CN111599735A - 基板支承装置 - Google Patents

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Abstract

提供基板支承装置。在具有用于对被处理基板进行支承的基座的基板支承装置中，能够可靠地抑制基座的相对于对基座进行支承的支承体的位置偏移，并且能够容易且廉价地进行基座的更换作业。基板支承装置(6)具有：基座(14)，其载置被处理基板(100)；支承体(13)，其能够通过使基座(14)沿着装卸方向(X1)移动来装卸基座(14)；板(11、12)，其固定有支承体(13)；以及移动限制部件(15L、15R)。移动限制部件(15L、15R)是为了允许被处理基板(100)相对于基座(14)出入且限制基座(14)相对于支承体(13)移动而设置的，并且，移动限制部件(15L、15R)能够相对于板(11、12)装卸，以使基座(14)相对于支承体(13)进行装卸。

Description

基板支承装置
技术领域
本发明涉及基板支承装置。
背景技术
公知有用于对半导体晶片进行热处理的装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的装置是纵型晶片支承装置。该装置具有如下结构：在多个支柱的侧面设置突起，并在这些突起上载置晶片支承环。在晶片支承环上载置硅晶片。
专利文献1：日本特开平10-50626号公报
但是，在半导体热处理工艺中，有时对Fan-Out晶片(扇出晶片)进行退火处理等用于矫正树脂基板的翘曲的退火处理。在这样的半导体热处理工艺中，需要对晶片的下表面进行支承的基座(基板支承板)。而且，在分批式热处理装置中，为了对多张晶片一并进行热处理，而需要设置多个基座。另外，在专利文献1中，没有具体公开如何使支柱与晶片支承环固定。
另一方面，作为将基座安装于支柱的方法，能够举出如下方法：
(1)将基座插入到分别形成于多个支柱的槽，利用支柱对基座的外周缘部进行支承；
(2)将基座焊接固定于多个支柱。
其中，在上述(1)的方法中，在长期使用热处理装置的基板支承装置时，振动或气压等外力使基座相对于支柱位置偏移，有可能使基座从支柱脱落。另外，上述的外力使基座相对于支柱向俯视观察时顺时针的方向或逆时针的方向旋转，从而有可能使晶片搬运手等与基座接触。
在上述(2)的方法的情况下，不会产生基座的相对于支柱的位置偏移。但是，假设在只破损了一个基座的情况下，也需要更换包含支柱和多个基座的基板支承装置整体。因此，需要在半导体制造工厂保管基板支承装置的备件，因此半导体制造工厂的费用上的负担变大。另外，即使在对基座破损的晶舟进行修理的情况下，除了新基座的部件费用之外，还需要焊接加工费，不仅修理花费工夫，而且费用负担也大。
发明内容
鉴于上述情况，本发明的目的在于，在具有用于对晶片等被处理基板进行支承的基座的基板支承装置中，能够可靠地抑制基座的相对于对基座进行支承的支承体的位置偏移，并且能够容易且廉价地进行基座的更换作业。
(1)为了解决上述课题，本发明的一个方面的基板支承装置具有：多个基座，它们分别载置被处理基板；支承体，其具有使支承多个所述基座的多个支承部沿着纵向排列的结构，并且构成为通过使所述基座沿着与所述纵向交叉的规定的装卸方向移动而使所述基座能够相对于对应的所述支承部进行装卸；基板，其固定有所述支承体；以及移动限制部件，其是为了允许所述被处理基板相对于所述基座出入且限制各所述基座相对于所述支承体移动而设置的，并且，该移动限制部件能够相对于所述基板进行装卸，以使所述基座相对于所述支承体进行装卸。
根据该结构，通过设置移动限制部件，能够抑制基座的相对于支承体的位置偏移。由此，即使振动或气压等外力作用于支承体与基座之间，也能够更可靠地抑制基座的相对于支承体的位置偏移。由此，能够抑制基座从支承体脱落。另外，能够抑制基座向俯视观察时顺时针的方向或逆时针的方向旋转，因此能够更可靠地抑制基座与晶片搬运手等其他部件接触。此外，移动限制部件构成为能够相对于基板装卸。由此，在更换破损的基座时，能够通过将移动限制部件从基板卸下而将基座从支承体卸下。由此，例如，能够在更换多个基座中的破损的基座时仅将破损的基座从支承体卸下。其结果为，能够容易且廉价地进行基座的更换作业。
(2)还可以构成为，所述支承体包含相互分离配置并沿着所述纵向延伸的多个柱部件，通过使各所述柱部件形成为沿着所述纵向的梳齿状而形成多个所述支承部，所述移动限制部件包含沿着所述纵向延伸并能够与各所述基座接触的棒部件。
