기 위치보정수단은, 상기 플레이트의 하부에 구름수단 삽입구가 설치되고, 상기 구름수단 삽입구에 상기 구름수단이 삽입되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 리프트 핀 어셈블리에 있어서, 상기 구름수단 삽입구는 상기 리프트 핀 몸체의 외곽부와 대응되는 상기 플레이트의 외곽부에 상기 구름수단과 동 일한 개수로 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 리프트 핀 어셈블리에 있어서, 상기 구름수단 삽입구는 상기 리프트 핀 몸체의 외곽부와 대응되는 상기 플레이트의 외곽부를 따라 하나로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 리프트 핀 어셈블리에 있어서, 상기 플레이트와 수평으로 연결되며, 상기 구름수단이 설치되는 다수의 서브 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 리프트 핀 어셈블리는, 기판 안치대의 리프트 핀 홀을 관통하는 리프트 핀 몸체; 상기 리프트 핀 몸체의 하부에 설치되며, 상기 리프트 핀 몸체와 연결되는 플레이트와 상기 플레이트의 하부에 설치되는 다수의 구름수단을 포함하는 위치보정수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 리프트 핀 어셈블리에 있어서, 상기 다수의 구름수단은 베어링으로 사용하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 리프트 핀 어셈블리에 있어서, 상기 플레이트에는 상기 다수의 구름수단의 각각과 점접촉하는 다수의 베어링을 설치하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 리프트 핀 어셈블리는 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명은 리프트 핀의 하단에 설치되는 위치보정수단에 의해, 기판 안치대 의 승하강 및 기판의 압력에 의해 기울어진 리프트 핀을 챔버 저면과 수직인 상태로 원위치시켜 리프트 핀의 파손을 방지한다.
위치보정수단에 설치되는 구름수단에 의해, 리프트 핀에 가해지는 압력을 흡수하고, 정위치로의 복원을 용이하게 한다.
위치보정수단에 리프트 핀의 무게중심이 위치하므로, 기판 안치대가 상승할 때, 리프트 핀이 수직상태를 유지하므로, 리프트 핀이 기판 안치대로 돌출되는 것을 방지한다. 종래기술에서 리프트 핀이 기울어져서 상승하면, 리프트 핀이 리프트 핀 홀에 끼어져서 기판 안치대의 상부로 돌출되고, 이로 인해 국부적으로 기판이 기판 안치대와 분리되어 들뜨게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판처리장치의 개략도이고, 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판처리장치에서, 기판 안치대와 리프트 핀 어셈블리의 결합 관계도이고, 도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 리프트 핀의 사시도이고, 도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 리프트 핀의 위치보정수단에 대한 분해 사시도이고, 도 9는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 리프트 핀의 플레이트에 대한 사시도이고, 도 10은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 접촉부재의 단면도이다.
도 5와 같이, 기판처리장치(110)는 액정표시소자의 제조장치 중에서 원료물질을 플라즈마 상태로 변환시킨 후 이를 이용하여 박막을 증착하는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 장치의 개략적인 구성을 나타낸 것이다. 기판처리장치(110)는, 반응영역을 정의하는 챔버(112), 챔버(112)의 내부에 위치하며 기판(114)을 안치하는 기판 안치대(116), 기판안치대(116)의 상부로 원료가스를 분사하는 가스 분배판(118), 가스 분배판(118)에 원료물질을 공급하는 가스 공급관(120)을 포함한다.
가스 분배판(118)의 중앙부에는 RF 전력을 제공하는 RF 전원(122)이 연결되며, RF 전력은 가스 분배판(118)과 접지된 기판 안치대(116) 사이에서 RF 전기장을 형성하고, RF 전기장에 의해 전자가 가속되어 중성기체와 충돌함으로써 활성종, 이온 및 전자의 혼합체인 플라즈마가 생성되며, 활성종 및 이온이 기판(114)의 표면과 반응하여 박막을 증착한다. 기판(114)은 로봇(도시하지 않음)에 의해 이송되며, 로봇이 기판 안치대(116)에 기판(114)을 안치하거나 기판 안치대(116)로부터 기판(114)을 분리하고 로봇에 의해 기판(114)을 이송시킬 수 있는 높이로 들어올리는 리프트 핀(124)이 필요하다.
