KR100874683B1 - 소형부품 흡착이송장치의 피커 - Google Patents

소형부품 흡착이송장치의 피커 Download PDF

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이성범
임양수
오윤환
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Abstract

본 발명에서는 반도체 패키지와 같이 소형부품을 흡착시켜 이송시키는 장치에 있어서, 구조가 간단하고 기존 공압라인을 이용하여 공압에 의해 작동되는 이젝트핀이 구비된 소형부품 흡착이송장치의 피커가 제공된다.
이를 위한 본 발명은 피커몸체 내부에 구비된 공압라인을 실린더로 여기에 이젝트피스톤을 구비하여 정압부여를 위한 배기에 의해 이젝트피스톤을 하강시킴으로써, 이젝트피스톤에 일체로 결합된 이젝트핀이 구동(하강)되도록 한 것이다.
이때, 이젝트 피스톤이 설치되어도 패키지로의 진공압 부여를 위하여 이젝트 피스톤의 외주에는 연결유로가 형성되며, 또한 이 연결유로가 형성되어도 배기에 의한 이젝트 피스톤 하강을 위하여 이젝트 피스톤 상부에 수압부가 형성되며, 이러한 수압부에 따라 각 실시예로 구분된다.
공통적으로 수압부는 이젝트 피스톤에 배기압을 전달하기 위하여 오목한 형상으로 구비된다. 일실예로서, 수압부는 이젝트 피스톤 상부에 오목한 형상의 수압곡면이 일체로 형성되어 이루어지며, 다른 실시예로서 수압부는 이젝트 피스톤 상부에 오목한 형상의 첵밸브막이 설치되어 이루어진다. 상기 첵밸브막은 흡기는 허락하며 배기는 방해하여 이젝트 피스톤의 하강을 더욱 수월하게 한다. 한편, 수압곡면은 이젝트 피스톤 상부에 일체로 성형되므로, 간단한 구조물을 제공하게 된다.

Description

소형부품 흡착이송장치의 피커{Picker for Small-Sized-Component Transfer Apparatus}
도 1 은 소형부품으로서, 예를 들어 반도체 패키지 흡입이송을 나타낸 개념도 및 종래 피커의 문제점을 나타낸 단면설명도,
도 2 는 일실시예로서 본 발명에 따른 소형부품 흡착이송장치의 피커를 나타낸 개념설명도,
도 3 은 일실시예로서 본 발명에 따른 소형부품 흡착이송장치의 피커를 나타낸 단면설명도,
도 4 는 수압부에 따른 다른 실시예로서 본 발명에 따른 소형부품 흡착이송장치의 피커를 나타낸 개념설명도,
도 5 는 다른 실시예로서 본 발명에 따른 소형부품 흡착이송장치의 피커를 나타낸 확대단면설명도이다.
- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -
1 - 패키지, 3 - 공압라인,
4 - 피커몸체, 5 - 흡착패드,
8 - 진공밸브, 9 - 정압밸브,
10 - 펌프, 20 - 실린더,
22 - 이젝트 피스톤, 24 - 이젝트 핀,
26 - 연결유로, 28 - 연결파이프,
30 - 흡입슬릿, 32 - 수압곡면,
34 - 첵밸브막.
본 발명은 소형부품 흡착이송장치의 피커에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 패키지와 같이 소형부품을 흡착시켜 이송시키는 장치에 있어서, 구조가 간단해지면서 기존 공압라인을 이용하여 공압에 의해 작동되는 이젝트핀이 구비된 소형부품 흡착이송장치의 피커에 관한 것이다.
소형부품으로서 예를 들어, 반도체 패키지는 에폭시 또는 구리로 된 기판상에 트랜지스터 및 캐피시터 등과 같은 집적회로가 형성된 반도체칩을 붙인 후에 반도체기판의 상면에 레진수지로 몰딩한 다음, 기판의 하면에 리드 역할을 하는 솔더볼을 접착시켜 칩과 통전을 하도록 만든 반도체 패키지를 쏘잉머신을 통하여 낱개로 절단하는 싱귤레이션작업을 수행하여 마련된다.
