JPH09237781A - 熱処理用ボ−ト - Google Patents
熱処理用ボ−トInfo
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- JPH09237781A JPH09237781A JP6923896A JP6923896A JPH09237781A JP H09237781 A JPH09237781 A JP H09237781A JP 6923896 A JP6923896 A JP 6923896A JP 6923896 A JP6923896 A JP 6923896A JP H09237781 A JPH09237781 A JP H09237781A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の支柱に、各々ほぼ水平に上下に間隔を
あけてトレー例えばリング状トレーを配列し、各リング
状トレーに半導体ウエハを支持させるように構成した、
縦型熱処理装置に用いられる熱処理用ボートにおいて、
リング状トレーを溶接に頼らずにボート本体に容易に固
定する構造を提供すること。 【解決手段】 手前側の１本の支柱２３に、上端部から
下端部に亘って伸びる切り欠き４を形成すると共に、リ
ング状トレー３の周縁部にも切り欠き６を形成してお
く。リング状トレー３の周縁部を各支柱２３〜２８の溝
部２０内に挿入し、切り欠き４、６で形成される空間に
固定棒５を、天板から底板に亘って通し、リング状トレ
ー３を固定棒５を介して支柱２３に係止する。またリン
グ状トレー３の反対側の周縁部に突状部６１を設け、リ
ング状トレー３を回転させて突状部６１を支柱２４に係
止する。
あけてトレー例えばリング状トレーを配列し、各リング
状トレーに半導体ウエハを支持させるように構成した、
縦型熱処理装置に用いられる熱処理用ボートにおいて、
リング状トレーを溶接に頼らずにボート本体に容易に固
定する構造を提供すること。 【解決手段】 手前側の１本の支柱２３に、上端部から
下端部に亘って伸びる切り欠き４を形成すると共に、リ
ング状トレー３の周縁部にも切り欠き６を形成してお
く。リング状トレー３の周縁部を各支柱２３〜２８の溝
部２０内に挿入し、切り欠き４、６で形成される空間に
固定棒５を、天板から底板に亘って通し、リング状トレ
ー３を固定棒５を介して支柱２３に係止する。またリン
グ状トレー３の反対側の周縁部に突状部６１を設け、リ
ング状トレー３を回転させて突状部６１を支柱２４に係
止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は例えば半導体ウエハ
などの被処理基板を保持して縦型熱処理炉内にロ−ド、
アンロ−ドするための熱処理用ボ−トに関する。
などの被処理基板を保持して縦型熱処理炉内にロ−ド、
アンロ−ドするための熱処理用ボ−トに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハ（以下「ウエハ」という）
の製造プロセスの１つとして、酸化膜の形成やド−パン
トの拡散などを行うために高温下で熱処理を行うプロセ
スがある。この熱処理を行う縦型熱処理装置において
は、多数のウエハを上下に間隔をおいて搭載する熱処理
用ボ−トによりウエハが熱処理炉内にロ−ドされ、所定
の熱処理が行なわれる。
の製造プロセスの１つとして、酸化膜の形成やド−パン
トの拡散などを行うために高温下で熱処理を行うプロセ
スがある。この熱処理を行う縦型熱処理装置において
は、多数のウエハを上下に間隔をおいて搭載する熱処理
用ボ−トによりウエハが熱処理炉内にロ−ドされ、所定
の熱処理が行なわれる。
【０００３】このような熱処理用ボ−トの中で、リング
状の支持部材の上にウエハを載せるリングボ−トなどと
呼ばれているものがある。これは、熱処理炉内の昇降温
速度が早い場合に、ウエハの周縁部を前記支持部材に接
触させることにより熱容量を大きくして当該周縁部の昇
降温の速度を遅くし、こうしてウエハの中心部と周縁部
との昇降温の速度を揃えることを一つの狙いとしてい
る。
状の支持部材の上にウエハを載せるリングボ−トなどと
呼ばれているものがある。これは、熱処理炉内の昇降温
速度が早い場合に、ウエハの周縁部を前記支持部材に接
触させることにより熱容量を大きくして当該周縁部の昇
降温の速度を遅くし、こうしてウエハの中心部と周縁部
との昇降温の速度を揃えることを一つの狙いとしてい
る。
【０００４】この種の熱処理用ボ−ト１（リングボ−
ト）は、図１３に示すように、保温筒１０の上に設けら
れ、上下に夫々対向して配置された円形の天板１１及び
底板１２の間に、例えば石英よりなる６本の支柱１３を
設けると共に、平らな支持面を備えた例えば石英よりな
るリングトレー１４の外周縁を支柱１３に形成された溝
部に挿入して、溶接によりリング状トレー１４を支柱１
３に固定するようにし、こうしてリング状トレー１４が
を上下に間隔をおいて配列されている。そしてリング状
トレー１４上にウエハＷを載置した後、図示しないボ−
トエレベ−タによって熱処理用ボ−ト１を上昇させ、ウ
エハＷを熱処理炉にロ−ドする。
ト）は、図１３に示すように、保温筒１０の上に設けら
れ、上下に夫々対向して配置された円形の天板１１及び
底板１２の間に、例えば石英よりなる６本の支柱１３を
設けると共に、平らな支持面を備えた例えば石英よりな
るリングトレー１４の外周縁を支柱１３に形成された溝
部に挿入して、溶接によりリング状トレー１４を支柱１
３に固定するようにし、こうしてリング状トレー１４が
