KR102070957B1 - 패키지 싱귤레이션 시스템 - Google Patents

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한복우
조윤기
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Abstract

패키지 싱귤레이션 시스템이 개시되며, 상기 패키지 싱귤레이션 시스템은, 스트립을 유입하는 로딩언로딩 장치; 스트립을 패키지로 커팅하는 패키지 커팅 장치; 커팅된 패키지를 세척하는 세척부; 세척된 패키지를 건조하는 드라이 장치; 건조된 패키지가 안착되는 그리드 테이블; 상기 드라이 장치에서 건조된 패키지를 상기 그리드 테이블로 이송하는 그리드 픽커; 건조된 패키지를 브러쉬하는 브러쉬 장치; 및 상기 그리드 테이블에 안착된 패키지를 상기 브러쉬 장치로 이송하는 패키지 픽커 모듈; 브러쉬된 패키지의 불량 여부를 검사하는 검사부; 상기 검사부의 결과에 따라 불량 패키지와 양품 패키지로 분류하는 오프로드 공정부를 포함한다.

Description

패키지 싱귤레이션 시스템{PACKAGE SINGULATION SYSTEM}
본원은 패키지 싱귤레이션 시스템에 관한 것이다.
패키지 제조 시스템은, 복수개의 패키지들이 형성된 스트립에서 개별 패키지로 절단하는 절단 공정, 절단 공정에서 절단된 패키지를 세척하는 세척 공정, 세척 공정에서 세척된 패키지를 건조하는 건조 공정, 건조가 완료된 패키지의 불량 여부를 검사하는 패키지 검사 공정 및 검사 결과에 따라 불량 여부 검사를 통과한 패키지와 통과하지 못한 패키지를 분류하는 오프로드 공정 등을 순차적으로 수행하여 반도체 패키지를 제조할 수 있다.
그런데, 종래의 패키지 제조 시스템은, 위와 같은 필수 공정을 수행하는 개별 모듈이 산발적으로 위치하고 있어 작업자의 작업 동선에 비효율이 발생하거나 작업 쓰루풋이 저하되고, 작업 오류가 꾸준히 발생하는 문제 등이 있었다. 따라서, 작업 에러율을 최소화 하면서 보다 향상된 작업 효율을 확보하기 위한 새로운 패키지 제조 시스템, 싱귤레이션 시스템의 개발이 필요한 상황이다.
본원의 배경이 되는 기술은 한국등록특허공보 제10-0904496호에 개시되어 있다.
본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 작업 오류를 최소화하고, 작업 효율을 향상시킬 수 있는 패키지 싱귤레이션 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
다만, 본원의 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들도 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제 1 측면에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템은, 스트립을 유입하는 로딩언로딩 장치; 스트립을 패키지로 커팅하는 패키지 커팅 장치; 커팅된 패키지를 세척하는 세척부; 세척된 패키지를 건조하는 드라이 장치; 건조된 패키지가 안착되는 그리드 테이블; 상기 드라이 장치에서 건조된 패키지를 상기 그리드 테이블로 이송하는 그리드 픽커; 건조된 패키지를 브러쉬하는 브러쉬 장치; 및 상기 그리드 테이블에 안착된 패키지를 상기 브러쉬 장치로 이송하는 패키지 픽커 모듈; 브러쉬된 패키지의 불량 여부를 검사하는 검사부; 상기 검사부의 결과에 따라 불량 패키지와 양품 패키지로 분류하는 오프로드 공정부를 포함할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템에 있어서, 상기 로딩언로딩 장치는, 준비된 스트립이 적재된 매거진을 적재하는 제1 트레이, 상기 제1 트레이의 상측에 구비되며 빈 매거진을 적재하는 제2 트레이 및 상기 제2 트레이의 상측에 구비되며 회수 스트립이 적재된 매거진을 적재하는 제3 트레이를 포함하는 트레이부; 상기 준비된 스트립이 적재된 매거진을 파지하는 제1클램프 유닛, 상기 빈 매거진 또는 상기 회수 스트립이 적재된 매거진을 파지하는 제2클램프 유닛 및 상기 제1클램프 유닛 및 상기 제2클램프 유닛을 상하 방향으로 구동하는 구동 레일부를 포함하고, 상기 트레이부의 길이 방향으로의 일측에 구비되는 클램프 구조체; 및 상기 준비된 스트립을 상기 준비된 스트립이 적재된 매거진으로부터 제공 받거나, 상기 회수 스트립을 상기 빈 매거진 또는 상기 회수 스트립이 적재된 매거진에 제공하는 로딩언로딩부를포함할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템에 있어서, 상기 패키지 커팅 장치는, 블레이드가 장착되는 블레이드 장착부를 포함하고, 스트립을 패키지로 커팅하는 커팅 어셈블리; 및 상기 블레이드 장착부로부터 블레이드를 수거하거나, 상기 블레이드 장착부에 블레이드를 장착시키는 블레이드 자동 교환 로봇을 포함할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템에 있어서, 상기 드라이 장치는, 패키지가 적재되는 수용 상태 및 상측 방향으로 건조 기류를 형성하는 건조 상태가 가능한 적재모듈; 및 상기 적재모듈 상에서 이동하며 하측 방향으로 건조 기류를 형성하여 상기 적재모듈에 적재되는 패키지의 상면을 건조시키는 건조 모드 및 상기 적재모듈에 적재되는 패키지를 픽업하여 상기 적재모듈 상에서 이동하는 픽업 모드가 가능한 플립퍼모듈을 포함할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템에 있어서, 상기 브러쉬 장치는, 평면 브러쉬 구조체; 및 롤 브러쉬 구조체를 포함하되, 상기 평면 브러쉬 구조체 및 상기 롤 브러쉬 구조체 각각은 패키지가 접촉되면 소정 시간 진동할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템에 있어서, 상기 그리드 테이블은, 수용홈 및 복수의 진공홀이 구비되는 베이스부; 및 상기 수용홈 상에 배치되는 안착시트를 포함하고, 상기 안착시트는 포러스(porous) 재질일 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템에 있어서, 상기 그리드 픽커는, 상하로 통공되는 복수 개의 제1 홀이 형성되는 하부 플레이트; 상기 하부 플레이트의 상측에 위치하며, 상기 복수 개의 제1 홀 각각과 대응되게 상하로 통공되는 복수 개의 제2 홀이 형성되는 상부 플레이트; 상기 하부 플레이트의 하측에 위치하며, 상기 제1 홀에 작용하는 진공압을 이용하여 패키지를 흡착하는 복수의 흡착부를 포함하는 흡착 패드; 및 상기 제2 홀을 통해 상기 제1 홀에 진공압을 작용하는 진공부를 포함하되, 복수 개의 상기 흡착부는 여유 공간부를 사이에 두고 형성되고, 상기 여유 공간부의 크기는 상기 패키지의 규격과 대응될 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템에 있어서, 상기 패키지 픽커 모듈은, 패키지를 픽업 가능한 픽커를 포함하되, 상기 픽커는, 길이 방향으로 가이드 관이 형성되는 하부 몸체; 하단이 상기 가이드 관의 상단과 연통되며 상기 가이드 관과 상기 진공 생성부를 연통시키는 진공 라인이 형성되고, 상기 하부 몸체와 연결되는 중간 몸체; 및 상기 가이드 관 내에 상하 방향으로 이동 가능하게 구비되는 이젝트 핀; 및 상기 하부 몸체의 하면에 상기 가이드 관의 하단 둘레를 따라 형성되어 각각이 상기 진공 펌프와 연통되는 복수 개의 진공 홀을 포함하되, 상기 중간 몸체는 상기 진공 라인의 하단 둘레를 따라 형성되되 적어도 일부가 상기 이젝트 핀의 상단 테두리와 대향하는 지지턱을 포함하고, 상기 이젝트 핀은 하단이 상기 가이드 관의 하단보다 하측으로 돌출되고 상단이 상기 지지턱으로부터 이격되는 초기 위치를 가지고 상기 가이드 관에 구비될 수 있다.
