KR101356952B1 - 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드 - Google Patents

기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드는 기판 이송장치용 이송 암에 다수 마련되어 이송 암의 상측에 놓여지는 기판을 지지하는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드에 있어서, 기판을 탄력적으로 지지하는 접촉부와, 상기 접촉부의 테두리에서 하부로 연장되어 상기 접촉부를 탄력적으로 지지하는 탄력유지부와, 상기 탄력유지부의 하단테두리에서 내측 또는 외측을 향해 연장되는 지지부가 형성된 패드부; 및, 상기 패드부의 지지부를 이송 암에 고정하는 고정부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드{non slip pad for substrates transporting device}
본 발명은 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 이송장치에 기판을 안착시킨 상태에서 직선운동이나 회전운동을 개시할 경우 또는 운동상태로부터 정지할 경우 기판이 이송장치 위에서 관성으로 인해 미끄러지는 것을 최소화하여 안정성을 증대시킬 수 있는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드에 관한 것이다.
평판 디스플레이는 그 종류도 많을 뿐만 아니라, 수많은 공정과 단계를 거쳐서 하나의 완제품으로 출시된다. 따라서 평판 디스플레이를 제조하기 위한 각 공정에는 해당 공정을 수행하는 챔버(Chamber) 등이 갖춰져 있을 뿐만 아니라 해당 챔버로 유리기판을 이송하는 로봇(Robot)이 마련된다. 이를 유리기판 이송장치라 한다.
유리기판 이송장치는 유리기판을 파지하여 해당 챔버로 이송하거나 혹은 해당 챔버에서 공정 완료된 유리기판을 취출하는 역할을 한다.
도 1은 종래기술에 따른 유리기판 이송장치용 패드 조립체가 마련된 이송장치에 대한 개략적인 부분 확대도이다.
자세히 도시하고 있지는 않지만, 이송장치의 이송 암(A)에는 도 1에 도시된 바와 같이, 패드 조립체(10, Pad Assembly)가 마련되어 있다.
소위, SMD 850B(X) System에는 진공 작용으로 유리기판을 파지하는 유리기판 이송장치가 마련되어 있는데, 이러한 이송장치의 이송 암(A)에는 총 104개의 패드 조립체(10)가 갖춰져 있다.
패드 조립체(10)는, 상면이 유리 기판(G)에 직접 접촉하는 기판접촉본체(11)와, 기판접촉본체(11)로부터 연장되어 이송 암(A)에 결합되는 결합부(12)를 갖는다.
기판접촉본체(11)의 상면에 형성된 기판접촉부(13)는 상대적으로 면적이 협소한 원호 모양을 가지고 있으며, 상호 이격되게 한 쌍으로 배치되어 유리 기판(G)을 지지한다.
이러한 기판접촉본체(11)는, 기판접촉부(13)로 유리 기판(G)이 접촉하여 이송될 때, 유리 기판(G)에 정전기가 발생하는 것을 저지하고 유리 기판(G)이 미끄러져 낙하하거나 주변 구조물에 부딪혀 파손되는 것을 저지하는 역할을 한다.
그런데, 이러한 구조를 갖는 종래의 패드 조립체(10)에 있어서는, 기판접촉본체(11)의 상면에 형성된 기판접촉부(13)는 그 면적이 실질적으로 협소하기 때문에 유리 기판(G)에 접촉하는 부위가 적어 유리기판과의 마찰력을 크게 확보하기 곤란하다.
따라서 장기간 사용할 경우, 특히 2개월 정도면 마찰력이 기존 대비 1/2 수준으로 떨어지기 때문에 매 2개월마다 패드 조립체(10)를 교체해야 하므로, 교체 비용이 상승할 뿐만 아니라, 교체 작업시 작업이 중단됨에 따른 로스(Loss)를 유발시킨다.
특히, 기판접촉본체(11)의 상면에 형성된 기판접촉부(13)의 면적이 협소하여 유리 기판(G)과의 마찰력이 유지되지 않을 경우, 이송장치가 유리 기판(G)을 파지하여 이송하는 과정에서 유리 기판(G)이 흔들리거나 낙하하는 등 유리 기판(G)의 파손 발생 우려가 높다.