を上下に間隔をおいて配列されている。そしてリング状
トレー１４上にウエハＷを載置した後、図示しないボ−
トエレベ−タによって熱処理用ボ−ト１を上昇させ、ウ
エハＷを熱処理炉にロ−ドする。
【０００５】前記リング状トレー１４を支柱１３に固定
する理由は、熱処理用ボ−ト１をボ−トエレベ−タによ
り上昇させる際の振動により、リング状トレー１４の外
周縁部が溝部から外れて脱落してしまうおそれがあり、
またある種の熱処理ではウエハＷの裏面がリング状トレ
ー１４の表面に強く付着してしまい、処理後の移載時に
ウエハＷを突上げる際、ウエハＷと共にリング状トレー
１４も突上げられ、溝部から外れてしまうおそれもある
からである
する理由は、熱処理用ボ−ト１をボ−トエレベ−タによ
り上昇させる際の振動により、リング状トレー１４の外
周縁部が溝部から外れて脱落してしまうおそれがあり、
またある種の熱処理ではウエハＷの裏面がリング状トレ
ー１４の表面に強く付着してしまい、処理後の移載時に
ウエハＷを突上げる際、ウエハＷと共にリング状トレー
１４も突上げられ、溝部から外れてしまうおそれもある
からである
【０００６】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
述の溶接による固定法では、リング状トレー１４を熱に
より融解して接着しているため、リング状トレー１４に
多少歪みが生じることがあり、ウエハＷの面内均一性の
高い熱処理を確保するために必要なリング状トレー１４
の平坦度を得るためには、溶接に精度が要求され、作業
が非常に困難であるという問題がある。
述の溶接による固定法では、リング状トレー１４を熱に
より融解して接着しているため、リング状トレー１４に
多少歪みが生じることがあり、ウエハＷの面内均一性の
高い熱処理を確保するために必要なリング状トレー１４
の平坦度を得るためには、溶接に精度が要求され、作業
が非常に困難であるという問題がある。
【０００７】また、上述の石英製の熱処理用ボ−ト１
は、およそ１０５０℃になるとリング状トレー１４が歪
んでしまい、ウエハＷの均一な熱処理を妨げるので、例
えば１０５０℃以上で行われる熱処理には使用すること
ができない。このため、高温度の熱処理用ボ−ト（リン
グボ−ト）として、石英よりも融点が高い炭化ケイ素
（ＳｉＣ）製のものを検討しているが、ＳｉＣは高融点
のため、溶接ではリング状トレー１４を支柱１３に固定
できない。またＳｉＣ製のリング状トレー１４を接着剤
等を用いて接着させる方法も考えられるが、精度や熱応
力割れ等の技術的な問題があり実施は困難である。
は、およそ１０５０℃になるとリング状トレー１４が歪
んでしまい、ウエハＷの均一な熱処理を妨げるので、例
えば１０５０℃以上で行われる熱処理には使用すること
ができない。このため、高温度の熱処理用ボ−ト（リン
グボ−ト）として、石英よりも融点が高い炭化ケイ素
（ＳｉＣ）製のものを検討しているが、ＳｉＣは高融点
のため、溶接ではリング状トレー１４を支柱１３に固定
できない。またＳｉＣ製のリング状トレー１４を接着剤
等を用いて接着させる方法も考えられるが、精度や熱応
力割れ等の技術的な問題があり実施は困難である。
【０００８】本発明はこのような事情の下になされたも
のであり、その目的は、リング状トレーを支柱に固定す
るにあたり、簡単な構造で固定でき、リング状トレーの
脱落を防止することができる熱処理用ボ−トを提供する
ことにある。
のであり、その目的は、リング状トレーを支柱に固定す
るにあたり、簡単な構造で固定でき、リング状トレーの
脱落を防止することができる熱処理用ボ−トを提供する
ことにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、保持
部が上下方向に間隔をおいて形成された複数の支柱に、
各々ほぼ水平になるように多数の被処理基板の支持部材
を前記保持部により保持させ、被処理基板を夫々前記支
持部材に支持させて縦型熱処理炉内に搬入出する熱処理
用ボ−トにおいて、前記支持部材に上面から下面に抜け
るように形成された切り欠きまたは孔よりなる固定棒挿
入部と、前記支柱に保持された上段側の支持部材から下
段側の支持部材に亘って前記固定棒挿入部に挿入され、
支持部材を係止するための固定棒と、を備えたことを特
徴とする。
部が上下方向に間隔をおいて形成された複数の支柱に、
各々ほぼ水平になるように多数の被処理基板の支持部材
を前記保持部により保持させ、被処理基板を夫々前記支
持部材に支持させて縦型熱処理炉内に搬入出する熱処理
用ボ−トにおいて、前記支持部材に上面から下面に抜け
るように形成された切り欠きまたは孔よりなる固定棒挿
入部と、前記支柱に保持された上段側の支持部材から下
段側の支持部材に亘って前記固定棒挿入部に挿入され、
支持部材を係止するための固定棒と、を備えたことを特
徴とする。
【００１０】請求項２の発明は、保持部が上下方向に間
隔をおいて形成された複数の支柱に、各々ほぼ水平にな
るように多数の被処理基板の支持部材を前記保持部によ
り保持させ、被処理基板を夫々前記支持部材に支持させ
て縦型熱処理炉内に搬入出する熱処理用ボ−トにおい
て、前記支持部材の周縁部に、固定棒の一部と係合する
形状の切り欠き部を形成すると共に、前記支柱の上端部
から下端部に亘って伸び、固定棒の一部と係合する形状
の切り欠き部を形成し、前記支持部材の切り欠き部と前
記支柱の切り欠き部とにより囲まれる空間に、上端の支
持部材から下端の支持部材に亘って固定棒を挿入し、こ
れにより支持部材を前記固定棒を介して支柱に係止する
ように構成したことを特徴とする。
