KR102105948B1

KR102105948B1 - 패키지 픽커 모듈 및 패키지 이송 장치

Info

Publication number: KR102105948B1
Application number: KR1020190007391A
Authority: KR
Inventors: 한복우; 조윤기
Original assignee: 제너셈(주)
Priority date: 2019-01-21
Filing date: 2019-01-21
Publication date: 2020-04-29

Abstract

패키지 픽커 모듈이 개시되며, 상기 패키지 픽커 모듈은 패키지를 픽업 가능한 픽커; 상기 픽커에 대한 진공압을 작용하거나 진공압을 해제하는 진공 생성부; 및 상기 픽커를 회전시키는 회전 모터를 포함하고, 상기 픽커는 패키지의 픽업시, 패키지를 진공 흡착하고 회전한다.

Description

패키지 픽커 모듈 및 패키지 이송 장치{PACKAGE PICKER MODULE AND PACKAGE TRANSPER APPARATUS}

본원은 패키지 픽커 모듈 및 패키지 이송 장치에 관한 것이다.

반도체 패키지 와 같은 패키지의 제조 공정에서, 패키지는 픽업되어 복수의 공정 장치들로 이송될 필요가 있다.

예를 들어, 링 형상의 프레임에 부착된 필름에 부착된 복수 개의 패키지는 필름으로부터 탈거되어 브러쉬 장치와 같은 다른 공정 장치로 이송될 필요가 있다.

그런데, 종래의 픽커는 링의 필름에 접착제로 부착된 패키지를 단순 흡착하여 필름으로부터 픽업하는바, 패키지의 픽업에 시간이 오래 걸리고, 효율적이지 못하다는 단점이 있었다.

본원의 배경이 되는 기술은 한국공개특허 제2016-0144701호에 개시되어 있다.

본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 링으로부터 패키지를 보다 용이하게 픽업할 수 있는 패키지 픽커 모듈 및 패키지 이송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

다만, 본원의 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들도 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제 1 측면에 따른 패키지 픽커 모듈은, 패키지를 픽업 가능한 픽커; 상기 픽커에 대한 진공압을 작용하거나 진공압을 해제하는 진공 생성부; 및 상기 픽커를 회전시키는 회전 모터를 포함하고, 상기 픽커는 패키지의 픽업시, 패키지를 진공 흡착하고 회전할 수 있다.

또한, 본원의 일 구현예에 따른 패키지 픽커 모듈에 있어서, 상기 픽커는, 그의 하면에 형성되어 흡착된 패키지의 적어도 일부가 수용되는 함몰부를 포함할 수 있다.

또한, 본원의 일 구현예에 따른 패키지 픽커 모듈에 있어서, 상기 픽커는, 패키지 안착부를 포함하고, 상기 함몰부는 상기 패키지 안착부의 하면으로부터 상측으로 함몰 형성될 수 있다.

또한, 본원의 일 구현예에 따른 패키지 픽커 모듈에 있어서, 상기 함몰부는, 상기 흡착된 패키지의 상면의 적어도 일부가 접촉되는 접촉면 및 상기 흡착된 패키지의 측면의 적어도 일부와 대향하는 월부를 포함할 수 있다.

본원의 제 2 측면에 따른 패키지 이송 장치는, 링이 안착되는 익스팬더; 및 상기 익스팬더에 안착된 링으로부터 패키지를 픽업하는 본원의 제1 측면에 따른 패키지 픽커 모듈을 포함하되, 상기 픽커는 상기 익스팬더에 안착된 링으로부터의 패키지 픽업시 회전될 수 있다.

또한, 본원의 일 구현예에 따른 패키지 이송 장치에 있어서, 상기 익스팬더는, 링이 로딩되는 스테이지를 포함하고, X축 및 Y축으로 이동 가능하며, 상기 스테이지에 로딩되는 링의 픽업 예정 패키지의 상기 픽커에 의한 픽업시 상기 픽업 예정 패키지에 상측 방향으로 외력을 가하는 플런저 유닛을 더 포함할 수 있다.

또한, 본원의 일 구현예에 따른 패키지 이송 장치에 있어서, 상기 플런저 유닛은, 상하 이동 가능한 플런저 핀; 상기 플런저 핀의 이동 경로가 형성되며 상기 플런저 핀을 수용하는 플런저 하우징; 및 상기 플런저 하우징의 상면에 형성되는 흡착구를 포함하되, 상기 플런저 핀은, 상기 플런저 하우징의 상면보다 상측으로 이동 가능하다.

또한, 본원의 일 구현예에 따른 패키지 이송 장치에 있어서, 상기 흡착구는, 상기 픽커가 상기 픽업 예정 패키지를 탈거하는 동안, 상기 링의 필름의 상기 픽업 예정 패키지와 상기 픽업 예정 패키지의 이웃하는 패키지 사이 중 적어도 일부를 흡착할 수 있다.

또한, 본원의 일 구현예에 따른 패키지 이송 장치에 있어서, 상기 픽커는, 그의 하면에 형성되어 흡착된 패키지의 적어도 일부가 수용되는 함몰부를 포함할 수 있다.

또한, 본원의 일 구현예에 따른 패키지 이송 장치에 있어서, 상기 픽커는, 패키지 안착부를 포함하고, 상기 함몰부는 상기 패키지 안착부의 하면으로부터 상측으로 함몰 형성될 수 있다.

또한, 본원의 일 구현예에 따른 패키지 이송 장치에 있어서, 상기 함몰부는, 상기 흡착된 패키지의 상면의 적어도 일부가 접촉되는 접촉면 및 상기 흡착된 패키지의 측면의 적어도 일부와 대향하는 월부를 포함할 수 있다.

상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본원을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.

전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 링으로부터의 패키지 픽업시, 픽커가 패키지를 흡착한 후 회전되어 패키지를 회전시키며 링으로부터 패키지를 탈거할 수 있다. 이에 따라, 링의 필름과 부착된 상태인 패키지가 보다 용이하게 링으로부터 탈거되어 픽업될 수 있다.

또한, 픽커의 패키지 흡착시, 패키지의 적어도 일부가 함몰부에 수용될 수 있는바, 픽커의 회전시 픽커의 헛돔 없이 패키지가 용이하게 회전되어 패키지의 필름으로부터의 탈거가 이루어질 수 있다.

또한, 이젝트 핀이 별도의 스프링 모듈의 작용 없이도 기체압 전달부에 의한 블로우압에 의해 하측으로(초기 상태로) 이동가능하므로, 칩의 플레이싱시 칩은 블로우압 및 이젝트 핀에 의해 작용하는 하측 방향으로의 외력 중 하나 이상에 의해 플레이싱될 수 있어, 칩이 보다 빠르고 효율적으로 플레이싱될 수 있다. 또한, 이젝트 핀의 구동이 스프링이 아닌 기체압 전달부의 진공압 및 블로우압에 의해 이루어질 수 있으므로, 이젝트 핀을 구동시키는 스프링이 생략될 수 있어 스프링을 교체할 필요가 없다.

또한, 전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 메인 기체 라인과 연통되는 제1 기체 라인이 음압을 형성하는 제2 기체 라인 및 파기 기체를 공급하는 제3 기체 라인으로 분기되어 선택적으로 연결 가능하기 때문에, 제2 기체 라인과 제3 기체 라인이 별도로 형성될 수 있어, 파기 기체가 음압을 형성하는 진공 노즐 구조체 측으로 역류하는 것이 방지될 수 있다. 이에 따라, 파기 기체의 배출량 감소가 방지되며, 파기 기체의 유량 및 압력을 정밀하게 제어할 수 있다.

도 1은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 픽커 모듈의 개략적인 사시도이다.
도 2는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 픽커 모듈의 개략적인 측면도이다.
도 3은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 픽커 모듈의 픽커의 개략적인 단면도이다.
도 4는 도 3의 A의 확대도이다.
도 5는 도 3의 B의 확대도이다.
도 6은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 픽커 모듈의 픽커의 이젝트 핀이 상측으로 이동되는 것을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 7은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 픽커 모듈의 픽커의 이젝트 핀의 사시도이다.
도 8은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 픽커 모듈의 진공 생성부의 개략적인 단면도이다.
도 9는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 픽커 모듈의 진공 생성부의 진공 노즐 유닛의 개략적인 사시도이다.
도 10은 도 8의 C의 확대도이다.
도 11은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 이송 장치의 익스팬더의 개략적인 사시도이다.
도 12는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 이송 장치의 플런저 유닛의 개략적인 사시도이다.
도 13은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 이송 장치의 플런저 유닛의 평면도이다.
도 14는 상측에 링이 배치된 본원의 일 실시예에 따른 패키지 이송 장치의 플런저 유닛의 개략적인 개념 평면도이다.
도 15는 플런저 핀이 하우징의 상면의 상측으로의 이동 전 상태인 도 14의 A-A 단면도이다.
도 16은 플런저 핀이 하우징의 상면의 상측으로의 이동 된 상태인 도 14의 A-A 단면도이다.
도 17은 도 14의 B-B 단면도이다.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에", "상부에", "상단에", "하에", "하부에", "하단에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

먼저, 본원의 일 실시예에 따른 패키지 픽커 모듈(이하 '본 픽커 모듈'이라 함)에 대해 설명한다.

참고로, 본 픽커 모듈의 픽커(1)에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 상부, 상면, 하측, 하부, 하면 등)는 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들면, 도 1 내지 도 7을 보았을 때 전반적으로 12시 방향이 상측, 전반적으로 12시 방향을 향하는 부분이 상부, 전반적으로 12시 방향을 향하는 면이 상면, 전반적으로 6시 방향이 하측, 전반적으로 6시 방향을 향하는 부분이 하부, 전반적으로 6시 방향을 향하는 면이 하면 등이 될 수 있다.