뿐만 아니라 종래의 패드 조립체(10)는 기판접촉본체(11)의 두께가 상대적으로 작아 이송 암(A)의 표면으로부터의 돌출 높이가 작다. 위의 장비에서 기판접촉본체(11)의 두께는 대략 3mm 정도이다. 따라서 쉽게 마모될 수 있고, 이로 인해 유리 기판(G)이 직접 이송장치의 이송 암(A)에 부딪혀 손상이 발생될 수 있다.
특히, 슬림(Slim)한 유리 기판(G)을 이송하려 할 경우, 기판접촉본체(11)는 미끄러짐 방지의 기능만을 제공할 뿐, 별도의 완충기능을 제공하지 않기 때문에 유리 기판(G)이 손상되는 빈도가 높다. 또한 패드가 경질의 물질로 되어 있어서 사실상 미끄러짐이 발생하여 그로 인한 기판의 파손이 발생하는 문제가 있다.
최근 들어 진공흡착에 의해 기판(G)을 흡착한 상태로 기판(G)을 이송하는 기술이 적용되고 있으나, 전체가 진공인 진공챔버 내에 배치되는 로봇암의 패드는 진공흡착이 불가하기 때문에 종래의 패드 구조를 사용하고 있으며, 상기와 같은 기판의 미끄러짐 문제가 존재한다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 이송장치에 기판을 안착시킨 상태에서 직선운동이나 회전운동을 개시할 경우 또는 운동상태로부터 정지할 경우 기판이 이송장치 위에서 관성으로 인해 미끄러지는 것을 최소화하여 안정성을 증대시킬 수 있는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드를 제공함에 있다.
또한, 패드부가 고정부재에 의해 견고하게 고정되도록 함으로써 패드부가 고정부재로부터 임의로 분리되는 것을 방지할 수 있는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드를 제공함에 있다.
또한, 패드부의 내부공간과 외부공간을 연결하는 통공을 형성함으로써, 패드부의 내부공간과 외부공간의 압력차에 의해 패드부가 변형되는 것을 방지할 수 있는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드를 제공함에 있다.
또한, 패드부와 고정부재를 미리 조립된 상태로 제공함으로써 이송 암에 간편하게 탈착할 수 있는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드를 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판 이송장치용 이송 암에 다수 마련되어 이송 암의 상측에 놓여지는 기판을 지지하는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드에 있어서, 기판을 탄력적으로 지지하는 접촉부와, 상기 접촉부의 테두리에서 하부로 연장되어 상기 접촉부를 탄력적으로 지지하는 탄력유지부와, 상기 탄력유지부의 하단테두리에서 내측 또는 외측을 향해 연장되는 지지부가 형성된 패드부; 및, 상기 패드부의 지지부를 이송 암에 고정하는 고정부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드에 의해 달성된다.
여기서, 상기 고정부재는 패드부의 지지부를 이송 암을 향해 가압하는 베이스를 포함하며, 상기 지지부와 베이스에는 상호 맞물리는 요철부가 각각 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 고정부재는 이송 암을 관통하는 체결부재에 나사결합되어 이송 암에 고정되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 고정부재는 베이스가 지지부의 일측을 지지한 상태에서, 지지부의 타측을 지지한 상태로 베이스에 고정되는 고정플레이트를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 고정플레이트는 이송 암의 상측면으로부터 이격 배치되고, 상기 고정플레이트와 베이스에는 패드부의 내부공간과 외부공간을 연결하는 통공이 관통 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 접촉부는 중앙이 상측방향을 향해 돌출된 호형의 단면으로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 패드부는 접촉부와 탄력유지부 중 적어도 어느 하나에 내부공간과 외부공간을 연결하는 통공이 관통 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 이송장치에 기판을 안착시킨 상태에서 직선운동이나 회전운동을 개시할 경우 또는 운동상태로부터 정지할 경우 기판이 이송장치 위에서 관성으로 인해 미끄러지는 것을 최소화하여 안정성을 증대시킬 수 있는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드가 제공된다.
