JP2018508125A - 歪んだウェハをチャッキングするための装置および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2015年3月12日に出願された、米国仮特許出願第62/132,473号の優先権を米国特許法第119条(e)の下で主張し、該出願の全てを参照により本明細書に援用する。
Claims (15)
- ウェハを固定するための装置であって、
表面を備えたチャックと、
チャックの表面を貫通して延在する複数の貫通孔と、
固定型真空ベローズと、
複数のフローティングエアベアリングを備え、前記固定型真空ベローズと、前記複数のフローティングエアベアリングのうちそれぞれの1つのフローティングエアベアリングは、複数の貫通孔のうちの個々の貫通孔内にそれぞれ個別に、チャックの表面の上方に持ち上げられて配置される、ウェハを固定するための装置。 - 前記複数のフローティングエアベアリングが、
複数の貫通孔のうち第1の貫通孔内に配置された第1のフローティングエアベアリングと、
複数の貫通孔のうち第2の貫通孔内に配置された第2のフローティングエアベアリングとを備え、前記固定型真空ベローズは複数の貫通孔のうちの第3の貫通孔に配置されている、
請求項1に記載の装置。 - 前記固定型真空ベローズが、
貫通孔を備えた真空パッドと、
チャックの表面に対して直角な方向に展開と退縮の両方が可能である、前記真空パッドに接続されたベローズと、
前記ベローズ内に配置され、前記真空パッドに接続された真空ラインを備え、前記真空ラインは前記真空パッド内の前記貫通孔と流体連通する、
請求項1に記載の装置。 - 前記複数のフローティングエアベアリングのうちそれぞれの1つのフローティングエアベアリングが、
貫通孔を備えたエアベアリングパッドと、
チャックの表面に対して直角な方向に展開と退縮の両方が可能である、前記エアベアリングパッドに接続されたベローズと、
前記エアベアリングパッドの表面内の少なくとも1つのエアベアリング開口と、
前記少なくとも1つのエアベアリング開口に流体連通するエアラインと、
前記ベローズ内に配置され、前記エアベアリングパッドに接続された真空ラインを備え、前記真空ラインは前記エアベアリングパッド内の貫通孔と流体連通する、請求項1に記載の装置。 - 前記少なくとも1つのエアベアリング開口は、前記エアベアリングパッドの表面の環状開口である、請求項4に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのエアベアリング開口は多孔性媒体である、請求項4に記載の装置。
- 前記チャックの表面の縁の周りに、前記チャックの表面に対して実質的に直角な少なくとも1つの方向に配置された少なくとも2つの位置決めピンをさらに備える請求項1に記載の装置。
- 前記複数のフローティングエアベアリングは大気環境に直接排出する、請求項1に記載の装置。
- 前記固定型真空ベローズは、複数のフローティングエアベアリングのうち1つを含む、請求項1に記載の装置。
- ウェハをチャックに固定する方法であって、
前記ウェハを前記チャックの表面付近の位置に下降させ、
第1の負の気圧を用いて、前記ウェハを、前記チャックの表面の真空貫通孔内に前記チャックの表面の上方に持ち上げられて配置された固定型真空ベローズにカップリングし、
複数のフローティングエアベアリングによって供給される正の気圧を用いて前記ウェハを懸架し、複数のフローティングエアベアリングのうちそれぞれのフローティングエアベアリングは、前記チャックの表面の上方に持ち上げられて配置され、それぞれチャック内の複数の貫通孔のうち個々の貫通孔内に個別に配置され、
さらに、第2の負の気圧を用いて前記ウェハを前記複数のフローティングエアベアリングにカップリングし、
前記固定型真空ベローズと前記複数のフローティングエアベアリングを前記チャック内部に退縮することによって前記ウェハを前記チャックの表面に締結する、
ことを含む方法。 - 前記複数のフローティングエアベアリングが、
前記チャック内の複数の貫通孔のうち第1の貫通孔内に配置された第1のフローティングエアベアリングと、
前記チャック内の複数の貫通孔のうち第2の貫通孔内に配置された第2のフローティングエアベアリングとを備えている、
請求項10に記載の方法。 - 前記ウェハを前記チャックの表面に締結するステップの後で、前記複数のフローティングエアベアリングの正の気圧を中止するステップをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 前記チャックは表面幾何形状を備え、前記方法がさらに、
前記ウェハに前記チャックの表面幾何形状を付与することを含む、請求項10に記載の方法。 - 前記ウェハを下降させるステップ中に、前記ウェハは、前記チャックの表面の縁の周りに配置された少なくとも2つの位置決めピンによって画定される周長内に、前記チャックの表面に対して実質的に直角な少なくとも1つの方向に下降される、請求項10に記載の方法。
- ウェハを固定するための装置であって、
表面を備えたチャックと、
前記チャックの表面を貫通して延在する複数の貫通孔と、
前記チャックの表面の縁の周りに、前記チャックの表面に対して実質的に直角な少なくとも1つの方向に配置された少なくとも2つの位置決めピンと、
前記複数の貫通孔のうち第1の貫通孔内に配置された第1のフローティングエアベアリングと、
前記複数の貫通孔のうち第2の貫通孔内に配置された第2のフローティングエアベアリングと、
前記複数の貫通孔のうち第3の貫通孔内に配置された固定型真空ベローズと、
を備えた、ウェハを固定するための装置。
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