JPH05235156A - 縦型炉用ボート - Google Patents
縦型炉用ボートInfo
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- JPH05235156A JPH05235156A JP4072685A JP7268592A JPH05235156A JP H05235156 A JPH05235156 A JP H05235156A JP 4072685 A JP4072685 A JP 4072685A JP 7268592 A JP7268592 A JP 7268592A JP H05235156 A JPH05235156 A JP H05235156A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、熱処理時において、自重によるウ
エハの撓みを抑えることによりウエハが反らない縦型炉
用ボートを提供する。 【構成】 複数本の支柱１１〜１４と、各支柱１１〜１
４に対してほぼ直角になる状態にかつ互いに平行になる
状態に当該各支柱１１〜１４に設けた複数の支持板１７
とよりなるものである。あるいは支持板１７に、ウエハ
１００を搬送するウエハ搬送装置の搬送用アーム（図示
せず）が遊挿可能な遊挿部（図示せず）を形成したもの
である。または支持板１７のウエハ１００を載置する側
の面に複数の突起（図示せず）を設けたものであるか、
あるいは支持板１７に複数の孔（図示せず）を設けたも
のである。
エハの撓みを抑えることによりウエハが反らない縦型炉
用ボートを提供する。 【構成】 複数本の支柱１１〜１４と、各支柱１１〜１
４に対してほぼ直角になる状態にかつ互いに平行になる
状態に当該各支柱１１〜１４に設けた複数の支持板１７
とよりなるものである。あるいは支持板１７に、ウエハ
１００を搬送するウエハ搬送装置の搬送用アーム（図示
せず）が遊挿可能な遊挿部（図示せず）を形成したもの
である。または支持板１７のウエハ１００を載置する側
の面に複数の突起（図示せず）を設けたものであるか、
あるいは支持板１７に複数の孔（図示せず）を設けたも
のである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置の縦型
熱処理炉等に用いる縦型炉用ボートに関するものであ
る。
熱処理炉等に用いる縦型炉用ボートに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の縦型炉用ボートを図８の斜視図に
より説明する。図に示すように、支柱支持部８１，８２
間には４本の支柱８３，８４，８５，８６が支持されて
いる。支柱８３，８６間の距離はウエハ１００（２点鎖
線で示す部分）の径よりやや小さくなっている。また各
支柱８３〜８６には、ウエハ１００を載置するための複
数のウエハ載置用溝８７，８８，８９，９０が形成され
ている。上記の如くに構成されている縦型炉用ボート８
０にウエハ１００を収納するには、各支柱８３〜８６に
対してウエハ１００のウエハ面を直角にした状態で、当
該ウエハ載置用溝８７〜９０にウエハ１００の周縁部の
一部分を挿入する。そしてウエハ１００を各ウエハ載置
用溝８７〜９０によって支持する。
より説明する。図に示すように、支柱支持部８１，８２
間には４本の支柱８３，８４，８５，８６が支持されて
いる。支柱８３，８６間の距離はウエハ１００（２点鎖
線で示す部分）の径よりやや小さくなっている。また各
支柱８３〜８６には、ウエハ１００を載置するための複
数のウエハ載置用溝８７，８８，８９，９０が形成され
ている。上記の如くに構成されている縦型炉用ボート８
０にウエハ１００を収納するには、各支柱８３〜８６に
対してウエハ１００のウエハ面を直角にした状態で、当
該ウエハ載置用溝８７〜９０にウエハ１００の周縁部の
一部分を挿入する。そしてウエハ１００を各ウエハ載置
用溝８７〜９０によって支持する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
造の縦型炉用ボートに収納されるウエハは、各支柱に形
成したウエハ載置用溝によって支持される。このため、
例えば石英ウエハをおよそ１１００℃の温度で熱処理し
た場合には、ウエハの自重によってウエハ中心部が降下
する。このためウエハは撓んで反る。特に大口径ウエハ
（例えばウエハ径が８インチ以上のもの）では、反り量