또한, 패드부가 고정부재에 의해 견고하게 고정되도록 함으로써 패드부가 고정부재로부터 임의로 분리되는 것을 방지할 수 있는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드가 제공된다.
또한, 패드부의 내부공간과 외부공간을 연결하는 통공을 형성함으로써, 패드부의 내부공간과 외부공간의 압력차에 의해 패드부가 변형되는 것을 방지할 수 있는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드가 제공된다.
또한, 패드부와 고정부재를 미리 조립된 상태로 제공함으로써 이송 암에 간편하게 탈착할 수 있는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드가 제공된다.
도 1은 종래기술에 따른 패드 조립체가 마련된 이송장치에 대한 개략적인 부분 확대도,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드의 사시도,
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드의 요부확대 분해사시도,
도 4는 본 발명 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드의 단면도,
도 5 내지 도 6은 본 발명 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드의 작용단면도,
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드의 단면도이고,
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드의 단면도이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드에 대하여 상세하게 설명한다.
첨부도면 중 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드의 요부확대 분해사시도이다.
상기 도면에서 도시하는 바와 같은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드는 기판(G) 이송장치용 이송 암(A)에 다수 마련되어 이송 암(A)의 상측에 놓여지는 기판(G)을 지지하는 것으로, 기판(G)의 하부에 탄력적으로 접촉하여 기판(G)을 지지하는 패드부(110)와, 상기 패드부(110)를 이송 암(A)에 고정하는 고정부재(120)를 포함하여 구성된다.
상기 패드부(110)는 중앙이 상측 방향을 향해 완만하게 구부러진 호형 단면으로 이루어져 기판(G)을 탄력적으로 지지하는 접촉부(111)와, 상기 접촉부(111)의 테두리에서 하부로 연장되어 상기 접촉부(111)를 탄력적으로 지지하는 탄력유지부(112)와, 상기 탄력유지부(112)의 하단테두리에서 내측을 향해 연장되어 이송 암(A)의 상측면에 밀착되는 지지부(113)와, 접촉부(111)와 탄력유지부 중 적어도 어느 하나에 관통 형성되는 통공(115)을 포함하여 구성된다. 상기와 같은 패드부(110)는 기판(G)과의 접촉면에서 미끄러짐을 방지할 수 있는 마찰력을 제공하는 것은 물론, 기판(G)을 탄력적으로 지지할 수 있는 정도의 탄성력을 제공할 수 있는 고무계열의 재질로 구성됨이 바람직하다. 또한, 상기와 같은 패드부(110)는 접촉부(111)와 탄력유지부(112) 그리고 탄력유지부(112) 지지부(113)에 의해 중앙에 중공부(116)가 형성되고 저면 중앙에는 개구홀(117)이 형성되어 대략 측방향으로 확장된 타원형구체의 형상을 갖는다.
상기 고정부재(120)는 상기 패드부(110)의 지지부(113)를 이송 암(A)에 고정하는 것으로, 패드부(110)의 지지부(113)를 이송 암(A)을 향해 가압하는 베이스(121)와, 상기 지지부(113)의 요철부(114)와 상호 맞물리는 요철부(122)가 베이스(121)의 저면 테두리에서 하부를 향해 돌출 형성된다. 또한, 상기 베이스(121)의 중앙에는 수직방향으로 체결공(123)이 형성된다.
지금부터는 상술한 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.
첨부도면 중 도 4는 본 발명 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드의 단면도이고, 도 5 내지 도 6은 본 발명 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드의 작용단면도이다.
먼저, 도 4에서 도시하는 바와 같이 본 발명 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드는 고정부재(120)를 패드부(110)의 저면 중앙에 형성된 개구홀(117)을 통해 패드부(110)의 내측 중공부(116)로 삽입한 다음, 고정부재(120)의 베이스(121) 저면 테두리에 형성된 요철부(122)와 패드부(110)의 지지부(113)에 형성된 요철부(114)가 서로 맞물리도록 한 상태에서, 이송 암(A)의 저면으로부터 이송 암(A)을 관통하는 스크류와 같은 체결부재(S)로 상기 고정부재(120)의 중앙에 형성된 체결공(123)에 나사결합하여 조임방향으로 조이면, 패드부(110)의 지지부(113) 상측면에 중첩 배치되어있던 베이스(121)의 테두리부분이 지지부(113)를 가압하여 이송 암(A)을 향해 밀착시키므로, 패드부(110)가 이송 암(A)측에 견고하게 고정된다.