도 5는 기판 안치대(116)가 공정영역으로 상승한 상태를 도시한 것으로서, 리프트 핀(124)은 기판 안치대(116)를 상하로 관통하여 설치되지만 기판 안치대(116)에 고정되지는 않기 때문에 상단이 기판 안치대(116)의 걸림턱(130)에 걸려 서 현가된 상태이다. 공정영역에서 공정을 마친 후 기판 안치대(116)가 하강하면 도 6에 도시된 바와 같이 리프트 핀(124)의 하단에 설치되어 있는 위치보정수단(150)이 챔버(112)의 저면(126)과 접촉하면서 리프트 핀(124)의 상단이 기판 안치대(116)의 상부로 돌출된다. 리프트 핀(124)의 상단이 기판 안치대(116)의 상부로 돌출에 의해, 기판 안치대(116)에 안치되어 있던 기판(114)은 리프트 핀(124)에 의해 기판 안치대(124)로부터 분리된다.
도 6은 기판 안치대(116)가 하강하였을 때, 리프트 핀 어셈블리와 기판 안치대(116)의 결합관계를 나타낸 단면도이다. 리프트 핀 어셈블리는 기판 안치대(116)의 리프트 핀 홀(152)에 설치되는 리프트 핀 홀더(136)와, 리프트 핀 홀더(136)의 관통홀(134)에 삽입되는 리프트 핌 몸체(132), 리프트 핀 몸체(132)의 상단에 설치되어 기판 안치대(116)의 걸림턱(130)에 현가되는 리프트 핀 헤드(128)와, 리프트 핀 몸체(132)의 하단에 설치되어 수직으로 유지하기 위한 위치보정수단(150)으로 구성된다. 위치보정수단(150)의 하부에 챔버 저면(126)을 보호하기 위하여 핀 플레이트(도시하지 않음)을 설치할 수 있다.
리프트 핀(124)은 통상 세라믹으로 제조된다. 리프트 핀 헤드(128)는 기판 안치대(116)와 동일한 평면을 유지하고 걸림턱(130)에 현가되기 위해, 리프트 핀 몸체(132) 보다 큰 직경으로 형성된다. 이로 인해, 리프트 핀 헤드(128)가 기판 안치대(116)의 표면에서 돌출되지 않아 기판(114)의 손상을 방지한다. 기판 안치 대(116)는 리프트 핀 몸체(132)가 관통하는 리프트 핀 홀(152)과, 리프트 핀 홀(152)의 내부에 리프트 핀 헤드(128)가 거치되는 걸림턱(130)을 포함한다.
리프트 핀 홀(152)에는 리프트 핀 몸체(132)가 알루미늄 재질의 기판 안치대(116)와 접촉하는 것을 방지하고 리프트 핀 몸체(132)의 승강 운동을 안내하기 위해 리프트 핀 홀더(136)가 삽입된다. 리프트 핀 홀더(136)는 리프트 핀 몸체(132)가 삽입되는 관통홀(134)을 가지고, 상단과 하단 부근의 내주면에서 돌출되는 제 1 및 제 2 돌출부(138, 140)를 구비하며, 제 1 및 제 2 돌출부(138, 140)는 리프트 핀 몸체(132)와 접점을 최소화한 상태에서 리프트 핀 몸체(132)의 승강 운동을 안내한다.