상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본원을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 로딩언로딩 장치를 통해, 회수해야 할 스트립, 별도의 가공 장치로 이송되어야하는 스트립 등과 같은 회수 스트립이 로딩언로딩부로부터 제2 클램프 유닛이 파지한 빈 매거진 또는 회수 스트립이 적재된 매거진으로 이송될 수 있고, 회수 스트립이 수용되면, 제2 클램프 유닛은 그가 파지한 빈 매거진 또는 회수 스트립이 적재된 매거진을 제3 트레이로 유입시킬 수 있다. 이에 따라, 회수 스트립이 자동으로 회수되어 제3 트레이에 별도로 적재될 수 있다.
또한, 전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 블레이드 자동 교환 로봇에 의해 커팅 어셈블리의 블레이드가 수거될 수 있고, 또한, 커팅 어셈블리에 블레이드가 장착될 수 있다. 이에 따라, 블레이드의 교환이 자동으로 이루어질 수 있다.
또한, 전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 블레이드 장착부에 대한 블레이드 장착시, 블레이드 홀더에 블레이드가 흡착 지지되고 플렌지 홀더에 플렌지가 흡착 지지되며 플렌지 너트 드라이버 구조체에 플렌지 너트가 지지한 상태로 암은 블레이드 장착부에 접근하여, 블레이드 장착부의 블레이드 안착부에 블레이드를 안착시키고 플렌지 안착부에 플렌지를 안착시키며 플렌지 너트가 너트 장착 단부와 나사 결합되도록 이동 및 회전 구동할 수 있다. 또한, 블레이드 장착부의 블레이드를 수거할 때, 암은 블레이드 장착부에 접근하여 블레이드 홀더가 블레이드 안착부 상의 블레이드를 흡착하고 플렌지 홀더가 플렌지 안착부 상의 플렌지를 흡착하며 플렌지 너트 드라이버 구조체가 너트 장착 단부에 나사 결합된 플렌지 너트에 접촉하도록 이동한 후, 회전 구동하여 플렌지 너트와 너트 장착 단부의 나사 결합을 해제하고, 이후, 블레이드 장착부로부터 멀어지는 방향으로 이동하여 플렌지 너트, 플렌지, 블레이드를 수거가 이루어질 수 있다.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 패키지가 적재모듈에 적재되었을 때 플립퍼모듈이 적재모듈 상에서 이동하며 하측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지의 상면을 포함하는 부분이 기류에 의해 건조될 수 있고, 패키지가 플립퍼모듈에 의해 픽업된 상태로 적재모듈 상에서 이동될 때 적재모듈이 상측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지의 하면을 포함하는 부분이 기류에 의해 건조될 수 있다. 이에 따라, 패키지 상면뿐만 아니라 하면까지 건조 기류에 의해 건조될 수 있으므로, 패키지에 세척 후 얼룩이 남는 현상이 방지될 수 있다.
또한, 전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 패키지가 적재모듈에 적재되었을 때 플립퍼모듈이 적재모듈 상에서 이동하며 하측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지의 상면을 포함하는 부분이 기류에 의해 건조될 수 있고, 패키지가 플립퍼모듈에 의해 픽업된 상태로 적재모듈 상에서 이동될 때 적재모듈이 상측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지의 상면 및 하면을 모두 건조하므로, 패키지의 최상의 건조 상태가 유지되고, 패키지의 건조 효율이 높아질 수 있다.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 반도체 패키지가 안착되는 안착시트가 포러스 재질로 구비되어 별도의 복수의 안착부 및 안착부 수에 대응되는 복수의 진공홀을 구비하지 않아도 개별 반도체 패키지를 진공 흡착시켜 고정시킬 수 있어 개별 반도체 패키지의 크기를 고려하여 반도체 패키지의 크기 별로 그리드 테이블이 제작되지 않아도 되며 이전 공정을 마친 반도체 패키지를 한번에 이송시켜 안착시킬 수 있다.
또한, 반도체 패키지가 반도체 패키지의 하면에 형성된 볼이 안착시트의 함몰부에 대응되도록 안착되어 안착시트에 볼이 직접적으로 접촉되지 않아 반도체 패키지의 손상을 막을 수 있다.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 제1 관부 및 제2 관부 중 하나 이상에 대한 진공압 작용 및 진공압 작용의 해제가 가능하되, 제1 관부에 진공압을 작용하는 제1 진공작용관과 제2 관부에 진공압을 작용하는 제2 진공작용관이 동일한 레벨(높이, 층)의 플레이트인 제2 플레이트를 관통하며 형성될 수 있어, 진공 라인이 간명한 그리드 픽커를 포함할 수 있다.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 패키지의 건조 공정과 검사 공정 사이에 브러쉬 장치에 의한 패키지의 브러쉬 공정이 이루어질 수 있다. 이에 따라, 검사 공정 전에 패키지 표면 상의 버 등과 같은 이물질이 브러쉬질에 의해 제거될 수 있어, 검사 오류가 줄어들 수 있다.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 링으로부터의 패키지 픽업시, 픽커가 패키지를 흡착한 후 회전되어 패키지를 회전시키며 링으로부터 패키지를 탈거할 수 있다. 이에 따라, 링의 필름과 부착된 상태인 패키지가 보다 용이하게 링으로부터 탈거되어 픽업될 수 있다.
또한, 픽커의 패키지 흡착시, 패키지의 적어도 일부가 함몰부에 수용될 수 있는바, 픽커의 회전시 픽커의 헛돔 없이 패키지가 용이하게 회전되어 패키지의 필름으로부터의 탈거가 이루어질 수 있다.
또한, 이젝트 핀이 별도의 스프링 모듈의 작용 없이도 기체압 전달부에 의한 블로우압에 의해 하측으로(초기 상태로) 이동가능하므로, 칩의 플레이싱시 칩은 블로우압 및 이젝트 핀에 의해 작용하는 하측 방향으로의 외력 중 하나 이상에 의해 플레이싱될 수 있어, 칩이 보다 빠르고 효율적으로 플레이싱될 수 있다. 또한, 이젝트 핀의 구동이 스프링이 아닌 기체압 전달부의 진공압 및 블로우압에 의해 이루어질 수 있으므로, 이젝트 핀을 구동시키는 스프링이 생략될 수 있어 스프링을 교체할 필요가 없다.
또한, 전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 메인 기체 라인과 연통되는 제1 기체 라인이 음압을 형성하는 제2 기체 라인 및 파기 기체를 공급하는 제3 기체 라인으로 분기되어 선택적으로 연결 가능하기 때문에, 제2 기체 라인과 제3 기체 라인이 별도로 형성될 수 있어, 파기 기체가 음압을 형성하는 진공 노즐 구조체 측으로 역류하는 것이 방지될 수 있다. 이에 따라, 파기 기체의 배출량 감소가 방지되며, 파기 기체의 유량 및 압력을 정밀하게 제어할 수 있다.
도 1a는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템을 설명하기 위한 개략적인 개념 평면도이다.
도 1b는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템을 설명하기 위한 개략적인 블록도이다.
도 2는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 로딩언로딩 장치의 사시도이다.
도 3은 제1 클램프가 준비 위치에 위치하는 것을 설명하기 위한 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 로딩언로딩 장치의 사시도이다.
도 4는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 로딩언로딩부를 내측에서 비스듬하게 내려다보고 도시한 사시도이다.
도 5는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 로딩언로딩 장치의 일 부분이 제거된 로딩언로딩부를 외측에서 비스듬하게 내려다보고 도시한 사시도이다.