が非常に大きくなる。このため、当該熱処理を行ったウ
エハに、例えばホトリソグラフィー工程を行うと、ウエ
ハの中心部とその周辺部とでは、露光光線の焦点位置が
ずれるので、解像度に優れた露光ができない。また例え
ばエッチング装置でエッチングを行う場合には、ウエハ
とエッチング装置のウエハステージとの間に隙間が生じ
るので、異常放電によるエッチング不良が発生する。こ
のように、熱処理によってウエハが反ることにより、さ
まざまな問題が生じる。
造の縦型炉用ボートに収納されるウエハは、各支柱に形
成したウエハ載置用溝によって支持される。このため、
例えば石英ウエハをおよそ１１００℃の温度で熱処理し
た場合には、ウエハの自重によってウエハ中心部が降下
する。このためウエハは撓んで反る。特に大口径ウエハ
（例えばウエハ径が８インチ以上のもの）では、反り量
が非常に大きくなる。このため、当該熱処理を行ったウ
エハに、例えばホトリソグラフィー工程を行うと、ウエ
ハの中心部とその周辺部とでは、露光光線の焦点位置が
ずれるので、解像度に優れた露光ができない。また例え
ばエッチング装置でエッチングを行う場合には、ウエハ
とエッチング装置のウエハステージとの間に隙間が生じ
るので、異常放電によるエッチング不良が発生する。こ
のように、熱処理によってウエハが反ることにより、さ
まざまな問題が生じる。
【０００４】そこで、上記課題を解決しようとして、ウ
エハの支持部分に円環状の支持板を設けて、この円環状
の支持板でウエハの周縁部を支持する縦型炉用ボートが
提案されている。または、Ｘ字状に形成したウエハ支持
部を設けた縦型炉用ボートが提案されている。しかしな
がら、上記いずれの縦型炉用ボートも１１００℃程度の
温度でウエハを熱処理した場合には、ウエハは自重によ
って撓む。そして、この状態でウエハを冷却するとウエ
ハは反る。またＸ字状に形成したウエハ支持部を設けた
ものでは、縦型炉用ボートに対して、ウエハ搬送装置で
ウエハを出し入れする場合に、ウエハ自動搬送装置の搬
送用アームがウエハ支持部に衝突する。このため、ウエ
ハの出し入れができない。
エハの支持部分に円環状の支持板を設けて、この円環状
の支持板でウエハの周縁部を支持する縦型炉用ボートが
提案されている。または、Ｘ字状に形成したウエハ支持
部を設けた縦型炉用ボートが提案されている。しかしな
がら、上記いずれの縦型炉用ボートも１１００℃程度の
温度でウエハを熱処理した場合には、ウエハは自重によ
って撓む。そして、この状態でウエハを冷却するとウエ
ハは反る。またＸ字状に形成したウエハ支持部を設けた
ものでは、縦型炉用ボートに対して、ウエハ搬送装置で
ウエハを出し入れする場合に、ウエハ自動搬送装置の搬
送用アームがウエハ支持部に衝突する。このため、ウエ
ハの出し入れができない。
【０００５】本発明は、熱処理時に生じる自重によるウ
エハの撓みを抑えた縦型炉用ボートを提供することを目
的とする。
エハの撓みを抑えた縦型炉用ボートを提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたものである。すなわち、複数本の
支柱と、各支柱に対してほぼ直角になる状態にかつ互い
に平行になる状態に当該各支柱に設けた複数の支持板と
よりなるものである。あるいは上記構成の縦型炉用ボー
トの支持板に、ウエハを搬送するウエハ搬送装置の搬送
用アームが遊挿自在な遊挿部を形成したものである。ま
たは上記縦型炉用ボートにおける支持板のウエハを載置
する側の面に複数の突起を設けたものである。あるいは
支持板に複数の孔を形成したものである。
成するためになされたものである。すなわち、複数本の
支柱と、各支柱に対してほぼ直角になる状態にかつ互い
に平行になる状態に当該各支柱に設けた複数の支持板と
よりなるものである。あるいは上記構成の縦型炉用ボー
トの支持板に、ウエハを搬送するウエハ搬送装置の搬送
用アームが遊挿自在な遊挿部を形成したものである。ま
たは上記縦型炉用ボートにおける支持板のウエハを載置
する側の面に複数の突起を設けたものである。あるいは
支持板に複数の孔を形成したものである。
【０００７】
【作用】上記構成の縦型炉用ボートには、ウエハの被支
持面の全面にわたってウエハを支持する支持板が設けら
れているので、ウエハを例えば１０００℃〜１２００℃
程度の高温で熱処理しても、ウエハは支持板によって支
持されて自重による撓みを生じない。よって熱処理後の