도 7 내지 도 10과 같이, 리프트 핀(124)의 위치보정수단(150)은, 리프트 핀 몸체(132)의 하부와 결합하며, 수평지지부로 사용되는 다수의 체결공(154)을 가지는 플레이트(156)와, 기판 안치대(116)가 하강할 때. 챔버 저면(126)과 접촉하는 다수의 접촉부재(158)과, 다수의 체결공(154)을 통하여 다수의 접촉부재(158)와 결합되는 다수의 체결수단(160)으로 구성된다. 위치보정수단(150)은 리프트 핀 몸체(132)가 기울어지지 않고 챔버 저면(126)과 수직한 방향을 안정적으로 유지하는 기능을 한다. 리프트 핀 몸체(132)가 수직방향의 안정적인 상태를 유지하기 위하여, 리프트 핀(124)의 무게중심을 위치보정수단(150)에 두는 것이 바람직하다. 따라서, 위치보정수단(150)의 무게는 리프트 핀 몸체(132)의 무게보다 2 내지 10 배 가 되도록 한다. 그리고 위치보정수단(150)의 플레이트(156)는 리프트 핀 몸체(132)의 직경보다 크고, 다수의 접촉부재(158)는 리프트 핀 몸체(132)의 외곽부와 대응되는 플레이트(156)에 설치된다. 플레이트(156)는 원형, 사각형, 삼각형 및 그 외의 다양한 형태로 제작할 수 있으며, 중심을 기준으로 대칭적 형상을 가지는 것이 바람직하다.
플레이트(156)는 리프트 핀 몸체(132)의 하단이 삽입되는 삽입구(162)와, 리프트 핀 몸체(132)를 지지하고 고정하기 위한 지지체(164)와, 지지체(164)와 연결되며 다수의 체결공(154)을 가지는 플레이트 본체(166)로 구성된다. 지지체(164)는 다수의 돌출부를 가지는 십자형상으로 구성되고, 삽입구(132)를 반분하는 직선을 따라, 완충공간(168)이 형성된다. 완충공간(168)이 설치되는 돌출부의 측면에는 고정구(170)가 설치된다. 지지체(164)의 삽입구(132)에 리프트 핀 몸체(132)의 하단을 위치시키고, 고정구(170)에 고정핀(172)을 삽입하고 너트(도시하지 않음)로 체결하여 리프트 핀 몸체(132)가 이탈하지 않도록 고정시킨다. 이때, 완충공간(168)은 리프트 핀 몸체(132)가 삽입구(132)에서 완전히 밀착되어 조일 수 있는 공간을 제공한다.
접촉부재(158)는 원판형 플레이트(156)의 체결공(154)에 삽입되는 상단부(174)와, 상단부(174)와 연결되어, 상단부(174)보다 큰 직경을 가지며, 구형의 구름수단(176)이 설치되는 하단부(180)로 구성된다. 수평지지부로 사용하는 플레이 트(156)의 외곽부에 구름수단(176)을 포함하는 다수의 접촉부재(158)가 설치되어, 리프트 핀 몸체(132)의 중심에 구름수단(176)이 설치되어 있을 때보다, 리프트 핀 몸체(132)가 기울어졌을 때 원활하게 이동하여, 원래의 위치로 복원시킬 수 있다. 접촉부재(158)의 상단부(174)는 체결공(154)을 통하여 너트와 같은 체결수단(160)에 의해 체결된다. 접촉부재(158)는 원통형으로 형성되고, 도 10과 같이, 접촉부재(158)의 하단부(180)에서 중심부에 구름수단(176)이 설치된다. 구름수단(176)은 베어링을 사용한다. 구름수단(176)은 접촉부재(158)에서 돌출되어 챔버 저면(126)과 접촉하여 마찰력을 감소시키고 이동을 원활하게 한다. 구름수단(176)이 삽입되어 있는 접촉부재(158)의 공간에는 구름수단(176)과 점접촉하는 다수의 베어링(178)이 설치되어, 구름수단(176)의 회전을 원활하게 한다. 그리고, 다수의 접촉부재(158)에 설치되어 있는 구름수단(176)은 동일한 높이를 가진다.
