JP6076070B2 - 基板ホルダ及び太陽電池用基板の製造方法 - Google Patents
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Description
以下に本願発明の基板ホルダの好ましい実施形態について、図1、2を参照しながら説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、当業者の技術常識内で種々変更が可能である。
次に、太陽電池基板を基板ホルダに支持する際の実施形態について説明する。ここでの板状部材3は、約縦横1mの略四角形のからなる部材であり、支持ピン、位置決めピン11は長さ3mmの円筒形状である。また、基板5の大きさは、縦横に約160mmである。支持ピンの材料としては、太陽電池基板に対する成膜時の対薬品性能を考慮し、SUSかPEEK(耐熱耐薬品樹脂)材を用いるようにした。支持ピン9及び位置決めピン11は、プラズマCVD装置にて製膜を行う際に異常放電の起因にならないよう、突出長さを5mm以内に抑えるのが良い。上記の構成の基板ホルダに太陽電池基板を支持し、基板に所定の処理を施した。
基板5の基板ホルダに対する取り付け、脱着は、手動で行なってもよいが、ロボットアームを用いてもよい。例えば、基板5を非接触で保持することが可能なベルヌーイハンドを使用する場合、基板表面の処理された面に直接触れることがないため、好ましい。ベルヌーイハンドを用いて基板5を保持、取付け、脱着を行なう場合、基板5が支持ピン9や位置決めピン11にひっかかってしまわないように両ピンの構造や傾きを調整する必要がある。具体的には、ピンを基板ホルダから離れる方向に広がるようにテーパ形状とする場合には、その広がりの角度を90度以下にするのが好ましい。また、ピンを傾けて板状部材1に配置する場合は、水平に対して0度より大きく30度以下の範囲にするのが好ましい。
5:基板
9:支持ピン
11:位置決めピン
13:開口
Claims (17)
- 略四角形の複数の基板を各々縦方向に支持する基板ホルダにおいて、
前記基板ホルダには1枚の基板当たり2本以上の支持ピンが設けられており、
前記支持ピンの突出長さは前記基板の厚みよりも長く、前記支持ピンは前記基板の底辺を前記基板ホルダの底辺に対して斜めに支持した際に前記基板の隣接する2辺を下側から支持するように離間して設けられていることを特徴とする基板ホルダ。 - 前記支持ピンは前記基板ホルダから離れる方向に広がるテーパ形状である請求項1に記載の基板ホルダ。
- 前記支持ピンの突出長さは5mm以内である請求項1又は2に記載の基板ホルダ。
- 前記支持ピンが2本である請求項1〜3のいずれかに記載の基板ホルダ。
に記載の基板ホルダ。 - 前記基板ホルダには前記支持ピンが設けられている辺とは別の辺に、位置決めピンが前記1枚の基板当たり少なくとも1本設けられている請求項1〜4のいずれかに記載の基板ホルダ。
- 前記基板ホルダには真空破壊機構が設けられている請求項1〜5のいずれかに記載の基板ホルダ。
- 前記基板ホルダの中央部分に開口が設けられている請求項6に記載の基板ホルダ。
- 前記支持ピンは前記基板の底辺を前記基板ホルダの底辺に対して10〜20度傾けて支持できるように設けられている請求項1〜7のいずれかに記載の基板ホルダ。
- 請求項1〜8のいずれかに記載の基板ホルダを用いた太陽電池用基板の製造方法であって、
前記太陽電池用基板を前記基板ホルダに脱着する際にロボットアーム又はベルヌーイハンドを用いることを特徴とする太陽電池用基板の製造方法。 - 基板ホルダを用いた太陽電池用基板の製造方法であって、
前記基板ホルダは、略四角形の複数の基板を各々縦方向に支持されており、
前記基板ホルダには1枚の上記基板を支持する2本以上の支持ピンが設けられており、
前記基板ホルダに前記太陽電池用基板を脱着する際にロボットアーム又はベルヌーイハンドが用いられることを特徴とする太陽電池用基板の製造方法。 - 前記支持ピンは前記基板の底辺を前記基板ホルダの底辺に対して斜めに支持した際に前記基板の隣接する2辺を下側から支持するように離間して設けられている請求項10に記載の太陽電池用基板の製造方法。
- 前記支持ピンが2本である請求項10又は11に記載の太陽電池用基板の製造方法。
- 前記基板ホルダには前記支持ピンが設けられている辺とは別の辺に、位置決めピンが前記1枚の基板当たり少なくとも1本設けられている請求項10〜12のいずれかに記載の太陽電池用基板の製造方法。
- 前記支持ピンは前記基板ホルダから離れる方向に広がるテーパ形状である請求項10〜13のいずれかに記載の太陽電池用基板の製造方法。
- 前記基板ホルダには真空破壊機構が設けられている請求項10〜14のいずれかに記載の太陽電池用基板の製造方法。
- 前記基板ホルダの中央部分に開口が設けられている請求項15に記載の太陽電池用基板の製造方法。
- 前記支持ピンは前記基板の底辺を前記基板ホルダの底辺に対して10〜20度傾けて支持できるように設けられている請求項10〜16のいずれかに記載の太陽電池用基板の製造方法。
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