JP2013243203A - 支持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持面11内に設けられて板状部材に吸引力を付与する複数の伸縮部材13と、これら伸縮部材13に連通する減圧ポンプ15とを備えて支持装置10が構成されている。伸縮部材13は、一端側を当接面13Cとして支持面11から突出する位置を初期位置としており、反り変形した板状部材WFが載置されたときに、当接面を当接させて吸引力を付与し、支持面11に引き寄せつつ他の伸縮部材13で吸引力を段階的に付与することで、最終的に平面に矯正した状態で板状部材WFを支持するようになっている。
【選択図】図2
Description
特許文献1には、反り変形を有する板状部材(ガラス基板)を支持したときの当該板状部材とテーブルとの間に生じ得る空気だまりを回避するために、吸着力を作用させて板状部材を支持する吸着構造を備えた支持装置が提案されている。
従って、板状部材を支持装置に支持した状態で所定の処理を施す場合に、板状部材の面に施される処理を適正に行い得なくなる、という不都合を招来する。
本発明の目的は、反りを有する板状部材であっても、当該板状部材を支持面に密着させた状態で支持することのできる支持装置を提供することにある。
また、一方の同心円上に配置された当接手段から他方の同心円上に配置された当接手段向かって順次吸引力を付与する制御手段を備えているので、段階的に反り矯正を行えるようになり、板状部材と支持面との間の空気を追い出しつつ反り矯正を行って、支持面で板状部材を支持することができる。
更に、当接手段が収縮したときに、当接面が支持面内に位置する深さに設定された受容部が設けられていることで、板状部材が部分的に盛り上がったり、凹んだりすることがなく板状部材を支持することができる。
また、当接面が陥没防止手段を有する構成では、当接面が支持面を超えて陥没した状態となることを防止することができる。
また、支持面に移動抑制部材を設けた構成では、板状部材が支持面の面に沿って横方向に移動してしまうような不都合を回避でき、特に、板状部材が極薄である場合の不用意な移動を確実に阻止することができる。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図2を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 支持面
13 伸縮部材
13C 当接面
14 当接手段
15 減圧手段
19 制御手段
21 内周側受容部(受容部)
22 外周側受容部(受容部)
31 凹部(陥没防止手段)
32 傾斜凹部(陥没防止手段)
WF 半導体ウエハ(板状部材)
WF1 被支持面
Claims (5)
- 板状部材を支持する支持面と、前記板状部材における被支持面に当接可能な当接手段と、前記当接手段に吸引力を付与する減圧手段とを備えた支持装置において、
前記当接手段は、前記支持面と交差する方向に伸縮可能な伸縮部材と、当該伸縮部材の一端に位置し前記被支持面に当接する当接面とを含み、当該当接面が前記支持面から突出した状態で前記被支持面に当接可能に設けられ、前記板状部材を吸引することで前記伸縮部材が収縮し、前記当接面が前記支持面内に位置して前記板状部材を支持面に密着させて支持することを特徴とする支持装置。 - 前記当接手段は、前記支持面に直交する所定の軸を中心とする複数の同心円上それぞれに所定間隔を隔てて複数配置され、内側に位置する同心円及び外側に位置する同心円の何れか一方の同心円上に配置された当接手段から何れか他方の同心円上に配置された当接手段向かって段階的に吸引が行われるように制御する制御手段を更に備えていることを特徴とする請求項1記載の支持装置。
- 前記支持面に当接手段を受容する受容部が設けられ、当該受容部は、前記当接手段が収縮したときに、前記当接面が支持面内に位置する深さに設定されていることを特徴とする請求項1又は2記載の支持装置。
- 前記当接面が支持面を超えて陥没した状態となることを防止する陥没防止手段を有することを特徴とする請求項1ないし3の何れかに記載の支持装置。
- 前記支持面内に板状部材の移動を抑制する移動抑制部材が設けられたことを特徴とする請求項1ないし4の何れかに記載の支持装置。
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