根据该结构，能够利用柱部件的梳齿状部分分别对多个基座进行支承。而且，通过使棒部件与这些基座接触，能够抑制基座相对于柱部件位置偏移。
(3)还可以构成为，所述基板和所述移动限制部件通过将沿着所述纵向延伸的轴线作为中心轴线的锥形结合而连结。
根据该结构，能够将移动限制部件牢固且准确地固定于基板。此外，能够通过解除锥形结合容易地将移动限制部件从基板卸下。
(4)还可以构成为，作为所述基板，设置有底板和顶板，该底板配置于所述纵向上的所述支承体的下端，该顶板配置于所述纵向上的所述支承体的上端，该基板支承装置还具有：第1锥形结合机构，其使所述移动限制部件与所述底板锥形结合；以及第2锥形结合机构，其使所述移动限制部件与所述顶板锥形结合。
根据该结构，能够使配置于支承体的下部的底板和配置于支承体的上部的顶板分别与移动限制部件锥形结合。由此，能够进一步提高移动限制部件与基板(底板和顶板)的相互的结合强度。
(5)还可以构成为，所述基座包含：基板配置部，其用于配置所述被处理基板；以及限位器，其在与所述装卸方向交叉的规定的宽度方向上从所述基板配置部突出并延伸，被所述移动限制部件承接。
根据该结构，限位器从基板配置部向宽度方向突出。由此，能够将限位器配置于避开被处理基板的通路的位置。由此，限位器通过与移动限制部件接触来抑制基座的位置偏移，并且不妨碍被处理基板的出入动作。
(6)还可以构成为，所述限位器在所述宽度方向上分离地设置有一对，各所述限位器包含第1平行部，所述支承体包含能够与一对所述第1平行部接触的一对第2平行部，相互相邻的所述第1平行部和所述第2平行部相互平行地延伸。
根据该结构，能够使限位器的各第1平行体被支承部的对应的第2平行部承接。由此，能够更可靠地抑制基座相对于支承体旋转移动的位置偏移的产生。
根据本发明，在具有用于对被处理基板进行支承的基座的基板支承装置中，能够可靠地抑制基座的相对于对基座进行支承的支承体的位置偏移，并且容易且廉价地进行基座的更换作业。
附图说明
图1是本发明的一个实施方式的热处理装置的剖视图，示出从侧方观察包含基板支承装置的热处理装置的状态。
图2是载置有多个被处理基板的状态的基板支承装置的主视图。
图3是放大图2所示的基板支承装置的中间部分后的局部剖视图，示出省略移动限制部件后的状态。
图4是沿着图2、图3的IV-IV线的剖视图，示出俯视观察基板支承装置的状态。
图5是放大图2所示的基板支承装置的上部和下部的主要部分后的剖视图。
图6是用于对基座的更换作业进行说明的图，以省略一部分的方式示出分解基板支承装置后的状态。
标号说明
6：基板支承装置；11：底板(基板)；12：顶板(基板)；13：支承体；14：基座；15L、15R：移动限制部件；16L、16R：第1锥形结合机构；17L、17R：第2锥形结合机构；21、22、23：柱部件；21a、22a、23a：支承部；25：基板配置部；27L、27R：限位器；29L、29R：第1平行部；32L、32R：第2平行部；100：被处理基板；X1：装卸方向。
具体实施方式
以下，参照附图，对用于实施本发明的方式进行说明。
图1是本发明的一个实施方式的热处理装置1的剖视图，示出从侧方观察包含基板支承装置6的热处理装置1的状态。参照图1，热处理装置1构成为能够对被处理基板100实施热处理。作为这样的热处理的一例，能够举出退火处理。另外，由热处理装置1进行的热处理也可以是退火处理以外的其他的一般的热处理。被处理基板100例如是Fan-Out晶片，在本实施方式中形成为圆盘状。
热处理装置1具有基板2、加热器3、腔室4、底部凸缘5、安装于底部凸缘5的基板支承装置6以及升降机构7。
作为对加热器3和腔室4进行支承的部件而设置基板2。在基板2的中央形成有贯通孔。加热器3配置为从上方封闭该贯通孔。加热器3例如是电热加热器，整体形成为箱状，具有向下开放的形状。在加热器3所包围的空间中配置有腔室4。
腔室4形成用于对被处理基板100进行热处理的处理室。腔室4整体形成为箱状，具有向下开放的开口部。腔室4的开口部与密封部件8接触。腔室4内的空间通过基板2的贯通孔与基板2的下方的空间连续。
在热处理装置1的热处理时，在腔室4内的空间配置有被处理基板100。在本实施方式中，被处理基板100以水平姿态被基板支承装置6(也称为晶舟)支承。
基板支承装置6被安装于底部凸缘5的上表面。底部凸缘5能够与基板支承装置6一体地上升和下降。通过使底部凸缘5封闭基板2的开口部而使腔室4内的空间成为封闭空间。在基板2的外周部的下表面配置有密封部件9。底部凸缘5被升降机构7支承。通过升降机构7的动作，使底部凸缘5、基板支承装置6以及被处理基板100一体地沿着上下方向位移。