ウエハは反らない。上記支持板に搬送用アームの遊挿部
を形成したので、支持板にウエハを載置したり、載置し
たウエハを支持板より他の位置に搬送したりするのを、
ウエハ搬送装置によって行える。上記支持板のウエハを
載置する側の面に複数の突起を設けたことにより、ある
いは上記支持板に複数の孔を設けたことにより、熱処理
時におけるウエハの加熱速度または冷却速度は、ウエハ
の熱伝導率と支持板の熱伝導率との差による影響をほと
んど受けない。
持面の全面にわたってウエハを支持する支持板が設けら
れているので、ウエハを例えば１０００℃〜１２００℃
程度の高温で熱処理しても、ウエハは支持板によって支
持されて自重による撓みを生じない。よって熱処理後の
ウエハは反らない。上記支持板に搬送用アームの遊挿部
を形成したので、支持板にウエハを載置したり、載置し
たウエハを支持板より他の位置に搬送したりするのを、
ウエハ搬送装置によって行える。上記支持板のウエハを
載置する側の面に複数の突起を設けたことにより、ある
いは上記支持板に複数の孔を設けたことにより、熱処理
時におけるウエハの加熱速度または冷却速度は、ウエハ
の熱伝導率と支持板の熱伝導率との差による影響をほと
んど受けない。
【０００８】
【実施例】本発明の第１の実施例を図１に示す概略斜視
図により説明する。図に示すように、複数本の支柱１
１，１２，１３，１４が、各支柱１１〜１４の両端に設
けた支柱支持部１５，１６によって支持されている。各
支柱１１〜１４と支柱支持部１５，１６とは、例えば耐
熱性材料でかつウエハ１００（２点鎖線で示す部分）が
不純物汚染を起こさない材料（例えば多結晶シリコンま
たは炭化ケイ素セラミックス等）で形成されている。
図により説明する。図に示すように、複数本の支柱１
１，１２，１３，１４が、各支柱１１〜１４の両端に設
けた支柱支持部１５，１６によって支持されている。各
支柱１１〜１４と支柱支持部１５，１６とは、例えば耐
熱性材料でかつウエハ１００（２点鎖線で示す部分）が
不純物汚染を起こさない材料（例えば多結晶シリコンま
たは炭化ケイ素セラミックス等）で形成されている。
【０００９】上記各支柱１１〜１４には、当該各支柱１
１〜１４に対してほぼ直角になる状態に、複数の支持板
１７が等間隔にかつ平行に設けられている。なお図で
は、複数の支持板１７の一部（１点鎖線で示す部分）は
省略して示す。上記各支持板１７の間隔は、例えばウエ
ハ搬送装置の搬送用アーム（図示せず）が挿入可能な間
隔に形成されている。上記支持板１７は、例えば円板状
をなしていて、例えば耐熱性材料でかつウエハ１００が
不純物汚染を起こさない材料（例えば多結晶シリコンま
たは炭化ケイ素セラミックス等）で形成されている。
１〜１４に対してほぼ直角になる状態に、複数の支持板
１７が等間隔にかつ平行に設けられている。なお図で
は、複数の支持板１７の一部（１点鎖線で示す部分）は
省略して示す。上記各支持板１７の間隔は、例えばウエ
ハ搬送装置の搬送用アーム（図示せず）が挿入可能な間
隔に形成されている。上記支持板１７は、例えば円板状
をなしていて、例えば耐熱性材料でかつウエハ１００が
不純物汚染を起こさない材料（例えば多結晶シリコンま
たは炭化ケイ素セラミックス等）で形成されている。
【００１０】またウエハ１００を出し入れする側の上記
支持板１７のウエハ載置面１８には、支持板１７上に載
置したウエハ１００の位置ずれを防止するためのウエハ
止め部１９を設けることも可能である。このウエハ止め
部１９は、複数箇所に設けることも可能である。または
ウエハ載置面１８を凹ませた状態に形成して、ウエハの
位置ずれを防止することも可能である。上記の如くに、
縦型炉用ボート１０は構成される。
支持板１７のウエハ載置面１８には、支持板１７上に載
置したウエハ１００の位置ずれを防止するためのウエハ
止め部１９を設けることも可能である。このウエハ止め
部１９は、複数箇所に設けることも可能である。または
ウエハ載置面１８を凹ませた状態に形成して、ウエハの
位置ずれを防止することも可能である。上記の如くに、
縦型炉用ボート１０は構成される。
【００１１】上記構成の縦型炉用ボート１０では、ウエ
ハ１００の被支持面が全面にわたって支持板１７のウエ
ハ載置面１８によって支持されるので、ウエハ１００を
１０００℃〜１２００℃程度の高温で熱処理しても、ウ
エハ１００は自重による撓みを生じない。このため、ウ