도 6은 제2 클램프가 준비 위치에 위치하는 것을 설명하기 위한 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 로딩언로딩 장치의 사시도이다.
도 7은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 로딩언로딩 장치의 일 부분이 제거된 로딩언로딩부의 사시도이다.
도 8 및 도 9는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 로딩언로딩 장치의 그립퍼의 구동을 설명하기 위한 개략적인 개념도이다.
도 10은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 로딩언로딩 장치의 일부분을 외측에서 비스듬하게 내려다보고 도시한 사시도이다.
도 11은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 커팅 장치의 사시도이다.
도 12는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 커팅 장치의 주요 구성을 도시한 사시도이다.
도 13은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 커팅 장치의 커팅 어셈블리의 사시도이다.
도 14는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 커팅 장치의 블레이드 장착부의 개략적인 단면도이다.
도 15는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 커팅 장치의 커팅 어셈블리의 센서를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 16은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 커팅 장치의 블레이드 자동 교환 로봇의 암의 사시도이다.
도 17은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 커팅 장치의 블레이드 자동 교환 로봇의 암의 분해도이다.
도 18은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 커팅 장치의 블레이드 자동 교환 로봇의 암의 단면도이다.
도 19는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 커팅 장치의 블레이드 보관부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 20은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 커팅 장치의 블레이드 보관부의 정면도이다.
도 21은 패키지가 적재되기 전 상태인 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 드라이 장치의 사시도이다.
도 22는 세척 장치로부터 옮겨진 패키지가 적재부에 적재된 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 드라이 장치의 사시도이다.
도 23은 적재부가 하향 이동한 본원의 일 실시예에 따른 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 드라이 장치의 사시도이다.
도 24는 적재모듈이 수용 상태이고 플립퍼모듈이 건조 모드인 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 드라이 장치의 사시도이다.
도 25는 픽업부가 회전된 본원의 일 실시예에 따른 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 드라이 장치의 사시도이다.
도 26은 적재모듈이 건조 상태이고 플립퍼모듈이 픽업 모드인 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 드라이 장치의 사시도이다.
도 27은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 그리드 테이블의 사시도이다.
도 28은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 베이스부의 사시도이다.
도 29는 본원의 일 실시예에 따른 안착시트에 복수의 반도체 패키지가 재치된 모습을 설명하기 위한 평면도이다.
도 30은 본원의 일 실시예에 따른 복수의 함몰부가 구비된 그리드 테이블의 사시도이다.
도 31은 본원의 일 실시예에 따른 안착시트에 복수의 반도체 패키지가 재치된 모습을 설명하기 위한 평면도이다.
도 32는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 그리드 테이블의 단면도이다.
도 33은 본원의 일 실시예에 따른 프레임부가 배치된 그리드 테이블의 단면도이다.
도 34는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 일 실시예에 따른 그리드 픽커를 상측에서 비스듬하게 내려다본 개략적인 사시도이다.
도 35은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 일 실시예에 따른 그리드 픽커를 하측에서 비스듬히 올려다본 개략적인 사시도이다.
도 36은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 일 실시예에 따른 그리드 픽커의 제2플레이트를 뒤집어 제2 플레이트의 의 Z축 방향 일면을 상측에서 내려다본 개략적인 사시도이다.
도 37은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 일 실시예에 따른 그리드 픽커의 Z축 방향으로의 단면도이다.
도 38은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 다른 실시예에 따른 그리드 픽커를 하측에서 비스듬히 올려다본 개략적인 사시도이다.
도 39 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 다른 실시예에 따른 그리드 픽커의 제2플레이트를 뒤집어 제2 플레이트의 의 Z축 방향 일면을 상측에서 내려다본 개략적인 사시도이다.
도 40은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 다른 실시예에 따른 그리드 픽커의 Z축 방향으로의 단면도이다.
도 41은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 다른 실시예에 따른 그리드 픽커의 제1 플레이트를 상측에서 비스듬하게 내려다본 개략적인 사시도이다.
도 42는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 또 다른 실시예에 따른 그리드 픽커의 Z축 방향으로의 단면도이다.
도 43은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 또 다른 실시예에 따른 그리드 픽커의 제1 플레이트를 상측에서 비스듬하게 내려다본 개략적인 사시도이다.
도 44는 일반적인 반도체 패키지의 검사 테이블의 평면도이다.
도 45는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 또 다른 실시예에 따른 그리드 픽커의 개략적인 사시도이다.
도 46은 도 45의 A-A 단면도이다.
도 47은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 또 다른 실시예에 따른 그리드 픽커의 저면도이다.
도 48은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 또 다른 실시예에 따른 그리드 픽커의 핀이 구비된 제1 홀의 핀이 하측에 위치할 때의개략적인 단면도이다.
도 49는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 또 다른 실시예에 따른 그리드 픽커의 핀이 구비된 제1 홀의 핀이 상측에 위치할 때의개략적인 단면도이다.
도 50은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 또 다른 실시예에 따른 그리드 픽커의 핀의 개략적인 사시도이다.
도 51은 브러쉬 장치의 내부가 도시되도록 일부 구성의 도시가 생략된 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 브러쉬 장치의 사시도이다.
도 52는 브러쉬 장치의 내부가 도시되도록 일부 구성의 도시가 생략된 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 브러쉬 장치의 사시도이다.
도 53은 브러쉬 장치의 내부가 도시되도록 일부 구성의 도시가 생략된 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 브러쉬 장치를 비스듬한 각도에서 바라본 측면도이다.
도 54는 파지한 패키지의 위치가 정위치 상태인 본원의 일 실시예에 따른 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 픽커 모듈의 픽커의 개략적인 단면도이다.
도 55는 파지한 패키지의 위치가 정위치에서 벗어난 상태인 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 픽커 모듈의 픽커의 개략적인 단면도이다.
도 56은 패키지가 놓이는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 정렬부의 개략적인 단면도이다.
도 57은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 픽커 모듈의 개략적인 사시도이다.
도 58은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 픽커 모듈의 개략적인 측면도이다.
도 59는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 픽커 모듈의 픽커의 개략적인 단면도이다.
도 60은 도 3의 A의 확대도이다.
도 61은 도 3의 B의 확대도이다.
도 62는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 픽커 모듈의 픽커의 이젝트 핀이 상측으로 이동되는 것을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 63은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 픽커 모듈의 픽커의 이젝트 핀의 사시도이다.
도 64는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 픽커 모듈의 진공 생성부의 개략적인 단면도이다.
도 65는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 패키지 픽커 모듈의 진공 생성부의 진공 노즐 유닛의 개략적인 사시도이다.
도 66은 도 8의 C의 확대도이다.
도 67은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 오프로드 공정부의 트레이부가 구비된 트레이 이동부의 개략적인 사시도이다.
도 68은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템의 오프로드 공정부의 트레이 스태커의 개략적인 사시도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에", "상부에", "상단에", "하에", "하부에", "하단에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본원은 패키지 싱귤레이션 시스템에 관한 것이다. 예를 들어, 본원은 반도체 패키지 등과 같은 패키지를 제조하는데 적용될 수 있다. 이에 따라, 본원에서 패키지는 반도체 패키지를 의미할 수 있다.
이하에서는, 본원의 일 실시예에 따른 패키지 싱귤레이션 시스템(이하 '본 시스템'이라 함)에 대해 설명한다.