作为热处理装置1的热处理时的动作，首先，在基板支承装置6下降到腔室4的下方的状态下，将多个被处理基板100载置于该基板支承装置6。具体而言，例如利用设置在多轴机器人臂的末端的搬运手10的动作，将被处理基板100例如逐张地从未图示的盒向基板支承装置6搬入。然后，在将多个被处理基板100载置于基板支承装置6之后，升降机构7进行上升动作。由此，将底部凸缘5、基板支承装置6以及被处理基板100配置在腔室4内的空间中。
接下来，进行加热器3的加热动作。由此，对腔室4内的空间进行加热，从而进行被处理基板100的热处理。在被处理基板100的热处理结束而加热器3停止之后，升降机构7进行下降动作。由此，使底部凸缘5、基板支承装置6以及被处理基板100到达腔室4的下方。接下来，搬运手10将被处理基板100例如逐张地搬出，从而从基板支承装置6取出被处理基板100。
接下来，对基板支承装置6的详细结构进行说明。
图2是载置有多个被处理基板100的状态的基板支承装置6的主视图。图3是放大图2所示的基板支承装置6的中间部分后的局部剖视图，示出省略移动限制部件15L、15R后的状态。图4是沿着图2、图3的IV-IV线的剖视图，示出俯视观察基板支承装置6的状态。图5是放大图2所示的基板支承装置6的上部和下部的主要部分后的剖视图。
另外，在本实施方式中，针对上下和左右的方向，以主视观察基板支承装置6的状态为基准进行说明。另外，在本实施方式中，针对前后的方向，以俯视观察基板支承装置6的状态为基准进行说明。
参照图2～图5，在本实施方式中，基板支承装置6由作为单一材料的石英形成。这样，由单一材料形成基板支承装置6，从而能够使基板支承装置6的各部分的热膨胀率大致均等。由此，能够抑制在基板支承装置6的各部分的相互连结部分处，在部件之间产生松弛。
基板支承装置6具有：作为基板的底板11和顶板12；支承体13，其固定于这些板11、12；多个基座(基板支承板)14，它们被支承体13支承；移动限制部件15L、15R，其为了防止基座14的位置偏移而安装于板11、12；第1锥形结合机构16L、16R，其用于使移动限制部件15L、15R和底板11相互结合；以及第2锥形结合机构17L、17R，其用于使移动限制部件15L、15R和顶板12相互结合。
底板11配置于支承体13的下端。另一方面，顶板12配置于支承体13的上端。底板11和顶板12是固定有支承体13的板。在本实施方式中，底板11和顶板12是平板状部件，在俯视观察时外周缘部的形状和位置相互相同。另外，图4示出底板11的俯视形状，但省略了顶板12的俯视形状的图示。底板11和顶板12各自的前部形状形成为沿着左右方向平行地延伸的矩形状。另外，底板11和顶板12各自的后部形状形成为向后方突出的半圆形状。底板11和顶板12经由支承体13而结合为一体，构成为不能相互分离。
是为了对多个基座14进行支承而设置支承体13。在本实施方式中，支承体13具有沿着上下方向延伸的作为多个柱部件的右柱21、左柱22以及后柱23。
右柱21配置于底板11和顶板12各自的右前部。左柱22配置于底板11和顶板12各自的左前部。后柱23配置于底板11和顶板12各自的后端部。这样，柱21、22、23在板11、12上相互分离地配置。另外，柱的数量不限定于本实施方式所示的3个，可以是2个，也可以是4个以上。各柱21、22、23形成为细长的轴状。各柱21、22、23的下端部通过焊接等固定方法与底板11一体化。各柱21、22、23的上端部通过焊接等固定方法与顶板12一体化。
在右柱21形成有多个支承部21a。同样，在左柱22形成有多个支承部22a。在后柱23形成有多个支承部23a。支承部21a、22a、23a的数量设定为彼此相同。在本实施方式中，支承部21a、22a、23a的数量分别约为30个。支承部21a、22a、23a形成于对应的柱21、22、23的上下方向的中间部分。
支承部21a是形成于右柱21的左侧部的小片部分。支承部21a与形成于圆轴状的右柱21的左侧部的凹部21b沿着上下方向交替配置。由此，对多个基座14进行支承的多个支承部21a沿着上下方向(纵向)排列。凹部21b是沿着前后方向贯通支承部21a的部分，向右柱21的左侧开放。这样，右柱21形成为沿着上下方向的梳齿状，从而形成多个支承部21a。