隔をおいて形成された複数の支柱に、各々ほぼ水平にな
るように多数の被処理基板の支持部材を前記保持部によ
り保持させ、被処理基板を夫々前記支持部材に支持させ
て縦型熱処理炉内に搬入出する熱処理用ボ−トにおい
て、前記支持部材の周縁部に、固定棒の一部と係合する
形状の切り欠き部を形成すると共に、前記支柱の上端部
から下端部に亘って伸び、固定棒の一部と係合する形状
の切り欠き部を形成し、前記支持部材の切り欠き部と前
記支柱の切り欠き部とにより囲まれる空間に、上端の支
持部材から下端の支持部材に亘って固定棒を挿入し、こ
れにより支持部材を前記固定棒を介して支柱に係止する
ように構成したことを特徴とする。
【００１１】請求項３の発明は、請求項１または２記載
の発明において、支持部材に突状部を設け、前記支持部
材を各支柱により保持される位置まで挿入した後、支柱
の並びに沿って回転させたときに、前記突状部が支柱に
係止されるように構成したことを特徴とする。
の発明において、支持部材に突状部を設け、前記支持部
材を各支柱により保持される位置まで挿入した後、支柱
の並びに沿って回転させたときに、前記突状部が支柱に
係止されるように構成したことを特徴とする。
【００１２】請求項４の発明は、多数の被処理基板を夫
々支持部材に載せてほぼ水平になるようにかつ上下に互
いに間隔をおいて保持して縦型熱処理炉内に搬入出する
熱処理用ボ−トにおいて、前記支持部材の周縁部に上面
から下面に抜けるように形成された切り欠きまたは孔よ
りなる複数の固定棒挿入部と、前記支持部材の周縁部に
設けられ、隣接する支持部材に当接して支持部材同士の
上下間隔を形成するための突起部と、前記支持部材の各
々の前記固定棒挿入部に上段側の支持部材から下段側の
支持部材に亘って挿入された複数の固定棒と、を備えた
ことを特徴とする。
々支持部材に載せてほぼ水平になるようにかつ上下に互
いに間隔をおいて保持して縦型熱処理炉内に搬入出する
熱処理用ボ−トにおいて、前記支持部材の周縁部に上面
から下面に抜けるように形成された切り欠きまたは孔よ
りなる複数の固定棒挿入部と、前記支持部材の周縁部に
設けられ、隣接する支持部材に当接して支持部材同士の
上下間隔を形成するための突起部と、前記支持部材の各
々の前記固定棒挿入部に上段側の支持部材から下段側の
支持部材に亘って挿入された複数の固定棒と、を備えた
ことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の形態に係
る熱処理用ボートを含む縦型熱処理装置の一部を示す外
観斜視図、図２及び図３は、熱処理用ボートの一部を示
す図である。熱処理用ボート２は、上下にそれぞれ対向
して配置された円形の天板２１及び底板２２を備え、こ
れらの間に複数本例えば６本の支柱２３〜２８が固定さ
れている。天板２１と底板２２との間には、例えば６３
枚のリング状支持部材であるリング状トレー３が所定の
間隔をおいて例えば１１ｍｍのピッチでほぼ水平に配置
されている。天板２１、底板２２、支柱２３〜２８及び
リング状トレー３の材質は、１２００℃程度の高温プロ
セスに耐えられるように例えばＳｉＣが用いられる。
る熱処理用ボートを含む縦型熱処理装置の一部を示す外
観斜視図、図２及び図３は、熱処理用ボートの一部を示
す図である。熱処理用ボート２は、上下にそれぞれ対向
して配置された円形の天板２１及び底板２２を備え、こ
れらの間に複数本例えば６本の支柱２３〜２８が固定さ
れている。天板２１と底板２２との間には、例えば６３
枚のリング状支持部材であるリング状トレー３が所定の
間隔をおいて例えば１１ｍｍのピッチでほぼ水平に配置
されている。天板２１、底板２２、支柱２３〜２８及び
リング状トレー３の材質は、１２００℃程度の高温プロ
セスに耐えられるように例えばＳｉＣが用いられる。
【００１４】前記リング状トレー３の構造及びこのリン
グ状トレー３を支柱に固定するための構造について図２
〜図６を参照しながら説明する。前記熱処理用ボート２
においてウエハを搬入出する側を手前側、その反対側を
奥側と定義すると、手前側の１本の支柱２３は、横断面
が長円形状に形成され、残りの支柱２４〜２８は真円状
に形成されている。前記各支柱２４〜２８には、支柱の
軸と直交するように切り込まれた溝部２０が長さ方向に
間隔をおいて配列されている。ただし図２では便宜上溝
部２０は１ケ所だけ示してある。これら溝部２０は、図
２、図５及び図６に示すようにリング状トレー３の周縁
部を挿入してリング状トレー３を保持するための保持部
をなすものである。
グ状トレー３を支柱に固定するための構造について図２
〜図６を参照しながら説明する。前記熱処理用ボート２
においてウエハを搬入出する側を手前側、その反対側を
奥側と定義すると、手前側の１本の支柱２３は、横断面
が長円形状に形成され、残りの支柱２４〜２８は真円状
に形成されている。前記各支柱２４〜２８には、支柱の
軸と直交するように切り込まれた溝部２０が長さ方向に
間隔をおいて配列されている。ただし図２では便宜上溝
部２０は１ケ所だけ示してある。これら溝部２０は、図
２、図５及び図６に示すようにリング状トレー３の周縁
部を挿入してリング状トレー３を保持するための保持部
をなすものである。
【００１５】手前側の一方の支柱２３には、支柱２３の
上端部から下端部に亘って伸びる切り欠き４が形成され
ている（図２、図４、図５参照）。この切り欠き４は、
後述の丸棒よりなる固定棒５が上端から下端に亘って挿
入される部位であり、切り欠き４の内周面は、固定棒５
の形状に適合するように横断面が湾曲面をなしている。