エハ１００に撓みを生じることなく、大口径ウエハ（例
えば口径が８インチ以上のウエハ）の熱処理が行える。
したがって熱処理後のウエハ１００は反らないので、従
来の縦型炉用ボートを用いた場合よりもウエハ１００の
形状的信頼性は高まる。また支持板１７は、ウエハ１０
０が不純物汚染を起こさない材料で形成されているの
で、熱処理によってウエハ１００は不純物に汚染されな
い。このため、ウエハ１００の電気的特性の信頼性が損
なわれない。
ハ１００の被支持面が全面にわたって支持板１７のウエ
ハ載置面１８によって支持されるので、ウエハ１００を
１０００℃〜１２００℃程度の高温で熱処理しても、ウ
エハ１００は自重による撓みを生じない。このため、ウ
エハ１００に撓みを生じることなく、大口径ウエハ（例
えば口径が８インチ以上のウエハ）の熱処理が行える。
したがって熱処理後のウエハ１００は反らないので、従
来の縦型炉用ボートを用いた場合よりもウエハ１００の
形状的信頼性は高まる。また支持板１７は、ウエハ１０
０が不純物汚染を起こさない材料で形成されているの
で、熱処理によってウエハ１００は不純物に汚染されな
い。このため、ウエハ１００の電気的特性の信頼性が損
なわれない。
【００１２】次に本発明の第２の実施例を図２に示す概
略斜視図により説明する。図では、前記第１の実施例で
説明したと同様の構成部品には、同一番号を付す。図に
示すように、この縦型炉用ボート３０は、上記第１の実
施例で説明した縦型炉用ボート（１０）における各支持
板１７のウエハ１００の出し入れ側に、ウエハ１００を
自動搬送するためのウエハ搬送装置の搬送用アーム（図
示せず）を遊挿可能にする遊挿部２０を形成したもので
ある。各遊挿部２０は、例えばＴ字形状に形成されてい
る。なお図では、複数の支持板１７の一部（１点鎖線で
示す部分）は省略して示す。
略斜視図により説明する。図では、前記第１の実施例で
説明したと同様の構成部品には、同一番号を付す。図に
示すように、この縦型炉用ボート３０は、上記第１の実
施例で説明した縦型炉用ボート（１０）における各支持
板１７のウエハ１００の出し入れ側に、ウエハ１００を
自動搬送するためのウエハ搬送装置の搬送用アーム（図
示せず）を遊挿可能にする遊挿部２０を形成したもので
ある。各遊挿部２０は、例えばＴ字形状に形成されてい
る。なお図では、複数の支持板１７の一部（１点鎖線で
示す部分）は省略して示す。
【００１３】上記遊挿部２０はＴ字形状に限定されるこ
とはなく、例えば、図３の（１），（２）の平面図に示
すような種々の形状に形成することが可能である。図の
（１）に示す支持板１７の遊挿部２０は、当該支持板１
７のウエハ１００（２点鎖線で示す部分）の出し入れ側
の複数か所（例えば２か所）にスリット状に形成されて
いる。また図の（２）に示す支持板１７の遊挿部２０
は、当該支持板１７のウエハ１００（２点鎖線で示す部
分）の出し入れ側にＩ字形状に形成されている。
とはなく、例えば、図３の（１），（２）の平面図に示
すような種々の形状に形成することが可能である。図の
（１）に示す支持板１７の遊挿部２０は、当該支持板１
７のウエハ１００（２点鎖線で示す部分）の出し入れ側
の複数か所（例えば２か所）にスリット状に形成されて
いる。また図の（２）に示す支持板１７の遊挿部２０
は、当該支持板１７のウエハ１００（２点鎖線で示す部
分）の出し入れ側にＩ字形状に形成されている。
【００１４】上記支持板１７に搬送用アームの遊挿部２
０を形成したことにより、支持板１７上にウエハ１００
を載置したり、載置したウエハ１００を支持板１７より
他の位置に搬送したりするのを、ウエハ搬送装置（図示
せず）によって行える。
０を形成したことにより、支持板１７上にウエハ１００
を載置したり、載置したウエハ１００を支持板１７より
他の位置に搬送したりするのを、ウエハ搬送装置（図示
せず）によって行える。
【００１５】次にウエハ搬送装置の一例を、図４に示す
概略斜視図により説明する。図に示すように、ウエハ搬
送装置６０は、例えば前記図２により説明した縦型炉用
ボート（３０）の支持板１７にウエハ１００（２点鎖線
で示す部分）を載置する、またはウエハ１００を搬送す
るための搬送用アーム６１とこの搬送用アーム６１を駆
動する駆動部６２とよりなるものである。上記搬送用ア
ーム６１は、駆動部６２によって矢印ア方向に回動自在
に駆動されるとともに矢印カ方向に昇降される第１アー