본 픽커 모듈은 대상체(패키지)를 픽업하여 특정 위치에 플레이싱할 수 있다. 예를 들어, 대상체는 반도체 칩 등과 같은 전자 소자의 칩, 전자 소자의 패키지일 수 있다. 또한, 본 픽커 모듈은 패키지가 부착된 필름으로부터 패키지를 분리할 수 있다. 이를 테면, 반도체 패키지의 제조 과정에서, 반도체 패키지는 링 형태의 프레임의 외주면에 부착된 필름으로부터 분리(탈거, 떼어져)될 필요가 있는데, 본 픽커 모듈은 이러한 공정에 적용될 수 있다. 참고로, 이하에서 링은 필름이 부착된 링 형상의 프레임을 의미할 수 있다.

다만, 본 픽커가 픽업 및 플레이싱 하는 대상체는 상술한 바에 한정되지 않으며, 본 픽커는 다양한 물체를 픽업 및 플레이싱하는데 이용될 수 있다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 픽커 모듈은 패키지(91)를 픽업 가능한 픽커(1)를 포함한다.

구체적으로, 도 3 내지 도 5를 참조하면, 픽커(1)는 하부 몸체(11)를 포함한다. 하부 몸체(11)에는 길이 방향으로 가이드 관(111)이 형성된다. 또한, 하부 몸체(11)는 가이드 관(111)의 중간부의 내면으로부터 내측으로 돌출 형성되는 단턱(1111)을 포함할 수 있다.

또한, 도 4 및 도 5를 참조하면, 픽커(1)는 중간 몸체(12)를 포함한다. 중간 몸체(12)는 하부 몸체(11)의 상측에 배치될 수 있다. 또한, 중간 몸체(12)와 하부 몸체(11)는 서로 연결될 수 있다. 이에 따라, 중간 몸체(12)의 후술할 본체 몸체(16)에 대한 상하 이동시, 중간 몸체(12)와 연동되어 하부 몸체(11)는 상하 이동될 수 있다.

또한, 도 4 및 도 5를 참조하면, 중간 몸체(12)에는 진공 라인(121)이 형성된다. 도 5를 참조하면, 진공 라인(121)은 기체압 전달부(18)와 연통될 수 있다. 또한, 진공 라인(121)은 하단이 가이드 관(111)의 상단과 연통되며 가이드 관(111)과 기체압 전달부(18)를 연통시킨다. 이에 따라, 기체압 전달부(18)가 진공압(기체압 전달부(18) 측으로 기체가 흡입됨에 따라 가이드 관(111)과 진공 라인(121)에 형성되는 흡입력일 수 있음)을 작용하면 가이드 관(111)에 진공압이 작용될 수 있다. 또한, 기체압 전달부(18)가 블로우압(기체압 전달부(18)로부터 기체가 토출됨에 따라 가이드 관(111)과 진공 라인(121)에 형성되는 기체 토출압일 수 있음)을 작용하면, 가이드 관(111)에 블로우압이 작용될 수 있다. 참고로, 도면에는 자세히 도시되지 않았지만, 도 2를 참조하면, 기체압 전달부(18)는 후술할 진공 생성부(2)의 픽커 연결부(21)와 연결되어 진공 생성부(2)에 의해 가이드 관(111)에 진공압을 작용하거나, 가이드 관(111)에 블로우압을 작용할 수 있다.

또한, 도 5를 참조하면, 중간 몸체(12)는 진공 라인(121)의 하단 둘레를 따라 형성되는 지지턱(122)을 포함한다. 지지턱(122)의 적어도 일부는 후술하는 이젝트 핀(13)의 상단 테두리(131)와 대향한다.

또한, 도 3 및 도 4를 참조하면, 픽커(1)는 이젝트 핀(13)을 포함한다. 이젝트 핀(13)은 가이드 관(111) 내에 상하 방향으로 이동 가능하게 구비된다. 도 5를 참조하면, 대기상태일 때(예를 들어, 진공압이 작용하지 않는 상태) 이젝트 핀(13)은 하단이 가이드 관(111)의 하단보다 하측으로 돌출되고 상단이 지지턱(122)으로부터 이격되는 초기 위치를 가지고 가이드 관(111)에 구비된다.

도 5를 참조하면, 이젝트 핀(13)의 중간부(133)는 이젝트 핀(13)의 하부보다 외측으로 돌출되어 상측 방향으로 연장 형성될 수 있다. 또한, 중간부(133)의 하단은 이젝트 핀(13)의 초기 위치시에 단턱(1111)에 지지되는 지지턱(1331)일 수 있다. 이젝트 핀(13)은 그의 상단 테두리(131)가 지지턱(122)에 접촉되는 위치와 그의 지지턱(1331)이 단턱(1111)에 지지되는 위치 사이에서 상하 이동할 수 있다.

또한 도 5 및 도 6을 참조하면, 픽커(1)는 복수 개의 진공 홀(14)을 포함한다. 복수 개의 진공 홀(14)은 하부 몸체(11)의 하면에 형성된다. 예를 들어, 도 5 및 도 6을 참조하면, 복수 개의 진공 홀(14)은 하부 몸체(11)의 하면에서 가이드 관(111)의 둘레를 따라 형성될 수 있다. 예를 들어, 도 5 및 도 6에 도시된 바에 따르면, 진공 홀(14)은 하부 몸체(11)의 하면에서 단턱을 포함하여 하측으로 개방된 형상을 가질 수 있다. 또한, 예를 들어, 진공 홀(14)은 4 개가 형성될 수 있다. 또한, 도면에는 자세히 도시되지 않았지만, 복수 개의 진공 홀(14) 각각은 기체압 전달부(18)와 연결된다. 이에 따라, 진공 홀(14)은 기체압 전달부(18)가 작용하는 진공압 및 블로우압을 전달받아 그의 하측(외부)에 대해 작용할 수 있다. 이에 따라, 기체압 전달부(18)에 의해 진공압이 작용되면, 진공 홀(14)의 진공압에 의해 패키지(91)는 픽커(1)에 흡착될 수 있다. 또한, 기체압 전달부(18)에 의해 블로우압이 작용되면, 진공 홀(14)의 블로우압에 의해 패키지(91)는 픽커(1)로부터 이탈(플레이싱)될 수 있다. 구체적으로, 기체압 전달부(18)가 진공압을 작용하는 경우, 진공 홀(14)에 진공압이 작용되어 진공 홀(14)의 하측에 위치하는 패키지(91)가 흡착될 수 있다. 예를 들어, 패키지(91)는 후술할 패키지 안착부(11)의 하면에 접촉(지지)되며 픽커(1)에 흡착될 수 있다. 또한, 기체압 전달부(18)가 블로우압을 작용하는 경우, 진공 홀(14)에 블로우압이 작용되어 진공 홀(14)에 그의 내부로부터 외부로 향하는 공기 흐름(블로우압)이 작용될 수 있다. 이에 따라, 흡착된 패키지(91)가 픽커(1)로부터 이격될 수 있다.

또한, 도 5 및 도 6을 참조하면, 진공 홀(14)은 하부 몸체(11)의 하부를 관통하며 상측으로 연장 형성되어 가이드 관(111)과 연결됨으로써, 가이드 관(111)을 통해 작용되는 진공압 및 블로우압을 전달 받아 그의 하측에 대해 작용할 수 있다. 이러한 경우, 도 5 및 도 6을 참조하면, 진공 홀(14)은 하부 몸체(11)의 하면으로부터 상측 방향으로 연장 형성되는 부분은 가이드 관(111)의 하부 관(1116)의 둘레를 따라 복수 개 형성될 수 있다. 다만, 진공 홀(14)의 기체압 전달부(18)와의 연결 형태는 이에 한정되지 않으며, 다른 예로서, 진공 홀(14)은 진공 라인(121)과는 다른 별도의 기체 통로를 통해 기체압 전달부(18)와 연결됨으로써 기체압 전달부(18)가 작용하는 진공압 및 블로우압을 전달받아 그의 하측에 대해 작용할 수 있다.

또한, 도 5 및 도 6을 참조하면, 픽커(1)는 하부 몸체(11)의 하부에 결합되는 패키지 안착부(191)를 포함할 수 있다. 패키지 안착부(11)에는 진공 홀(14)로부터 작용되는 진공압과 블로우압이 통과하고, 이젝트 핀(13)의 가이드 관(111)으로부터 돌출되는 하단이 위치하는 작용 통로(111)가 형성될 수 있다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 작용 통로(111)의 단면적은 진공 홀(14)의 단면적보다 클 수 있다. 이와 같은 작용 통로(111)가 진공 홀(14)의 하측에 형성됨에 따라, 진공 홀(14)에서 작용되는 기체압이 직접적으로 패키지(91)에 작용되는 것보다 작용 통로(111)를 통해 패키지(91)에 작용하는 기체압이 완화될 수 있다. 만약, 패키지(91)에 기체압이 강하게 작용될 경우, 패키지(91)가 픽커(1)에 순간적으로 흡착되어 패키지(91)가 픽커(1)에 부딪힐 수 있다. 반면에, 픽커(1)에 의하면, 단면적이 상대적으로 넓은 작용 통로(111)를 통해 패키지(91)가 픽커(1)에 흡착되기 때문에, 패키지(91)에 대한 외력 작용이 보다 감소되고 안정적으로 흡착될 수 있다. 도 4를 참조하면, 초기 위치의 이젝트 핀(13)의 하단은 작용 통로(111)의 하단보다 돌출될 수 있다.

또한, 픽커(1)는 그의 하면에 형성되어 흡착된 패키지(91)의 적어도 일부가 수용되는 함몰부(1912)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 도 5 및 도 6을 참조하면, 패키지 안착부(191)의 하면에는 상측으로 함몰된 함몰부(1912)가 형성될 수 있다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 함몰부(1912)는 픽커(1)의 패키지(91) 흡착시 패키지(91)의 상면의 적어도 일부가 접촉되는 접촉면(19121) 및 패키지(91)의 측면의 적어도 일부와 대향하는 월부(19122)를 포함할 수 있다. 즉, 진공 홀(14)로부터 진공압이 작용되면, 진공압에 의해 패키지(91)는 픽커(1)에 흡착될 수 있는데, 이때, 패키지(91)의 적어도 일부는 패키지 안착부(191)의 함몰부(1912)에 수용될 수 있다. 또한, 패키지(91)의 월부(19122)와 대향하는 부분과 월부(19122) 사이의 간격은 패키지(91)의 소정 각도 이상으로의 회전을 방지하도록 형성될 수 있다. 이러한 함몰부(1912)에 의한 효과는 후술한다.

또한, 참고로, 도 5를 참조하면, 함몰부(1912)는 접촉면(19121)과 월부(19122) 사이에서 상측으로 함몰된 추가 함몰부(19123)를 포함할 수 있다.

또한, 도 6을 참조하면, 기체압 전달부(18)에 의해 진공압이 작용되면, 픽커(1)는 패키지(91)를 흡착할 수 있고, 이젝트 핀(13)은 흡착되는 패키지(91)에 의한 상측 방향으로의 외력 및 진공압 중 하나 이상에 의해 상측 방향으로 이동될 수 있다.

예를 들어, 도 6을 참조하면, 기체압 전달부(18)에 의해 진공압이 작용되면 진공 홀(14)은 흡입할 수 있고, 이젝트 핀(13)은 가이드 관(111) 내에서 진공압에 의해 상측 방향으로 이동될 수 있다. 이 과정에서, 진공 홀(14)의 흡입에 따라 흡착되는 패키지(91)에 의한 상측 방향으로의 외력이 이젝트 핀(13)에 작용할 수 있다. 이에 따라, 진공압이 작용되면, 진공 홀(14)에 의한 패키지(91)의 흡착이 이루어질 수 있고, 이젝트 핀(13)은 패키지(91)가 흡착되면서 이젝트 핀(13)을 상측 방향으로 밀어올리는 외력 및 진공압 중 하나 이상에 의해 상측 방향으로 이동될 수 있다.

또한, 도 5를 참조하면, 기체압 전달부(18)의 진공압이 해제되고, 기체압 전달부(18)에 의해 블로우압이 작용되면, 이젝트 핀(13)은 블로우 압에 의해 하측 방향으로 이동되어 초기 위치를 가지며 패키지(91)에 하측 방향으로의 외력을 작용할 수 있다. 또한, 기체압 전달부에 의해 블로우압이 작용되면 진공 홀(14)로부터 하측으로 블로우압이 토출될 수 있다. 이에 따라, 패키지(91)는 블로우압 및 이젝트 핀(13)에 의한 하측 방향으로의 외력 중 하나 이상에 의해 플레이싱될 수 있다. 따라서, 패키지(91)가 블로우압에 의해서만 플레이싱되는 것에 비해 보다 빨리 패키지(91)가 플레이싱될 수 있다.

또한, 도 6 및 도 7을 참조하면, 이젝트 핀(13)의 상부 중 진공 라인과 대향하는 부분에는 이젝트 핀(13)의 상단 테두리(131)보다 하측 방향으로 함몰되는 함몰부(132)가 형성될 수 있다. 이에 따라, 블로우압의 작용시, 블로우 압은 이젝트 핀(13)의 상면 중 함몰부(132)에 집중되어 작용될 수 있고, 블로우 압이 이젝트 핀(13)의 상면 중 일부분에 집중되어 작용됨에 따라, 블로우압의 작용시 이젝트 핀(13)은 보다 빠르게 하측 방향으로 이동될 수 있다.

예를 들어, 도 5 및 도 7을 참조하면, 함몰부(132)의 하부(1321)는 하단을 향할수록 직경이 작아질 수 있다. 도 5를 참조하면, 또한, 함몰부(132)의 상부(1323)은 하단을 향할수록 직경이 줄어들 수 있으며, 함몰부(131)의 중간부(1322)는 직경이 유지되며 함몰부(132)의 상부(1323)로부터 하부(1321)로 연장될 수 있다.

또한, 도 7을 참조하면, 이젝트 핀(13)의 상단 테두리(131) 중 적어도 일부에는 다른 부분보다 하측으로 함몰된 테두리 함몰 영역(1311)이 형성될 수 있다. 도 7을 참조하면, 테두리 함몰 영역(1311)은 상단 테두리(131)의 둘레를 따라 이격되어 복수 개가 형성될 수 있다.

또한, 도 5를 참조하면, 이젝트 핀(13)의 상부는 중간부(133)의 상단의 직경보다 외측으로 돌출되어 상측 방향으로 연장 형성되는 유로 면적 조절부(134)를 포함할 수 있다.

구체적으로, 이젝트 핀(13)의 외면과 가이드 관(111)의 내면 사이에는 상하 방향으로 이동하는 기체 유로가 형성될 수 있다. 이러한 기체 유로는 기체압 전달부(18)가 흡입하거나 토출할 때 상측 또는 하측으로 이동하는 기체의 유로(다시 말해, 진공압 및 블로우압에 따라 상측 또는 하측으로 이동하는 기체의 유로)일 수 있다.

도 5를 참조하면, 가이드 관(111)은 초기 위치를 갖는 이젝트 핀(13)의 유로 면적 조절부(134)의 상부(1341)가 위치하는 상부 관(1112) 및 초기 위치를 갖는 이젝트 핀(13)의 유로 면적 조절부(134)의 하부(1342)가 위치하는 중간 관(1113)을 포함할 수 있다. 또한, 도 5를 참조하면, 상부 관(1112)은 중간 관(1113)의 직경보다 큰 직경을 갖도록 형성될 수 있다. 또한, 중간 관(1113)은 유로 면적 조절부(134)의 상하 이동을 허용하는 범위에서 그(중간 관(1113))의 내면과 유로 면적 조절부(134)의 외면이 최소의 간격을 두도록 형성될 수 있다.

유로 면적 조절부(134), 상부 관(1112) 및 중간 관(1113)에 의해 기체 유로의 유로 면적이 조절될 수 있다. 먼저, 기체 유로의 유로 면적은 기체 유로 중 가작 작은 면적을 갖는 부분에 의해 결정될 수 있다. 그 이유는 가장 작은 면적을 갖는 부분을 통과하는 기체량에 따라 유로를 통과하는 기체량이 결정될 수 있기 때문이다.

이에 따라, 도 6을 참조하면, 진공압이 작용되어 이젝트 핀(13)이 상측으로 이동된 경우, 기체 유로의 유로 면적은 유로 면적 조절부(134)와 상부 관(1112) 사이의 면적 또는 이젝트 핀(13)의 중간부(133)와 중간 관(1113) 사이의 면적일 수 있다. 이는, 이젝트 핀(13)이 상측으로 이동된 경우, 유로 면적 조절부(134)와 상부 관(1112) 사이의 면적과 이젝트 핀(13)의 중간부(133)와 중간 관(1113) 사이의 면적은 서로 동일하며 이젝트 핀(13)과 가이드 관(111) 사이의 간격 중 가장 작은 면적을 갖기 때문이다.

그런데, 도 5를 참조하면, 진공압이 해제되고 블로우압이 작용되어 이젝트 핀(13)이 하측으로 이동된 경우, 기체 유로의 유로 면적은 유로 면적 조절부(134)와 중간 관(1113) 사이의 면적일 수 있다. 이는, 이젝트 핀(13)이 하측으로 이동된 경우, 유로 면적 조절부(134)와 중간 관(1113) 사이의 면적이 이젝트 핀(13)과 가이드 관(111) 사이의 면적 중 가장 작은 면적을 갖기 때문이다. 또한, 도 5와 도 6을 비교하여 보면, 블로우압이 작용되어 이젝트 핀(13)이 하측으로 이동된 경우(초기 위치)의 유로 면적(도 5 참조, 유로 면적 조절부(134)와 중간 관(1113) 사이의 면적)이 이젝트 핀(13)이 상측으로 이동된 경우의 유로 면적(도 6 참조, 유로 면적 조절부(134)와 상부 관(1112) 사이의 면적) 대비 감소될 수 있다. 이와 같이, 이젝트 핀(13)이 하측으로 이동됨에 따라, 유로 면적 조절부(134)가 중간 관(1113) 내로 진입하게 되면 이젝트 핀(13)과 가이드 관(111) 사이로 통과하는 기체량이 최소로 감소될 수 있다.

이에 따라, 상술한 바와 같이, 블로우압이 작용하여 이젝트 핀(13)이 하측으로 됨에 따라, 유로 면적 조절부(134)가 중간 관(1113) 내로 진입하게 되면, 블로우압에 따라 기체 유로 내에서 하측 방향으로 이동하는 기체량이 감소하게 되고(유로 면적 조절부(134)와 중간 관(1113)의 사이로 통과하는 기체량이 최소화 됨), 이에 따라, 기체압 전달부(18)로부터 제공되는 블로우압에 의해 가이드 관(111) 내로 유입되는 기체는 이젝트 핀(13)의 상부에 집중 작용될 수 있다. 이에 따라, 이젝트 핀(13)에 대해 하측 방향으로의 기체압은 보다 크게 작용될 수 있고, 이젝트 핀(13)은 보다 빠르게 하측으로 이동되어 패키지(91)를 이탈시켜 플레이싱할 수 있다. 또한, 블로우압이 이젝트 핀(13)에 직중될 수 있으므로, 유로 면적 조절이 이루어지지 않는 경우 대비 보다 적은 블로우압으로도 효율적으로 이젝트 핀(13)에 하측 방향으로의 외력이 작용될 수 있다.

또한, 도 5를 참조하면, 이젝트 핀(13)의 중간부(133)와 유로 면적 조절부(134) 사이의 외면에는 경사면(135)이 형성될 수 있다. 또한, 상부 관(1112)과 중간 관(1113) 사이의 내면에는 경사면(1114)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 이젝트 핀(13)의 상하 이동시, 이젝트 핀(13)의 유로 면적 조절부(134)는 상부 관(1112)보다 단면적이 작은 중간 관(1113)으로의 진입 시, 상부 관(1112)과 중간 관(1113)의 직경 차에 의해 발생할 수 있는 단턱에 걸리지 않고 중간 관(1113)으로 용이하게 진입할 수 있다.

만약, 픽커(1)에 의하면, 유로 면적 조절을 위해 상부 관(1112)과 중간 관(1113)은 서로 직경 차를 가지고 형성되고, 이젝트 핀(13)의 유로 면적 조절부(134)와 중간부(133)는 직경차를 가질 수 있다. 이러한 직경 차에 의해, 상부 관(1112)과 중간 관(1113) 사이에는 단턱이 형성될 수 있고, 유로 면적 조절부(134)와 중간부(133) 사이에도 단턱이 형성될 수 있으며, 이러한 경우, 유로 면적 조절부(134)의 중간 관(1113) 내로의 진입시 단턱과 단턱의 걸림이 발생하여 진입이 원활하게 이루어지지 않을 수 있다. 그러나, 픽커(1)에 의하면, 경사면(135, 114)이 형성되므로, 유로 면적 조절부(134)의 중간부(133)로의 진입이 용이하고 원활하게 이루어질 수 있다.

또한, 참고로, 도 6을 참조하면, 이젝트 핀(13)의 길이와 관련하여, 이젝트 핀(13)은 그의 상단 테두리가 지지턱(122)에 접촉될 때, 다시 말해, 패키지(91)가 흡착되었을 때 그의 하단이 패키지(91)에 접촉되는 길이를 가질 수 있다. 이에 따라, 패키지(91)의 플레이싱시, 블로우압이 작용되기 시작하면 그와 동시에 이젝트 핀(13)이 빠르게 패키지(91)에 하측 방향으로의 외력을 가하여 패키지(91)의 플레이싱 속도를 보다 향상시킬 수 있다. 다만, 이젝트 핀(13)의 길이는 이에 한정되지 않으며, 다른 예로서, 이젝트 핀(13)은 그의 상단 테두리가 지지턱(122)에 접촉될 때, 다시 말해, 패키지(91)가 흡착될 때 그의 하단이 작용 통로에 위치하도록 설정되는 길이를 가질 수 있다.

또한, 도 3 및 도 4를 참조하면, 픽커(1)는 중간 몸체(12)의 상부로부터 상측으로 돌출 형성되는 돌출부(15)를 포함할 수 있다.

또한, 도 3 및 도 4를 참조하면, 픽커(1)는 본체 몸체(16)를 포함할 수 있다. 본체 몸체(16)에는 통로(161)가 형성될 수 있다. 통로(161)에는 중간 몸체(12) 및 돌출부(15)가 하측으로부터 삽입될 수 있다.

또한, 도 4를 참조하면, 픽커(1)는 돌출부(15)의 외면을 감싸며 상측 방향으로 연장되어 통로(161)의 일부에 구비되는 탄성부재(17)를 포함할 수 있다. 탄성부재(17)는 중간 몸체(12)와 하부 몸체(11)의 하측으로의 이동(하강)시 패키지(91)에 대한 픽커(1)의 충격을 완화할 수 있다. 탄성부재(17)는 스프링 타입일 수 있다.

픽커(1)는 탄성부재(17)가 기체압 전달부(18)보다 상측에 위치하도록 돌출부(15)에 대하여 구비될 수 있다. 이에 따라, 탄성부재(17)에 대한 기체압 전달부(18)의 진공압 및 블로우압의 영향은 탄성부재(17)가 진공펌프(18)보다 하측에 위치하는 것 대비 저감될 수 있다. 따라서, 높은 탄성을 갖는 탄성부재가 탄성부재(17)로 구비될 수 있어, 패키지(91)에 대한 픽커(1)의 충격 완화 효과가 클 수 있고, 탄성부재(17)의 손상, 이탈, 마모 등을 방지하여 픽커의 내구성을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 픽커 모듈은 픽커(1)를 회전시키는 회전 모터를 포함한다. 도 3을 참조하면, 픽커(1)는 회전 모터에 의해 회전될 수 있다. 예를 들어, 본 픽커 모듈이 후술할 링(92)의 필름(921)에 부착된 패키지(91)를 탈거하는데 적용되는 경우, 픽커(1)는 패키지 제공 상태인 링(92)으로부터의 패키지(91)를 진공 흡착하고 회전될 수 있다. 링(92)으로부터의 패키지(91) 픽업시 패키지(91)가 필름(921)과 붙어 있는 상태이므로, 필름(921)과 패키지(91)의 분리를 위해서는 순간적인 강한 외력 작용이 필요할 수 있다. 이에 대하여, 본 픽커 모듈은 링(92)으로부터의 패키지(91) 픽업시에 픽커(1)가 패키지(91)를 흡착한 후 패키지(91)를 필름으로부터 이격시킬 때 픽커(1)가 회전되게 함으로써 패키지(91)를 링(92)으로부터 용이하게 분리시킬 수 있다.

또한, 픽커(1)의 패키지(91) 흡착시, 패키지(91)의 적어도 일부가 함몰부(1912)에 수용될 수 있는바, 픽커(1)의 회전시 픽커(1)는 패키지(91)에 대해 헛돌지 않고 픽커(1)의 회전과 함께 패키지(91)까지 용이하게 회전시켜 필름(921)으로부터 패키지(91)를 용이하게 탈거할 수 있다.

또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 픽커 모듈은 픽커(1)에 대한 진공압을 작용하거나 진공압을 해제하는 진공 생성부(2)를 포함한다.

이하에서는 진공 생성부(2)에 대해 설명한다.

도 8을 참조하면, 진공 생성부(2)는 메인 기체 라인(211)을 포함하는 픽커 연결부(21)를 포함한다. 상술한 바와 같이, 픽커 연결부(21)는 기체압 전달부(18)와 연결될 수 있다. 메인 기체 라인(211) 내에 음압이 형성되면, 음압이 기체압 전달부(18)를 통해 픽커(1)의 가이드 관(111)에 작용되어 픽커(1)에 패키지(91)가 흡착되며 패키지(91)의 픽업(파지)이 이루어질 수 있다. 또한, 메인 기체 라인(211) 내의 음압 형성이 해제되며 파기 기체가 메인 기체 라인(211) 측으로 공급되면, 기체압 전달부(18)를 통해 가이드 관(111) 내의 진공압 작용 해제와 함께 가이드 관(111)으로 파기 기체(상술한 블로우압)가 공급되어 픽업했던 패키지(91)의 픽업이 해제되며 패키지(91)의 플레이싱이(언로딩)이 이루어질 수 있다.

도 8을 참조하면, 진공 생성부(2)는 제1 기체 밸브 구조체(22)를 포함한다. 제1 기체 밸브 구조체(22)는 메인 기체 라인(211)과 연통되는 제1 기체 라인(221), 제1 상태 시에 제1 기체 라인(221)과 선택적으로 연통되는 제2 기체 라인(222), 및 제2 상태 시에 제1 기체 라인(221)과 선택적으로 연통되며 제1 기체 라인(221)과의 연통 시에 제1 기체 라인(221)에 파기 기체를 공급하는 제3 기체 라인(223)을 포함한다.

예를 들어, 픽커 연결부(21)의 메인 기체 라인(211)에 음압(진공)이 형성되어야 할 때 제1 상태가 될 수 있다. 이러한 제1 상태 시에 제1 기체 라인(221)과 제2 기체 라인(222)은 연통될 수 있으며, 이에 따라, 제1 상태 시에, 메인 기체 라인(211)은 제1 기체 라인(221)을 통해 제2 기체 라인(222)과 연통될 수 있다. 참고로, 픽커 연결부(21)가 패키지(91)를 파지(흡착)해야할 때 메인 기체 라인(211)에 음압이 형성되어야 할 수 있다. 상기 제1상태는 패키지(91)를 흡착하거나 흡착하려는 상태를 의미할 수 있다.

또한, 픽커 연결부(21)의 메인 기체 라인(211)에 파기 기체가 공급되어야 할 때 제2 상태가 될 수 있다. 이러한 제2 상태 시에 제1 기체 라인(221)과 제3 기체 라인(223)은 연통될 수 있으며, 이에 따라, 제2 상태 시에, 메인 기체 라인(211)은 제1 기체 라인(221)을 통해 제3 기체 라인(223)과 연통될 수 있다. 참고로, 픽커 연결부(21)와 연결된 픽커(1)가 흡착하고 있던 패키지(91)를 놓기 위해 외부로 파기 기체를 토출할해야 할 때 픽커(1)의 가이드 관(111)과 진공 라인(121)에 파기 기체(블로우압)이 공급되며어야 하며, 이를 위해, 메인 기체 라인(211)에 파기 기체가 공급되어야 할 수 있다. 또한, 도 1을 참조하면, 제3 기체 라인(223)은 파기 기체 공급부(27)로부터 파기 기체를 공급받을 수 있다. 상기 제2상태는 패키지(91)를 픽커 연결부(21)와 연결된 픽커(1)로부터 이탈시키거나 이탈시키려는 상태를 의미할 수 있다.

제1 기체 밸브 구조체(22)는 제1 솔레노이드 밸브(224)를 포함할수 있다. 제1 솔레노이드 밸브(224)는 통전 및 단전에 따라, 제1 기체 라인(221)이 선택적으로 제2 기체 라인(222)과 연통되게 하거나(이때, 제1 기체 라인(221)과 제3 기체 라인(223)의 연통은 단절), 제1 기체 라인(221)이 선택적으로 제3 기체 라인(223)과 연통되게(이때, 제1 기체 라인(221)과 제2 기체 라인(222)의 연통은 단절) 할 수 있다. 이에 대해서는 자세히 후술한다.

또한, 도 8을 참조하면, 진공 생성부(2)는 진공 노즐 구조체(23)를 포함한다. 진공 노즐 구조체(23)는 음압을 형성하고, 제1 기체 라인(221)과 제2 기체 라인(222)의 연통시 음압을 메인 기체 라인(211)에 작용한다. 구체적으로, 진공 노즐 구조체(23)는 제2 기체 라인(222)에 음압을 형성할 수 있다. 또한, 진공 노즐 구조체(23)에 의해 제2 기체 라인(222)에 음압이 형성될 때, 제1 기체 라인(221)과 제2 기체 라인(222)이 연통된 상태이면, 상기 음압에 의해 제1 기체 라인(221) 및 제1 기체 라인(221)과 연통된 메인 기체 라인(211)에 음압이 형성될 수 있다.