여기서, 상기 패드부(110)의 지지부(113)에 형성된 요철부(114)가 베이스(121)의 테두리에 형성된 요철부(122)와 서로 맞물린 상태가 되므로, 패드부(110)가 고정부재(120)로부터 임의로 분리되는 것을 방지할 수 있게 된다.
한편, 유지보수 또는 패드부(110)의 교체가 필요한 경우에는 상기 체결부재(S)를 조임해제방향으로 회전시키면, 패드부(110)를 가압하는 고정부재(120)가 상측방향으로 이격되므로, 고정부재(120)가 패드부(110)의 지지부(113)로부터 이격된 상태 또는 고정부재(120)가 체결부재(S)로부터 분리된 상태에서 패드부(110)의 교체가 가능하다.
한편, 상기와 같이 고정부재(120)에 의해 이송 암(A)에 고정된 패드부(110)는 상측방향으로 완만하게 구부러진 호형 단면의 접촉부(111)가 접촉부(111)의 테두리에서 하부로 연장되어 있는 탄력유지부(112)에 의해 지지부(113)로부터 탄력적으로 지지되므로, 상기 접촉부(111)와 탄력유지부(112)로 둘러싸인 패드부(110)의 내부공간에 마련되는 중공부(116)는 소정의 형태를 유지한다.
또한, 상기 이송 암(A)이 배치되는 챔버 내부의 환경, 즉 고압 또는 진공과 같은 저압의 환경에서 본 실시예의 패드부(110)가 사용되는 경우, 상기 접촉부(111)와 탄력유지부(112)에 형성된 통공(115)에 의해 패드부(110) 내측의 중공부(116)와 압력차가 발생하는 것이 방지되므로, 사용환경에 따라 패드부(110)가 팽창하거나 수축하는 것을 방지할 수 있다.
도 5는 이송 암(A)의 상측에 기판(G)이 적재된 상태를 나타내는 것으로, 이러한 상태에서는 기판(G)의 하중에 의해 이송 암(A)의 상면에 설치된 패드부(110)에 수직방향으로 압축력이 작용하므로, 패드부(110)가 탄력적으로 압축된 상태를 유지하게 된다.
즉, 접촉부(111)는 기판(G)과의 접촉시 기판(G)의 하중에 의해 볼록하게 돌출되어있던 중앙 상측이 압축되면서 기판(G)을 지지하는 것이므로, 종래의 패드에 비해 기판(G)과의 접촉면적이 증가하여 향상된 접촉 마찰력을 제공할 수 있으며, 이로 인해 기판(G)이 접촉부(111) 상에서 미끄러지는 것을 방지할 수 있다.
특히, 도 6과 같이 이송 암(A)의 운동 시작, 가속, 감속, 정지 및 회전 등과 같이 운동량에 변화가 발생하는 경우, 이송 암(A)의 상측에 놓여진 기판(G)에는 이송 암(A)의 운동방향과 반대방향으로 관성이 작용하게 된다.
여기서, 기판(G)의 저면을 지지하는 패드부(110)의 접촉부(111)는 접촉부(111)의 테두리에 마련된 탄력유지부(112)에 의해 탄력적으로 지지된다. 따라서, 기판(G)에 관성이 작용하면, 패드부(110)의 접촉부(111)가 기판(G)에 접촉한 상태에서 접촉부(111)를 지지하는 탄력유지부(112)가 관성이 작용하는 방향으로 탄성변형되면서 기판(G)에 작용하는 관성을 흡수한 다음, 원래의 형태로 복원된다.