도 1a 및 도 1b을 참조하면, 본 시스템은 스트립을 유입하는 로딩언로딩 장치(1)를 포함한다. 자세히 후술하겟지만, 스트립이 적재된 매거진(91a)은 로딩언로딩 장치(1)의 트레이부(11)에 적재될 수 있고, 트레이부(11)에 적재된 매거진(91a)은 클램프 구조체(12)에 의해 파지되어 준비 위치로 이동될 수 있고, 준비 위치로 이동된 매거진(91a)으로부터 스트립은 로딩언로딩부(13)로 이송될 수 있다. 로딩언로딩부(13)로 이송된 스트립은 스트립 픽커(101)에 의해 척 테이블(102)로 이송될 수 있다. 참고로, 로딩언로딩 장치(1)에 의해 본 시스템 내로 유입된 스트립 중 후술하는 패키지 커팅 장치(2)에 이송되기 전에 불량 판정 받은 회수 스트립은 트레이부(11)로 반송될 수 있고, 회수 스트립으로 판정되지 않은 스트립은 패키지 커팅 장치(2)로 이송될 수 있다.
또한, 도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 시스템은 스트립을 패키지(P)로 커팅하는 패키지 커팅 장치(2)를 포함한다. 척 테이블(102)로 이송된 스트립은 패키지 커팅 장치(2)로 이송되어 패키지 커팅 장치(2)에서 개별 패키지(P)로 커팅(분리)될 수 있다.
또한, 도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 시스템은 커팅된 패키지(P)를 세척하는 세척부(3)를 포함한다. 도 1b를 참조하면, 패키지 커팅 장치(2)에서 스트립이 커팅되어 형성된 패키지(P)는 세척부(3)로 이송되어 세척될 수 있다.
또한, 도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 시스템은 세척된 패키지(P)를 건조하는 드라이 장치(4)를 포함한다. 도 1b를 참조하면, 세척부(3)에서 세척된 패키지(P)는 드라이 장치(4)로 이송되어 드라이될 수 있다.
또한, 도 1을 참조하면, 본 시스템은 건조된 패키지(P)가 안착되는 그리드 테이블(5) 및 드라이 장치(4)에서 건조된 패키지(P)를 그리드 테이블(5)로 이송하는 그리드 픽커(6)를 포함한다. 도 1b를 참조하면, 드라이 장치(4)에서 건조된 패키지(P)는 그리드 픽커(6)에 의해 그리드 테이블(5)로 이송될 수 있다.
또한, 도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 시스템은 건조된 패키지(P)를 브러쉬하는 브러쉬 장치(7) 및 그리드 테이블(5)에 안착된 패키지(P)를 브러쉬 장치(7)로 이송하는 패키지 픽커 모듈(8)을 포함한다. 패키지 픽커 모듈(8)은 픽커(81)로 그리드 테이블(5)에 안착된 패키지(P)를 파지하여 브러쉬 장치(5)로 이송하고 브러쉬 장치(5)의 평면 브러쉬 구조체(71) 및 롤 브러쉬 구조체(72) 중 하나 이상에 접촉시킬 수 있으며, 패키지(P)는 평면 브러쉬 구조체(71) 및 롤 브러쉬 구조체(72) 중 하나 이상의 진동에 브러쉬질 될 수 있다. 이에 따라, 도1b를 참조하면, 패키지(P)는 세척부(3)에서의 세척 공정과 검사부(90)에서의 검사 공정 사이에 브러쉬질되어 검사부(90)에서 정확하고 용이하게 검사받을 수 있는 상태를 가질 수 있다. 또한, 자세히 후술하겠지만, 브러쉬 장치(7)에 의한 브러쉬질이 끝나면 패키지 픽커 모듈(8)은 브러쉬질이 끝난 파지하고 있던 패키지(P)를 정렬부(70)(도 1a에는 도시되지 않음)에 적재하여 패키지(P)를 정렬할 수 있다. 이에 따라, 브러쉬질 과정에서 패키지 픽커 모듈(8)의 픽커(81)에 대해 패키지(P)는 어긋난 위치를 가질 수 있는데, 정렬부(70)에서 패키지(P)는 정위치로 정렬될 수 있다.
또한, 도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 시스템은 브러쉬된 패키지(P)의 불량 여부를 검사하는 검사부(90)를 포함한다. 정렬부(70)에서 정렬된 패키지(P)는 검사부(90)로 이송될 수 있고, 검사부에서 불량 여부를 판정받을 수 있다.
또한, 도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 시스템은 검사부(9)의 결과에 따라 불량 패키지(P)와 양품 패키지(P)로 분류하는 오프로드 공정부(901)를 포함한다. 자세히 후술하겠지만, 양품 패키지(P)로 판단된 패키지(P)는 복수 개의 트레이부(a, b, c) 중 일부 트레이부의 트레이에 적재되고, 불량 패키지(P)로 분류된 패키지(P)는 복수 개의 트레이부(a, b, c) 중 일부 트레이부의 트레이에 적재될 수 있다. 패키지(P) 적재가 완료된 트레이가 안착된 트레이부는 이동되어 복수개 트레이 스태커(9061a, 9061b, 9061c) 중 하나에 적재될 수 있고, 트레이부에는 새 트레이가 안착될 수 있다.
이와 같은, 본 시스템에 의하면, 패키지가 하나의 자동화된 시스템에 의해 제조될 수 있으므로, 종래의 제조 공정을 수행하는 개별 모듈이 산발적으로 위치하고 있어 작업자의 작업 동선에 비효율이 발생하거나 작업 쓰루풋이 저하되고, 작업 오류가 꾸준히 발생하던 패키지 제조 시스템 대비 작업 에러율을 최소화 하면서 보다 향상된 작업 효율을 확보할 수 있다.
이하에서는, 본 시스템과 관련된 구성을 구체적으로 설명한다. 먼저 로딩언로딩 장치(1)에 대해 설명한다.
참고로, 이하의 로딩언로딩 장치(1)의 설명과 관련하여, 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 하측, 일측, 타측, 내측, 외측 등)는 도 2 내지 도 10에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들면, 도 1을 보았을 때 전반적으로 12시 방향이 상측, 전반적으로 6시 방향이 하측, 전반적으로 4시 방향이 일측, 전반적으로 10시 방향이 타측, 전반적으로 2시 방향이 내측, 전반적으로 8시 방향이 외측 등이 될 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 로딩언로딩 장치(1)는 트레이부(11)를 포함한다. 트레이부(11)는 제1 트레이(111)를 포함한다. 제1 트레이(111)에는 준비된 스트립(92a)이 적재된 매거진(91a)(이하 '제1 매거진(91a)'이라 함)이 적재(배치)된다. 또한, 트레이부(11)는 제1 트레이(111)의 상측에 구비되는 제2 트레이(112)를 포함한다. 제2 트레이(112)에는 빈 매거진(91a)(스트립(92a)이 적재되지 않은 매거진(91b))(1이하 '제2 매거진(91b)'이라 함)이 적재된다. 또한, 트레이부(11)는 제2 트레이(112)의 상측에 구비되는 제3 트레이(113)를 포함한다. 제3 트레이(113)에는 회수 스트립(92b)이 적재된 매거진(91c)(이하 '제3 매거진(91c)'이라 함)이 적재된다. 참고로, 준비된 스트립(92a)이라 함은, 후술할 로딩언로딩 장치(1)의 안착부(131)에 안착되기 전의 스트립(92a) 또는 안착부(131) 상에 로딩된 후 픽업부(미도시)에 의해 커팅 장치로 이송될 스트립(92a)을 의미할 수 있다. 또한, 회수 스트립(92b)이라 함은, 로딩언로딩 장치(1)의 안착부(131)에 안착된 후 제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c)에 적재될 스트립(92b)을 의미할 수 있다. 예를 들어, 안착부(131)에 안착(로딩)된 이후 회수 판정을 받아 커팅 장치로 이송되지 않고 제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c)으로 회수되는 스트립(92b)을 의미할 수 있다. 예를 들어, 안착부(131)에 안착되어야 할 스트립(92a)이 아닌 다른 스트립(92b)이 안착되면, 상기 다른 스트립(92b)은 회수 판정을 받을 수 있다. 참고로, 다른 스트립(92b)이 안착되었는지의 여부는 스트립(92a) 각각에 기재된 식별코드(바코드)가 센서부에 의해 인식됨으로써 이루어질 수 있다. 또한, 안착부(131)에 스트립(92b)의 안착된 위치가 잘못된 경우, 스트립(92b)은 회수 판정을 받을 수 있다. 또한, 안착부(131) 상에 안착된 스트립(92b)이 잘못된 안착 위치, 휘어짐 등으로 인해 픽업부(안착부(131)로부터 커팅 장치로 이송하는 이송 유닛)에 픽업되지 못하는 경우, 상기 스트립(92b)은 회수 판정 받을 수 있다. 또한, 안착부(131)에 안착되어 커팅 장치로 이송되어 초기 가공된 후, 별도의 가공 장치에서 별도의 가공이 이루어져야 하는 스트립(92b)이 회수 스트립(92b)에 포함될 수 있다. 예를 들어, 안착부(131)에 안착되어 커팅 장치로 이송되어 1차 가공(예를 들어, 하프 커팅) 된 후 별도의 가공 장치에서 별도의 가공(예를 들어, 금도금)이 이루어져야 하는 스트립(92b)은 1차 가공 후 안착부(131)로 재로딩되어 안착부(131)로부터 제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c)으로 이송되어 적재될 수 있다. 이러한 스트립(92b)이 회수 스트립(92b)에 포함될 수 있다.