진공 노즐 구조체(23)는 고압 기체가 공급되면 내부에 음압이 형성될 수 있다. 구체적으로, 도 8을 참조하면, 진공 노즐 구조체(23)는 음압 형성부(231)를 포함한다. 음압 형성부(231)는 고압 기체가 유입되는 입구(2311), 입구(2311)로부터 연장 형성되는 통로부(2312) 및 통로부(2312)로부터 연장 형성되며 외부와 연통되는 출구(2313)를 포함할 수 있다. 이러한 음압 형성부(231)는 후술할 통과 라인(242)으로부터 연장 형성될 수 있다. 또한, 음압 형성부(231)의 통로부(2312)는 후술할 진공 노즐 유닛(232)이 배치되는 부분을 의미할 수 있다. 또한, 음압 형성부(231)는 형성된 음압을 제2기체 라인(222)으로 제공하기 위하여 제2 기체 라인(222)과 연통될 수 있다.

또한, 도 8 및 도 9를 참조하면, 진공 노즐 구조체(23)는 길이 방향으로 관통구(2321)가 형성되는 진공 노즐 유닛(232)을 포함할 수 있다. 진공 노즐 유닛(232)의 둘레면에는 관통구(2321)의 내부와 외부(음압 형성부(231)의 통로부(2312)를 연통시키는 적어도 하나의 홀(2322)이 형성될 수 있다. 또한, 진공 노즐 유닛(232)은 입구(2311)로부터 유입되는 고압 기체의 적어도 일부가 관통구(2321)를 통과하여 출구(2313)로 배출되도록 통로부(2312)에 삽입되어 배치될 수 있다.

이에 따라, 고압 기체가 입구(2311)로 유입되면 고압 기체의 적어도 일부는 진공 노즐 유닛(232)(관통구(2321))을 통과해 출구(2313)를 외부로 배출될 수 있고, 이 과정에서(고압의 기체가 빠르게 이동), 음압 형성부(231)의 내면과 진공 노즐 유닛(232)의 외면 사이(즉, 음압 형성부(231)의 통로부(2312))의 기체가 적어도 하나의 홀(2322)을 통해 진공 노즐 유닛(232)의 내부(관통구(2321))로 빨려들어가 출구(2313)로 배출될 수 있으며, 이 과정에서, 음압 형성부(231)의 내면과 진공 노즐 유닛(232)의 외면 사이의 기체량이 줄어들고, 통로부(2312)와 진공 노즐 유닛(232)의 내부에서 발생하는 대류 현상 등으로 인하여, 음압 형성부(231)의 내면과 진공 노즐 유닛(232)의 외면 사이에는 진공(음압)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 통로부(232)와 연통되는 제2 기체 라인(222)에 음압이 형성되며, 제2 기체 라인(222)이 제1 기체 라인(221)과 연통된 경우 제1 기체 라인(221) 및 메인 기체 라인(211)에 음압이 형성될 수 있다. 참고로, 음압 형성부(231) 내의 음압이 용이하게 형성되도록, 진공 노즐 유닛(232)은, 입구(2311)로 유입되는 고압 기체의 대부분이 관통구(2321)를 통해서만 출구(2313)로 배출되도록 배치될 수 있다. 참고로, 고압 기체라 함은, 상술한 바와 같은 과정을 통해 음압 형성부(231) 내에 음압을 형성할 수 있는 압력, 속도, 유량 등 중 하나 이상을 가진 기체를 의미할 수 있다.

예를 들어, 고압 기체는 0.5MPa 내지 0.8MPa의 압력을 갖는 기체를 의미할 수 있다. 또한, 본원에 있어서, 음압이라 함은 픽커(1) 및 픽커 연결부(21)를 통해 픽커(1) 외부의 기체가 가이드 관(111), 진공 라인(121), 기체압 전달부(18) 및 픽커 연결부(21)를 통해 메인 기체 라인(211)으로 빨려들어 갈 수 있게 하는 압력을 의미할 수 있는데, 구체적으로, 대기압 이하의 압력을 의미할 수 있다. 또한, 파기 기체는 상기 고압 기체에 비하여 상대적으로 저압의 압력을 갖는 기체를 의미할 수 있다. 예를 들어, 상기 파기 기체는 0.5MPa 미만, 바람직하게는 0.2Mpa의 압력을 가지는 기체를 의미할 수 있다.

또한, 도 8을 참조하면, 진공 생성부(2)는 제2 기체 밸브 구조체(24)를 포함한다. 제2 기체 밸브 구조체(24)는 진공 노즐 구조체(23) 내에 음압이 형성되도록, 진공 노즐 구조체(23)에 고압 기체를 제공한다.

구체적으로, 도 8을 참조하면, 제2 기체 밸브 구조체(24)는, 진공 노즐 구조체(23)와 연통되는 통과 라인(242) 및 통과 라인(242)과 선택적으로 연통되며 통과 라인(242)과의 연통 시에 통과 라인(242)에 고압 기체를 공급하는 공급 라인(241)을 포함한다. 도 8을 참조하면, 공급 라인(241)은 고압 기체 공급부(25)로부터 고압 기체를 공급받을 수 있다. 또한, 공급 라인(241)이 통과 라인(242)과 연통되면, 공급 라인(241)이 공급하는 고압 기체가 통과 라인(242)을 통해 진공 노즐 구조체(23)로 유입될 수 있다.

또한, 제2 기체 밸브 구조체(24)는 제2 솔레노이드 밸브(244)를 포함할수 있다. 제2 솔레노이드 밸브(244)는 통전 및 단전에 따라, 통과 라인(242)과 공급 라인(241)이 선택적으로 연통되거나 연통 해제되게 할 수 있다. 예시적으로, 제2 기체 밸브 구조체(24)는 보조 라인(243)을 더 포함할 수 있다. 이러한 경우, 제2 솔레노이드 밸브(244)는 통전 및 단전에 따라, 통과 라인(242)과 공급 라인(241)이 연통되거나(이때, 통과 라인(242)과 보조 라인(243)의 연통은 단절된 상태), 통과 라인(242)과 보조 라인(243)이 연통되게할 수 있다(이때, 공급 라인(241)과 통과 라인(242) 또는 보조 라인(243)의 연통은 단절된 상태). 이에 대해서는 자세히 후술한다.

상술한 바에 따르면, 진공 생성부(2)가 패키지(91)를 흡착하기 위해 제1 상태가 되어야 하는 경우, 제1 기체 라인(221)과 제2 기체 라인(222)이 연통되고(이때, 제1 기체 라인(221)과 제3 기체 라인(222)의 연통은 단절된 상태), 공급 라인(241)과 통과 라인(242)이 연통될 수 있다. 이러한 각 기체 밸브 구조체의 라인의 연통은 각 기체 밸브 구조체에 포함되어 있는 솔레노이드 밸브(224, 144)에 개별적으로 인가되는 전기 신호(통전 및 단전)에 따라 개별적 및 선택적으로 제어될 수 있다. 이에 따르면, 공급 라인(241)으로부터 고압 기체가 통과 라인(242)을 통해 진공 노즐 구조체(23)의 음압 형성부(231)로 공급될 수 있고, 음압 형성부(231)의 입구(2311)를 통해 유입되는 고압 기체는 진공 노즐 유닛(232)을 통해 출구(2313)로 배출될 수 있으며, 이때, 음압 형성부(231)의 내면과 진공 노즐 유닛(232)의 외면 사이의 기체가 진공 노즐 유닛(232)의 홀(2322)을 통해 진공 노즐 유닛(232)의 내부로 유입될 수 있다. 이에 따라, 음압 형성부(231)의 내면과 진공 노즐 유닛(232)의 외면 사이에 기체량이 줄어들며 음압이 형성될 수 있고, 음압 형성부(231)와 연통되는 제2 기체 라인(222)의 기체가 음압 형성부(231)로 이동되며 제2 기체 라인(222)에 음압이 형성될 수 있다. 이때, 상술한 바와 같이, 제1 기체 라인(221)과 제2 기체 라인(222)이 연통된 상태인바, 제2 기체 라인(222)과 연통된 제1 기체 라인(221) 및 제1 기체 라인(221)과 연통된 메인 기체 라인(211) 내의 기체가 제2 기체 라인(222) 또는 음압 형성부(231) 측으로 이동되며 제1 기체 라인(221) 및 메인 기체 라인(211) 내에 음압이 형성될 수 있고, 패키지(91)가 흡착될 수 있다.

또한, 진공 생성부(2)가 흡착했던 패키지(91)를 픽커 연결부로부터 이격시키기 위해 제2 상태가 되어야 하는 경우(파기 에어를 방출 해야 하는 경우), 제1 기체 라인(221)과 제3 기체 라인(223)이 연통될 수 있다(이때, 제1 기체 라인(221)과 제2 기체 라인(222)의 연통은 단절된 상태). 또한, 보조 라인(243)과 통과 라인(242)이 연통될 수 있다. 이러한 각 기체 밸브 구조체의 라인의 연통은 각 기체 밸브 구조체에 포함되어 있는 솔레노이드 밸브(224, 144)에 개별적으로 인가되는 전기 신호(통전 및 단전)에 따라 개별적 및 선택적으로 제어될 수 있다. 이에 따르면, 고압 기체의 음압 형성부(231)로의 유입이 차단되고, 제1 기체 라인(221)과 제2 기체 라인(222)의 연통이 단절되며 제1 기체 라인(221)이 제3 기체 라인(223)과 연통될 수 있기 때문에, 진공 노즐 구조체(23)에 의해 제1 기체 라인(221) 및 메인 기체 라인(211)에 형성되었던 음압이 해제되며, 파기 에어(파기 기체, 블로우압)가 제3 기체 라인(223)을 통해 유입되어 제1 기체 라인(221)을 거쳐 메인 기체 라인(211)을 통해 픽커 연결부(21), 픽커 연결부(21)와 연결된 기체압 전달부(18)로 유입될 수 있고, 기체압 전달부(18)로 유입된 파기 에어는 진공 라인(121) 및 가이드 관(111)을 통해 픽커(1)의 외부로 배출될 수 있다. 이러한 파기 에어에 의하여, 흡착되었던 패키지(91)가 파기 에어에 의해 보다 빠르게 흡착 해제되며 픽커(1)로부터 이격될 수 있다.