또한, 상기와 같이 기판(G)에 관성이 작용하여 탄력유지부(112)가 변형되는 과정에서 접촉부(111)는 기판(G)에 접촉한 상태를 그대로 유지하므로, 기판(G)이 패드부(110)의 접촉부(111)상에서 미끄러지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 패드부(110)는 접촉부(111)가 기판(G)의 저면에 접촉한 상태에서, 탄력유지부(112)에 의해 이송 암(A)의 상면으로부터 이격되어 탄력적으로 지지되는 상태가 되므로, 이송 암(A) 측으로부터 전달되는 충격이 기판(G)에 전달되는 과정에서 완충되므로 기판(G)이 외부 충격에 의해 파손되는 것을 방지할 수 있다.
아울러, 상기와 같은 접촉부(111)는 기판(G)의 하중에 비례하여 기판(G)과의 접촉면적이 가변되므로, 기판(G)의 하중에 비례하여 작용하는 관성에 대해서도 효과적으로 지지할 수 있는 이점이 있다. 즉, 기판(G)의 두께가 두꺼워 하중이 증가한 경우에는 접촉부(111)와의 접촉면적이 증가하여 기판(G)의 하중에 대응하는 접촉 마찰력을 제공하므로, 기판(G)의 하중에 의해 관성이 증가하더라도 기판(G)이 접촉부(111)의 상측에서 미끄러지는 것을 방지할 수 있다.
다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드에 대하여 설명한다.
첨부도면 중 도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드의 단면도이다.
상기 도 7에서 도시하는 바와 같은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드는 고정부재(120')가 베이스(121)의 하방에 이격 배치되는 고정플레이트(124)와, 상기 고정플레이트(124)와 베이스(121)를 고정하는 체결구(125)를 더 포함하고, 체결공(123)이 고정플레이트(124)의 중앙에 형성되고, 베이스(121)와 고정플레이트(124)에 패드부(110')의 중공부(116)와 패드부(110')의 외부공간을 연결하는 통공(126)이 각각 관통 형성되고, 패드부(110')에는 이러한 통공(115)이 생략되는 점에서 상술한 실시예와 차이를 갖는다.
한편, 상기와 같은 차이점을 제외한 나머지 구성요소는 제1실시예와 동일하므로 동일 구성에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드는 고정부재(120')의 베이스(121)를 개구홀(117)을 통해 패드부(110')의 중공부(116)에 수용한 상태에서, 베이스(121)의 테두리부에 형성된 요철부(122)와 패드부(110')의 지지부(113)에 형성된 요철부(114)가 서로 맞물리도록 배치한 다음, 체결구(125)를 이용해 베이스(121)와 고정플레이트(124)를 고정하면, 베이스(121)의 고정플레이트(124)의 사이에 위치하는 패드부(110')의 지지부(113)가 압축되면서 고정된다. 이때, 상기 베이스(121)의 요철부(122)와 지지부(113)의 요철부(114)가 서로 맞물려있으므로, 상기 고정부재(120')에 패드부(110')가 고정된 상태에서 임의로 분리되는 것이 방지된다.
상기와 같이 고정부재(120')와 패드부(110')를 조립하면, 고정부재(120')의 베이스(121)와 고정플레이트(124)에 패드부(110')가 고정된 상태에서는 고정플레이트(124)의 중앙에 형성된 체결공(123)이 노출되므로, 고정부재(120')를 이송 암(A)의 상면에 배치한 상태에서, 이송 암(A)의 저면을 관통하는 스크류와 같은 체결부재(S)로 상기 고정부재(120)의 저면부에 노출된 체결공(123)에 나사결합되도록 한 다음 조임방향으로 조이면 고정부재(120')가 이송 암(A)에 고정된다.
즉, 본 발명의 제2실시예에 따르면, 패드부(110')와 고정부재(120')를 미리 조립된 상태로 제공할 수 있으므로 이송 암(A)에 쉽게 설치할 수 있는 이점이 있다.
한편, 제2실시예에서는 베이스(121)와 고정플레이트(124)를 체결하는 체결구(125)에 의해 고정플레이트(124)가 이송 암(A)의 상측면으로부터 소정간격 이격 배치된다. 따라서, 고정부재(120')의 베이스(121)와 고정플레이트(124)에 통공(126)을 각각 형성하여 패드부(110')의 중공부(116)와 외부공간을 연결함으로써 패드부(110')의 내부와 외부의 압력차에 의해 패드부(110')가 변형되는 것을 방지하는 것도 가능하다.