상기 싱귤레이션은 세척과 드라잉공정을 포함하며, 도 1a 와 같이 싱귤레이션 후에 흡착장치 및 이송트레이를 통해 패키지(1)를 적재 이송시킨 후(프리 얼라인공정), 검수작업을 거쳐 양품과 불량품을 선별한 다음, 픽 앤 플레이스 장치를 통해 선별적재가 수행된다.
이때, 상기 흡착장치 또는 픽 앤 플레이스 장치에 패키지를 흡착시키기 위한 피커(2)가 장착되며, 이러한 흡착이송장치 및 여기에 장착되는 피커(2)는 예를 들어, 출원 제10-2002-0052388호(명칭:반도체 패키지의 흡착이송장치), 제10-2003- 0015632호(명칭:반도체 제조장비의 픽앤플레이스장치), 제10-2005-0010666호(명칭:소잉소터시스템의 칩피커) 등에 기재되어 있고, 본 발명은 소형부품으로서 반도체 패키지를 흡착이송시키기 위한 피커 및 특히 여기에 내장되는 이젝트핀에 관련된다.
상기 피커(2) 및 이로부터 야기되는 종래의 문제점은 이젝트핀을 구동시키기 위한 스프링에서 기인된다. 이를 좀 더 상세히 설명하면, 피커는 도 1b 와 같이 공압라인(3)을 보유하기 위한 피커몸체(4)가 마련되고, 공압라인(3)의 말단에 패키지(1)와 접촉되는 흡착패드(5)가 장착된다.
상기 피커몸체(4)는 구체적으로 공압라인으로서 진공파이프(11)와 진공파이프(11)와 흡착패드(5)를 매개하기 위한 하우징(12) 및 플러그(13)로 이루어진다.
한편, 흡착패드(5)의 패키지 흡착시 작용되는 외란, 예를 들어 흡착패드에 습기 등에 의해 막이 형성될 경우, 여기에 흡착된 패키지(1)는 그 소량의 무게에 의해 진공이 해제되었음에도 불구하고 흡착패드(5)로부터 패키지가 이탈되지 않는 경우가 발생된다. 이러한 이유에서 흡착패드(5)로부터 패키지(1)를 이탈시키기 위한 이젝트핀(6)이 피커몸체(4)에 내장된다. 이젝트핀(6)은 공압라인(3) 내에 설치되며, 이젝트 스프링(7)에 의해 패키지(1)를 항시 이탈시키는 탄성력이 작동된다.
여기서, 진공의 해제는 흡입의 정지만으로는 이젝트핀(6)이 패키지(1)를 이 탈시킬 수 없으므로, 패키지(1)를 이탈시키기 위하여 최소한 공압라인(3)을 대기압과 동등하게 조성하거나, 정압을 조성시켜(배기를 수행하여) 달성된다.
이를 위해 솔레노이드에 의해 신속하게 구동되는 제어밸브가 공압라인(3)에 마련되며, 제어밸브는 진공밸브(8)와 정압밸브(9)로 구분되어 각각 구동된다. 흡입시 진공밸브(8)가 개방되며 이에 의해 펌프(10)에 의해 조성된 유로에 벤튜리효과에 의해 흡입이 수행되고, 반대로 이탈시에는 정압밸브(9)가 개방되고 진공밸브(8)가 폐쇄되어 공압라인(3)에는 흡입펌프로부터 배기가 수행되고 정압이 조성된다. 이때 배기라인으로 조성된 정압밸브(9)는 압력조절밸브로 채택되어져 배기와 이에 따른 정압을 조절하도록 설정되어 있다.
특히, 픽앤플레이스 장치를 통한 픽업인 경우 수 미리 세컨드의 공압제어로부터 수행되므로, 흡입과 이탈의 신속한 구동을 위하여 상기된 제어밸브가 채택됨이 일반적이다.