支承部22a是形成于左柱22的右侧部的小片状部分。支承部22a与形成于圆轴状的左柱22的右侧部的凹部22b沿着上下方向交替配置。由此，对多个基座14进行支承的多个支承部22a沿着上下方向(纵向)排列。凹部22b是沿着前后方向贯通支承部22a的部分，向左柱22的右侧开放。这样，通过使左柱22形成为沿着上下方向的梳齿状而形成多个支承部22a。
支承部23a是形成于后柱23的前侧部的小片状部分。支承部23a与形成于圆轴状的后柱23的前侧部的凹部23b沿着上下方向交替配置。由此，对多个基座14进行支承的多个支承部23a沿着上下方向(纵向)排列。凹部23b是沿着左右方向贯通支承部23a的部分，向后柱23的前侧开放。这样，通过使后柱23形成为沿着上下方向的梳齿状而形成多个支承部23a。
根据上述的结构，支承部21a、22a沿着前后方向延伸，支承部23a沿着左右方向延伸。另外，支承部21a、22a、23a的上下方向的位置一致。根据该结构，高度位置相同的支承部21a、22a、23a协作而将一个被处理基板100支承为水平姿态。在本实施方式中，通过使基座14相对于高度位置相同的支承部21a、22a、23a沿着与纵向交叉的规定的装卸方向X1(在本实施方式中为前后方向)移动，能够使基座14相对于支承部21a、22a、23a进行装卸。
在本实施方式中，通过使基座14相对于支承部21a、22a、23a向安装方向X11位移，能够将基座14载置安装于支承部21a、22a、23a。另外，通过使基座14相对于支承部21a、22a、23a向拆卸方向X12位移，能够将基座14从支承部21a、22a、23a卸下。这样，支承部21a、22a、23a对基座14的外周缘部进行3点支承。
基座14是载置有被处理基板100的部件。相对于高度位置相同的一组支承部21a、22a、23a安装有一个基座14。在本实施方式中，在一部分的组的支承部21a、22a、23a安装有基座14。另外，基座14的数量只要是1个以上即可，不限定具体的数量。基座14是水平延伸的平板状部件。在本实施方式中，基座14形成为左右对称的形状，在俯视观察时形成为大致Ω字状。另外，在图4中用阴影线示出基座14。
基座14具有：基板配置部25；切口部26，其从基板配置部25的外周缘部25a朝向基板配置部25的中心延伸；以及限位器27L、27R，其从基板配置部25的外周缘部25a突出。
基板配置部25是配置有被处理基板100的部分。基板配置部25形成为大致圆形状。基板配置部25的外周缘部25a的后端部载置于支承部23a。
左右方向的基板配置部25的全长(基板配置部25的直径)设定为比支承部21a、22a的整个宽度(从支承部21a的右端至支承部22a的左端的长度)短。由此，通过使基板配置部25从支承体13的前方朝向支承体13沿着安装方向X11移动，能够通过支承体13的支承部21a、22a、23a。
基板配置部25的整个上表面被规定为用于载置被处理基板100的面。在本实施方式中，通过搬运手10将被处理基板100载置于基板配置部25的大致中央。
为了通过搬运手10而设置切口部26，切口部26从基板配置部25的末端部向后方延伸。切口部26在左右方向上具有比搬运手10的宽度宽的宽度，在前后方向上，延伸至比基板配置部25的中央位置靠后方的位置。根据该结构，搬运手10能够将被处理基板100配置于基板配置部25的中央。
限位器27L、27R是在与装卸方向X1交叉(在本实施方式中为垂直)的左右方向(宽度方向)上从基板配置部25突出地延伸并被对应的移动限制部件15L、15R和对应的柱22、21承接的部分。该一对限位器27L、27R在左右方向上分离地设置一对。
作为一对限位器27L、27R中的一个的右限位器27R从基板配置部25的外周缘部25a的右斜前部向基板配置部25的径向外侧延伸。作为一对限位器27L、27R中的另一个的左限位器27L从基板配置部25的外周缘部25a的左斜前部向基板配置部25的径向外侧延伸。各限位器27L、27R形成为尖锐的形状。更具体而言，在俯视观察时，各限位器27L、27R与外周缘部25a的连接部分在从俯视观察时形成为弯曲形状，以随着从外周缘部25a向基板配置部25的径向外侧远离而宽度变窄的方式延伸。而且，限位器27L、27R各自的末端部28L、28R的外周缘部在俯视观察时形成为大致V字状。
在本实施方式中，右限位器27R的末端部28R配置于从基板配置部25的右端部的位置稍微向右侧突出的位置。在本实施方式中，左限位器27L的末端部28L配置于从基板配置部25的左端部的位置稍微向左侧突出的位置。各限位器27L、27R配置于从基板配置部25的末端部的位置向后方侧前进的位置。
右限位器27R的末端部28R具有右侧第1平行部29R和右侧前部30R。同样，左限位器27L的末端部28L具有左侧第1平行部29L和左侧前部30L。
右侧第1平行部29R构成末端部28R的右端部，在本实施方式中，沿着装卸方向X1呈直线状延伸。右侧第1平行部29R位于基板配置部25的右端部的前方。右侧第1平行部29R与右侧第2平行部32R在左右方向上相对。右侧第2平行部32R是右柱21的凹部21b的右端面，配置在载置有对应的右限位器27R的支承部21a的上方。右侧第2平行部32R沿着作为右侧第1平行部29R所延伸的方向的装卸方向X1延伸，与右侧第1平行部29R平行地延伸。即，相互相邻的右侧第1平行部29R和右侧第2平行部32R相互平行地延伸。
左侧第1平行部29L构成末端部28L的左端部，在本实施方式中，沿着装卸方向X1呈直线状延伸。左侧第1平行部29L位于基板配置部25的左端部的前方。左侧第1平行部29L与左侧第2平行部32L在左右方向上相对。左侧第2平行部32L是左柱22的凹部22b的左端面，配置在载置有对应的左限位器27L的支承部22a的上方。左侧第2平行部32L沿着作为左侧第1平行部29L所延伸的方向的装卸方向X1延伸，与左侧第1平行部29L平行地延伸。即，相互相邻的左侧第1平行部29L和左侧第2平行部32L相互平行地延伸。
根据上述的结构，支承体13的左柱22和右柱21具有能够与一对第1平行部29L、29R接触的一对第2平行部32L、32R。另外，在本实施方式中，在右侧第1平行部29R与右侧第2平行部32R之间稍微形成有间隙，另外，在左侧第1平行部29L与左侧第2平行部32L之间稍微形成有间隙。由此，在将基座14相对于支承体13进行装卸时，能够抑制限位器27L、27R与左柱22和右柱21接触。
右侧前部30R是被右侧移动限制部件15R承接的部分。右侧前部30R构成末端部28R的末端部，沿着左右方向(宽度方向)延伸。在本实施方式中，设定为右侧前部30R的长度与右侧第1平行部29R的长度大致相同。右侧前部30R配置在右侧移动限制部件15R的正后方。
左侧前部30L是被左侧移动限制部件15L承接的部分。左侧前部30L构成末端部28L的末端部，沿着左右方向(宽度方向)延伸。在本实施方式中，设定为左侧前部30L的长度与左侧第1平行部29L的长度大致相同。左侧前部30L配置在左侧移动限制部件15L的正后方。
作为一对移动限制部件15L、15R的右侧移动限制部件15R和左侧移动限制部件15L是为了在安装于底板11和顶板12的状态下，允许被处理基板100相对于基座14出入并且限制各基座14相对于支承体13移动而设置的。另外，移动限制部件15L、15R分别是从底板11的高度位置延伸至顶板12的高度位置的棒部件，构成为为了使基座14相对于支承体13进行装卸而能够相对于板11、12装卸移动限制部件15L、15R。
右侧移动限制部件15R与右限位器27R对应，左侧移动限制部件15L与左限位器27L对应。各移动限制部件15L、15R是棒部件，在本实施方式中是圆轴部件，沿着上下方向延伸并能够与各基座14所对应的限位器27L、27R接触。另外，移动限制部件15L、15R也可以形成为棱柱状。各移动限制部件15L、15R具有如下结构：上端部15a和下端部15b形成为块状，并且在这些上端部15a和下端部15b各自的中心形成有沿着上下方向延伸的贯通孔。另外，各移动限制部件15L、15R的中间部15c形成为圆筒状，上端部15a和下端部15b形成为一体。
右侧移动限制部件15R配置在右限位器27R的右侧前部30R的紧前方，并安装于板11、12的右末端部。左侧移动限制部件15L配置在左限位器27L的左侧前部30L的紧前方，并安装于板11、12的左末端部。在本实施方式中，各移动限制部件15L、15R的直径设定为与右柱21的直径(左柱22的直径)大致相同。
根据上述的结构，通过使移动限制部件15L、15R承接各基座14的限位器27L、27R，防止基座14向前方发生位置偏移和从支承体13脱落。另外，通过使一对移动限制部件15L、15R承接一对限位器27L、27R，能够防止基座14在俯视观察时相对于支承体13向顺时针方向或逆时针方向旋转位移(旋转位置偏移)。另外，移动限制部件15L、15R与右柱21和左柱22相邻配置。其结果为，一对第2平行部32L、32R以夹着一对第1平行部29L、29R的方式与该一对第1平行部29L、29R相邻配置。由此，通过使一对第1平行部29L、29R中的任意一部件与对应的第2平行部接触而限制俯视观察时的基座14的旋转位移。
这样，相互相邻配置的右柱21和右侧移动限制部件15R与相互相邻配置的左柱22和左侧移动限制部件15L协作。由此，能够防止基座14从支承体13向拆卸方向X12位置偏移和基座14在俯视观察时向旋转方向位置偏移。另外，通过使后柱23承接基座14而防止基座14的相对于支承体13向后方的位置偏移。
移动限制部件15L、15R之间的间隔设定为比被处理基板100的直径大。由此，在通过搬运手10进行被处理基板100的出入动作时，能够防止移动限制部件15L、15R与被处理基板100的接触。
参照图2和图5，在本实施方式中，通过以沿着上下方向(纵向)延伸的轴线为中心轴线的锥形结合而使板11、12与移动限制部件15L、15R连结。另外，移动限制部件15L、15R构成为能够相对于底板11和顶板12装卸。具体而言，设置有使移动限制部件15L、15R与底板11锥形结合的第1锥形结合机构16L、16R。另外，设置有使移动限制部件15L、15R与顶板12锥形结合的第2锥形结合机构17L、17R。
作为一对第1锥形结合机构16L、16R的一个的右侧第1锥形结合机构16R具有右侧第1锥形孔部33R和右侧第1锥形轴部34R。同样，作为一对第1锥形结合机构16L、16R的另一个的左侧第1锥形结合机构16L具有左侧第1锥形孔部33L和左侧第1锥形轴部34L。
右侧第1锥形孔部33R形成于底板11中的作为配置右侧移动限制部件15R的部位的右前部。左侧第1锥形孔部33L形成于底板11中的作为配置左侧移动限制部件15L的部位的左前部。各第1锥形孔部33L、33R是向底板11的上表面开放的圆锥台锥形状部分，在本实施方式中，沿着上下方向贯通底板11。在本实施方式中，以铅垂方向为基准，作为各第1锥形孔部33L、33R的锥角的第1锥角θ1设定为40°。
右侧第1锥形轴部34R形成于右侧移动限制部件15R的下端部。左侧第1锥形轴部34L形成于左侧移动限制部件15L的下端部。各第1锥形轴部34L、34R是随着向下方前进而直径变小的圆锥台锥形状部分。在本实施方式中，各第1锥形轴部34L、34R的锥角设定为作为与各第1锥形孔部33L、33R的锥角相同角度的第1锥角θ1。各第1锥形轴部34L、34R与对应的第1锥形孔部33L、33R锥形嵌合。由此，各移动限制部件15L、15R与底板11的对应的第1锥形孔部33L、33R锥形结合。
作为一对第2锥形结合机构17L、17R的一个的右侧第2锥形结合机构17R具有右侧第2锥形孔部35R和包含右侧第2锥形轴部37R的右帽36R。同样，作为一对第2锥形结合机构17L、17R的另一个的左侧第2锥形结合机构17L具有左侧第2锥形孔部35L和包含左侧第2锥形轴部37L的左帽36L。
右侧第2锥形孔部35R形成于顶板12中的作为配置右侧移动限制部件15R的部位的右前部。左侧第2锥形孔部35L形成于顶板12中的作为配置左侧移动限制部件15L的部位的左前部。各第2锥形孔部35L、35R是圆锥台锥形状部分，沿着上下方向贯通顶板12。在本实施方式中，以铅垂方向为基准，作为各第2锥形孔部35L、35R的锥角的第2锥角θ2设定为30°。
即，第1锥角θ1设定为比第2锥角θ2大。这样，通过使第1锥角θ1较大，首先，能够将移动限制部件15L、15R的下端部高精度地定位于第1锥形孔部33L、33R，并且能够以能够调整位置的方式将移动限制部件15L、15R的上端部配置于第2锥形孔部35L、35R。而且，由于使第2锥角θ2比第1锥角θ1小，因此利用使用了帽36L、36R的第2锥形结合机构17L、17R，实现了移动限制部件15L、15R整体姿态的稳定化。由此，远离该第2锥形结合机构17L、17R的移动限制部件15L、15R的下端部也被定位于第1锥形孔部33L、33R的规定位置，并被限制移动。因此，即使在第1锥角θ1较大的情况下，也能够防止第1锥形轴部34L、34R通过第1锥形孔部33L、33R的倾斜并脱落。以上的结果为，能够实现移动限制部件15L、15R的位置精度的提高和姿态的稳定化这两者。另外，上述的第1锥角θ1比第2锥角θ2大的结构是一个例子，并不限定于该结构。根据基板支承装置6的配置位置和形状，也可以使第2锥角θ2比第1锥角θ1大。
右侧移动限制部件15R的上端部15a配置在右侧第2锥形孔部35R内。同样地，左侧移动限制部件15L的上端部15a配置在左侧第2锥形孔部35L内。
右帽36R具有：右侧第2锥形轴部37R，其形成于右帽36R的外周面；以及右侧插入孔部38R，其形成于右帽36R的内周面，供右侧移动限制部件15R插入。同样，左帽36L具有：左侧第2锥形轴部37，其形成于左帽36L的外周面；以及左侧插入孔部38L，其形成于左帽36L的内周面，供左侧移动限制部件15L插入。
各插入孔部38L、38R的直径设定为与移动限制部件15L、15R的外径大致相同，各插入孔部38L、38R构成为，在各帽36L、36R与对应的移动限制部件15L、15R之间不产生晃动。
右侧第2锥形轴部37R形成于右帽36R的下端侧部分。左侧第2锥形轴部37L形成于左帽36L的下端侧部分。各第2锥形轴部37L、37R是随着朝向下方前进而直径变小的圆锥台锥形状部分。在本实施方式中，各第2锥形轴部37L、37R的锥角设定为作为与各第2锥形孔部35L、35R的锥角相同角度的第2锥角θ2。各第2锥形轴部37L、37R通过从对应的第2锥形孔部35L、35R的上方插入到这些第2锥形孔部35L、35R而锥形嵌合。由此，各移动限制部件15L、15R与顶板12的对应的第2锥形孔部35L、35R锥形结合。
在帽36L、36R分别与第2锥形孔部35L、35R嵌合时，各帽36L、36R的上端部从顶板12向上方突出。由此，作业人员能够利用夹紧工具等抓住各帽36L、36R的上端部。由此，能够容易地将各帽36L、36R从顶板12卸下。
以上是热处理装置1的概略结构。
在该热处理装置1的基板支承装置6中，在更换基座14时，参照图6，首先，作业人员将各帽36L、36R从顶板12卸下。接下来，作业人员通过将移动限制部件15L、15R向上方抬起而将这些移动限制部件15L、15R从底板11和顶板12卸下。
由此，从基座14的前方卸下移动限制部件15L、15R。在该状态下，作业人员通过使更换对象的基座14相对于支承体13向拆卸方向X12(图6的纸面近前侧)移动而向前方拔出。然后，新安装于支承体13的基座14通过从支承体13的前方侧向安装方向X11(图6的纸面里侧)移动而载置于支承体13的对应的支承部21a、22a、23a。
接下来，移动限制部件15L、15R通过顶板12的对应的第2锥形孔部35L、35R，进而，与底板11的对应的第1锥形孔部33L、33R锥形嵌合。之后，各帽36L、36R与对应的第2锥形孔部35L、35R锥形嵌合。通过以上的作业，完成基座14的更换作业。
像以上说明的那样，根据本实施方式的基板支承装置6，通过设置移动限制部件15L、15R，能够抑制基座14的相对于支承体13的位置偏移。由此，即使振动或气压等外力作用于支承体13与基座14之间，也能够更可靠地抑制基座14的相对于支承体13的位置偏移。由此，能够抑制基座14从支承体13脱落。另外，能够抑制基座14在俯视观察时向顺时针方向或逆时针方向旋转，因此能够更可靠地抑制基座14与晶片搬运手10等其他部件接触。此外，移动限制部件15L、15R构成为能够相对于底板11和顶板12装卸。由此，在更换破损的基座14时，通过将移动限制部件15L、15R从底板11和顶板12卸下，能够将基座14从支承体13卸下。由此，例如在更换多个基座14中的破损的基座14时，能够仅将破损的基座14从支承体13卸下。其结果为，能够容易且廉价地进行基座14的更换作业。
另外，根据基板支承装置6，基座14被移动限制部件15L、15R在前后方向上定位。根据该结构，在将破损的基座14更换为新的基座14时，移动限制部件15L、15R对基座14进行定位。由此，即使在重复进行基座14的更换作业的情况下，也能够维持基板支承装置6在新的状态下的基板支承装置6的各部分的位置关系。由此，与作业人员的熟练度无关而能够提高伴随着基座14的更换作业的基座14的定位作业的精度。由此，能够进一步减少作业人员的教育所花费的工夫。
另外，根据基板支承装置6，虽然基座14未粘接在支承体13上，但取而代之，通过设置移动限制部件15L、15R，防止基座14从支承体13脱落。因此，作业人员不需要定期目视是否产生振动或气压等所导致的基座14发生位置偏移而从支承体13脱落的现象。其结果为，能够进一步延长基板支承装置6的维护周期(维护与维护之间的期间)。
另外，根据基板支承装置6，能够利用柱部件21、22、23各自的梳齿状部分(支承部21a、22a、23a)分别对多个基座14进行支承。而且，通过使作为棒部件的移动限制部件15L、15R与这些基座14接触，能够抑制基座14相对于柱21、22、23位置偏移。
另外，根据基板支承装置6，通过以沿着上下方向延伸的轴线为中心轴线的锥形结合而使各板11、12与移动限制部件15L、15R连结。根据该结构，能够将移动限制部件15L、15R牢固且准确地固定于各板11、12。此外，通过解除锥形结合，能够容易地将移动限制部件15L、15R从各板11、12卸下。