기판 안치대(116)가 하강하여 리프트 핀(124)이 챔버 저면(126)과 접촉할 때, 기판(114)의 하중 또는 기판 안치대(116)의 변형으로 인해 리프트 핀(124)은 정확하게 챔버 저면(126)과 정확하게 수직인 상태가 아니고, 약간 기울어진 상태가 된다. 그리고, 위치보정수단(150)은 리프트 핀 몸체(132)와 비교하여 무거우므로, 위치보정수단(150)과 챔버저면(126)과의 마찰력이 리프트 핀(124)에 가해지는 응력보다 큰 경우가 발생할 수 있다.
리프트 핀(124)가 기울어진 상태에서, 마찰력이 응력보다 크게 되면, 리프트 핀(124)의 응력이 완화되지 않고, 리프트 핀 몸체(132)에 흡수되어 리프트 핀(124)이 파손될 수 있다. 구름수단(176)은 위치보정수단(150)의 마찰력을 감소시켜, 리프트 핀(124)에 가해진 응력을 분산시킨다. 또한, 구름수단(176)은 리프트 핀(124)가 기울어진 상태에서 원래의 위치로 되돌아 올 때, 원활하게 리프트 핀(124)을 복원시킨다.
본 발명의 제 2 실시예로, 플레이트에 구름수단을 삽입시킨 리프트 핀을 제안한다. 도 11 및 도 12는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 리프트 핀의 단면도 및 배면도이다.
도 11 및 도 12와 같이, 리프트 핀(124)의 위치보정수단(150)은, 리프트 핀 몸체(132)와, 리프트 핀(132)의 하부와 결합하며 수평지지부로 사용되는 플레이트(156)와 플레이트(156)의 배면에 삽입된 다수의 구름수단(176)으로 구성된다. 플레이트(156)에는 회전할 수 있는 구형상의 구름수단(176)이 삽입될 수 있는 구름 수단 삽입구(190)가 설치된다. 구름수단 삽입구(190)은 리프트 핀 몸체(132)의 외곽부와 대응되는 플레이트(156)에 설치되어, 리프트 핀 몸체(132)의 중심에 구름수단(176)이 설치되어 있을 때보다, 리프트 핀 몸체(132)가 기울어졌을 때 원활하게 이동하여, 원래의 위치로 복원시킬 수 있다. 그리고, 구름수단 삽입구(190)는 구름수단(176)의 대응되는 개 수로 각각 독립적으로 설치되거나, 플레이트(156)의 외곽부를 따라 하나로 설치될 수 있다.
본 발명의 제 3 실시예로, 플레이트에 구름수단을 삽입시킨 리프트 핀에 있어서, 플레이트를 원판형이 아닌, 다른 형태의 플레이트를 제안한다. 도 13 및 도 14는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 리프트 핀의 단면도 및 배면도이다.
도 13 및 도 14와 같이, 리프트 핀(124)의 위치보정수단(150)은, 리프트 핀 몸체(132)와, 리프트 핀(132)의 하부와 결합하며 수평지지부로 사용되는 플레이트(156)와, 플레이트(156)과 수평적으로 연결되는 다수의 서브 플레이트(192)와, 서브 플레이트(192)의 배면에 삽입된 다수의 구름수단(176)으로 구성된다. 도 13 및 도 14에서 서브 플레이트(192)는 리프트 핀 몸체(132)가 균형을 유지할 수 있도록 3 개를 설치한다. 그러나, 리프트 핀(124)이 균형을 유지하기 위하여 서브 플레이트(192)의 개수가 3 개로 제한하지 않고 그 이상을 설치할 수 있다. 서브 플레이트(192)에는 회전할 수 있는 구형상의 구름수단(176)이 삽입될 수 있는 구름 수단 삽입구(190)가 설치된다. 구름수단 삽입구(190)은 리프트 핀 몸체(132)의 외곽부와 대응되는 서브 플레이트(192)에 설치되어, 리프트 핀 몸체(132)의 중심에 구름수단(176)이 설치되어 있을 때보다, 리프트 핀 몸체(132)가 기울어졌을 때 원활하게 이동하여, 원래의 위치로 복원시킬 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 기판처리장치의 개략도
도 2는 종래기술에 따른 기판처리장치에서, 기판의 분리과정의 개략도
도 3은 종래기술에 따른 기판처리장치에서, 기판 안치대와 리프트 핀의 결합 관계도
도 4는 종래기술에 따른 기판처리장치에서, 리프트 핀의 파손 모식도
도 5는 본 발명에 따른 기판처리장치의 개략도
도 6은 본 발명에 따른 기판처리장치에서, 기판 안치대와 리프트 핀 어셈블리의 결합 관계도
도 7은 본 발명에 따른 리프트 핀의 사시도
도 8은 본 발명에 따른 리프트 핀의 위치보정수단에 대한 분해 사시도