上端部から下端部に亘って伸びる切り欠き４が形成され
ている（図２、図４、図５参照）。この切り欠き４は、
後述の丸棒よりなる固定棒５が上端から下端に亘って挿
入される部位であり、切り欠き４の内周面は、固定棒５
の形状に適合するように横断面が湾曲面をなしている。
【００１６】図２に示すように天板２１には、前記支柱
２３の上端が挿入されて固定される挿入孔２１ａが形成
されると共に、底板２２には、前記支柱２３の下端が挿
入されて固定される挿入用凹部２２ａが形成されてお
り、前記挿入孔２１ａから挿入用凹部２２ａに亘って固
定棒５が挿入される。前記挿入孔２１ａ及び凹部２２ａ
は、支柱２３に固定棒５が係合した状態で挿入されるよ
うな形状に作られている。固定棒５の頂部は拡径部５０
をなし、作業者がこの拡径部５０を把んで固定棒５を天
板２１、底板２２間に挿入、抜脱できるようになってい
る。
２３の上端が挿入されて固定される挿入孔２１ａが形成
されると共に、底板２２には、前記支柱２３の下端が挿
入されて固定される挿入用凹部２２ａが形成されてお
り、前記挿入孔２１ａから挿入用凹部２２ａに亘って固
定棒５が挿入される。前記挿入孔２１ａ及び凹部２２ａ
は、支柱２３に固定棒５が係合した状態で挿入されるよ
うな形状に作られている。固定棒５の頂部は拡径部５０
をなし、作業者がこの拡径部５０を把んで固定棒５を天
板２１、底板２２間に挿入、抜脱できるようになってい
る。
【００１７】一方リング状トレー３の周縁部には、固定
棒５の全周の一部と係合するように横断面が湾曲面をな
す切り欠き６が形成されている。またリング状トレー３
の周縁部における前記切り欠き６とほぼ対向する位置に
は、リング状トレー３の上面から上方に突出する突状部
６１が形成されている。この突状部６１の高さは、支持
部材を支柱２３〜２８の溝部２０内に保持させたときに
その溝部２０の上端よりも高くなるように設定される。
棒５の全周の一部と係合するように横断面が湾曲面をな
す切り欠き６が形成されている。またリング状トレー３
の周縁部における前記切り欠き６とほぼ対向する位置に
は、リング状トレー３の上面から上方に突出する突状部
６１が形成されている。この突状部６１の高さは、支持
部材を支柱２３〜２８の溝部２０内に保持させたときに
その溝部２０の上端よりも高くなるように設定される。
【００１８】リング状トレー３は、各支柱２３〜２８の
溝部２０の高さ位置にて図７（ａ）に示すように前記突
状部６１が支柱２４の溝部２０よりも内側に位置する向
きで支柱２３、２４の間から支柱２３〜２８で囲まれる
領域内に進入し、前記溝部２０内に周縁部が挿入されて
保持される。このときリング状トレー３は突状部６１が
支柱２４の溝部２０の上部の支柱外面に当接する位置ま
で図４及び図７（ｂ）に示す矢印方向に回転させられ
る。リング状トレ−３の切り欠き６と突状部６１とは、
切り欠き６が支柱２３の切り欠き４と共に固定棒挿入領
域を形成したときに、突状部６１が支柱２４に当接する
ような位置関係に設定される。
溝部２０の高さ位置にて図７（ａ）に示すように前記突
状部６１が支柱２４の溝部２０よりも内側に位置する向
きで支柱２３、２４の間から支柱２３〜２８で囲まれる
領域内に進入し、前記溝部２０内に周縁部が挿入されて
保持される。このときリング状トレー３は突状部６１が
支柱２４の溝部２０の上部の支柱外面に当接する位置ま
で図４及び図７（ｂ）に示す矢印方向に回転させられ
る。リング状トレ−３の切り欠き６と突状部６１とは、
切り欠き６が支柱２３の切り欠き４と共に固定棒挿入領
域を形成したときに、突状部６１が支柱２４に当接する
ような位置関係に設定される。
【００１９】こうしてリング状トレー３が支柱２３〜２
８の間に全て配置された後、図７（ｃ）に示すように固
定棒５を天板２１の挿入孔２１ａから挿入し、前記切り
欠き４、６で囲まれる空間を通って底板２２の凹部２２
ａ内に差し込み、この結果各リング状トレー３は、固定
棒５を介して間接的に支柱２３に係止されることになる
と共に、突状部６１が支柱２４に係止される。なお固定
棒５と切り欠き６とは係合しているが、図４では、これ
らの間に便宜上隙間を入れて図示してある。突状部６１
が支柱２４に係止されることにより、支持部材２４が確
実に抜け止めされることになる。
８の間に全て配置された後、図７（ｃ）に示すように固
定棒５を天板２１の挿入孔２１ａから挿入し、前記切り
欠き４、６で囲まれる空間を通って底板２２の凹部２２
ａ内に差し込み、この結果各リング状トレー３は、固定
棒５を介して間接的に支柱２３に係止されることになる
と共に、突状部６１が支柱２４に係止される。なお固定
棒５と切り欠き６とは係合しているが、図４では、これ
らの間に便宜上隙間を入れて図示してある。突状部６１
が支柱２４に係止されることにより、支持部材２４が確
実に抜け止めされることになる。
【００２０】以上のように構成された熱処理用ボート２
は、図１に示すように保温筒３１の上に着脱自在に装着
されており、この保温筒３１はボートエレベータ３２上
に載置されている。この熱処理用ボート２の上方側には
縦型熱処理炉３３が配置されている。３４は縦型熱処理
炉５内の図では見えない反応管内に所定のガスを供給す
るガス供給管、３５は反応管内を排気する排気管であ
る。
は、図１に示すように保温筒３１の上に着脱自在に装着
されており、この保温筒３１はボートエレベータ３２上
に載置されている。この熱処理用ボート２の上方側には
縦型熱処理炉３３が配置されている。３４は縦型熱処理
炉５内の図では見えない反応管内に所定のガスを供給す
るガス供給管、３５は反応管内を排気する排気管であ