한편, 상기 공압라인(3) 상에 피커몸체(4)의 하강공차를 완충시키기 위한 완충장치(미도시)가 매개될 수 있으며, 이것은 공압라인(3)에 중공부가 형성되어 여기에 탄성에 의해 승강되는 완충몸체가 내장되어져 이루어진다.
즉, 상기 중공부를 통해 완충몸체가 피커몸체 내부에서 승강가능하게 설치되며, 완충몸체의 상단에는 완충스프링(미도시)이 장착되고, 그 하단에 패키지와 접촉되는 상기 흡착패드(5)가 설치된다. 완충장치가 설치될 경우 상기 공압라인(3)은 상기 완충몸체에 마련된다.
이러한 피커(2)에서 야기되는 문제점은 이젝트 스프링(7)의 탄성력을 굴복시 키는 진공압이 조성되어야 하므로 진공압의 손실이 야기되며, 이러한 진공압 손실을 보상하기 위한 설비는 단순한 사항이 아니다. 특히, 전기된 바와 같이 수미리 세컨드에서 흡착과 탈거가 수행되는 픽 앤 플레이스 장치에서 이젝트 스프링(7)에 의한 동작 오류는 개선되어야 할 사항이었던 것이다.
또한 예를 들어, 전기된 출원 제10-2002-0052388호(명칭:반도체 패키지의 흡착이송장치)도 결국, 이러한 이젝트 스프링에 의한 작동오류를 방지하기 위하여 안출된 것이다.
즉, 이젝트 스프링(7)에 의해 이젝트핀(6)은 항시 하강되는 탄성력이 부여되어 있으므로, 패키지가 흡착되지 않은 경우 이젝트핀(6)은 하강되고 이에 의해 공압라인이 폐쇄된다. 이에 의해 진공센서(미도시)는 패키지(1)가 흡착된 것으로 센싱하게 되어 오류작동을 감지하기 못하게 된다.
이에 따라, 종래의 기술은 이젝트 스프링(7)에 의해 이젝트핀(6)이 하강되었다 하더라도 공압라인이 폐쇄되지 않도록 이젝트핀(6)의 하강완료시 피커몸체와 접촉되는 부위에 유로를 형성한 것으로, 결국 이젝트 스프링(7)에 의해 야기되는 문제점을 해결하기 위한 것이지만, 이젝트 스프링(7)은 그대로 방치한 상태이고, 더욱이 구조적으로 복잡해지는 피커가 채택되어야 하는 오류를 범하고 있는 것이다.
이에 본 발명은 상기 문제점을 개선하기 위하여 안출된 것으로서, 구조가 간단하고, 기존 공압라인을 이용하여 공압에 의해 작동되는 이젝트핀이 구비된 소형부품 흡착이송장치의 피커를 제공함에 그 목적이 있는 것이다.
이를 위한 본 발명은 피커몸체 내부에 구비된 공압라인을 실린더로 여기에 이젝트피스톤을 구비하여 정압부여를 위한 배기에 의해 이젝트피스톤을 하강시킴으로써, 이젝트피스톤에 일체로 결합된 이젝트핀이 구동(하강)되도록 한 것이다.
이때, 이젝트 피스톤이 설치되어도 패키지로의 진공압 부여를 위하여 이젝트 피스톤의 외주에는 연결유로가 형성되며, 또한 이 연결유로가 형성되어도 배기에 의한 이젝트 피스톤 하강을 위하여 이젝트 피스톤 상부에 수압부가 형성되며, 이러한 수압부에 따라 각 실시예로 구분된다.
공통적으로 수압부는 이젝트 피스톤에 배기압을 전달하기 위하여 오목한 형상으로 구비된다. 일실예로서, 수압부는 이젝트 피스톤 상부에 오목한 형상의 수압곡면이 일체로 형성되어 이루어지며, 다른 실시예로서 수압부는 이젝트 피스톤 상부에 오목한 형상의 첵밸브막이 설치되어 이루어진다. 상기 첵밸브막은 흡기는 허락하며 배기는 방해하여 이젝트 피스톤의 하강을 더욱 수월하게 한다. 한편, 수압곡면은 이젝트 피스톤 상부에 일체로 성형되므로, 간단한 구조물을 제공하게 된다.