다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드에 대하여 설명한다.
첨부도면 중 도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드의 단면도이다.
도 7에서 도시하는 바와 같은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드는 패드부(110")의 지지부(113)가 탄력유지부(112)의 하단부에서 바깥쪽으로 연장되는 점에서 제1실시예의 패드부(110)와 구성상의 차이를 갖는다. 또한, 상기와 같은 패드부(110")를 고정하기 위해 고정부재(120")의 베이스(121)가 링 형태로 마련되고, 링의 내주면 하단부에 지지부(113)의 요철부(114)와 맞물리는 요철부(122)가 형성되는 점에서 제2실시예의 고정부재(120)와 구성상의 차이를 갖는다.
즉, 고정부재(120")를 구성하는 링형의 베이스(121)가 패드부(110")의 바깥쪽으로 연장된 지지부(113) 상측에 배치되고, 원반형의 고정플레이트(124)가 패드부(110")의 하부에 배치된 상태에서, 체결구(125)를 이용해 베이스(121)와 고정플레이트(124)를 고정하면, 베이스(121)의 고정플레이트(124)의 사이에 위치하는 패드부(110")의 지지부(113)가 압축되면서 고정된다.
이어서, 이송 암(A)의 저면을 관통하는 스크류와 같은 체결부재(S)로 상기 고정부재(120")의 저면부에 위치한 고정플레이트(124)의 체결공(123)에 나사결합되도록 한 다음 조임방향으로 조이면 패드부(110")가 고정부재(120")와 함께 이송 암(A)에 고정된다.
즉, 본 발명의 제3실시예에 따르면, 제2실시예와 마찬가지로 패드부(110")와 고정부재(120")를 미리 조립된 상태로 제공할 수 있으므로 이송 암(A)에 쉽게 설치할 수 있는 이점이 있다.
한편, 패드부(110")에 기판(G)이 지지된 상태에서, 패드부(110")가 관성을 흡수하는 작용은 제1실시예와 동일하게 이루어지므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
110,110',110":패드부, 111:접촉부, 112:탄력유지부, 113:지지부,
114:요철부, 115:통공, 116:중공부, 117:개구홀,
120,120',120":고정부재, 121:베이스, 122:요철부, 123:체결공,
124:고정플레이트, 125:체결구, 126:통공, A:이송 암,
G:기판, S:체결부재

Claims (7)

  1. 삭제
  2. 기판 이송장치용 이송 암에 다수 마련되어 이송 암의 상측에 안착되는 기판을 지지하는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드에 있어서,
    기판을 탄력적으로 지지하는 접촉부와, 상기 접촉부의 테두리에서 하부로 연장되어 상기 접촉부를 탄력적으로 지지하는 탄력유지부와, 상기 탄력유지부의 하단테두리에서 내측 또는 외측을 향해 연장되는 지지부가 형성된 패드부; 및,
    상기 패드부의 지지부를 이송 암에 고정하는 고정부재;를 포함하며,
    상기 고정부재는 패드부의 지지부를 이송 암을 향해 가압하는 베이스를 포함하며, 상기 지지부와 베이스에는 상호 맞물리는 요철부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 고정부재는 이송 암을 관통하는 체결부재에 나사결합되어 이송 암에 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 고정부재는 베이스가 지지부의 일측을 지지한 상태에서, 지지부의 타측을 지지한 상태로 베이스에 고정되는 고정플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 고정플레이트는 이송 암의 상측면으로부터 이격 배치되고, 상기 고정플레이트와 베이스에는 패드부의 내부공간과 외부공간을 연결하는 통공이 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드.
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 접촉부는 중앙이 상측방향을 향해 돌출된 호형의 단면으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드.
  7. 제 2항 내지 제4항과 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 패드부는 접촉부와 탄력유지부 중 적어도 어느 하나에 내부공간과 외부공간을 연결하는 통공이 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 미끄러짐 방지패드.
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