る。
【００２１】縦型熱処理装置によるウエハの熱処理につ
いて簡単に説明する。先ず別の領域においてウエハボー
ト２へのウエハＷの受け渡しを行うが、この受け渡し
は、図示しない突上げ機構をリング状トレー３の中を通
過するように上昇させ、搬送アーム上のウエハＷをこの
突上げ機構を介してリング状トレー３の上に載置するこ
とにより行われる。
いて簡単に説明する。先ず別の領域においてウエハボー
ト２へのウエハＷの受け渡しを行うが、この受け渡し
は、図示しない突上げ機構をリング状トレー３の中を通
過するように上昇させ、搬送アーム上のウエハＷをこの
突上げ機構を介してリング状トレー３の上に載置するこ
とにより行われる。
【００２２】このようなウエハＷの受け渡しを例えばウ
エハボート２の上段側から順次行い、ウエハボート１に
所定枚数例えば６３枚搭載した後、ボートエレベータ３
２上の保温筒３１の上にウエハボート２を移載し、ボー
トエレベータ３２を上昇させてウエハＷを縦型熱処理炉
５内にロードする。その後ウエハＷに対して所定の熱処
理が行われる。
エハボート２の上段側から順次行い、ウエハボート１に
所定枚数例えば６３枚搭載した後、ボートエレベータ３
２上の保温筒３１の上にウエハボート２を移載し、ボー
トエレベータ３２を上昇させてウエハＷを縦型熱処理炉
５内にロードする。その後ウエハＷに対して所定の熱処
理が行われる。
【００２３】上述の実施の形態の如く熱処理用ボートを
構成すれば、リング状トレー３を溶接に頼らず簡単にボ
ート本体（支柱２３〜２８、天板２１及び底板２２の組
立て体）に固定（抜け止め）することができ、ＳｉＣな
どのような融点の高い材質を用いた熱処理用ボートの実
用化を図ることができる。また従来溶接が可能であった
石英製の熱処理用ボートに対しても本発明を適用するこ
とにより、リング状トレー３に多少の歪みを伴う溶接の
場合に比べて、リング状トレー３の平坦度を確保するこ
とができ、面内均一性の高い熱処理に容易に対応するこ
とができる。
構成すれば、リング状トレー３を溶接に頼らず簡単にボ
ート本体（支柱２３〜２８、天板２１及び底板２２の組
立て体）に固定（抜け止め）することができ、ＳｉＣな
どのような融点の高い材質を用いた熱処理用ボートの実
用化を図ることができる。また従来溶接が可能であった
石英製の熱処理用ボートに対しても本発明を適用するこ
とにより、リング状トレー３に多少の歪みを伴う溶接の
場合に比べて、リング状トレー３の平坦度を確保するこ
とができ、面内均一性の高い熱処理に容易に対応するこ
とができる。
【００２４】そして固定棒５を支柱２３とリング状トレ
ー３との各切り欠き４、６に合わせ込んで固定するの
で、リング状トレー３が固定棒５を介して支柱２３に固
定される格好になり、このためリング状トレー３のガタ
が抑えられる。また固定棒５をボート本体から抜き取る
ことによりリング状トレー３を取り外すことができるの
で、洗浄を容易に行うことができるという利点もある。
ー３との各切り欠き４、６に合わせ込んで固定するの
で、リング状トレー３が固定棒５を介して支柱２３に固
定される格好になり、このためリング状トレー３のガタ
が抑えられる。また固定棒５をボート本体から抜き取る
ことによりリング状トレー３を取り外すことができるの
で、洗浄を容易に行うことができるという利点もある。
【００２５】上述の実施の形態では、リング状トレー３
の切り欠き６を固定棒挿入部としていたが、図８（ａ）
に示すようにリング状トレー３に固定棒挿入部をなす孔
６２を形成し、この孔６２に固定棒を挿入してリング状
トレーの抜け止めを行ってもよい。この場合はリング状
トレー３は支柱２３に係止されないが、この場合にも抜
け止めの効果はある。
の切り欠き６を固定棒挿入部としていたが、図８（ａ）
に示すようにリング状トレー３に固定棒挿入部をなす孔
６２を形成し、この孔６２に固定棒を挿入してリング状
トレーの抜け止めを行ってもよい。この場合はリング状
トレー３は支柱２３に係止されないが、この場合にも抜
け止めの効果はある。
【００２６】また本発明は図８（ｂ）に示すようにリン
グ状トレー３の相対向する２ヶ所の周縁部に切り欠き６
Ａ、６Ｂを設けると共に、支柱２４側にも前記切り欠き
４と同様の切り欠きを形成し、リング状トレー３の２ヶ
所で夫々固定棒を介して支柱２３、２４に固定するよう
にしてもよい。
グ状トレー３の相対向する２ヶ所の周縁部に切り欠き６
Ａ、６Ｂを設けると共に、支柱２４側にも前記切り欠き
４と同様の切り欠きを形成し、リング状トレー３の２ヶ
所で夫々固定棒を介して支柱２３、２４に固定するよう
にしてもよい。
【００２７】更にウエハを支持する支持部材としては、
リング状トレーに限らず例えば図９に示すように、移載
アームの通過のための切り欠き６２を有する板状の支持
部材６３であってもよい。なお固定棒５と底板２２との
係止構造については、固定棒５を既述のように凹部２２
ａに単に差し込む代りに、螺合させるようにしてもよ
い。
リング状トレーに限らず例えば図９に示すように、移載
アームの通過のための切り欠き６２を有する板状の支持
部材６３であってもよい。なお固定棒５と底板２２との
係止構造については、固定棒５を既述のように凹部２２
ａに単に差し込む代りに、螺合させるようにしてもよ
い。
【００２８】ここで図１０は、本発明の他の実施の形態
に係る熱処理用ボートを示す図であり、図１１、図１２
はこの熱処理用ボートの一部を示す図である。この実施
の形態では、底板７１に４個のネジ穴７２を形成し、こ
れらネジ穴７２内に夫々固定棒８の下端部を螺合させ
る。６本の固定棒８の平面の位置関係は、既述の実施の
形態の支柱２３〜２８の位置関係とほとんど同じであ
る。
に係る熱処理用ボートを示す図であり、図１１、図１２
はこの熱処理用ボートの一部を示す図である。この実施
の形態では、底板７１に４個のネジ穴７２を形成し、こ
れらネジ穴７２内に夫々固定棒８の下端部を螺合させ
る。６本の固定棒８の平面の位置関係は、既述の実施の
形態の支柱２３〜２８の位置関係とほとんど同じであ
る。
【００２９】一方各リング状トレー９には、固定棒８の
挿入部をなす孔９１が６ヶ所に穿設されると共に、リン
グ状トレー９の周縁部の下面側には、奥側中心部及び左
右両側の合計３ヶ所に突起部９２が形成されている。こ
れら突起部９２は、リング状トレー９の上下の配列ピッ
チを確保するためのものであり、左右の突起部９２につ
いては、左右を結ぶ直径よりも手前側に位置させないと
リング状トレー９が前倒しになってしまう一方、手前側
に寄り過ぎるとウエハの移載ができなくなり、従って両
者の兼ね合いで決まる位置に設けられる。
挿入部をなす孔９１が６ヶ所に穿設されると共に、リン
グ状トレー９の周縁部の下面側には、奥側中心部及び左
右両側の合計３ヶ所に突起部９２が形成されている。こ
れら突起部９２は、リング状トレー９の上下の配列ピッ
チを確保するためのものであり、左右の突起部９２につ
いては、左右を結ぶ直径よりも手前側に位置させないと
リング状トレー９が前倒しになってしまう一方、手前側
に寄り過ぎるとウエハの移載ができなくなり、従って両
者の兼ね合いで決まる位置に設けられる。
【００３０】このように構成されたリング状トレー９
は、固定棒８を通して所定のピッチで順次積み上げられ
ていく。即ち下段側のリング状トレー９の上面に、上段
側の突起部９２の下面が支持されることになる。各固定
棒８の上端部はネジ切りされており、必要な枚数のリン
グ状トレー９が積み上げられた後、天板７３の通し穴７
４に固定棒８の上端部を通し、ナット７４により固定棒
８の上端部のネジ切り部に螺合させて締め付け、こうし
て熱処理ボート７が組み立てられる。
は、固定棒８を通して所定のピッチで順次積み上げられ
ていく。即ち下段側のリング状トレー９の上面に、上段
側の突起部９２の下面が支持されることになる。各固定
棒８の上端部はネジ切りされており、必要な枚数のリン
グ状トレー９が積み上げられた後、天板７３の通し穴７
４に固定棒８の上端部を通し、ナット７４により固定棒
８の上端部のネジ切り部に螺合させて締め付け、こうし
て熱処理ボート７が組み立てられる。
【００３１】このような実施の形態においてもリング状
トレー９をボート本体に対して容易に固定（抜け止め）
することができ、既述の効果が得られる。なおリング状
トレー９のピッチを決める突起部９２はリング状トレー
９の上面に設けてもよく、この場合最下段のリング状ト
レー９については上下両面側に突起部を設けるようにす
ればよい。また固定棒挿入部としては孔に限らず、リン
グ状トレーの周縁部に形成した切り欠きでもよい。
トレー９をボート本体に対して容易に固定（抜け止め）
することができ、既述の効果が得られる。なおリング状
トレー９のピッチを決める突起部９２はリング状トレー
９の上面に設けてもよく、この場合最下段のリング状ト
レー９については上下両面側に突起部を設けるようにす
ればよい。また固定棒挿入部としては孔に限らず、リン
グ状トレーの周縁部に形成した切り欠きでもよい。
【００３２】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、被処理基
板を支持する支持部材をボート本体に固定する（ボート
本体から抜けないようにする）にあたり簡単な構造で固
定でき、例えば融点の高い材質を用いて熱処理用ボート
を構成することができる。
板を支持する支持部材をボート本体に固定する（ボート
本体から抜けないようにする）にあたり簡単な構造で固
定でき、例えば融点の高い材質を用いて熱処理用ボート
を構成することができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る熱処理用ボートと縦
型熱処理炉とを示す斜視図である。
型熱処理炉とを示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る熱処理用ボートの全
体を示す斜視図である。
体を示す斜視図である。
【図３】リング状トレーを示す斜視図である。
【図４】リング状トレーが支柱及び固定棒に固定された
状態を示す横断平面図である。
状態を示す横断平面図である。
【図５】リング状トレーが支柱及び固定棒に固定された
状態を示す概略斜視図である。
状態を示す概略斜視図である。
【図６】支柱にリング状トレーが支持された状態を示す
縦断面図である。
縦断面図である。
【図７】リング状トレーをボート本体に取り付ける様子
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図８】リング状トレーの他の例を示す斜視図である。
【図９】支持部材の更に他の例を示す斜視図である。
【図１０】本発明の他の実施の形態に係る熱処理用ボー
トを示す背面図である。
トを示す背面図である。
【図１１】本発明の他の実施の形態に係る熱処理用ボー
トの一部を分解して示す側面図である。
トの一部を分解して示す側面図である。
【図１２】本発明の他の実施の形態に係る熱処理用ボー
トに用いられるリング状トレーを示す斜視図である。
トに用いられるリング状トレーを示す斜視図である。
【図１３】従来の熱処理用ボートを示す斜視図である。
