KR20120135636A - 기판 프레임 흡착장치 및 그 제어방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 상측으로 개방된 챔버가 마련된 몸체와, 개방된 챔버의 상측을 덮는 흡착판과, 챔버와 연결되어 챔버의 압력을 조절하는 압력조절장치를 포함한 기판 프레임 흡착장치에 관한 것으로, 흡착판은 다공성 재질로 형성되어 기판 프레임을 전체적으로 고르게 흡착할 수 있다.

Description

기판 프레임 흡착장치 및 그 제어방법{SUBSTRATE FRAME SUCTION APPARATUS AND CONTROL METHOD FOR THE SAME}
본 발명은 기판 프레임을 흡착하여 고정하는 기판 프레임 흡착장치에 관한 것이다.
기판 프레임 흡착장치는 반도체 패키지의 제조 및 검사하는 과정에서 기판 프레임을 흡착하여 고정하는 장치이다.
기판 프레임은 반도체가 부착되어 반도체 패키지가 형성되도록 하는 것으로, 이러한 기판 프레임을 흡착하기 위한 기판 프레임 흡착장치는 상측이 개방된 챔버가 마련된 몸체와, 개방된 챔버를 덮으며 복수의 흡착홀이 마련되어 있는 흡착판과, 챔버와 연결되어 챔버의 압력을 조절하는 압력조절장치를 포함한다.
따라서 압력조절장치를 통해 챔버의 압력을 음압이 되도록 낮추면 흡착홀을 통해 음압(진공압)이 전달되면, 흡착홀과 대응하는 위치의 기판 프레임 부위가 흡착홀에 흡착되어 기판 프레임이 기판 프레임 흡착장치에 고정되고, 기판 프레임 흡착 장치에 고정된 상태에서 기판 프레임 및 기판 프레임에 설치된 반도체의 검사가 이루어진다.
본 발명의 일 측면은 기판 프레임을 보다 안정적으로 흡착할 수 있는 기판 프레임 흡착장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따른 기판 프레임 흡착장치는 상측이 개방된 적어도 하나의 챔버를 포함하는 몸체와, 다공성 재질로 형성되어 개방된 챔버의 상측을 덮는 흡착판과, 챔버와 연결되어 챔버의 압력을 조절하는 압력조절장치를 포함한다.
또한 적어도 하나의 챔버는 격벽을 통해 구획된 복수의 챔버를 포함하며, 복수의 챔버는 압력조절장치와 각각 연결되어 서로 독립적으로 압력이 조절된다.
또한 본 발명의 일 측면에 따른 기판 프레임 흡착장치 제어방법은 압력조절장치를 통해 양압 상태인 복수의 챔버들이 차례로 음압이 되도록 하여 각 챔버와 대응하는 기판 프레임의 일부 부위가 차례로 흡착판에 흡착되도록 한다.
또한 압력조절장치는 복수의 챔버 중 기판 프레임의 일 측단 하부에 위치한 챔버로부터 기판 프레임의 타 측단 하부에 위치한 챔버까지 순차적으로 음압이 되도록 한다.
또한 압력조절장치는 복수의 챔버 중 기판 프레임의 중앙측 하부에 위치한 챔버로부터 기판 프레임의 양 측단 하부에 위치한 챔버까지 순차적으로 음압이 되도록 한다.
또한 압력조절장치는 음압 상태인 복수의 챔버들이 차례로 양압이 되도록 하여 각 챔버와 대응하는 기판 프레임의 일부 부위가 차례로 흡착판에서 분리될 수 있도록 한다.
또한 압력조절장치는 복수의 챔버 중 기판 프레임의 일 측단 하부에 위치한 챔버로부터 기판 프레임의 타 측단 하부에 위치한 챔버까지 순차적으로 양압이 되도록 한다.
또한 압력조절장치는 복수의 챔버 중 기판 프레임의 양 측단 하부에 위치한 챔버로부터 기판 프레임의 중앙측 하부에 위치한 챔버까지 순차적으로 양압이 되도록 한다.
상술한 바와 같이 본 발명의 일 측면에 따른 기판 프레임 흡착장치는 다공성 재질로 이루어진 흡착판을 통해 기판 프레임을 흡착하므로, 기판 프레임을 전체적으로 고르게 흡착할 수 있다.
또한 기판 프레임 흡착장치는 복수의 챔버로 구획되어 기판 프렘임을 일부분씩 차례로 흡착판에 흡착할 수 있어 기판 프레임을 흡착하는 과정에서 발생할 수 있는 기판 프레임의 뒤틀림이나 굴곡을 예방할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 프레임 흡착장치의 사시도이다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예 따른 기판 프레임 흡착장치의 동작을 보인 측면도이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 프레임 흡착장치의 동작을 보인 측면도이다.
이하에서는 본 발명에 따른 바람직한 하나의 실시예에 따른 기판 프레임흡착장치를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1에 도시한 바와 같이 기판 프레임 흡착장치(20)는 상측이 개방된 챔버(21a)가 마련된 몸체(21)와, 개방된 챔버(21a)의 상측을 덮도록 배치되며 기판 프레임(10)이 흡착되는 흡착판(22)과, 연결관(24)을 통해 챔버(21a)와 연결되어 챔버(21a) 내부의 압력을 조절하는 압력조절장치(23)를 포함한다.
본 실시에에서 흡착판(22)은 스폰지와 같은 형태로 미세한 구멍이 형성되어 있는 다공성(porous) 재질로 형성되어 챔버(21a) 내부의 압력에 따라 기판 프레임(10)을 흡착할 수 있도록 되어 있다. 즉, 압력조절장치(23)에 의해 챔버(21a) 내부의 압력이 음압이 될 경우에는 다공성 재질로 형성된 흡착판(22)의 미세 구멍들에는 흡입력이 발생하고 그에 따라 기판 프레임(10)이 흡착판(22)에 흡착되며, 압력조절장치(23)에 의해 챔버(21a) 내부의 압력이 양압이 될 경우에는 흡착판(22)에서 작용하던 흡입력이 사라져 기판 프레임(10)이 흡착판(22)으로부터 이탈할 수 있는 상태가 된다. 본 실시예에서 흡착판(22)은 미세한 구멍들이 형성되어 있는 실리콘 재질로 이루어진다.
이와 같이 흡착판(22)을 다공성 재질로 형성하면, 흡입력은 흡착판(22)에 형성되어 있는 미세한 구멍들을 통해 흡착판(22) 전체에 고르게 분산되어 작용하게 된다. 따라서 흡입력이 기판 프레임(10)의 특정 부분에 집중적으로 작용하는 것을 방지할 수 있게 되며, 그에 따라 특정 부위에 흡입력이 집중될 경우 흡착된 기판 프레임(10)에서 발생할 수 있는 기판 프레임(10)의 굴곡을 감소시킬 수 있다.
또한 본 실시예에서 몸체(21)에 마련된 챔버(21a)는 복수의 격벽(21b)을 통해 구획된 복수의 챔버(21a)를 포함하며, 각 챔버(21a)들은 압력조절장치(23)와 각각 개별적으로 연결되어 서로 독립적으로 동작할 수 있도록 되어 있다. 따라서 압력조절장치(23)를 통해 각 챔버(21a)들의 압력을 개별적으로 조절함으로써 챔버(21a)와 대응하는 위치의 흡착판의 일부 부위에서만 흡입력이 선택적으로 작용하도록 하는 것이 가능하다.
또한 상술한 바와 같이 흡착판(22)을 다공성 재질로 형성하고 격벽(21b)들에 의해 챔버(21a)들이 구획되도록 하면, 흡착판(22)에 형성된 미세한 구멍들을 통해 격벽(21b)과 대응하는 위치의 흡착판(22) 부위에도 흡입력이 전달될 수 있어, 부위에 따라 다른 흡입력이 작용할 경우 발생할 수 있는 기판 프레임(10)의 굴곡도 감소시킬 수 있다.
다음은 이와 같이 구성된 기판 프레임 흡착장치의 제어방법을 살펴보면 아래와 같다.
도 2에 도시한 바와 같이 챔버(21a)들이 모두 양압인 상태에서 흡착판(22) 위에 기판 프레임(10)을 올려 놓는다. 이때, 기판 프레임(10)은 기판 프레임(10)에 반도체를 설치하는 과정에서 가해지는 열이나 압력에 의해 부분적으로 또는 전체적으로 굴곡이 생길 수 있다.
기판 프레임(10)이 흡착판(22) 위에 올려진 상태에서 압력조절장치(23)를 통해 챔버(21a)들로부터 공기를 흡입하여 챔버(21a)들의 압력이 차례로 음압이 되도록 한다. 이와 같이 챔버(21a)들의 압력을 차례로 음압으로 변경하면, 챔버(21a)와 대응하는 위치에 마련되어 있는 흡착판(22)의 일부 영역에서만 흡입력이 발생하므로 각 챔버(21a)와 대응하는 기판 프레임(10)의 일부 부위가 흡착판(22)에 차례로 흡착된다.
본 실시예에서 압력조절장치(23)는 도 3 내지 도 5에 도시한 바와 같이 기판 프레임(10)의 일단측 하부에 위치한 챔버(21a)로부터 기판 프레임(10)의 타단측 하부에 위치한 챔버(21a)까지 차례로 음압이 되도록 한다. 이와 같이 압력조절장치(23)를 제어하여 압력조절장치(23)에 의해 챔버(21a)들의 내부 압력을 차례로 음압으로 변경하면 기판 프레임(10)은 그 일단측으로부터 그 타단측까지 일부 부위씩 시차를 두고 차례로 흡착판(22)에 흡착된다.
상술한 바와 같이 기판 프레임(10)이 그 일단부부터 타단부까지 차례로 흡착판에 흡착되도록 하면 기판 프레임(10) 전체를 동시에 흡착할 경우 발생할 수 있는 기판 프레임(10)의 굴곡이나 뒤틀림을 줄일 수 있다.
기판 프레임(10)이 흡착판(22)에 흡착된 후에는 기판 프레임(10) 및 기판 프레임(10)에 설치된 반도체를 검사 장비들을 통해 검사하고, 검사가 완료된 후에는 압력조절장치(23)를 통해 챔버(21a)들 중 기판 프레임(10)의 일단측 하부에 위치한 챔버(21a)부터 기판 프레임(10)의 타단측 하부에 위치한 챔버(21a)까지 순차적으로 양압이 되도록 한다. 챔버(21a)들이 모두 양압이 된 후에 흡착판(22)에서는 더 이상 흡입력이 작용하지 않으므로, 기판 프레임(10)을 흡착판으로부터 분리할 수 있는 상태가 된다.
상술한 바와 같이 압력조절장치(23)를 통해 챔버(21a)들이 차례로 양압이 되도록 하면, 기판 프레임(10)이 흡착판(22)에 흡착되는 과정에서 변형되었던 기판 프레임(10)이 원래 형태로 복원되면서 발생할 수 있는 기판 프레임(10)의 유동을 최소화 할 수 있다.
상기의 실시예에서는 압력조절장치(23)가 기판 프레임(10)의 일단측 하부에 위치한 챔버(21a)로부터 타단측 하부에 위치한 챔버(21a)까지 차례로 음압이 되도록 압력조절장치(23)를 제어하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 도 6 내지 도 7에 도시한 바와 같이 압력조절장치(23)가 기판 프레임(10)의 중앙측 하부에 위치한 챔버(21a)로부터 양측단 하부에 마련된 챔버(21a)까지 차례로 음압이 되도록 하는 압력조절장치(23)를 제어하는 것도 가능하다.
이와 같이 하면 압력조절장치(23)는 동시에 두 개의 챔버(21a)씩 음압이 되도록 하므로 기판 프레임(10)이 보다 빠른 시간 내에 흡착판(22)에 흡착될 수 있다.
기판 프레임(10)의 검사가 완료된 후에는 반대로 기판 프레임(10)의 양측단 하부에 위치한 챔버(21a)로부터 기판 프레임(10)의 중앙측 하부에 위치한 챔버(21a)까지 차례로 양압이 되도록 한다.
본 발명은 상기에서 기재된 실시예들에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
10: 기판 프레임 20: 기판 프레임 흡착장치
21: 몸체 21a: 챔버
21b: 격벽 22: 흡착판
23: 압력조절장치 24: 연결관

Claims (8)

  1. 상측이 개방된 적어도 하나의 챔버를 포함하는 몸체와,
    다공성 재질로 형성되어 개방된 상기 챔버의 상측을 덮는 흡착판과,
    상기 챔버와 연결되어 상기 챔버의 압력을 조절하는 압력조절장치를 포함하는 기판 프레임 흡착장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 챔버는 격벽을 통해 구획된 복수의 챔버를 포함하며,
    상기 복수의 챔버는 압력조절장치와 각각 연결되어 서로 독립적으로 압력이 조절되는 기판 프레임 흡착장치.
  3. 압력조절장치를 통해 양압 상태인 복수의 챔버들이 차례로 음압이 되도록 하여 각 상기 챔버와 대응하는 기판 프레임의 일부 부위가 차례로 흡착판에 흡착되도록 하는 기판 프레임 흡착장치 제어방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 압력조절장치는 상기 복수의 챔버 중 상기 기판 프레임의 일 측단 하부에 위치한 챔버로부터 상기 기판 프레임의 타 측단 하부에 위치한 챔버까지 순차적으로 음압이 되도록 하는 기판 프레임 흡착장치 제어방법.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 압력조절장치는 상기 복수의 챔버 중 상기 기판 프레임의 중앙측 하부에 위치한 챔버로부터 상기 기판 프레임의 양 측단 하부에 위치한 챔버까지 순차적으로 음압이 되도록 하는 기판 프레임 흡착장치 제어방법.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 압력조절장치는 음압 상태인 복수의 챔버들이 차례로 양압이 되도록 하여 각 상기 챔버와 대응하는 기판 프레임의 일부 부위가 차례로 흡착판에서 분리될 수 있도록 하는 기판 프레임 흡착 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 압력조절장치는 상기 복수의 챔버 중 상기 기판 프레임의 일 측단 하부에 위치한 챔버로부터 상기 기판 프레임의 타 측단 하부에 위치한 챔버까지 순차적으로 양압이 되도록 하는 기판 프레임 흡착장치 제어방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 압력조절장치는 상기 복수의 챔버 중 상기 기판 프레임의 양 측단 하부에 위치한 챔버로부터 상기 기판 프레임의 중앙측 하부에 위치한 챔버까지 순차적으로 양압이 되도록 하는 기판 프레임 흡착장치 제어방법.
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