ム６３と、この第１アーム６３に対して矢印イ方向に回
動自在に駆動される第２アーム６４とよりなる。
概略斜視図により説明する。図に示すように、ウエハ搬
送装置６０は、例えば前記図２により説明した縦型炉用
ボート（３０）の支持板１７にウエハ１００（２点鎖線
で示す部分）を載置する、またはウエハ１００を搬送す
るための搬送用アーム６１とこの搬送用アーム６１を駆
動する駆動部６２とよりなるものである。上記搬送用ア
ーム６１は、駆動部６２によって矢印ア方向に回動自在
に駆動されるとともに矢印カ方向に昇降される第１アー
ム６３と、この第１アーム６３に対して矢印イ方向に回
動自在に駆動される第２アーム６４とよりなる。
【００１６】上記第２アーム６４は、上記支持板１７に
形成した遊挿部２０に対して、例えば当該支持板１７の
上方側より下方側（または下方側より上方側）に遊挿可
能な形状に形成されている。例えば前記図２で説明した
ように、遊挿部２０がＴ字形状に形成されている場合に
は、この遊挿部２０に接触しない状態に、支持板１７の
上方より下方に、またはその逆の方向に遊挿可能な形状
として、例えば、当該搬送用アーム６１は遊挿部２０よ
りもやや小さい大きさのＴ字形状に形成される。
形成した遊挿部２０に対して、例えば当該支持板１７の
上方側より下方側（または下方側より上方側）に遊挿可
能な形状に形成されている。例えば前記図２で説明した
ように、遊挿部２０がＴ字形状に形成されている場合に
は、この遊挿部２０に接触しない状態に、支持板１７の
上方より下方に、またはその逆の方向に遊挿可能な形状
として、例えば、当該搬送用アーム６１は遊挿部２０よ
りもやや小さい大きさのＴ字形状に形成される。
【００１７】このように遊挿部２０に遊挿可能な形状に
搬送用アーム６１を形成したことにより、遊挿部２０の
形状を最小限の大きさに形成することが可能になる。し
たがって、支持板１７に遊挿部２０を形成しても、ウエ
ハ１００を熱処理する時に、ウエハ１００は遊挿部２０
で自重による撓みをほとんど生じない。
搬送用アーム６１を形成したことにより、遊挿部２０の
形状を最小限の大きさに形成することが可能になる。し
たがって、支持板１７に遊挿部２０を形成しても、ウエ
ハ１００を熱処理する時に、ウエハ１００は遊挿部２０
で自重による撓みをほとんど生じない。
【００１８】上記ウエハ搬送装置６０でウエハ１００を
図２で説明した支持板１７に載置するには、第２アーム
６４上にウエハ１００を載置した状態で、ウエハ１００
を支持板１７上に移送する。そして第２アーム６４を遊
挿部２０に通して当該支持板１７の下方側に移動する。
このとき、ウエハ１００は第２アーム６４より離れて支
持板１７のウエハ載置面１８上に載置される。支持板１
７のウエハ載置面１８上に載置されているウエハ１００
を所定位置に搬送する場合には、まず第２アーム６４を
当該支持板１７の下方側より遊挿部２０を通して当該支
持板１７の上方側に上昇させる。このときウエハ１００
はウエハ載置面１８より離れて第２アーム６４に載置さ
れる。そして第２アーム６４と第１アーム６３とを駆動
してウエハ１００を所望の位置に搬送する。
図２で説明した支持板１７に載置するには、第２アーム
６４上にウエハ１００を載置した状態で、ウエハ１００
を支持板１７上に移送する。そして第２アーム６４を遊
挿部２０に通して当該支持板１７の下方側に移動する。
このとき、ウエハ１００は第２アーム６４より離れて支
持板１７のウエハ載置面１８上に載置される。支持板１
７のウエハ載置面１８上に載置されているウエハ１００
を所定位置に搬送する場合には、まず第２アーム６４を
当該支持板１７の下方側より遊挿部２０を通して当該支
持板１７の上方側に上昇させる。このときウエハ１００
はウエハ載置面１８より離れて第２アーム６４に載置さ
れる。そして第２アーム６４と第１アーム６３とを駆動
してウエハ１００を所望の位置に搬送する。
【００１９】次に本発明の第３の実施例を図５の概略斜
視図と図６の支持板の部分拡大断面図とにより説明す
る。なお各図では、前記第１の実施例で説明したと同様
の構成部品には、同一番号を付す。図５に示すように、
縦型炉用ボート４０は、前記第１の実施例で説明した縦
型炉用ボート（１０）における支持板１７のウエハ１０
０を載置する側の全面にわたって、複数の突起２１を例
えば等間隔に設けたものである。上記各突起２１は、熱
処理時に、ウエハ１００（２点鎖線で示す部分）に撓み