참고로, 도 8을 참조하면, 음압 형성부(231)는 블록(233)에 형성되는 통로 형태로 구현될 수 있다. 구체적으로, 진공 생성부(2)는 블록(233)을 포함할 수 있고, 블록(233)에는 제1 기체 라인(221)의 적어도 일부, 제2 기체 라인(222)의 적어도 일부, 제3 기체 라인(223)의 적어도 일부, 기체 공급부(27)의 적어도 일부, 공급 라인(241)의 적어도 일부, 통과 라인(242)의 적어도 일부 및 기체 공급부(25)의 적어도 일부 중 하나 이상이 블록(233)의 적어도 일부를 통과하는 관통구 형태로 형성될 수 있고, 음압 형성부(231)는 블록(233)에 형성되는 통과 라인(242)으로부터 연장 형성되어 블록(233)의 적어도 일부를 통과하는 관통구 형태로 형성될 수 있으며, 진공 노즐 유닛(232)은 이러한 음압 형성부(231)에 삽입되는 형태로 배치될 수 있다.

한편, 본원의 일 실시예에 따르면, 제1 기체 밸브 구조체(22)가 포함하는 제1 솔레노이드 밸브(224)는 노말 오픈 타입(normal open type)의 솔레노이드 밸브일 수 있다. 구체적으로, 제1 솔레노이드 밸브(224)는 단전시 제1 기체 라인(221)과 제2 기체 라인(222)을 연통시키고, 통전시 제1 기체 라인(221)과 제3 기체 라인(223)을 연통시킬 수 있다.

또한, 제2 기체 밸브 구조체(24)가 포함하는 제2 솔레노이드 밸브(244)는 노말 클로즈 타입(normal close type)의 솔레노이드 밸브일 수 있다. 구체적으로, 제2 솔레노이드 밸브(244)는 단전시 통과 라인(242)과 공급 라인(241)을 연통시키고, 통전시 통과 라인(242)과 공급 라인(241)의 연통을 해제할 수 있다. 이때, 제2 기체 밸브 구조체(24)가 보조 라인(243)을 포함하는 경우, 제2 솔레노이드 밸브(244)는 단전시 통과 라인(242)과 보조 라인(243)의 연통을 단절시키며, 통과 라인(242)과 공급 라인(241)을 연통시킬 수 있고, 통전시 통과 라인(242)과 보조 라인(243)을 연통시키며 공급 라인(241)과 통과 라인(242)의 연통을 단절할 수 있다. 제1 솔레노이드 밸브(224) 및 제2 솔레노이드 밸브(244)는 그 내부에 코일과 전자석을 포함하며, 전기 신호의 인가 여부에 따라 유도되는 자기장에 의하여 전자석의 이동 및 위치가 선택적으로 결정되고, 전자석의 이동에 따라 솔레노이드 밸브(224, 144) 내의 연통 출구와 복수의 라인 중 일부 간의 연통을 선택적으로 결정함으로써, 상술한 각 라인의 연통을 제어 할 수 있다.

본원의 일 실시예에 따르면, 제1 상태 시에, 제1 기체 밸브 구조체(22)는 단전되고, 제2 기체 밸브 구조체(24)는 단전될 수 있다. 이에 따라, 상술한 바와 같이, 진공 생성부(2)가 패키지(91)를 흡착하기 위해 제1 상태가 되어야 하는 경우, 제1 기체 라인(221)과 제2 기체 라인(222)이 연통되고, 공급 라인(241)과 통과 라인(242)이 연통될 수 있으며, 공급 라인(241)으로부터 고압 기체가 통과 라인(242)을 통해 진공 노즐 구조체(23)의 음압 형성부(231)로 공급될 수 있고, 음압 형성부(231)의 입구(2311)를 통해 유입되는 고압 기체는 진공 노즐 유닛(232)을 통해 출구(2313)로 배출될 수 있으며, 이때, 음압 형성부(231)의 내면과 진공 노즐 유닛(232)의 외면 사이의 기체가 진공 노즐 유닛(232)의 홀(2322)을 통해 진공 노즐 유닛(232)의 내부로 유입될 수 있으며, 이에 따라, 음압 형성부(231) 내면과 진공 노즐 유닛(232)의 외면 사이에 음압이 형성될 수 있고, 제2 기체 라인(222), 제1 기체 라인(221) 및 메인 기체 라인(211) 내에 음압이 형성되며 패키지(91)가 흡착될 수 있다.

또한, 제2 상태 시에, 제1 기체 밸브 구조체(22)는 통전되고, 제2 기체 밸브 구조체(24)는 통전될 수 있다. 이에 따라, 상술한 바와 같이, 진공 생성부(2)가 흡착했던 패키지(91)를 픽커(1)로부터 이격시키기 위한 제2 상태 시에, 제1 기체 라인(221)과 제2 기체 라인(222)의 연통이 단절되며 제1 기체 라인(221)이 제3 기체 라인(223)과 연통될 수 있고, 진공 노즐 구조체(23)에 의해 제1 기체 라인(221) 및 메인 기체 라인(211)에 형성되었던 음압이 해제되며, 파기 에어가 제3 기체 라인(223)을 통해 유입되어 제1 기체 라인(221)을 거쳐 메인 기체 라인(211)을 통해 픽커 연결부(21)로 유입되어 기체압 전달부(18), 진공 라인(121), 가이드 관(111) 등을 거쳐 픽커(1)의 외부로 배출될 수 있다. 이러한 파기 에어에 의해 흡착되었던 패키지(91)가 보다 빠르게 흡착 해제되며 픽커(1)로부터 이격될 수 있다.

또한, 진공 생성부(2)는 제2 상태 이후에 제3 상태를 가질 수 있다. 제3 상태는 패키지(91)를 픽업하지 않으며, 파기 기체가 나오지 않는 상태를 의미할 수 있다(즉, 픽커 대기 상태). 제3 상태 시에, 제1 기체 밸브 구조체(22)는 단전되고, 제2 기체 밸브 구조체(24)는 통전될 수 있다. 이에 따라, 제3 상태 시에 제1 기체 라인(221)과 제2 기체 라인(222)이 연통되되, 통과 라인(242)과 공급 라인(241)의 연통은 해제(단절)될 수 있어, 픽커(1)는 파기 에어를 배출하지 않고 패키지(91)를 파지하지도 않는 상태를 가질 수 있다.

한편, 본원의 일 실시예에 따르면, 제2상태의 유지 시간은 제1상태의 유지 시간보다 상대적으로 짧으며, 예를 들어, 수 ms~수십ms 동안만 유지되어 순간적으로 매우 짧은 시간 동안만 파기 에어가 배출될 수 있도록 한다. 또한, 패키지(91)를 흡착하거나 파기할 필요가 없는 평소 대기상태(제3상태)에는 음압이 형성되지 않을 뿐만 아니라 파기 에어도 배출하지 않는다. 따라서, 불필요한 파기 에어의 계속적인 배출로 인하여 제품이 손상되거나 제품이 파기 에어에 의하여 불필요한 위치로 강제 이탈하는 등의 현상을 방지할 수 있다.

또한, 다른 실시예로, 제1 솔레노이드 밸브(224)는 노말 클로즈 타입의 솔레노이드 밸브일 수 있다. 예를 들어, 제1 솔레노이드 밸브(224)는 통전시 제1 기체 라인(221)과 제2 기체 라인(222)을 연통시키고, 단전시 제1 기체 라인(221)과 제3 기체 라인(223)을 연통시킬 수 있다. 또한, 제2 솔레노이드 밸브(244)는 노말 오픈 타입의 솔레노이드 밸브일 수 있다. 예를 들어, 제2 솔레노이드 밸브(244)는 통전시 통과 라인(242)과 공급 라인(241)을 연통시키고, 단전시 통과 라인(242)과 공급 라인(241)의 연통을 해제할 수 있다. 이러한 경우, 제1 상태 시에, 제1 기체 밸브 구조체(22)는 통전되고, 제2 기체 밸브 구조체(24)는 통전될 수 있다. 또한, 제2 상태 시에, 제1 기체 밸브 구조체(22)는 단전되고, 제2 기체 밸브 구조체(24)는 단전될 수 있다. 또한, 제3 상태 시에, 제1 기체 밸브 구조체(22)는 통전되고, 제2 기체 밸브 구조체(24)는 단전될 수 있다. 이외에도, 진공 생성부(2)에 있어서, 제1 기체 밸브 구조체(22) 및 제2 기체 밸브 구조체(24)는 노말 클로즈 타입의 솔레노이드 밸브와 노말 오픈 타입의 솔레노이드 밸브의 다양한 조합으로 구성될 수 있으며, 이에 따른 제1 상태 및 제2 상태시의 구동 또한, 통전 및 단전의 다양한 조합으로 구현될 수 있다.

또한, 진공 생성부(2)에 있어서, 제1 기체 밸브 구조체(22) 및 제2 기체 밸브 구조체(24)는 별개 구동이 가능하다. 예를 들어, 상술한 바와 같이, 제1 기체 밸브 구조체(22) 및 제2 기체 밸브 구조체(24)는 각각에 대한 통전 및 단전 여부에 따라 구동될 수 있으므로, 제1 기체 밸브 구조체(22)의 구동 및 제2 기체 밸브 구조체(24)의 구동 및 각 라인의 연결은 다양한 조합을 가질 수 있다.

또한, 도 8을 참조하면, 진공 생성부(2)는 음압 형성부(231) 내에 형성된 음압 정도를 측정하는 센서(28)를 포함할 수 있다. 음압 형성부(231), 제2 기체 라인(222), 제1 기체 라인(221) 및 메인 기체 라인(211)에 음압이 형성되고 있는데, 픽커(1)에 패키지(91)가 흡착되면, 음압에 의해 픽커(1), 픽커 연결부(21) 등을 통해 유입되던 기체의 유입이 차단될 수 있으므로, 음압 형성부(231)로의 기체의 추가 유입 없이 출구(2313)로의 기체의 배출만 이루어지게 될 수 있으므로, 음압 형성부(231), 제2 기체 라인(222), 제1 기체 라인(221) 및 메인 기체 라인(211)의 음압 정도는 높아질 수 있다. 이에 대하여, 진공 생성부(2)에 따르면, 센서(28)에 의해 음압 형성부(231) 내의 음압 정도(지수)가 센싱 가능하므로, 센서에 의해 측정되는 음압 형성부(231) 내의 음압 정도가 미리 설정된 음압을 초과하는 경우, 음압 형성부(231) 내에 형성되는 음압 정도가 조절될 수 있다. 예를 들어, 센서(28)의 센싱 결과에 기초하여 진공 노즐 구조체(23)에 공급되는 고압 기체의 통과량, 고압 기체의 압력 정도 등 중 하나 이상이 조절됨으로써 음압 정도가 조절될 수 있다.

또한, 도 8을 참조하면, 진공 생성부(2)는 파기 기체 공급부(27)로부터 제3 기체 라인(223)으로 공급되는 파기 기체의 공급량을 조절하는 유량 조절부(26)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 도 8 및 도 10을 함께 참조하면, 파기 기체 공급부(27)와 제3 기체 라인(223)은 보조 연결관(271)에 의해 연통될 수 있는데, 보조 연결관(271)은 그의 제3 기체 라인(223)을 향하는 부분의 면적이 제3 기체 라인(223)의 보조 연결관(271)을 향하는 부분의 면적보다 크도록 보조 연결관(271)의 반경 방향으로의 외측 방향으로 함몰되는 단차를 가지고 형성될 수 있다. 또한, 유량 조절부(26)는 면적이 감소하는 쐐기 형상의 면적 조절 유닛(261)을 포함하며, 면적 조절 유닛(261)이 보조 연결관(271)과 제3 기체 라인(223)의 사이에 위치하도록 배치될 수 있다. 제3 기체 라인(223)의 보조 연결관(271)을 향하는 부분의 내면과 면적 조절 유닛(261)의 외면 사이에 형성되는 통과 유로(2231)를 통해 파기 기체 공급부(27)로부터 제3 기체 라인(223)으로 파기 기체가 공급될 수 있다. 제3 기체 라인(223)의 보조 연결관(271)을 향하는 부분의 내면과 면적 조절 유닛(261)의 외면 사이에 형성되는 통과 유로(2231)가 면적 조절 유닛(261)의 제3 기체 라인(223) 내로의 인입량에 따라 조절될 수 있으며, 따라서, 면적 조절 유닛(261)의 제3 기체 라인(223) 내로의 인입량에 따라 보조 연결관(271)으로부터 제3 기체 라인(223) 내로 유입되는 파기 기체의 공급량(유량)이 조절될 수 있다. 예를 들어, 도 10을 참조하면, 면적 조절 유닛(261)의 인입량이 커질수록 통과 유로(2231)의 면적이 줄어들고 파기 기체의 공급량이 감소될 수 있고, 인입량이 작아질수록 통과 유로(2231)의 면적이 커지며 파기 기체의 공급량이 증가될 수 있다. 유량 조절부(26)는 보조 연결관(271)과 나사 결합 가능하며 나사 조절에 의하여 면적 조절 유닛(261)의 제3 기체 라인(223) 내로의 인입량이 결정될 수 있다.

또한, 진공 생성부(2)는 파기 기체의 공급 압력을 조절하는 레귤레이터를 포함할 수 있다. 이에 따라, 필요한 경우, 파기 기체의 공급 압력이 조절될 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 따르면 패키지(91)를 파지하기 위한 음압 형성 및 공급과 패키지(91)의 흡착을 보다 빠르게 해제하기 위한 파기 에어의 공급을 별개로 조절함으로써, 패키지(91)의 흡착 및 흡착 해제를 보다 용이하게 조절할 수 있으며, 미세하게 조절될 필요가 있는 패키지(91)의 파기 에어의 압력 및 유량을 보다 정확하게 제어할 수 있다.

또한, 본 픽커 모듈은 픽커(1) 및 진공 생성부(2) 각각을 하나 이상 포함할 수 있다. 또한, 진공 생성부(2)는 상술한 픽커(1) 각각에 대하여 구비될 수 있다. 예를 들어, 도 1을 참조하면, 본 픽커 모듈은 픽커(1)를 8 개 포함할 수 있고, 8 개의 픽커(1) 각각에 대하여 진공 생성부(2)가 구비되도록, 진공 생성부(2)를 8개 포함할 수 있다. 이러한 경우, 본 픽커 모듈이 파지 가능한 패키지(91)의 최대 개수는 8개 일 수 있다. 이 때, 고압 기체 공급부(25) 및 파기 기체 공급부(27)는 각 픽커 구조체의 제3기체 라인 및 공급 라인에 연결될 수 있다.

또한, 본 픽커 모듈에 있어서, 복수 개의 픽커(1)는 개별적으로 구동될 수 있다. 또한, 복수 개의 진공 생성부(2)는 개별적으로 구동될 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 픽커(1) 중 하나 이상이 파지할 때, 다른 픽커(1)는 파지하지 않는 상태일 수 있는데, 이때, 파지하는 픽커(1)와 연결된 진공 생성부(2)는 파지 상태일 수 있고, 파지하지 않는 상태의 다른 픽커(1)와 연결된 진공 생성부(2)는 파지 해제 상태를 갖거나, 또는, 파지상태도 아니고 파지 해제 상태도 아닌 상태일 수 있다.

복수 개의 진공 생성부(2) 중 하나의 진공 생성부(2)의 제1 기체 밸브 구조체와 복수 개의 진공 생성부(2) 중 다른 진공 생성부(2)의 제2 기체 밸브 구조체는 서로 별개로 구동할 수 있으며, 본 픽커 모듈과 다른 본 픽커 모듈은 서로 별개로 구동할 수 있다. 이에 따라, 본 픽커 장치(2000)의 구동은 복수 개의 진공 생성부(2) 각각의 제1 기체 밸브 구조체(22) 및 제2 기체 밸브 구조체(24)의 서로 다른 상태 조합으로 다양하게 구현될 수 있다.

이하에서는, 본원의 일 실시예에 따른 패키지 이송 장치(이하 '본 이송 장치'라 함)에 대하여 설명한다. 다만, 본 제조 장치의 설명과 관련하여 앞서 살핀 본 픽커 모듈에서 설명한 구성과 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고, 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하기로 한다.

본 이송 장치는 대상체(패키지)를 픽업하여 특정 위치에 플레이싱할 수 있다. 예를 들어, 대상체는 반도체 칩 등과 같은 전자 소자의 칩, 전자 소자의 패키지일 수 있다. 또한, 본 이송 장치는 패키지가 부착된 필름으로부터 패키지를 분리할 수 있다. 이를 테면, 반도체 패키지의 제조 과정에서, 반도체 패키지는 링 형태의 프레임의 외주면에 부착된 필름으로부터 분리(탈거, 떼어져)될 필요가 있는데, 본 이송 장치는 이러한 공정에 적용될 수 있다. 참고로, 이하에서 링은 필름이 부착된 링 형상의 프레임을 의미할 수 있다.

도 11을 참조하면, 본 이송 장치는 링(92)이 안착되는 익스팬더(3)를 포함한다.

구체적으로, 도 11을 참조하면, 익스팬더(3)는 링(92)이 로딩되는 스테이지(31)를 포함할 수 있다. 예시적으로, 스테이지(31)는 링(92)에 부착된 필름(921)의 하면이 하측으로 노출되도록 링(92)이 배치되는 통공 홀, 통공 홀을 감싸는 부분에 구비되어 통공 홀에 대하여 배치되는 링(92)의 적어도 일부를 파지하는 클램프, 통공 홀에 대한 링(92)의 배치 유무를 감지하는 링 감지 센서를 포함할 수 있다.

또한, 스테이지(31)는 Y축 방향으로 이동 가능하다. 예를 들어, 도 11을 참조하면, 익스팬더(3)는 스테이지(31)의 이동을 가이드 하는 레일(32) 및 스테이지(31)를 이동시키는 모터를 포함할 수 있다. 또한, 도 11을 참조하면, 익스팬더(3)의 레일(32)의 타측에는 스테이지(31)에 대한 링(92)의 안착 및 스테이지(31)로부터의 링(92)의 수거가 이루어지는 링 적재 및 수거 영역이 형성될 수 있고, 링 적재 및 수거 영역의 일측에는 스테이지(31)에 안착된 링(92)으로부터 픽커(1) 패키지(91)를 픽업하는 패키지 픽업 영역이 형성될 수 있다. 또한, 스테이지(31)는 레일(33)을 따라 이동되며 링 적재 및 수거 영역과 패키지 픽업 영역에 위치할 수 있다. 이에 따라, 스테이지(31)는 링 적재 및 수거 영역에서 링(92)을 적재받고, 레일(32)을 따라 Y축 방향 일측으로 이동되어 패키지 픽업 영역에서 패키지(91) 픽업이 이루어질 수 있으며, 픽커(1)에 의한 링(92)으로부터 패키지(91) 픽업이 완료되면 링 적재 및 수거 영역으로 이동될 수 있다. 또한, 스테이지(31)가 링 적재 및 수거 영역으로 이동되면, 패키지(91) 픽업이 완료된 링(92)은 수거되고, 패키지 분리 전 링(92)이 스테이지(31)에 안착될 수 있다.