이하, 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자가 이 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 이 발명의 가장 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이 발명의 목적, 작용효과를 포함하여 기타 다른 목적들, 특징점들이 바람직한 실시예의 설명에 의해 보다 명확해질 것이다.
참고로 여기에서 개시되는 실시예는 여러가지 실시가능한 예 중에서 당업자의 이해를 돕기 위하여 가장 바람직한 예를 선정하여 제시한 것으로, 이 발명의 기 술적 사상이 반드시 이 실시예에 의해서 한정되거나 제한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변화와 변경이 가능한 것이고, 균등한 타의 실시예가 가능한 것이다.
예시도면 도 2 는 일실시예로서 본 발명에 따른 흡착이송장치의 피커를 나타낸 개념설명도이고, 예시도면 도 3 은 일실시예로서 본 발명에 따른 흡착이송장치의 피커를 나타낸 단면설명도이다.
그리고, 예시도면 도 4 는 수압부에 따른 다른 실시예로서 본 발명에 따른 흡착이송장치의 피커를 나타낸 개념설명도이고, 예시도면 도 5 는 다른 실시예로서 본 발명에 따른 흡착이송장치의 피커를 나타낸 확대단면설명도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명은 피커몸체(4)에 형성된 공압라인(3)에 확장된 공간으로 형성된 실린더(20)와 이 실린더(20)에 끼워져 슬라이딩되는 이젝트 피스톤(22) 및 이 이젝트 피스톤(22) 하부에 형성되어져 반도체 패키지(3) 등과 같은 소형의 이송물품을 이탈시키는 이젝트핀(24)과,
상기 이젝트 피스톤(22)이 설치된 상태에서 흡착패드(5)로의 진공압 부여(흡기)가 수행되도록 상기 이젝트 피스톤(22)의 외주에 형성되어져 이젝트 피스톤(22)을 경계로 분리된 공압라인(3)을 연결하는 연결유로(26)와,
상기 연결유로(26)가 형성된 상태에서 이젝트 피스톤(22)으로 공압라인(3)에 제공된 배기압에 의해 이젝트 피스톤(22)의 하강이 수행되도록 이젝트 피스톤(22) 상부에 형성된 수압부를 포함하며 이루어지며,
이때, 이젝트 피스톤(22)의 최대상승시 실린더(20) 상부를 통해 연결유로(26)와 공압라인을 연결하도록 이젝트 피스톤(22)의 최대상승위치를 제한함과 아울러, 상기 수압부에 공압라인(3)으로부터의 배기압이 집중되도록 공압라인(3)에 연결되면서 실린더(10)에 돌출되어져 수압부 상부에 집중되는 면적을 갖도록 그 단부가 배치된 연결파이프(28) 및 이 연결파이프(28)의 단부가 수압부와 접촉되어도 공압라인(3)과 연결유로(26)가 연통되도록 상기 연결파이프(28) 측부에 형성된 흡입슬릿(30)이 포함되어 이루어진 소형부품 흡착이송장치의 피커이다.
이러한 피커는 수압부의 형성에 있어서, 이젝트 피스톤과의 별도 장착여부에 따라 각 실시예로 구분되며, 일실시예로서 수압부는 공압라인(3)으로부터의 배기압이 집중되도록 오목한 형상의 공간이 제공되게 형성되며, 상기 수압부는 이젝트 피스톤(22) 상부에 오목한 수압곡면(32)이 일체로 형성되어 이루어진 것을 특징으로 한다.
다른 실시예로서 수압부는 공압라인으로부터 배기압이 집중되도록 오목한 형상의 공간이 제공되게 형성되며, 상기 수압부는 연결유로(26)부터의 흡기는 허락하고 이젝트 피스톤(22) 상부로부터의 배기가 연결유로(26)로 유입되는 것은 방해되도록 실린더(10) 내주에 접하는 외주를 갖는 깔대기 형상의 첵밸브막(34)이 이젝트 피스톤(22) 상부에 설치되어 이루어진 것을 특징으로 한다.
상술된 바와 같이, 본 발명은 구조가 간단하고, 기존 공압라인(3)을 이용하여 공압에 의해 작동되는 이젝트핀이 구비되어 반도체 패키지 등과 같은 소형부품을 공정처리하기 위한 흡착이송장치의 피커가 제공된다.
이를 위한 본 발명은 피커몸체(4) 내부에 구비된 공압라인(3)을 실린더(20) 로 여기에 이젝트 피스톤(22)을 구비하여 기존 정압부여를 위한 배기에 의해 이젝트피스톤을 하강시킴으로써, 이젝트 피스톤(22)에 일체로 결합된 이젝트핀(24)이 구동(하강)되도록 한 것이다.
이때, 이젝트 피스톤(22)이 설치되어도 패키지(3)로의 진공압 부여를 위하여 이젝트 피스톤(22)의 외주에는 연결유로(26)가 형성되며, 또한 이 연결유로(26)가 형성되어도 배기에 의한 이젝트 피스톤(22) 하강을 위하여 이젝트 피스톤(22) 상부에 수압부가 형성되며, 이러한 수압부는 이젝트 피스톤(22)과의 일체형성 유무에 따라 서로 다른 실시예로 구분된다.
예시도면 도 2 및 도 3 은 이러한 본 발명의 일실시예를 나타낸 개념설명도와 단면설명도로서, 먼저 공통적으로 본 발명에 따른 피커는 피커몸체(4)에 형성된 공압라인을 실린더(10)로 이 실린더에 끼워져 슬라이딩되는 이젝트 피스톤(22)이 형성된다. 그리고, 상기 이젝트 피스톤의 하부에는 여기에 일체로 이젝트핀이 형성된다.
상기 실린더(10)는 기존의 공간이 그대로 적용될 수 있다. 즉, 기존에서 이젝트 스프링을 장착하기 위하여 확장된 공간이 제공되며, 본 발명은 이러한 확장된 공간을 실린더(10)로서 활용하게 된다. 그리고, 본 발명에서 공압라인(3)과 실린더(10)을 구분하여 설명하지만, 상기 실린더(10)는 공압라인(3)의 일부로서, 즉 공압라인(3)에 포함된 유로이다.
한편, 이러한 이젝트 피스톤(22)이 실린더(10)의 내경에 접하는 상태로만 설치될 경우, 상기 실린더인 공압라인(3)은 이젝트 피스톤(22)을 경계로 분리되며, 이에 따라 흡착패드(5)로 흡기, 즉 진공압을 부여시킬 수 없게 된다.
따라서, 상기 이젝트 피스톤(22)이 설치된 상태에서 흡착패드(5)로의 진공압 부여(흡기)가 수행되도록 연결유로(26)가 이젝트 피스톤(22)을 경계로 분리된 공압라인을 연결하도록 이젝트 피스톤(22) 외주에 형성된다.
상기 연결유로(26)는 이젝트 피스톤(22)과 실린더(10) 사이에 얇은 틈으로서 형성됨이 바람직하며, 이를 위해 다수의 개소로서 이젝트 피스톤 외주에 길이방향으로 따라 형성됨이 바람직하다.
반면, 이러한 이젝트 피스톤(22)에 연결유로(26)가 형성됨에 따라, 공압라인으로부터 제공된 배기압은 상기 연결유로(26)에 의해 손실될 수 있다. 따라서, 이러한 연결유로가 형성된 상태에서 배기압을 이젝트 피스톤(22)에 충분히 전달하기 위하여 이젝트 피스톤(22)에 수압부가 형성된다.
일실시예로서, 수압부는 공압라인으로부터의 배기가 집중되도록 오목한 형상의 공간이 제공되도록 형성되며, 상기 수압부는 피스톤 상부에 오목한 수압곡면(32)이 일체로 형성되어 이루어진다.
여기에, 상기 수압곡면(32)으로 공압라인으로부터의 배기압이 집중되도록 공압라인에 연결되면서 실린더 내부로 돌출되어진 연결파이프(28)가 더 형성될 수 있다. 상기 연결파이프는 수압부의 면적 대비 협소한 단면을 가지게 형성되어, 배기압을 수압곡면(32)에 집중시켜 전달시키게 된다.
그리고, 이러한 연결파이프(28)는 이젝트 피스톤(22)의 최대상승위치를 제한하는 스톱퍼의 역할을 수행하며, 이젝트 피스톤(22)의 최대상승시 연결유로(26)와 실린더(10) 상부에 공간을 매개하여 공압라인(3)과 연결시키는 구조물이 된다.
한편, 이에 따라 연결파이프(28)의 단부는 수압곡면(32)에 접촉될 수 있으며, 이 경우 공압라인(3)으로의 흡기가 방해될 수 있다. 따라서, 연결파이프가 설치되어도 공압라인과 연결유로가 연통되도록 상기 연결파이프 측부가 절개되어 흡입슬릿(30)이 형성된다.
이러한 일실시예에 의해 패키지(1)의 흡착시 피커몸체(4)가 하강되어 흡착패드(5)와 패키지(1)가 접촉될 때, 이젝트핀(24)이 흡착패드(5)를 벗어나게 돌출되더라도 패키지(1)와의 접촉으로 상승된다.
이때, 종래와 같은 이젝트스프링은 배제되므로, 패키지(3)의 흡착불량이 발생되어도 이젝트핀(24)이 하강되는 경우는 없고, 이에 따라 진공센서(미도시)는 흡착오류를 감지하는데 방해를 받지 않게 된다.
펌프(10)가 구동된 상태에서 진공밸브(8)가 개방되어 흡착패드(5)로 진공압(흡기)이 부여되고 여기에 패키지(1)가 흡착된다. 여기서 진공압(흡기)의 부여는 이젝트 피스톤(22) 외주로 형성된 연결유로(26)를 경유하여 연결파이프(28)을 통해 수행된다.
한편, 패키지(1)와 이젝트핀의 접촉여부를 떠나 진공압 부여에 의하여도 이젝트핀은 상승될 수 있으나 패키지(1) 흡착을 방해하는 어떠한 영향도 미치지 않는다. 다만, 이 경우 이젝트 피스톤(22)의 상부인 수압곡면(32)과 연결파이프(28)의 단부가 접촉될 수 있으며, 연결파이프와 수압곡면이 접촉되어도 흡입슬릿을 통해 흡기가 수행되므로, 진공압 부여에 영향을 미치지 아니한다.
다음으로, 이송완료와 적재를 위하여 진공압이 해제되는 경우, 정압밸브(8)가 개방되고 진공밸브(9)가 폐쇄되며, 이때 이젝트 피스톤(22)으로 배기압이 전달된다.
즉, 연결파이프(28)로부터 분출된 배기는 수압곡면(32)에 충돌되어 이젝트 피스톤(22)을 밀어내고, 이에 의해 이젝트 피스톤과 일체로 형성된 이젝트 핀(24)이 하강되어 패키지(1)를 흡착패드(5)로부터 이탈시키게 된다.
이때, 상기 배기압과 이에 따른 이젝트 핀의 이탈력은 전기된 바와 같이 정압밸브(8)가 압력조절밸브임에 따라 용이하게 조절할 수 있다.
다음으로, 예시도면 도 4 및 도 5 는 다른 실시예로서 수압부가 형성된 것을 나타내며, 수압부로서 첵밸브막(34)이 이젝트 피스톤(22) 상부에 설치된 것을 나타내고 있다.
별도의 구조물로서 상기 첵밸브막(34)은 일실예의 수압곡면(32)과 같이 오목한 형상의 깔대기 형상으로 이루어지며, 연질의 막으로 형성된다.
이러한 첵밸브막(34)은 간단한 첵밸브역할을 수행하여, 유로의 방향을 일방향으로만 제어하게 된다. 즉, 첵밸브막(34)의 외주연은 실린더(10)에 경사지는 곡면으로 접촉되며, 흡기압(진공압)은 이 외주연 부위를 굴복시켜 연결파이프(28)로 흡기는 허락된다.
반면, 배기시에 첵밸브막(34)의 외주연은 그 경사진 곡면이 배기압에 의해 더욱 밀착되어 연결유로(26)를 통해 배기가 수행되는 것을 방지시키게 된다.
한편, 유로의 일방향 차단에서 완벽한 기밀을 수행할 필요는 없고, 또한 실 린더인 공압라인이 수 mm에 불과함을 감안할 때, 상기 깔대기 형상의 첵밸브막으로도 연결유로를 통한 흡기 및 이젝트 피스톤으로의 배기압 전달에 충분한 구조물을 제공한다.
이러한 첵밸브막(34)에 의해 전기된 일실시예 대비 더욱 효율적으로 이젝트 피스톤(22)에 배기압을 전달할 수 있다. 그러나, 일실시예는 첵밸브막 대비 더욱 단순화된 구조물을 제공할 수 있다.
이러한 다른 실시예에 따른 피커에서도 그 작용은 일실시예와 동일하므로, 그 상세설명은 생략한다.
상술된 바와 같이 본 발명에 따르면, 기존에 구비된 공압라인을 활용하여 그 배기압으로 이젝트 핀을 구동시킴으로써, 구조가 간단하고 패키지의 이송완료 후 이탈시키기 위한 이젝트 스프링이 배제됨으로 스프링 탄성력에 따른 진공압의 손실이 방지됨과 아울러, 이젝트 스프링의 설치에 의해 야기되는 오류가 해소되는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 피커몸체의 공압라인에 형성된 실린더에 끼워져 슬라이딩되는 이젝트 피스톤 및 상기 이젝트 피스톤 하부에 형성되어져 상기 이젝트 피스톤의 하강으로 상기 피커몸체의 흡착패드에 흡착된 이송물품을 이탈시키는 이젝트핀과,
    상기 이젝트 피스톤이 설치된 상태에서 흡착패드로의 진공압 부여(흡기)가 수행되도록 상기 이젝트 피스톤의 외주에 형성되어져 이젝트 피스톤을 경계로 분리된 공압라인을 연결하는 연결유로와,
    상기 연결유로가 형성된 상태에서 이젝트 피스톤으로 공압라인에 제공된 배기압에 의해 이젝트 피스톤의 하강이 수행되도록 이젝트 피스톤 상부에 형성된 수압부와,
    상기 이젝트 피스톤의 최대상승시 실린더 상부를 통해 연결유로와 공압라인을 연결하도록 이젝트 피스톤의 상승위치를 제한함과 아울러, 상기 수압부에 공압라인으로부터의 배기압이 집중되도록 공압라인에 연결되면서 실린더에 돌출되어져 수압부 상부에 집중되는 면적을 갖도록 배치된 연결파이프 및 이 연결파이프의 단부가 상기 수압부와 접촉되어도 공압라인과 연결유로가 연통되도록 상기 연결파이프 측부에 형성된 흡입슬릿이 포함되어 이루어진 소형부품 흡착이송장치의 피커.
  2. 제 1 항에 있어서, 수압부는 공압라인으로부터의 배기압이 집중되도록 오목한 형상의 공간이 제공되게 형성되며, 상기 수압부는 이젝트 피스톤 상부에 오목한 수압곡면이 일체로 형성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 소형부품 흡착이송장치의 피커.
  3. 제 1 항에 있어서, 수압부는 공압라인으로부터 배기압이 집중되도록 오목한 형상의 공간이 제공되게 형성되며, 상기 수압부는 연결유로부터의 흡기는 허락하고 이젝트 피스톤 상부로부터의 배기가 연결유로로 유입되는 것은 방해되도록 실린더 내주에 접하는 외주를 갖는 깔대기 형상의 첵밸브막이 이젝트 피스톤 상부에 설치되어 이루어진 것을 특징으로 하는 소형부품 흡착이송장치의 피커.
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KR101972343B1 (ko) * 2018-03-02 2019-04-25 에스더블류텍(주) 세라믹 피커 어셈블리
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