を生じさせない間隔に配設される。なお図面において、
破線で囲む部分の複数の突起２１は、その一部分を省略
して示す。
視図と図６の支持板の部分拡大断面図とにより説明す
る。なお各図では、前記第１の実施例で説明したと同様
の構成部品には、同一番号を付す。図５に示すように、
縦型炉用ボート４０は、前記第１の実施例で説明した縦
型炉用ボート（１０）における支持板１７のウエハ１０
０を載置する側の全面にわたって、複数の突起２１を例
えば等間隔に設けたものである。上記各突起２１は、熱
処理時に、ウエハ１００（２点鎖線で示す部分）に撓み
を生じさせない間隔に配設される。なお図面において、
破線で囲む部分の複数の突起２１は、その一部分を省略
して示す。
【００２０】図６に示すように、各突起２１の上端面の
全ては、同一の任意の平坦面７０（１点鎖線で示す部
分）に接触可能な状態に形成されている。したがって、
各突起２１上にウエハ（１００）を載置した場合には、
各突起２１の全てにウエハ（１００）の面に接触する状
態になる。また、前記第２の実施例で説明した縦型炉用
ボート（３０）における支持板（１７）のウエハ載置面
（１８）の全面にわたって、複数の突起（２１）を例え
ば等間隔に設けることも可能である。
全ては、同一の任意の平坦面７０（１点鎖線で示す部
分）に接触可能な状態に形成されている。したがって、
各突起２１上にウエハ（１００）を載置した場合には、
各突起２１の全てにウエハ（１００）の面に接触する状
態になる。また、前記第２の実施例で説明した縦型炉用
ボート（３０）における支持板（１７）のウエハ載置面
（１８）の全面にわたって、複数の突起（２１）を例え
ば等間隔に設けることも可能である。
【００２１】上記図５および図６により説明したよう
に、支持板１７のウエハ載置面１８に複数の突起２１を
設けたので、ウエハ１００の被支持面に接触する部分の
面積が少なくなる。このため、ウエハ１００を熱処理し
たときに、ウエハ１００の加熱速度または冷却速度は、
ウエハ１００の熱伝導率と支持板１７の熱伝導率との差
による影響をほとんど受けなくなる。
に、支持板１７のウエハ載置面１８に複数の突起２１を
設けたので、ウエハ１００の被支持面に接触する部分の
面積が少なくなる。このため、ウエハ１００を熱処理し
たときに、ウエハ１００の加熱速度または冷却速度は、
ウエハ１００の熱伝導率と支持板１７の熱伝導率との差
による影響をほとんど受けなくなる。
【００２２】次に本発明の第４の実施例を図７の概略斜
視図により説明する。なお各図では、前記第１の実施例
で説明したと同様の構成部品には、同一番号を付す。図
７に示すように、縦型炉用ボート５０は、前記第１の実
施例で説明した縦型炉用ボート（１０）における支持板
１７のウエハ載置面１８の全面にわたって、複数の孔２
２を例えば等間隔に設けたものである。上記各孔２２
は、熱処理時に、ウエハ１００にほとんど撓みを生じさ
せない間隔に配設される。なお図面において、破線で囲
む部分の複数の孔２２は、その一部分を省略して示す。
または前記第２の実施例で説明した縦型炉用ボート（３
０）における支持板（１７）のウエハ載置面（１８）の
全面にわたって、複数の孔（２２）を例えば等間隔に設
けることも可能である。
視図により説明する。なお各図では、前記第１の実施例
で説明したと同様の構成部品には、同一番号を付す。図
７に示すように、縦型炉用ボート５０は、前記第１の実
施例で説明した縦型炉用ボート（１０）における支持板
１７のウエハ載置面１８の全面にわたって、複数の孔２
２を例えば等間隔に設けたものである。上記各孔２２
は、熱処理時に、ウエハ１００にほとんど撓みを生じさ
せない間隔に配設される。なお図面において、破線で囲
む部分の複数の孔２２は、その一部分を省略して示す。
または前記第２の実施例で説明した縦型炉用ボート（３
０）における支持板（１７）のウエハ載置面（１８）の
全面にわたって、複数の孔（２２）を例えば等間隔に設
けることも可能である。
【００２３】上記図７によって説明したように、支持板
１７に複数の孔２２を設けたので、ウエハ１００の被支
持面に接触する部分の面積が少なくなる。このため、ウ
エハ１００を熱処理したときに、ウエハ１００の加熱速
度または冷却速度は、ウエハ１００の熱伝導率と支持板
１７の熱伝導率との差による影響をほとんど受けない。
１７に複数の孔２２を設けたので、ウエハ１００の被支