또한, 스테이지(31)는 링(92)을 회전시키는 회전 구조체를 상기 클램프의 하측에 포함할 수 있다. 스테이지(31) 상에 안착되는 링(92)은 정위치로 배치되지 않고, 정위치에 대하여 복수의 패키지(91)가 소정의 각도로 어긋나게 배치될 수 있다. 또한, 예시적으로 도면에는 도시되지 않았지만, 본 이송 장치는 비전부를 포함할 수 있는데, 비전부는 링(92)의 정위치 배치 여부를 판단할 수 있다. 픽커(1)가 링(92)의 패키지(91)를 흡착할 수 있는 정위치에서 링(92)이 소정의 각도로 어긋나게 배치되는 경우, 회전 스테이지(31)는 링(92)을 회전시켜 스테이지(31) 상에 안착된 링(92)이 정위치를 갖게 할 수 있다. 이에 따라, 링(92)은 패키지(91)가 픽커(1)에 픽업될 수 있는 패키지 제공 상태를 가질 수 있다. 즉, 패키지 제공 상태인 링(92)이라 함은 정 위치를 가지고 익스팬더(3)에 배치된 상태의 링(92)을 의미할 수 있다. 또한, 예를 들어, 스테이지(31)는 스테이지(31)는 링(92)을 파지하는 클램프를 통공 홀에 대하여 상대적으로 회전시킴으로써, 링(92)을 회전시킬 수 있다.

또한, 본 이송 장치는 익스팬더(3)에 안착된 링(92)으로부터 패키지(91)를 픽업하는 상술한 본 픽커 모듈을 포함한다. 본 픽커 모듈의 픽커(1)는 익스팬더(3)에 안착된 링(92)으로부터의 패키지(91) 픽업시 회전된다. 이에 대해서는 상술하였으므로, 자세한 설명은 생략한다.

또한, 도 11 및 도 12를 참조하면, 본 패키지 이송 장치는 스테이지(31)에 로딩되는 링(92) 상의 패키지(91)의 픽커(1)에 의한 픽업시, 패키지(91)의 하측에서 패키지(91)에 상측 방향으로 외력을 가하는 플런저 유닛(4)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 플런저 유닛(4)은 X축, Y축 및 상하 방향(Z축 방향)으로 구동되며, X축 및 Y축으로의 이동으로 스테이지(31)에 로딩된 링(92) 상에 배열된 복수 개의 패키지(91) 중 픽커(1)에 의해 픽업될 패키지(91)(픽업 예정 패키지(91))의 하측으로 이동될 수 있고, 스테이지(31)에 로딩된 링(92)으로부터 해당 패키지(91)가 픽업될때 해당 패키지(91)의 하측에서 상측으로 구동하여 픽업되는 패키지(91)에 상측 방향으로의 외력을 가할 수 있다. 이에 따라, 필름에 부착된 패키지(91)는 보다 용이하게 필름으로부터 분리될 수 있다.

도 13 및 도 14를 함께 참조하면, 플런저 유닛(4)은 상하 이동 가능한 플런저 핀(41) 및 플런저 핀을 수용하는 플런저 하우징(42)을 포함할 수 있다.

도 14를 참조하면, 플런저 유닛(4)은 플런저 핀(41)이 링(92)의 픽업 예정 패키지(91)의 하측에 위치하도록 이동될 수 있고, 이후, 플런저 핀(41)이 상측으로 이동되어 픽업 예정 패키지(91)에 상측 방향으로의 외력을 가할 수 있다. 참고로, 도 14에는 도면의 보다 용이한 이해를 위해 픽업 예정 패키지(92)외의 다른 패키지(92)는 점선으로 표시되었다. 또한, 도면에는 자세히 도시되지 않았지만, 도 15를 참조하면, 플런저 하우징(42)에는 플런저 핀(41)의 상하 방향으로의 이동 경로가 형성될 수 있고, 도 15와 도 16을 함께 참조하면, 플런저 핀(41)은 플런저 하우징(42)의 상면보다 상측으로 이동 가능하며, 플런저 핀(41)은 플런저 하우징(42)의 상면보다 상측으로 이동됨으로써 픽업 예정 패키지(91)에 상측 방향으로의 외력을 가할 수 있다. 또한, 도 16을 참조하면, 플런저 핀(41)의 상측으로의 이동시 링(92)의 필름(921) 중 플런저 핀(41)의 외력을 작용 받는 부분은 소정으로 늘어나며, 플런저 핀(41)에 의해 픽업 예정 패키지(91)는 상측 방향으로 이동될 수 있다. 참고로, 도면의 용이한 이해를 위해, 도 15 및 도 16은 픽업 예정 패키지(92)외의 다른 패키지(92)의 도시를 생략하였다.

또한, 도 13, 도 14 및 도 17을 함께 참조하면, 플런저 유닛(4)은 플런저 하우징(42)의 상면에 형성되는 흡착구(43)를 포함할 수 있다. 도 14를 참조하면, 흡착구(43)는 픽커(1)가 패키지(91)를 링(92)의 필름(921)으로부터 탈거하는 동안, 링(92)의 픽커(1)가 픽업하는 패키지(91)와 픽커(1)가 픽업하는 패키지(91)의 이웃하는 패키지(91) 사이의 적어도 일부를 흡착할 수 있다. 이에 따라, 패키지(91)가 필름(921)으로부터 보다 용이하게 탈거될 수 있다.

참고로, 플런저 핀(41)의 패키지(91)와의 접촉이 이루어지는 부분은 러버 또는 금속으로 이루어질 수 있다.

전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.

본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

1: 픽커
11: 하부 몸체
111: 가이드 관
1111: 단턱
1112: 상부 관
1113: 중간 관
1114: 경사면
1116: 하부 관
12: 중간 몸체
121: 진공 라인
122: 지지턱
13: 이젝트 핀
131: 상단 테두리
1311: 테두리 함몰 영역
132: 함몰부
1321: 하부
1322: 중간부
1323: 상부
134: 유로 면적 조절부
135: 경사면
14: 진공 홀
15: 돌출부
16: 본체 몸체
161: 통로
17: 탄성부재
18: 기체압 전달부
2: 진공 생성부
21: 픽커 연결부
211: 메인 기체 라인
22: 제1 기체 밸브 구조체
221: 제1 기체 라인
222: 제2 기체 라인
223: 제3 기체 라인
224: 제1 솔레노이드 밸브
23: 진공 노즐 구조체
231: 음압 형성부
2311: 입구
2312: 통로부
2313: 출구
232: 진공 노즐 유닛
2321: 관통구
2322: 홀
233: 블록
24: 제2 기체 밸브 구조체
241: 공급 라인
242: 통과 라인
243: 보조 라인
25: 고압 기체 공급부
26: 유량 조절부
261: 유량 조절 유닛
27: 파기 기체 공급부
271: 보조 연결관
28: 센서
3: 익스팬더
31: 스테이지
32: 레일
4: 플런저 유닛
41: 플런저 핀
42: 하우징
43: 흡착구
91: 패키지
92: 링
921: 필름

Claims

패키지 픽커 모듈에 있어서,
패키지를 픽업 가능한 픽커;
상기 픽커에 대한 진공압을 작용하거나 진공압을 해제하는 진공 생성부; 및
상기 픽커를 회전시키는 회전 모터를 포함하고,
상기 픽커는 패키지의 픽업시, 링의 필름에 부착된 패키지를 흡착한 후 상기 필름으로부터 패키지를 이격시킬 때 패키지를 진공 흡착하고 회전하는 것인, 패키지 픽커 모듈.
제1항에 있어서,
상기 픽커는, 그의 하면에 형성되어 흡착된 패키지의 적어도 일부가 수용되는 함몰부를 포함하는 것인, 패키지 픽커 모듈.
제2항에 있어서,
상기 픽커는,
패키지 안착부를 포함하고,
상기 함몰부는 상기 패키지 안착부의 하면으로부터 상측으로 함몰 형성되는 것인, 패키지 픽커 모듈.
제3항에 있어서,
상기 함몰부는, 상기 흡착된 패키지의 상면의 적어도 일부가 접촉되는 접촉면 및 상기 흡착된 패키지의 측면의 적어도 일부와 대향하는 월부를 포함하는 것인, 패키지 픽커 모듈.
패키지 이송 장치에 있어서,
링이 안착되는 익스팬더; 및
상기 익스팬더에 안착된 링으로부터 패키지를 픽업하는 제1항에 따른 패키지 픽커 모듈을 포함하되,
상기 픽커는 상기 익스팬더에 안착된 링으로부터의 패키지 픽업시 회전되는 것인, 패키지 이송 장치.
제5항에 있어서,
상기 익스팬더는,
링이 로딩되는 스테이지를 포함하고,
X축 및 Y축으로 이동 가능하며, 상기 스테이지에 로딩되는 링의 픽업 예정 패키지의 상기 픽커에 의한 픽업시 상기 픽업 예정 패키지에 상측 방향으로 외력을 가하는 플런저 유닛을 더 포함하는, 패키지 이송 장치.
제6항에 있어서,
상기 플런저 유닛은,
상하 이동 가능한 플런저 핀;
상기 플런저 핀의 이동 경로가 형성되며 상기 플런저 핀을 수용하는 플런저 하우징; 및
상기 플런저 하우징의 상면에 형성되는 흡착구를 포함하되,
상기 플런저 핀은, 상기 플런저 하우징의 상면보다 상측으로 이동 가능한 것인, 패키지 이송 장치.
제7항에 있어서,
상기 흡착구는, 상기 픽커가 상기 픽업 예정 패키지를 탈거하는 동안, 상기 링의 필름의 상기 픽업 예정 패키지와 상기 픽업 예정 패키지의 이웃하는 패키지 사이 중 적어도 일부를 흡착하는 것인, 패키지 이송 장치.
제5항에 있어서,
상기 픽커는, 그의 하면에 형성되어 흡착된 패키지의 적어도 일부가 수용되는 함몰부를 포함하는 것인, 패키지 이송 장치.
제9항에 있어서,
상기 픽커는,
패키지 안착부를 포함하고,
상기 함몰부는 상기 패키지 안착부의 하면으로부터 상측으로 함몰 형성되는 것인, 패키지 이송 장치.
제10항에 있어서,
상기 함몰부는, 상기 흡착된 패키지의 상면의 적어도 일부가 접촉되는 접촉면 및 상기 흡착된 패키지의 측면의 적어도 일부와 대향하는 월부를 포함하는 것인, 패키지 이송 장치.