２ 熱処理用ボート ２０ 溝部 ２１ 天板 ２２ 底板 ２３〜２８ 支柱 ３ リング状トレー ４ 切り欠き ５ 固定棒 ６ 切り欠き ６１ 突状部 Ｗ 半導体ウエハ ７ 熱処理用ボート ７１ 底板 ７３ 天板 ８ 固定棒 ９ リング状トレー ９１ 孔 ９２ 突起部
Claims (4)
- 【請求項１】 保持部が上下方向に間隔をおいて形成さ
れた複数の支柱に、各々ほぼ水平になるように多数の被
処理基板の支持部材を前記保持部により保持させ、被処
理基板を夫々前記支持部材に支持させて縦型熱処理炉内
に搬入出する熱処理用ボ−トにおいて、 前記支持部材に上面から下面に抜けるように形成された
切り欠きまたは孔よりなる固定棒挿入部と、 前記支柱に保持された上段側の支持部材から下段側の支
持部材に亘って前記固定棒挿入部に挿入され、支持部材
を係止するための固定棒と、を備えたことを特徴とする
熱処理用ボ−ト。 - 【請求項２】 保持部が上下方向に間隔をおいて形成さ
れた複数の支柱に、各々ほぼ水平になるように多数の被
処理基板の支持部材を前記保持部により保持させ、被処
理基板を夫々前記支持部材に支持させて縦型熱処理炉内
に搬入出する熱処理用ボ−トにおいて、 前記支持部材の周縁部に、固定棒の一部と係合する形状
の切り欠き部を形成すると共に、前記支柱の上端部から
下端部に亘って伸び、固定棒の一部と係合する形状の切
り欠き部を形成し、前記支持部材の切り欠き部と前記支
柱の切り欠き部とにより囲まれる空間に、上端の支持部
材から下端の支持部材に亘って固定棒を挿入し、これに
より支持部材を前記固定棒を介して支柱に係止するよう
に構成したことを特徴とする熱処理用ボ−ト。 - 【請求項３】 支持部材に突状部を設け、前記支持部材
を各支柱により保持される位置まで挿入した後、支柱の
並びに沿って回転させたときに、前記突状部が支柱に係
止されるように構成したことを特徴とする請求項１また
は２記載の熱処理用ボ−ト。 - 【請求項４】 多数の被処理基板を夫々支持部材に載せ
てほぼ水平になるようにかつ上下に互いに間隔をおいて
保持して縦型熱処理炉内に搬入出する熱処理用ボ−トに
おいて、 前記支持部材の周縁部に上面から下面に抜けるように形
成された切り欠きまたは孔よりなる複数の固定棒挿入部
と、 前記支持部材の周縁部に設けられ、隣接する支持部材に
当接して支持部材同士の上下間隔を形成するための突起
部と、 前記支持部材の各々の前記固定棒挿入部に上段側の支持
部材から下段側の支持部材に亘って挿入された複数の固
定棒と、を備えたことを特徴とする熱処理用ボ−ト。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06923896A JP3388668B2 (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 熱処理用ボ−ト及び縦型熱処理装置 |
| US09/125,796 US6062853A (en) | 1996-02-29 | 1997-02-25 | Heat-treating boat for semiconductor wafers |
| PCT/JP1997/000526 WO1997032339A1 (fr) | 1996-02-29 | 1997-02-25 | Nacelle de traitement thermique pour plaquette de semi-conducteur |
| EP97904629A EP0884769A1 (en) | 1996-02-29 | 1997-02-25 | Heat-treating boat for semiconductor wafer |
| KR1019980705497A KR19990077350A (ko) | 1996-02-29 | 1997-02-25 | 반도체웨이퍼의 열처리용 보트 |
| TW086102403A TW324838B (en) | 1996-02-29 | 1997-02-27 | Thermal processing boat for semiconductor wafer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06923896A JP3388668B2 (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 熱処理用ボ−ト及び縦型熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09237781A true JPH09237781A (ja) | 1997-09-09 |
| JP3388668B2 JP3388668B2 (ja) | 2003-03-24 |
Family
ID=13396981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06923896A Expired - Fee Related JP3388668B2 (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 熱処理用ボ−ト及び縦型熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3388668B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1256975A2 (en) | 2001-05-11 | 2002-11-13 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Vertical type wafer supporting jig |