持面に接触する部分の面積が少なくなる。このため、ウ
エハ１００を熱処理したときに、ウエハ１００の加熱速
度または冷却速度は、ウエハ１００の熱伝導率と支持板
１７の熱伝導率との差による影響をほとんど受けない。
【００２４】
【発明の効果】以上、説明したように請求項１の発明に
よれば、縦型炉用ボートに、ウエハの被支持面を全面に
わたって支持する支持板を設けたことにより、ウエハを
高温で熱処理しても、ウエハは自重による撓みを生じな
い。したがって、熱処理後のウエハは反りを生じないの
で、熱処理後のウエハの加工を高精度に行うことが可能
になる。また熱処理によってウエハの信頼性が低下しな
い。請求項２の発明によれば、支持板に遊挿部を形成し
たので、縦型炉用ボートに対するウエハの出し入れをウ
エハ搬送装置によって行うことが可能になる。
よれば、縦型炉用ボートに、ウエハの被支持面を全面に
わたって支持する支持板を設けたことにより、ウエハを
高温で熱処理しても、ウエハは自重による撓みを生じな
い。したがって、熱処理後のウエハは反りを生じないの
で、熱処理後のウエハの加工を高精度に行うことが可能
になる。また熱処理によってウエハの信頼性が低下しな
い。請求項２の発明によれば、支持板に遊挿部を形成し
たので、縦型炉用ボートに対するウエハの出し入れをウ
エハ搬送装置によって行うことが可能になる。
【００２５】請求項３の発明によれば、支持板のウエハ
載置面に複数の突起を設けたことにより、ウエハを支持
する部分の面積が小さくなる。また請求項４の発明によ
れば、支持板に複数の孔を設けたことにより、ウエハと
支持板との接触面積が小さくなる。このため熱処理時の
ウエハの加熱速度または冷却速度は、ウエハの熱伝導率
と支持板の熱伝導率との差にほとんど影響を受けない。
したがって、熱処理の信頼性が高まる。
載置面に複数の突起を設けたことにより、ウエハを支持
する部分の面積が小さくなる。また請求項４の発明によ
れば、支持板に複数の孔を設けたことにより、ウエハと
支持板との接触面積が小さくなる。このため熱処理時の
ウエハの加熱速度または冷却速度は、ウエハの熱伝導率
と支持板の熱伝導率との差にほとんど影響を受けない。
したがって、熱処理の信頼性が高まる。
【図１】第１の実施例の概略斜視図である。
【図２】第２の実施例の概略斜視図である。
【図３】遊挿部の形状を説明する平面図である。
【図４】ウエハ搬送装置の概略斜視図である。
【図５】第３の実施例の概略斜視図である。
【図６】第３の実施例における支持板の部分拡大断面図
である。
である。
【図７】第４の実施例の概略斜視図である。
【図８】従来例の斜視図である。
１０ 縦型炉用ボート １１ 支柱 １２ 支柱 １３ 支柱 １４ 支柱 １７ 支持板 １８ ウエハ載置面 ２０ 遊挿部 ２１ 突起 ２２ 孔 ３０ 縦型炉用ボート ４０ 縦型炉用
ボート ５０ 縦型炉用ボート
ボート ５０ 縦型炉用ボート
Claims (4)
- 【請求項１】 複数本の支柱と、 前記各支柱に対してほぼ直角になる状態にかつ互いに平
行になる状態に、当該各支柱に設けた複数の支持板とよ
りなることを特徴とする縦型炉用ボート。 - 【請求項２】 請求項１記載の縦型炉用ボートであっ
て、 前記支持板に、ウエハを搬送するためのウエハ搬送装置
の搬送用アームが遊挿自在な遊挿部を形成したことを特
徴とする縦型炉用ボート。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２記載の縦型炉用
ボートであって、 前記支持板のウエハを載置する側の面に複数の突起を設
けたことを特徴とする縦型炉用ボート。 - 【請求項４】 請求項１または請求項２記載の縦型炉用
ボートであって、 前記支持板に複数の孔を設けたことを特徴とする縦型炉
用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4072685A JPH05235156A (ja) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | 縦型炉用ボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4072685A JPH05235156A (ja) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | 縦型炉用ボート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05235156A true JPH05235156A (ja) | 1993-09-10 |