另外，根据基板支承装置6，设置有第1锥形结合机构16L、16R和第2锥形结合机构17L、17R。根据该结构，能够使配置于支承体13的下部的底板11和配置于支承体13的上部的顶板12分别与移动限制部件15L、15R锥形结合。由此，能够进一步提高移动限制部件15L、15R与各板11、12相互的结合强度。
另外，根据基板支承装置6，限位器27L、27R从基板配置部25向左右方向突出。由此，能够将限位器27L、27R配置于避开被处理基板100的通路的位置。因此，通过使限位器27L、27R与移动限制部件15L、15R的接触来抑制基座14的位置偏移，并且不妨碍搬运手10进行被处理基板100的出入动作。
另外，根据基板支承装置6，限位器27L、27R包含第1平行部29L、29R。此外，左柱22和右柱21包含第2平行部32L，32R。而且，相互相邻的第1平行部29L和第2平行部32L相互平行地延伸，并且相互相邻的第1平行部29R和第2平行部32R相互平行地延伸。根据该结构，限位器27L、27R的各第1平行部29L、29R能够被左右的柱22、21的对应的第2平行部32L、32R承接。由此，能够更可靠地抑制基座14相对于各柱21、22、23旋转移动的位置偏移的产生。
以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明不限于上述的实施方式。本发明能够在权利要求书中记载的范围内进行各种变更。
(1)在上述实施方式中，在第1锥形结合机构16L、16R中，对移动限制部件15L、15R的下端部形成为凸状并且底板11形成为凹状的结构的例子进行了说明。但是，也可以不是这样。例如，也可以为，在移动限制部件15L、15R的下端设置凹部并且在底板11设置凸部，而使这些凸部和凹部相互嵌合，从而使移动限制部件15L、15R与底板11以能够拆卸的方式结合。另外，移动限制部件15L、15R与各板11、12也可以通过锥形结合以外的螺纹紧固构造等结合。
(2)另外，在上述的实施方式中，对基板支承装置6具有各种部件的结构的例子进行了说明。但是，基板支承装置6只要至少具有基座14、支承体13、各板11、12中的任意板以及移动限制部件15L、15R中的任意部件即可。
本发明能够作为基板支承装置而应用。

Claims (6)

1.一种基板支承装置，其特征在于，
该基板支承装置具有：
多个基座，它们分别载置被处理基板；
支承体，其具有使支承多个所述基座的多个支承部沿着纵向排列的结构，并且构成为通过使所述基座沿着与所述纵向交叉的规定的装卸方向移动而使所述基座能够相对于对应的所述支承部进行装卸；
基板，其固定有所述支承体；以及
移动限制部件，其是为了允许所述被处理基板相对于所述基座出入且限制各所述基座相对于所述支承体移动而设置的，并且，该移动限制部件能够相对于所述基板进行装卸，以使所述基座相对于所述支承体进行装卸。
2.根据权利要求1所述的基板支承装置，其特征在于，
所述支承体包含相互分离配置并沿着所述纵向延伸的多个柱部件，
通过使各所述柱部件形成为沿着所述纵向的梳齿状而形成多个所述支承部，
所述移动限制部件包含沿着所述纵向延伸并能够与各所述基座接触的棒部件。
3.根据权利要求1所述的基板支承装置，其特征在于，
所述基板和所述移动限制部件通过将沿着所述纵向延伸的轴线作为中心轴线的锥形结合而连结。
4.根据权利要求3所述的基板支承装置，其特征在于，
作为所述基板，设置有底板和顶板，该底板配置于所述纵向上的所述支承体的下端，该顶板配置于所述纵向上的所述支承体的上端，
该基板支承装置还具有：
第1锥形结合机构，其使所述移动限制部件与所述底板锥形结合；以及
第2锥形结合机构，其使所述移动限制部件与所述顶板锥形结合。
5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的基板支承装置，其特征在于，
所述基座包含：
基板配置部，其用于配置所述被处理基板；以及
限位器，其在与所述装卸方向交叉的规定的宽度方向上从所述基板配置部突出并延伸，被所述移动限制部件承接。
6.根据权利要求5所述的基板支承装置，其特征在于，
所述限位器在所述宽度方向上分离地设置有一对，
各所述限位器包含第1平行部，
所述支承体包含能够与一对所述第1平行部接触的一对第2平行部，
相互相邻的所述第1平行部和所述第2平行部相互平行地延伸。
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