| JP2003521109A (ja) * | 1999-10-05 | 2003-07-08 | ジーコ・プロドゥクツィオーンス−ウント・ハンデルスゲゼルシャフト・エム・ベー・ハー | 半導体ウエハ用保持装置 |
| KR20030087285A (ko) * | 2002-05-08 | 2003-11-14 | 동부전자 주식회사 | 반도체 공정 장비의 링형 보트 탑 커버 |
| JP2003332250A (ja) * | 2002-03-15 | 2003-11-21 | Asm Internatl Nv | 炉内でウェハをバッチ処理するための方法および装置 |
| US6966771B2 (en) | 2001-12-27 | 2005-11-22 | Tokyo Electron Limited | Boat for heat treatment and vertical heat treatment equipment |
| US7077913B2 (en) | 2002-01-17 | 2006-07-18 | Hitachi Kokusai Electric, Inc. | Apparatus for fabricating a semiconductor device |
| JP2007027159A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
| JP2009500850A (ja) * | 2005-07-08 | 2009-01-08 | インテグレイティッド マテリアルズ インク | 熱処理支持タワー用の着脱可能なエッジリング |
| CN111599735A (zh) * | 2019-02-21 | 2020-08-28 | 光洋热系统股份有限公司 | 基板支承装置 |
-
1996
- 1996-02-29 JP JP06923896A patent/JP3388668B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003521109A (ja) * | 1999-10-05 | 2003-07-08 | ジーコ・プロドゥクツィオーンス−ウント・ハンデルスゲゼルシャフト・エム・ベー・ハー | 半導体ウエハ用保持装置 |
| EP1256975A2 (en) | 2001-05-11 | 2002-11-13 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Vertical type wafer supporting jig |
| US6796439B2 (en) | 2001-05-11 | 2004-09-28 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Vertical type wafer supporting jig |
| US6966771B2 (en) | 2001-12-27 | 2005-11-22 | Tokyo Electron Limited | Boat for heat treatment and vertical heat treatment equipment |
| US7077913B2 (en) | 2002-01-17 | 2006-07-18 | Hitachi Kokusai Electric, Inc. | Apparatus for fabricating a semiconductor device |
| JP2003332250A (ja) * | 2002-03-15 | 2003-11-21 | Asm Internatl Nv | 炉内でウェハをバッチ処理するための方法および装置 |
| JP4575647B2 (ja) * | 2002-03-15 | 2010-11-04 | エーエスエム インターナショナル エヌ．ヴェー． | 炉内でウェハをバッチ処理するための方法および装置 |
| KR20030087285A (ko) * | 2002-05-08 | 2003-11-14 | 동부전자 주식회사 | 반도체 공정 장비의 링형 보트 탑 커버 |
| JP2009500850A (ja) * | 2005-07-08 | 2009-01-08 | インテグレイティッド マテリアルズ インク | 熱処理支持タワー用の着脱可能なエッジリング |
| JP2007027159A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
| CN111599735A (zh) * | 2019-02-21 | 2020-08-28 | 光洋热系统股份有限公司 | 基板支承装置 |
| JP2020136538A (ja) * | 2019-02-21 | 2020-08-31 | 光洋サーモシステム株式会社 | 基板支持装置 |
| CN111599735B (zh) * | 2019-02-21 | 2023-08-15 | 捷太格特热系统株式会社 | 基板支承装置 |
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|---|---|
| JP3388668B2 (ja) | 2003-03-24 |
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