또한, 도 2 및 도 3을 참조하면, 로딩언로딩 장치(1)는 트레이부(11)의 길이 방향으로의 일측에 구비되는 클램프 구조체(12)를 포함한다. 클램프 구조체(12)는 제1 클램프 유닛(123)을 포함한다. 또한, 클램프 구조체(12)는 제2 클램프 유닛(121)을 포함한다. 또한, 클램프 구조체(12)는 제1 클램프 유닛(123) 및 제2 클램프 유닛(121)을 상하 방향으로 구동하는 구동 레일부(122)를 포함한다. 도 2를 참조하면, 구동 레일부(122)는, 제1 클램프 유닛(123) 및 제2 클램프 유닛(121)이 상하 방향으로 구비되는 레일(1221) 및 제1 클램프 유닛(123) 및 제2 클램프 유닛(121)이 레일(1221)을 따라 상하 방향으로 이동하도록 동력을 제공하는 모터를 포함할 수 있다. 또한, 제2 클램프 유닛(121)은 제1 클램프 유닛(123)의 상측에 위치하도록 레일(1221)에 구비될 수 있다.
또한, 도 2 및 도 3을 참조하면, 로딩언로딩 장치(1)는 로딩언로딩부(13)를 포함한다. 로딩언로딩부(13)는 제1 매거진(91a)으로부터 준비된 스트립(92a)을 제공받거나, 회수 스트립(92b)을 제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c)에 제공한다. 이하에서 구체적으로 설명한다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 로딩언로딩부(13)는 준비된 스트립(92a) 및 회수 스트립(92b) 중 어느 하나가 로딩(안착)되거나 언로딩(제거)되는 안착부(131)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 매거진(91a)으로부터 준비된 스트립(92a)이 이송되어 안착부(131)에 안착(로딩)될 수 있다. 또한, 안착부(131)에 안착된 준비된 스트립(92a)은 후속 공정을 위해 안착부(131)로부터 제거(언로딩)되어 커팅 장치로 이송될 수 있다. 또한, 안착부(131)에는 상술한 바와 같이 회수 판정을 받은 스트립(92a), 커팅 장치로부터 가공된 후 별도의 가공 장치로 이송될 필요가 있는 스트립(92b) 등과 같은 회수 스트립(92b)이 안착부(131)에 로딩될 수 있고, 이러한 회수 스트립(92b)은 안착부(131)로부터 언로딩되어 제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c)으로 이송될 수 있다.
먼저, 준비된 스트립(92a)의 안착부(131)에 대한 로딩에 대해 설명한다.
제1 클램프 유닛(123)은 제1 매거진(91a)을 파지한다. 예를 들어, 제1 클램프 유닛(123)은 제1 트레이(111)에 적재된 제1 매거진(91a)을 파지할 수 있다. 구체적으로, 제1 클램프 유닛(123)은 레일(1221)을 따라 이동하여 제1 트레이(111)의 일측에 위치할 수 있고, 제1 트레이(111)의 일측에 배치되어 있는 제1 매거진(91a)을 파지할 수 있다. 이때, 제1 트레이(111)는 제1 매거진(91a)을 길이 방향 일측으로 이동시키는 컨베이어부를 포함할 수 있다. 컨베이어부에 의해 제1 매거진(91a)은 제1 트레이(111) 내에서 제1 클램프 유닛(123)에 의해 파지되는 파지 위치로 이동될 수 있다. 정리하면, 컨베이어부는 제1 트레이(111) 상에 적재된 제1 매거진(91a)을 파지 위치로 이송시킬 수 있고, 제1 트레이(111)의 일측에 위치하던 제1 클램프 유닛(123)은 파지 위치에 위치한 제1 매거진(91a)을 파지할 수 있다. 제1 클램프 유닛(123)에 의해 제1 매거진(91a)이 파지 위치로부터 제거되면, 컨베이어부는 다른 스트립(92a)이 적재된 매거진(91a)을 파지 위치로 이동시킬 수 있다. 또한, 참고로, 제1 트레이(111)는 매거진(91a)(구체적으로, 제1 매거진(91a))이 파지 위치에 배치되었는지의 여부를 판단하는 센서를 포함할 수 있다.
또한, 도 3을 참조하면, 제1 클램프 유닛(123)은 제1 매거진(91a)을 파지하여 준비 위치에 위치할 수 있다. 준비 위치라 함은, 제1 클램프 유닛(123)이 파지한 제1 매거진(91a) 내의 준비된 스트립(92a)이 외측 푸쉬 유닛(14)(이하에서 설명함)에 의해 푸쉬될 수 있는 위치를 의미할 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 로딩언로딩 장치(1)는 제1 매거진(91a)으로부터 준비된 스트립(92a)을 안착부(131) 측으로 푸쉬하는 외측 푸쉬 유닛(14)을 포함할 수 있다. 제1 클램프 유닛(123)이 준비 위치에 위치하면, 외측 푸쉬 유닛(14)은 제1 클램프 유닛(123)이 파지한 제1 매거진(91a) 내의 준비된 스트립(92a)을 안착부(131) 측으로 푸쉬할 수 있다. 예를 들어, 외측 푸쉬 유닛(14)은 그가 푸쉬하는 준비된 스트립(92a)의 적어도 일부(예를 들어, 스트립(92a) 길이의 50%)가 장치의 내부로 유입되어 안착부(131) 상에 안착되도록 푸쉬할 수 있다.
또한, 도 5를 참조하면, 로딩언로딩부(13)는 안착부(131) 측으로 푸쉬되는 준비된 스트립(92a)을 안착부(131)에 로딩시키는 그립퍼(132)를 포함할 수 있다. 외측 푸쉬 유닛(14)의 푸쉬에 의해 준비된 스트립(92a)의 적어도 일부가 안착부(131) 상에 안착되면, 그립퍼(132)는 푸쉬된 스트립(92a)(준비된 스트립(92a))을 파지하여 잡아당겨 안착부(131) 에 로딩시킬 수 있다. 예를 들어, 그립퍼(132)는 스트립(92a, 92b)의 상면 및 하면 각각에 접촉하며 파지할 수 있다. 이를 위해, 그립퍼(132)는 스트립(92a)의 상면에 접촉하는 상측 부재 및 하면에 접촉하는 하측 부재를 포함할 수 있으며, 상측 부재 와 하측 부재 사이의 간격(1폭)은 스트립(92a)의 파지 및 파지 해제를 위해 조절될 수 있다. 이를 위해, 그립퍼(132)는 내측 방향(외측 푸쉬 유닛(14)을 향하는 방향)으로 이동하여 스트립(92a)의 안착부(131) 상에 안착된 스트립(92a)의 일부를 파지할 수 있고, 파지한 상태로 외측 방향(외측 푸쉬 유닛(14)으로부터 멀어지는 방향)으로 이동함으로써 준비된 스트립(92a)이 온전히 안착부(131)에 안착되게 할 수 있다. 참고로, 로딩언로딩부(13)는 그립퍼(132)의 내외측 방향 이동을 가이드하는 가이드 레일부(1321)를 포함할 수 있다. 가이드 레일부(1321)는 내외측 방향으로 연장 구비되는 레일 및 모터를 포함할 수 있다. 그립퍼(132)는 레일을 따라 내외측 방향으로 이동될 수 있고, 모터는 그립퍼(132)에 이동력을 제공할 수 있다.
