JP2017163164A - 基板支持構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板支持構造1は、基板支持部材2を備える。基板支持部材2は、基端側から先端側に向かって延び、支持位置の両側で、基端側から先端側に向かって下方に傾斜する支持部2Cにより被処理基板(基板W)を支持する。又、基板支持部材2は、基端側から先端側に向かって延びるベース体21と、当該ベース体21に配設される支持体22と、を備える。ここで、支持体22は、支持部2Cを有し、ベース体21の上面から支持部2Cを露出させるようにベース体21に配設される。又、支持体22は、円筒側面を有し、ベース体21の長手方向に沿った軸回りに回転自在に配設される。
【選択図】図1
Description
2 基板支持部材
2A 基端
2B 先端
2C 支持部
3 保持部材
4 処理容器
4A 側壁内面
5 回動軸
6 ピン
7 梁
21 ベース体
21A 凹部
21B ボルト穴
22 支持体
23 ボルト
24 長孔
31 上片部
32 側壁部
33 底片部
34 長孔
100 処理空間
101 球
A1 接触不可範囲
W、W1、W2、W3 基板
Claims (5)
- 被処理基板が収容されて処理される処理空間内の所定の支持位置に前記被処理基板を略水平姿勢に支持するための基板支持構造であって、
基端側から先端側に向かって延び、前記支持位置の両側で、基端側から先端側に向かって下方に傾斜する支持部により前記被処理基板を支持する基板支持部材を備え、
前記基板支持部材は、
前記基端側から前記先端側に向かって延びるベース体と、
前記支持部を有し、前記ベース体の上面から前記支持部を露出させるように前記ベース体に配設される支持体と、
を備え、
前記支持体は、円筒側面を有し、前記ベース体の長手方向に沿った軸回りに回転自在に配設される、基板支持構造。 - 前記支持体は、樹脂または石英にて形成されている、請求項1に記載の基板支持構造。
- 前記処理空間は、処理容器の内部に形成され、前記処理容器の側壁内面における前記支持位置の両側に、前記基板支持部材の基端側を保持する保持部材が設けられた、請求項1又は2に記載の基板支持構造。
- 前記基板支持部材が前記支持位置の片側について複数設けられる、請求項1又は2に記載の基板支持構造。
- 前記支持位置の両側に対向して前記処理空間の奥行き方向に延びて設けられる保持部材であって、複数の前記基板支持部材に対応して設けられる保持部材を備える、請求項4に記載の基板支持構造。
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