도 9는 본 발명에 따른 리프트 핀의 원판형 플레이트에 대한 사시도
도 10은 본 발명에 따른 접촉부재의 단면도
도 11 및 도 12는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 리프트 핀의 단면도 및 배면도
도 13 및 도 14는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 리프트 핀의 단면도 및 배면도

Claims (15)

  1. 기판 안치대의 리프트 핀 홀을 관통하는 리프트 핀 몸체;
    상기 리프트 핀 몸체의 하부에 설치되며, 상기 리프트 핀 몸체와 연결되는 플레이트와 상기 리프트 핀 몸체의 외곽부와 대응되는 상기 플레이트의 하부에 설치되는 구름수단을 포함하는 위치보정수단을 포함하고,
    상기 위치보정수단의 상기 플레이트는,
    상기 리프트 핀 몸체가 삽입되는 삽입구;
    상기 삽입구의 주위에서 상기 리프트 핀 몸체를 지지하는 지지체;
    상기 지지체와 연결되며, 상기 구름수단이 설치되는 접촉부재를 체결하기 위한 체결공;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
  2. 기판 안치대의 리프트 핀 홀을 관통하는 리프트 핀 몸체;
    상기 리프트 핀 몸체의 하부에 설치되며, 상기 리프트 핀 몸체와 연결되는 플레이트와 상기 플레이트의 하부에 설치되는 다수의 구름수단을 포함하는 위치보정수단을 포함하고,
    상기 위치보정수단의 상기 플레이트는,
    상기 리프트 핀 몸체가 삽입되는 삽입구;
    상기 삽입구의 주위에서 상기 리프트 핀 몸체를 지지하는 지지체;
    상기 지지체와 연결되며, 상기 구름수단이 설치되는 접촉부재를 체결하기 위한 체결공;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
  3. 삭제
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 지지체는 상기 삽입구를 반분하는 직선을 따라 형성되는 완충공간과, 상기 리프트 핀 몸체를 고정시키기 위한 고정핀이 삽입되기 위한 고정구를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 접촉부재는 상기 체결공을 통하여 체결수단과 결합하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 구름수단은 상기 접촉부재에 삽입되며, 상기 구름수단과 상기 접촉부재의 사이에 다수의 베어링이 설치되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 위치보정수단은 상기 리프트 핀 몸체보다 무거운 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 위치보정수단은 상기 리프트 핀 몸체보다 2 내지 10 배의 무게를 가지는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
  9. 기판 안치대의 리프트 핀 홀을 관통하는 리프트 핀 몸체;
    상기 리프트 핀 몸체의 하부에 설치되며, 상기 리프트 핀 몸체와 연결되는 플레이트와 상기 리프트 핀 몸체의 외곽부와 대응되는 상기 플레이트의 하부에 설치되는 구름수단을 포함하는 위치보정수단을 포함하고,
    상기 위치보정수단은, 상기 플레이트의 하부에 구름수단 삽입구가 설치되고, 상기 구름수단 삽입구에 상기 구름수단이 삽입되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
  10. 삭제
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 구름수단 삽입구는 상기 리프트 핀 몸체의 외곽부와 대응되는 상기 플레이트의 외곽부를 따라 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
  12. 제 1 항, 제 2 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 플레이트와 수평으로 연결되며, 상기 구름수단이 설치되는 다수의 서브 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 삭제
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