참고로, 제1 매거진(91a) 내의 준비된 스트립(92a) 하나를 외측 푸쉬 유닛(14)이 푸쉬하여 하나의 준비된 스트립(92a)이 제거되면, 외측 푸쉬 유닛(14)은 하나의 준비된 스트립(92a)의 하측 또는 상측에 위치하는 다른 준비된 스트립(92a)을 푸쉬 할 수 있는데, 이러한 경우, 제1 매거진(91a)을 파지하고 있는 제1 클램프 유닛(123)이 하측 또는 상측으로 이동하여 외측 푸쉬 유닛(14)이 푸쉬해야 할 다른(다음 차례의) 준비된 스트립(92a)의 높이(위치)를 외측 푸쉬 유닛(14)이 푸쉬할 수 있는 높이에 대응하게 할 수 있다.
또한, 제1 클램프 유닛(123)은 제2 매거진(91b)을 파지할 수 있다. 예를 들어, 제1 클램프 유닛(123)이 파지하고 있던 제1 매거진(91a) 내의 준비된 스트립(92a)이 전부 제거되면, 제1 클램프 유닛(123)이 파지하고 있던 제1 매거진(91a)은 제2 매거진(91b)이 될 수 있다.
또한, 제1 클램프 유닛(123)은 파지한 제1 매거진(91a)이 제2 매거진(91b)이 되면, 제2 트레이(112)에 유입시킬 수 있다. 예를 들어, 제1 클램프 유닛(123)은 제1 매거진(91a)을 파지하여 준비 위치에서 위치함으로써 그가 파지한 제1 매거진(91a) 내의 준비된 스트립(92a)이 안착부(131)에 제공되게 할 수 있다. 또한, 그가 파지한 제1 매거진(91a) 내의 준비된 스트립(92a)이 모두 안착부(131)에 제공되어 적재된 스트립(92a)이 없는 제2 매거진(91b)이 되면, 파지한 그 상태로 상향 이동되어 제2 트레이(112) 측으로 이동하여, 제2 트레이(112)의 대기 위치(제1 클램프 유닛(123)이 제2 트레이(112)에 제2 매거진(91b)을 놓을(적재할) 수 있는 위치)에 위치할 수 있고, 제2 트레이(112)에 제2 매거진(91b)을 적재(유입)할 수 있다.
또한, 제2 트레이(112)는 제1 클램프 유닛(123)이 제2 매거진(91b)을 파지하여 제2 트레이(112)의 대기 위치에 대기하면, 제1 클램프 유닛(123)이 파지한 제2 매거진(91b)의 적재 공간이 길이 방향으로의 일측부에 확보되도록, 전에 유입되었던 제2 매거진(91b)을 길이 방향으로의 타측으로 이동시킬 수 있다. 또한, 제2 트레이(112)는 상기 일측부의 적재 공간이 확보되도록 상기 일측부의 적재 공간과 대응되는 정도(매거진의 폭 정도)로 제2 매거진(91b)을 이송시킬 수 있다. 제2 클램프 유닛(121)은 상기 일측부의 적재 공간에 배치된 제2 매거진(91b)을 후술할 회수 스트립(92b)의 적재를 위해 파지하여 일측부의 적재 공간으로부터 제거할 수 있고, 일측부의 적재 공간에 제2 매거진(91b)이 없는 상태에서, 추가적으로 제2 클램프 유닛(121)이 다른 제2 매거진(91b)을 파지(확보)하려할 때, 일측부의 적재 공간의 타측에 위치하는 다른 제2 매거진(91b)이 일측부의 적재 공간으로 신속히 이동하여 제2 클램프 유닛(121)에게 제공되기 위함일 수 있다. 여기서 적재 공간은, 제1 클램프 유닛(123)이 제2 트레이(112)의 대기 위치에 위치할 때 제1 클램프 유닛(123)이 파지한 제2 매거진(91b)을 놓을 수 있는 제2 트레이(112)의 일부 공간을 의미할 수 있고, 또한, 제1 클램프 유닛(123)이 제2 트레이(112)의 대기 위치에 위치하면서 제2 트레이(112)로부터 파지할 수 있는 제2 매거진(91b)이 위치하는 공간을 의미할 수 있다. 또한, 제2 트레이(112)는 적재 공간에 대한 제2 매거진(91b)의 적재(배치) 여부를 판단하는 센서를 포함할 수 있다.
이하에서는 회수 스트립(92b)의 안착부(131)로부터의 언로딩에 대해 설명한다.
제2 클램프 유닛(121)은 제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c)을 파지한다. 제2 클램프 유닛(121)은 그가 파지한 매거진(제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c))이 없는 경우 제2 트레이(112) 측으로 이동하여 제2 트레이(112)에 적재된 제2 매거진(91b)을 파지할 수 있다. 또한, 제2 클램프 유닛(121)이 파지하고 있던 제2 매거진(91b)에 회수 스트립(92b)이 적재되면, 제2 매거진(91b)은 제3 매거진(91c)이 될 수 있다.
도 6을 참조하면, 제2 클램프 유닛(121)은 제2 매거진(91b) 또는 회수 스트립(92b)이 일부 적재된 제3 매거진(91c)을 파지하여 안착부(131)로부터 회수 스트립(92b)이 그가 파지한 제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c) 내로 이동되도록 준비 위치에 위치할 수 있다. 구체적으로, 제2 클램프 유닛(121)은 그가 파지한 매거진(제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c))이 없는 경우 제2 트레이(112) 측으로 이동하여 제2 트레이(112)에 적재된 제2 매거진(91b)(상술한 적재 공간에 배치되어 있는 제2 매거진(91b))을 파지하여 준비 위치로 이동될 수 있다. 또한, 제2 클램프 유닛(121)이 파지했던 제2 매거진(91b)에 안착부(131) 측으로부터 이송된 회수 스트립(92b)이 적재되면 상기 제2 매거진(91b)은 제3 매거진(91c)이 될 수 있고, 제2 클램프 유닛(121)은 그가 파지한 제3 매거진(91c)에 대한 회수 스트립(92b)의 적재가 어려워질 때까지 그가 파지한 상기 매거진(제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c))을 계속 파지하고 있을 수 있다.
또한, 제2 클램프 유닛(121)은 그가 파지한 매거진(제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c)) 내로의 회수 스트립(92b)의 적재(1수용)가 어려워지면(1회수 스트립(92b)으로 꽉참), 파지하고 있던 매거진(제3 매거진(91c))을 제3 트레이(113)에 유입시킬 수 있다.