Family
ID=13496480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4072685A Pending JPH05235156A (ja) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | 縦型炉用ボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05235156A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1091391A1 (de) * | 1999-10-05 | 2001-04-11 | SICO Produktions- und Handelsges.m.b.H. | Haltevorrichtung für Halbleiterscheiben |
| EP1253631A1 (en) * | 2000-10-16 | 2002-10-30 | Nippon Steel Corporation | Wafer holder, wafer support member, wafer holding device, and heat treating furnace |
| JP2006303512A (ja) * | 2006-04-27 | 2006-11-02 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置及び半導体製造方法及びボート |
| JP2016502753A (ja) * | 2012-11-01 | 2016-01-28 | ユ−ジーン テクノロジー カンパニー．リミテッド | パージチャンバー及びそれを具備する基板処理装置 |
-
1992
- 1992-02-21 JP JP4072685A patent/JPH05235156A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1091391A1 (de) * | 1999-10-05 | 2001-04-11 | SICO Produktions- und Handelsges.m.b.H. | Haltevorrichtung für Halbleiterscheiben |
| WO2001026140A1 (de) * | 1999-10-05 | 2001-04-12 | Sico Produktions- Und Handelsges.M.B.H. | Haltevorrichtung für halbleiterscheiben |
| JP2003521109A (ja) * | 1999-10-05 | 2003-07-08 | ジーコ・プロドゥクツィオーンス−ウント・ハンデルスゲゼルシャフト・エム・ベー・ハー | 半導体ウエハ用保持装置 |
| EP1253631A1 (en) * | 2000-10-16 | 2002-10-30 | Nippon Steel Corporation | Wafer holder, wafer support member, wafer holding device, and heat treating furnace |
| EP1253631A4 (en) * | 2000-10-16 | 2009-06-10 | Nippon Steel Corp | DISC HOLDER, DISC SUPPORT ELEMENT, DISC HOLDER ASSEMBLY AND OVEN |
| JP2006303512A (ja) * | 2006-04-27 | 2006-11-02 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置及び半導体製造方法及びボート |
| JP2016502753A (ja) * | 2012-11-01 | 2016-01-28 | ユ−ジーン テクノロジー カンパニー．リミテッド | パージチャンバー及びそれを具備する基板処理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |