KR102083351B1 - 비전 테이블 모듈 및 비전 테이블 장치 - Google Patents

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한복우
조윤기
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제너셈(주)
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Abstract

비전 테이블 모듈이 개시되며, 상기 비전 테이블 모듈은 , Z축 방향으로 형성되는 진공홀 복수 개를 포함하는 테이블 플레이트 구조체; 및 상기 테이블 플레이트 구조체의 상기 Z축 방향 일측에 배치되어 상기 진공홀에 대한 음압을 형성하거나, 상기 진공홀에 대한 음압을 해제하는 음압제어부를 포함하되, 상기 음압제어부는, 음압 해제시, 상기 진공홀에 대한 음압을 단계적으로 해제한다.

Description

비전 테이블 모듈 및 비전 테이블 장치{VISION TABLE MODULE AND VISION TABLE APPARATUS}
본원은 비전 테이블 모듈 및 비전 테이블 장치에 관한 것이다.
반도체 패키지의 비전 테이블은 반도체 패키지를 패키지 단위 별로 절단하는 싱귤레이션 작업 후, 개별 반도체 패키지를 세척 및 건조시키는 작업을 수행하는 반도체 패키지 제조 장치에서, 반도체 패키지를 건조 공정 후 검사위치로 반송하는 테이블로서, 개별 절단된 반도체 패키지 각각을 진공 흡착하여 고정시켜 안착시키는 역할을 한다, 일반적으로, 개별 커팅된 패키지 각각을 진공 흡착하여 위치 고정시키고, 픽커(유닛 픽커, 멀티 픽커)에 의해 패키지가 비전 테이블로부터 제거될 때, 진공 흡착을 해제한다.
이때, 진공 흡착의 해제는 픽커의 패키지 흡착이 이루어지기 전에 수행될 수 있는데, 종래의 비전 테이블에 의하면, 진공 흡착의 해제시 갑작스러운 진공압 제거로 패키지가 튀거나, 위치 이동되는 측면이 있었다. 또한, 진공 흡착의 해제로 인해 패키지의 위치 이탈을 방지하기 위하여, 종래의 비전 테이블은 각 패키지를 수용하기 위한 패키지 홈 또는 가이드월을 구비함으로써, 비전 테이블 상에 수용할 수 있는 패키지의 양 또는 크기가 한정되는 불편함이 있었다.
본원의 배경이 되는 기술은 한국등록특허공보 제10-0920934호에 개시되어 있다.
본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 검사 위치로의 비전 테이블의 이동 및 픽커에 의한 패키지 픽업시 패키지에 대한 흡착을 해제할 때 패키지가 유동하는 것을 최소화할 수 있는 비전 테이블 모듈 및 비전 테이블 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
다만, 본원의 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들도 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제 1 측면에 따른 비전 테이블 모듈은, Z축 방향으로 형성되는 진공홀 복수 개를 포함하는 테이블 플레이트 구조체; 및 상기 테이블 플레이트 구조체의 상기 Z축 방향 일측에 배치되어 상기 진공홀에 대한 음압을 형성하거나, 상기 진공홀에 대한 음압을 해제하는 음압제어부를 포함하되, 상기 음압제어부는, 음압 해제시, 상기 진공홀에 대한 음압을 단계적으로 해제할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 비전 테이블 모듈에 있어서, 상기 음압제어부는, 상기 테이블 플레이트 구조체 상에 안착되는 패키지가 흡착되도록, 음압을 형성하고, 음압 해제시, 상기 패키지의 유동이 줄어들도록 음압 정도를 단계적으로 줄여 음압을 해제할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 비전 테이블 모듈에 있어서, 상기 음압제어부는
상기 테이블 플레이트 구조체의 Z축 방향 일측에 구비되되, 상기 테이블 플레이트 구조체의 복수 개의 상기 진공홀이 형성된 부분과 대향하는 부분이 Z축 방향 일측으로 함몰되어 형성된 함몰부; 및 상기 함몰부로부터 Z축 방향 일측으로 통공된 음압 작용 통로를 포함하는 음압 전달 플레이트부; 상기 음압 작용 통로와 연결되고, 음압을 형성하여 상기 음압 작용 통로에 대해 음압을 작용하거나, 음압 형성을 해제하여 상기 음압 작용 통로에 대해 음압을 해제하는 음압 발생기; 에어 공급원; 상기 에어 공급원으로부터 음압 발생기로 에어를 전달하는 제1 밸브 구조체; 및 상기 에어 공급원으로부터 음압 발생기로 에어를 전달하는 제2 밸브 구조체를 포함하되, 상기 음압 발생기는, 공급받는 기체량에 비례하여 음압을 형성하고, 상기 제1 밸브 구조체는 상기 제2 밸브 구조체보다 상기 음압 발생기에 대한 큰 기체 공급량을 가질 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 비전 테이블 모듈에 있어서, 진공홀에 대한 음압 형성시, 상기 제1 밸브 구조체는 온(ON) 상태이고, 상기 제2 밸브 구조체는 온(ON) 상태이며, 상기 진공홀에 대한 음압 해제시, 상기 제1 밸브 구조체는 오프(OFF) 상태이고, 상기 제2 밸브 구조체는 온(ON) 상태이며, 미리 설정된 시간 이후, 상기 제2 밸브 구조체까지 오프(OFF) 상태일 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 비전 테이블 모듈에 있어서, 진공홀에 대한 음압 형성시, 상기 제1 밸브 구조체는 온(ON) 상태이고, 상기 제2 밸브 구조체는 온(ON) 상태이며, 상기 진공홀에 대한 음압 해제시, 상기 제1 밸브 구조체는 오프(OFF) 상태이고, 상기 제2 밸브 구조체는 온(ON) 상태이며, 미리 설정된 시간 이후, 상기 제2 밸브 구조체까지 오프(OFF) 상태일 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 비전 테이블 모듈에 있어서, 상기 테이블 플레이트 구조체는, 상기 Z축 방향으로 복수 개의 제1 관부가 형성되는 제1 플레이트; 상기 제1 플레이트와 상기 음압 전달 플레이트부 사이에 배치되며, 복수 개의 상기 제1 관부 각각과 상기 함몰부를 연통시키는 복수 개의 제2 관부가 형성되는 제2 플레이트를 포함할 수 있다.
또한, 본원의 제2 측면에 따른 비전 테이블 장치는, 상술한 본원의 제1 측면에 따른 비전 테이블 모듈; 및 상기 비전 테이블 모듈을 X축 방향으로 이동시키는 레일 구조체를 포함할 수 있다.
또한, 본원의 일 구현예에 따른 비전 테이블 장치에 있어서, 상기 레일 구조체는, 상기 비전 테이블 모듈의 X축 방향 이동을 가이드하는 레일; 및 상기 비전 테이블 모듈을 이동시키는 모터부를 포함하되, 상기 모터부는, 상기 테이블 플레이트 구조체에 안착되는 패키지의 유동이 방지되도록, 상기 비전 테이블 모듈의 이동 속도를 일정하게 유지할 수 있다.
상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본원을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 패키지에 대한 흡착 해제시, 흡착력(음압)이 단계적으로 줄어들며 흡착 해제될 수 있는바, 흡착이 해제되는 과정에서, 패키지가 튀거나 유동하는 것이 줄어들 수 있다.
또한, 전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 테이블 플레이트 구조체에 안착 가능한 패키지의 규격의 다양성이 확보되도록 테이블 플레이트 구조체 상에 패키지의 위치나 규격을 한정하는 프레임, 월 등이 구비되지 않음으로써, 더 심해질 수 있는 흡착 해제시의 패키지의 유동이 억제될 수 있다.
또한, 전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 모터에 비전 테이블 모듈의 이동 속도가 일정하게 유지될 수 있으므로, 비전 테이블 모듈의 이동시 비전 테이블 모듈에 안착된 패키지의 흔들림, 위치 이탈, 유동 등이 억제될 수 있다.
도 1은 본원의 일 실시예에 따른 비전 테이블 모듈의 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1의 A-A 단면도이다.
도 3은 패키지가 안착된 본원의 일 실시예에 따른 비전 테이블 모듈의 개략적인 사시도이다.
도 4는 본원의 일 실시예에 따른 비전 테이블 모듈의 음압 제어부를 설명하기 위한 개략적인 개념도로서, 일부 구성이 생략된 본원의 일 실시예에 따른 비전 테이블 모듈을 하측에서 비스듬하게 바라본 사시도이다.
도 5는 테이블 플레이트 구조체가 제거된 상태의 본원의 일 실시예에 따른 비전 테이블 모듈의 개략적인 사시도이다.
도 6은 테이블 플레이트 구조체, 제1 음압 전달 플레이트 등이 제거된 상태의 본원의 일 실시예에 따른 비전 테이블 모듈의 개략적인 사시도이다.
도 7은 도 1의 B-B 단면도이다.
도 8은 본원의 일 실시예에 따른 비전 테이블 장치의 개략적인 사시도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에", "상부에", "상단에", "하에", "하부에", "하단에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본원은 비전 테이블 모듈 및 비전 테이블 장치에 관한 것이다.
먼저, 본원의 일 실시예에 따른 비전 테이블 모듈(이하 '본 비전 테이블 모듈'이라 함)(1)에 대해 설명한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 비전 테이블 모듈(1)은 테이블 플레이트 구조체(11)를 포함한다. 또한, 도 2를 참조하면, 테이블 플레이트 구조체(11)는 Z축 방향으로 형성되는 진공홀(114) 복수 개를 포함한다.
구체적으로, 도 1 및 도 2를 참조하면, 테이블 플레이트 구조체(11)는 Z축 방향으로 복수 개의 제1 관부(1111)가 형성되는 제1 플레이트(111), 제1 플레이트(111)의 Z축 방향 일측에 배치되되 복수 개의 제1 관부(1111) 각각과 연통되게 Z축 방향 일측으로 연장 형성되는 제2 관부(1121) 복수 개가 형성되는 제2 플레이트(112)를 포함할 수 있다. 이에 따르면, 제2 플레이트(112)는 제1 플레이트(111)와 후술할 음압 전달 플레이트부(121) 사이에 배치될 수 있다. 또한, 제2 관부(1121)는 복수 개의 제1 관부(1111) 각각과 후술할 함몰부(12111)를 연통시킬 수 있다. 진공홀(114)은 제1 및 제2 관부(1111, 1121)를 포함할 수 있다.
또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 테이블 플레이트 구조체(11)는 안착부(113)를 포함할 수 있다. 도 3을 참조하면, 안착부(113)는 제1 플레이트(111) 상측에 배치될 수 있다. 또한, 안착부(113)는 복수 개의 진공홀(114)이 덮이도록 배치될 수 있다. 또한, 도 3을 참조하면, 안착부(113) 상에 패키지가 안착될 수 있다. 진공홀(114)에 음압이 형성되면, 안착부(113) 상에 안착된 패키지(9)는 테이블 플레이트 구조체(11)에 흡착될 수 있다.
참고로, 안착부(113)는 안착부(113) 상에 안착되는 패키지(9)의 규격(사이즈, 형태 등)이 제한되지 않도록 구비될 수 있다. 다시 말해, 안착부(113)는 안착부(113) 또는 제1 플레이트(111)로부터 Z축 방향 타측으로 안착부(113)보다 더 돌출되는 월(wall) 등과 같은 별도의 구성에 의해 복수 개의 영역으로 구획(분할)되지 않을 수 있다. 이에 따라, 안착부(113)에 안착되는 패키지(9)의 규격은 제한되지 않으며, 본 비전 테이블 모듈(1)에 안착될 패키지(9)의 규격이 달라지더라도, 규격이 달라진 패키지 안착에 동일한 본 비전 테이블 모듈(1)이 사용될 수 있다.
또한, 안착부(113)는 탄성을 갖는 재질일 수 있다. 예를 들어, 러버를 포함하는 재질로 이루어질 수 있다. 또한, 안착부(113)는 포러스(porous) 재질일 수 있다. 안착부(113)는 테이블 플레이트 구조체(11)의 하부로부터 공급되는 진공에어를 통해 각 패키지(9)를 흡착할 수 있도록 적어도 하나의 홀을 포함할 수 있다.
또한, 도 4를 참조하면, 본 비전 테이블 모듈(1)은 음압제어부(12)를 포함한다. 음압제어부(12)는 테이블 플레이트 구조체(11)의 Z축 방향 일측에 배치되어 진공홀(114)에 대한 음압을 형성하거나, 진공홀(114)에 대한 음압을 해제한다.
음압제어부(12)는 테이블 플레이트 구조체(11) 상에 안착되는 패키지(9)가 흡착되도록 진공홀(114) 내에 음압을 형성할 수 있다. 또한, 테이블 플레이트 구조체(11)로부터 패키지(9)가 제거되어야 할 때, 다시 말해, 테이블 플레이트 구조체(11)의 패키지(9)에 대한 흡착을 중단해야 할 때 음압제어부(12)는 진공홀(114) 내에서의 음압 형성을 중단할 수 있다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 테이블 플레이트 구조체(11)의 Z축 방향 일측에 구비되는 음압 전달 플레이트부(121)를 포함한다.
도 2 및 도 5를 참조하면, 음압 전달 플레이트부(121)는 테이블 플레이트 구조체(11)의 복수 개의 진공홀(114)이 형성된 부분과 대향하는 부분이 Z축 방향 일측으로 함몰되어 형성된 함몰부(12111)를 포함한다. 예를 들어, 도 2를 참조하면, 음압 전달 플레이트부(121)는 제1 음압 전달 플레이트(1211) 및 제1 음압 전달 플레이트(1211)의 Z축 방향 일측에 구비되는 제2 음압 전달 플레이트(1212)를 포함할 수 있고, 제1 음압 전달 플레이트(1211)의 Z축 방향 타측을 향하는 타면에 함몰부(12111)가 형성될 수 있다.
또한, 도 5 내지 도 7을 참조하면, 음압 전달 플레이트부(121)는 함몰부(12111)로부터 Z축 방향 일측으로 통공된 음압 작용 통로(12112, 12121)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 5 및 도 7을 함께 참조하면, 음압 작용 통로(12112, 12121)는 함몰부(12111)로부터 Z축 방향으로 연장되며 제1 음압 전달 플레이트(1211)에 형성되는 제1 음압 작용관(12112) 및 도 6 및 도 7을 함께 참조하면, 제1 음압 작용관(12112)으로부터 연장되도록 제2 음압 전달 플레이트(1212)에 형성되는 제2 음압 작용관(12121)을 포함할 수 있다.
또한, 도 4를 참조하면, 음압제어부(12)는 음압 작용 통로(12112, 12121)와 연결되는 음압 발생기(122)를 포함할 수 있다. 음압 발생기(122)는 제2 음압 작용관(12121)과 연결되고, 제2 음압 작용관(12121)이 제1 음압 작용관(12112)과 연결되는 형태로, 음압 발생기(122)는 음압 작용통로(12112, 12121)과 연결될 수 있다. 음압 발생기(122)는 음압을 형성하여 음압 작용 통로(12112, 12121)에 대해 음압을 작용하거나, 음압 형성을 해제하여 음압 작용 통로(12112, 12121)에 대해 음압을 해제할 수 있다. 음압 발생기(122)는 기체(공기, 에어)를 공급받으면 음압 발생기(122)와 연결된 음압 작용 통로(12112, 12121)을 통해 기체를 흡입함으로써, 진공홀(114) 내에 음압을 발생시킬 수 있다. 구체적으로, 도 4를 참조하면, 음압 발생기(122)에 기체가 공급되면, 음압 발생기(122)는 제2 음압 작용관(12121) 및 제1 음압 작용관(12112) 내의 기체를 흡입할 수 있고, 이에 따라, 도 7을 참조하면, 1 음압 작용관(12112)과 Z축 방향 타측으로 연통된 함몰부(12111) 및 도 2를 참조하면, 함몰부(12111)와 연통된 진공홀(114) 내의 기체가 음압 발생기(122)로 빨아들여지며 제2 음압 작용관(12121), 제1 음압 작용관(12112), 함몰부(12111) 및 진공홀(114) 내에 음압이 형성되며, 패키지 흡착이 가능해진다.
또한, 음압 발생기(122)는 공급받는 기체량에 따라 음압 발생 정도(음압 세기)가 정해질 수 있다. 구체적으로, 음압 발생기(122)로 공급되는 기체량이 증가되면 음압 발생기(122)가 흡입하는 기체량은 증가될 수 있으며, 진공홀(114) 내의 음압은 세질 수 있고, 음압 발생기(122)로 공급되는 기체량이 감소되면 음압 발생기(122)가 흡입하는 기체량이 감소되며 진공홀(114) 내의 음압이 약해질 수 있으며, 음압 발생기(122)로 공급되는 기체량이 0이되면 음압은 0이될 수 있다.
참고로, 도 6을 참조하면, 제2 음압 작용관(12121)은 복수 개 형성될 수 있다. 또한, 도 5를 참조하면, 제1 음압 작용관(12112)은 복수 개 형성될 수 있다. 다만, 도 5와 도 6을 비교하여 보면, 제1 음압 작용관(12112)의 개수와 제2 음압 작용관(12121)의 개수는 상이할 수 있는데, 제1 음압 작용관(12112)은 복수 개의 제2 음압 작용관(12121) 중 적어도 하나와 함몰부(12111)를 연통시키게 형성될 수 있다. 예를 들어, 도 5와 도 6을 비교하여 보면, 도 5에는 복수 개의 제2 음압 작용관(12121) 중 2개의 제2 음압 작용관(12121)이 함몰부(12111)와 연통되도록, 제1 음압 작용관(12112)이 2개 형성된 것이 도시되었다.
또한, 도 4를 참조하면, 음압제어부(12)는 에어 공급원(123)을 포함할 수 있다. 에어 공급원(123)은 음압 발생기(122)에 에어를 공급할 수 있다. 또한, 도 3을 참조하면, 음압제어부(12)는 에어 공급원(123)으로부터 음압 발생기(122)로 에어를 전달하는 제1 밸브 구조체(124) 및 에어 공급원(123)으로부터 음압 발생기(122)로 에어를 전달하는 제2 밸브 구조체(125)를 포함할 수 있다.
제1 밸브 구조체(124)는 에어 공급원(123)과 음압 발생기(122)를 연결하며 에어 공급원(123)으로부터 토출된 기체의 이동 경로를 제공하는 제1 이동관 및 제1 이동관을 통한 기체의 이동이 허용되도록 제1 이동관을 개방하거나 기체의 이동이 차단되도록 제1 이동관을 폐쇄하는 제1 밸브를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 밸브가 온(ON)되면 제1 이동관이 개방되어 제1 이동관을 통한 에어 공급원(123)으로부터 읍압 발생기(122)로의 기체의 공급이 이루어질 수 있다. 또한, 제1 밸브가 오프(OFF)되면 제1 이동관이 폐쇄되어 제1 이동관을 통한 에어 공급원(123)으로부터 읍압 발생기(122)로의 기체의 공급이 중단될 수 있다.
또한, 및 제2 밸브 구조체(125)는 에어 공급원(123)으로부터 토출된 기체의 이동 경로를 제공하는 제2 이동관 및 제2 이동관을 통한 기체의 이동이 허용되도록 제2 이동관을 개방하거나 기체의 이동이 차단되도록 제2 이동관을 폐쇄하는 제2 밸브를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 밸브가 온(ON)되면 제2 이동관이 개방되어 제2 이동관을 통한 에어 공급원(123)으로부터 읍압 발생기(122)로의 기체의 공급이 이루어질 수 있다. 또한, 제2 밸브가 오프(OFF)되면 제2 이동관이 폐쇄되어 제2 이동관을 통한 에어 공급원(123)으로부터 읍압 발생기(122)로의 기체의 공급이 중단될 수 있다.
이에 따라, 제1 밸브 및 제2 밸브가 온되어 에어 공급원(123)으로부터 읍압 발생기(122)로의 기체의 공급이 이루어지면, 진공홀(114)에는 음압이 작용할 수 있고, 제1 밸브 및 제2 밸브가 오프되어 에어 공급원(123)으로부터 읍압 발생기(122)로의 기체의 공급이 중단되면, 진공홀(114)에 대한 음압(음압 작용)은 해제될 수 있다. 참고로 본원에서, 제1 밸브 구조체(124)의 온(ON) 상태는 제1 밸브의 온(ON) 상태를 의미할 수 있고, 제1 밸브 구조체(124)의 오프(OFF) 상태는 제1 밸브의 오프(OFF) 상태를 의미할 수 있으며, 제2 밸브 구조체(125)의 온(ON) 상태는 제2 밸브의 온(ON) 상태를 의미할 수 있고, 제2 밸브 구조체(125)의 오프(OFF) 상태는 제2 밸브의 오프(OFF) 상태를 의미할 수 있다.
또한, 음압제어부(12)는 음압 해제시, 진공홀(114)에 대한 음압 세기를 단계적으로 줄여 음압을 해제한다. 음압제어부(12)는 음압 해제시, 테이블 플레이트 구조체(11)의 진공홀(114)이 흡착하고 있던 패키지(9)의 유동이 줄어들도록 음압을 단계적으로 해제할 수 있다.
구체적으로, 제1 밸브 구조체(124)는 제2 밸브 구조체(125)보다 음압 발생기(122)에 대한 큰 기체 공급량을 가질 수 있다. 다시 말해, 제1 밸브 구조체(124)에 의한 에어 공급원(123)으로부터 음압 발생기(122)로의 기체 공급량은 제2 밸브 구조체(125)에 의한 에어 공급원(123)으로부터 음압 발생기(122)로의 기체 공급량보다 클 수 있다.
또한, 진공홀(114)에 대한 음압 해제시, 제1 밸브 구조체(124)는 오프 상태이고, 제2 밸브 구조체(125)는 온 상태이며, 미리 설정된 시간 이후, 제2 밸브 구조체(125)까지 오프 상태가 될 수 있다.
예를 들어, 제1 밸브 구조체(124)의 시간당 기체공급량이 100이고(풀 공급) 제2 밸브 구조체(125)의 시간당 기체공급량이 40인 경우(일부 공급), 진공홀(114)에 대한 음압 형성시, 제1 및 제2 밸브 구조체(124, 125)는 온 상태이고, 음압 발생기(122)에는 시간당 100의 기체공급량으로 기체가 공급되어 음압 발생기(122)는 공급받는 기체량에 대응되게 시간당 100의 기체량을 흡입하며 진공홀(114)에 a 세기로 음압을 형성할 수 있다. 이때, 진공홀(114)에 대한 음압 해제 명령이 입력되면, 제 1밸브 구조체(124)는 오프 상태가 되고 이에 따라, 음압 해제 명령 입력후 초기 미리 설정된 시간 동안(예를 들어, 수십 ms~수초) 음압 발생기(122)에는 제2 밸브 구조체(125)에 의해 시간당 기체공급량 40으로 기체를 공급받을 수 있으며, 이에 따라, 미리 설정된 시간 동안 음압 발생기(122)는 시간당 40 정도의 기체량을 흡입하며 진공홀(114)에 상기 a 세기보다 적은 b 세기로 음압을 형성할 수 있고, 미리 설정된 시간 이후, 제2 밸브 구조체(125)까지 오프 상태가 되며, 음압 발생기(122)로의 기체 공급이 완전 중단되어 진공홀(114) 내의 음압 형성이 해제될 수 있다.
이에 따르면, 본 비전 테이블 모듈(1)의 패키지(9)에 대한 흡착 해제시, 흡착력(음압)이 단계적으로 줄어들며 0이 될 수 있는바, 흡착이 완전 해제되었을 때, 패키지가 안착부(113)의 재질 특성(러버 탄성력), 진공 해제에 의한 반력 등에 의해 튀거나 유동되는 것이 방지될 수 있다.
또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 안착부(113)에 재치되는 패키지(9)의 규격 또는 크기, 안착부(113)의 재질의 특성값(경도 또는 거칠기) 중 적어도 어느 하나에 따라, 제2밸브 구조체(125)의 시간당 기체공급량이 조절될 수 있다. 예를 들어, 패키지의 규격이 큰 경우에는 제2밸브 구조체(125)의 시간당 기체공급량과 제1밸브 구조체(124)의 시간당 기체공급량의 차이가 소정의 임계값을 초과하도록 설정되고(즉, 단계 차이가 상대적으로 크도록), 패키지의 규격이 작은 경우에는 제2밸브 구조체(125)의 시간당 기체공급량과 제1밸브 구조체(124)의 시간당 기체공급량의 차이가 소정의 임계값의 이하가 되도록 설정될 수 있다(즉, 단계 차이가 상대적으로 작아서 안정적으로 단계적으로 진공이 해제될 수 있다)
특히, 본 비전 테이블 모듈(1)은 안착부(113)에 안착 가능한 패키지(9)의 규격의 다양성을 확보하기 위해 안착부(113)에 패키지(9)의 위치나 규격을 한정하는 프레임, 월 등이 구비되지 않으므로, 종래와 같이 흡착이 진공의 단일 해제에 의해 갑작스럽게 해제되면 패키지가 튀거나 위치 이동될 수 있는데, 본 비전 테이블 모듈(1)에 의하면 흡착력이 단계적으로 감소되며 흡착이 중단될 수 있으므로, 패키지(9)에 대한 흡착 해제시 패키지(9)의 유동이 저감될 수 있다.
또한, 본원은 비전 테이블 장치를 제공할 수 있다.
이하에서는, 상술한 본원의 일 실시예에 따른 비전 테이블 모듈(1)을 포함하는 본원의 일 실시예에 따른 비전 테이블 장치(이하 '본 장치'라 함)에 대해 설명한다. 다만, 앞서 살핀 본 비전 테이블 모듈(1)에서 설명한 구성과 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고, 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하기로 한다.
도 8을 참조하면, 본 비전 테이블 장치는 본 비전 테이블 모듈(1)을 포함한다. 예를 들어, 본 비전 테이블 장치는 본 비전 테이블 모듈(1)을 2개 포함할 수 있다.
또한, 본 비전 테이블 장치는 본 비전 테이블 모듈(1)을 X축 방향으로 이동시키는 레일 구조체(2)를 포함한다.
도 8을 참조하면, 레일 구조체(1)는 본 비전 테이블 모듈(1)의 X축 방향 이동을 가이드하는 레일(21)을 포함할 수 있다.
또한, 도 8을 참조하면, 레일 구조체(1)는 본 비전 테이블 모듈(1)을 이동시키는(레일(21)을 따라 이동되도록 이동시키는) 모터부를 포함할 수 있다. 본 비전 테이블 모듈(1)은 테이블 플레이트 구조체(11) 상에 패키지(9)가 안착된 상태일 때 X축 방향으로 이동될 수 있는데, 모터부는 테이블 플레이트 구조체(11) 상에 안착된 패키지(9)의 유동이 저감되도록(줄어들도록) 본 비전 테이블 모듈(1)의 이동 속도를 일정하게 유지할 수 있다.
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 비전 테이블 모듈
11: 테이블 플레이트 구조체
111: 제1 플레이트
1111: 제1 관부
112: 제2 플레이트
1121: 제2 관부
113: 안착부
114: 진공홀
12: 음압제어부
121: 음압 전달 플레이트
1211: 제1 음압 전달 플레이트
12111: 함몰부
12112: 제1 음압 작용관
1212: 제2 음압 전달 플레이트
12121: 제2 음압 작용관
122: 음압 발생기
123: 에어 공급원
124: 제1 밸브 구조체
125: 제2 밸브 구조체

Claims (7)

  1. 비전 테이블 모듈에 있어서,
    Z축 방향으로 형성되는 진공홀 복수 개를 포함하는 테이블 플레이트 구조체; 및
    상기 테이블 플레이트 구조체의 상기 Z축 방향 일측에 배치되어 상기 진공홀에 대한 음압을 형성하거나, 상기 진공홀에 대한 음압을 해제하되, 음압 해제시 상기 진공홀에 대한 음압을 단계적으로 해제하는 음압제어부를 포함하되,
    상기 음압제어부는,
    상기 테이블 플레이트 구조체의 Z축 방향 일측에 구비되되, 상기 테이블 플레이트 구조체의 복수 개의 상기 진공홀이 형성된 부분과 대향하는 부분이 Z축 방향 일측으로 함몰되어 형성된 함몰부; 및 상기 함몰부로부터 Z축 방향 일측으로 통공된 음압 작용 통로를 포함하는 음압 전달 플레이트부;
    상기 음압 작용 통로와 연결되고, 음압을 형성하여 상기 음압 작용 통로에 대해 음압을 작용하거나, 음압 형성을 해제하여 상기 음압 작용 통로에 대해 음압을 해제하는 음압 발생기;
    에어 공급원;
    상기 에어 공급원으로부터 상기 음압 발생기로 에어를 전달하는 제1 밸브 구조체; 및
    상기 에어 공급원으로부터 상기 음압 발생기로 에어를 전달하는 제2 밸브 구조체를 포함하되,
    상기 제1 밸브 구조체는 상기 제2 밸브 구조체보다 상기 음압 발생기에 대한 큰 기체 공급량을 가지고,
    상기 진공홀에 대한 음압 형성시,
    상기 제1 밸브 구조체는 온(ON) 상태이고, 상기 제2 밸브 구조체는 온(ON) 상태이며,
    상기 진공홀에 대한 음압 해제시,
    미리 설정된 시간 동안 상기 진공홀에 대한 음압 형성시 대비 적은 세기로 음압이 형성되도록, 상기 제1 밸브 구조체는 오프(OFF) 상태이고 상기 제2 밸브 구조체는 온(ON) 상태이며, 상기 미리 설정된 시간 이후, 상기 제2 밸브 구조체까지 오프(OFF) 상태되는 것인, 비전 테이블 모듈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 음압제어부는,
    상기 테이블 플레이트 구조체 상에 안착되는 패키지가 흡착되도록, 음압을 형성하고,
    음압 해제시, 상기 패키지의 유동이 줄어들도록 음압 세기를 단계적으로 줄여 음압을 해제하는 것인, 비전 테이블 모듈.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 테이블 플레이트 구조체는,
    상기 Z축 방향으로 복수 개의 제1 관부가 형성되는 제1 플레이트;
    상기 제1 플레이트와 상기 음압 전달 플레이트부 사이에 배치되며, 복수 개의 상기 제1 관부 각각과 상기 함몰부를 연통시키는 복수 개의 제2 관부가 형성되는 제2 플레이트를 포함하는 것인, 비전 테이블 모듈.
  6. 비전 테이블 장치에 있어서,
    제1항에 따른 비전 테이블 모듈; 및
    상기 비전 테이블 모듈을 X축 방향으로 이동시키는 레일 구조체를 포함하는, 비전 테이블 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 레일 구조체는,
    상기 비전 테이블 모듈의 X축 방향 이동을 가이드하는 레일; 및
    상기 비전 테이블 모듈을 이동시키는 모터부를 포함하되,
    상기 모터부는,
    상기 테이블 플레이트 구조체에 안착되는 패키지의 유동이 저감되도록, 상기 비전 테이블 모듈의 이동 속도를 일정하게 유지하는 것인, 비전 테이블 장치.
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