또한, 참고로, 도 6을 참조하면, 제1 클램프 유닛(123)이 준비 위치에 위치하는 상태에서 제2 클램프 유닛(121)이 준비 위치로 이동해야 하는 경우, 제1 클램프 유닛(123)은 준비 위치의 하측으로 이동할 수 있다. 이를 위해, 제1 및 제2 클램프 유닛(121, 23)이 구비되며 제1 및 제2 클램프 유닛(121, 23)의 이동 경로를 제공하는 레일(1221)은 제2 클램프 유닛(123)이 준비 위치에 위치할 때, 그 하측에 제1 클램프 유닛(121)이 위치할 수 있도록 제1 트레이(111)보다 더 하측으로 길게 연장 구비될 수 있다. 이에 따라, 같은 레일(1221)을 공유하는 제1 클램프 유닛(123) 및 제2 클램프 유닛(121)이 서로 간섭되지 않고 필요할 때에 준비 위치에 위치할 수 있다.
또한, 그립퍼(132)는 안착부(131)에 안착된 회수 스트립(92b)을 제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c) 측(1외측)으로 푸쉬할 수 있다. 그립퍼(132)의 푸쉬에 의해 안착부(131)에 안착된 회수 스트립(92b)은 제2 매거진(91b)(1또는 제3 매거진(91c)) 내로 유입될 수 있다(예를 들어, 매거진(91b, 95)에 스트립(92a) 길이의 80% 정도가 수용되도록).
또한, 도 4 및 도 7을 참조하면, 로딩언로딩부(13)는 그립퍼(132)가 푸쉬한 회수 스트립(92b)을 제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c) 측으로 추가 푸쉬하는 내측 푸쉬 유닛(135)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 그립퍼(132)의 푸쉬에 의해 안착부(131)에 안착된 회수 스트립(92b)이 제2 매거진(91b)(또는 회수 스트립(92b) 매거진(91a)) 내로 유입되되, 적어도 일부가 제2 매거진(91b)(1또는 회수 스트립(92b) 매거진(91a)) 내로 유입되지 못하는 경우, 내측 푸쉬 유닛(135)이 회수 스트립(92b)의 유입되지 못한 부분을 추가 푸쉬하여 회수 스트립(92b)을 제2 매거진(91b)(1또는 제3 매거진(91c)) 내로 온전히 유입시킬 수 있다.
정리하면, 회수 스트립(92b)이 안착부(131)에 안착(1로딩)되면, 안착부(131)에 안착된 회수 스트립(92b)은 제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c) 내로 이송될 필요가 있고, 이러한 경우, 제2 클램프 유닛(121)은 제2 매거진(91b)(또는 제3 매거진(91c))을 파지하여 준비 위치에 위치할 수 있고, 그립퍼(132)는 안착부(131)에 안착된 회수 스트립(92b)을 제2 매거진(91b)(또는 제3 매거진(91c)) 내로 푸쉬할 수 있고, 이후, 푸쉬된 회수 스트립(92b)의 제2 매거진(91b)(또는 제3 매거진(91c)) 내로 인입되지 못한 나머지 부분을 내측 푸쉬 유닛(135)이 추가 푸쉬하여 제2 매거진(91b)(1또는 제3 매거진(91c)) 내로 온전히 인입(이송)할 수 있다.
또한, 제2 클램프 유닛(121)은 제3 매거진(91c)을 제3 트레이(113)에 유입시킬 수 있다. 예를 들어, 제2 클램프 유닛(121)은 그가 파지한 제3 매거진(91c)에 대한 회수 스트립(92b)의 추가 적재가 어려울 경우, 그가 파지한 제3 매거진(91c)을 제3 트레이(113)에 유입시킬 수 있다. 이때, 제2 클램프 유닛(121)은 그가 제3 트레이(113)에 유입시킨 제3 매거진(91c)에 타측으로 외력을 가하여 제3 매거진(91c)이 제3 트레이(113) 내에 유입된 후, 제3 트레이(113)의 타측부로 이동되게 할 수 있다.
한편, 도 4 및 도 5를 참조하면, 안착부(131)는 그에 로딩되는 준비된 스트립(92a) 또는 회수 스트립(92b)의 테두리의 적어도 일부를 지지할 수 있다. 예를 들어, 안착부(131)는 스트립(92a)의 폭 방향으로 간격을 두고 배치되어 스트립(92a, 92b)의 폭 방향 일측 테두리 및 폭 방향 타측 테두리 각각을 지지하는 한 쌍의 지지대(1311, 312)를 포함할 수 있다.
또한, 참고로, 안착부(131)에 안착된 준비된 스트립(92a)을 커팅 장치로 이송하는 픽업부는 안착부 상에 로딩되는 상기 준비된 스트립(92a)의 상면을 접촉하며 픽업할 수 있다.
또한, 도 4, 도 5 및 도 7을 참조하면, 로딩언로딩부(13)는 안착부(131) 상에 로딩되는 준비된 스트립(92a)의 상면에 픽업부(미도시)가 접촉될 때 안착부(131) 상에 로딩되는 준비된 스트립(92a)의 테두리를 제외한 부분의 적어도 일부를 하측에서 지지하는 리프트(134)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 리프트(134)는 한 쌍의 지지대(1311, 312)의 사이에 구비되되, 그의 상면이 안착부(131)에 안착되는 스트립(92a)의 하면의 적어도 일부와 대향하도록 배치될 수 있다. 또한, 리프트(134)는 상하 방향 이동 가능하며 선택적으로 상측 방향으로 이동하여 준비된 스트립(92a)을 하측에서 지지할 수 있다. 이에 따라, 후속 공정의 진행을 위하여 픽업부가 스트립(92a)의 상면에 접촉할 경우, 리프트(134)는 상향 이동하여 스트립(92a)의 하면을 접촉하며 지지할 수 있다. 이에 따르면, 픽업부의 스트립(92a)에 대한 접촉시, 스트립(92a)의 하면 및 상면 각각이 리프트(134) 및 픽업부 각각에 접촉되며 지지될 수 있으므로, 스트립(92a)이 휘지 않도록 픽업부에 픽업될 수 있다. 이와 같은 리프트(134)의 상하 구동을 위해 로딩언로딩부(13)는 리프트(134)를 상하 이동시키는 상하 이동 실린더 구조체를 안착부(131)의 하부에 포함할 수 있다.
또한, 내측 푸쉬 유닛(135)은 상술한 바와 같은 추가 푸쉬를 위해 상하 이동 및 내외측 방향으로 이동 가능하다. 구체적으로, 도 7을 참조하면, 내측 푸쉬 유닛(135)은 안착부(131)에 안착되는 스트립(92a, 92b)보다 낮게 위치할 수 있고, 그립퍼(132)가 회수 스트립(92b)을 푸쉬하여 회수 스트립(92b)의 1차 이동이 완료되면, 상향 이동되어 푸쉬되어 1차 이동된 회수 스트립(92b)의 내측(또는 후방)에 위치할 수 있고, 외측 방향으로 이동하여 푸쉬된 회수 스트립(92b)을 외측 방향으로 푸쉬하여 회수 스트립(92b)을 제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c) 내로 인입시킬 수 있다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 내측 푸쉬 유닛(135)의 상하 구동은 상하 이동 실린더 구조체에 의해 이루어질 수 있다. 내측 푸쉬 유닛(135)은 리프트(134)의 상측 방향으로의 이동과 연동하여 상측 방향으로 이동하여 회수 스트립(92b)을 푸쉬할 수 있다. 구체적으로, 상하 이동 실린더 구조체에 리프트(134) 및 내측 푸쉬 유닛(135)이 연결될 수 있고, 상하 이동 실린더 구조체에 의해 리프트(134) 및 내측 푸쉬 유닛(135)은 연동하여 상하 이동될 수 있다.
또한, 내측 푸쉬 유닛(135)의 내외측 구동은 실린더부(1351)에 의해 이루어질 수 있는데, 예를 들어, 도 8을 참조하면, 내측 푸쉬 유닛(135)은 리프트(134)의 외면 상에 구비될 수 있고, 실린더부(1351)는 리프트(134)의 하측에서 내측 푸쉬 유닛(135)의 하부로부터 내측 방향(도 8 및 도 9 참조 9시 방향)으로 연장되며 구비되되, 외측 방향(도 8 및 도 9 참조 3시 방향)으로 길이 연장(증가)이 가능하도록 구비될 수 있다. 이에 따라, 실린더부(1351)가 외측 방향으로 길이가 연장되면 실린더부(1351)의 외측 부분과 연결된 내측 푸쉬 유닛(135)은 리프트(134)에 대해 상대적으로 외측 방향으로 이동될 수 있다.
또한, 도 8과 도 9를 비교하면, 내측 푸쉬 유닛(135)이 리프트(134)로부터 외측 방향으로 이동되면 내측 푸쉬 유닛(135)의 상단의 위치 지점(1레벨)은 높아질 수 있다. 예를 들어, 도 8을 참조하면, 내측 푸쉬 유닛(135)은 리프트(134)의 외면 상에서 그의 상부가 그의 하부보다 외측에 위치하도록 상하 방향에 대해 비스듬하게 구비될 수 있고(초기 상태), 도 9를 참조하면, 리프트(134)와의 접촉이 해제되면 상하 방향으로 연장 배치 될 수 있고, 내측 푸쉬 유닛(135)이 리프트(134)로부터 외측 방향으로 이동되면 내측 푸쉬 유닛(135)의 상단의 위치 지점(1레벨)은 리프트(134)의 상면보다 높아질 수 있다(이동 후 상태). 이에 따라, 내측 푸쉬 유닛(135)의 상단은 내측 푸쉬 유닛(135)의 외측 방향으로의 이동시 리프트(134) 상에 안착되는 스트립(92a, 92b) 또는 1차 이동된 회수 스트립(92b)보다 높게 위치할 수 있고, 회수 스트립(92b)과 접촉하며 외측으로 이동될 수 있다.
참고로, 내측 푸쉬 유닛(135)의 하부와 실린더부(1351)는 연결된 부분을 중심으로 내측 푸쉬 유닛(135)이 외측 방향으로 소정 이상 회전 가능하도록 힌지 연결될 수 있다. 또한, 내측 푸쉬 유닛(135)의 하부 중 힌지 연결된 부분을 제외한 다른 부분과 실린더부(1351)의 힌지 연결된 부분을 제외한 다른 부분은 탄성체에 의해 연결될 수 있고, 탄성체는 내측 푸쉬 유닛(135)의 상기 회전을 제한하는 탄성력을 작용할 수 있다. 이에 따라, 도 9를 참조하면, 내측 푸쉬 유닛(135)에 별도의 외력(예를 들어, 탄성체의 탄성력보다 큰 외력)이 작용하지 않는 경우, 내측 푸쉬 유닛(135)은 상하 방향으로 곧게(예를 들어, 수직) 연장 배치되는 상술한 이동 후 상태를 가질 수 있고, 도 8을 참조하면, 내측 푸쉬 유닛(135)이 리프트(134)의 외면과 접촉되어 내측 푸쉬 유닛(135)의 상부에 리프트(134)에 의한 외측 방향으로의 지지력이 작용하면 내측 푸쉬 유닛(135)은 상술한 바와 같은 초기 상태를 가질 수 있다.
정리하면, 초기 상태 시에, 내측 푸쉬 유닛(135)은 하부에 작용하는 내측 방향으로의 탄성력 및 상부에 작용하는 리프트(134)의 외측 방향으로의 지지력에 의해 그의 상부가 그의 하부보다 외측에 위치하도록 비스듬하게 구비될 수 있고, 실린더부(1351)의 길이 연장에 따라 외측 방향으로 이동되어 리프트(134)와의 접촉이 해제되어 이동후 상태가 되면 하부에 작용하는 내측 방향으로의 탄성력에 의해 상하 방향으로 연장 배치 됨으로써 초기 상태 시보다 높아진 상단 높이를 갖게 될 수 있으며, 이를 이용해, 스트립(92a)과 접촉하며 외측으로 이동될 수 있다.
또한, 도 10을 참조하면, 로딩언로딩 장치(1)는 제1 센서부(155)를 포함할 수 있다. 제1 센서부(155)는 내측 푸쉬 유닛(135)이 푸쉬하는 회수 스트립(92b)이 제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c) 내로 완전히 인입되었는지를 감지할 수 있고, 회수 스트립(92b)이 제2 매거진(91b) 또는 제3 매거진(91c) 내로 인입 완료되었다고 판단되면 내측 푸쉬 유닛(135)의 내측 이동이 멈춰지도록 신호를 보낼 수 있다.
또한, 도 4를 참조하면, 로딩언로딩 장치(1)는 제2 센서부(154)를 포함할 수 있다. 제2 센서부(154)는 안착부(131)에 대한 스트립(92a, 92b)의 안착 여부를 감지할 수 있다. 예를 들어, 제2 센서부(154)는 한 쌍의 지지대(1311, 312) 사이 중 안착부(131)에 안착되는 스트립(92a, 92b)의 내측 부분의 하측에 구비될 수 있다. 이에 따라, 제2 센서부(154)는 그의 상측에 스트립(92a, 92b)의 내측 부분이 있는지의 여부를 감지함으로써, 안착부(131)에 스트립(92a, 92b)이 안착되었는지의 여부를 판단할 수 있다.
또한, 도 10을 참조하면, 로딩언로딩 장치(1)는 제3 센서부(153)를 포함할 수 있다. 제3 센서부(153)는 안착부(131)에 대한 스트립(92a, 92b)의 안착 여부를 감지할 수 있다. 예를 들어, 제3 센서부(153)는 한 쌍의 지지대(1311, 312) 사이 중 안착부(131)에 안착되는 스트립(92a, 92b)의 외측 부분의 하측에 구비될 수 있다. 이에 따라, 제3 센서부(153)는 그의 상측에 스트립(92a, 92b)의 외측 부분이 있는지의 여부를 감지함으로써, 안착부(131)에 대한 스트립(92a, 92b)의 안착 여부를 판단할 수 있다.
또한, 도 10을 참조하면, 로딩언로딩 장치(1)는 제4 센서부(151, 52)를 포함할 수 있다. 제 4 센서부(151, 52)는 안착부(131)에 대한 스트립(92a, 92b)의 안착 여부를 감지할 수 있다. 예를 들어, 제4 센서부(151, 52)는 센서 1(151) 및 센서 2(152)를 포함할 수 있는데, 센서 1(151)은 안착부(131)의 상측에 구비되고 센서 2(151)는 안착부(131)의 하측에 구비되되, 상호 송수신하는 신호의 경로(1511)(1예를 들어, 광 스트림)가 한 쌍의 지지대(1311, 312) 사이를 지나도록 구비될 수 있다. 예를 들어, 스트립(92a, 92b)은 종류에 따라 규격이 다를 수 있는데, 스트립(92a, 92b)의 길이가 짧을 경우, 제2 센서부(154) 또는 제3 센서부(153)에 의한 감지의 정확도가 저하될 수 있다. 이에 대하여, 로딩언로딩 장치(1)는 제4 센서부(151, 52)를 포함함으로써, 스트립(92a, 92b)의 규격에 관계없이, 스트립(92a, 92b)의 안착 여부를 정확하게 감지할 수 있다.
상술한 바에 따르면, 회수해야 할 스트립, 별도의 가공 장치로 이송되어야하는 스트립 등과 같은 회수 스트립(92b)이 로딩언로딩부(13)로부터 제2 클램프 유닛(121)이 파지한 빈 매거진 또는 회수 스트립(92b)이 적재된 매거진으로 이송될 수 있고, 회수 스트립(92b)이 수용되면, 제2 클램프 유닛(121)은 그가 파지한 빈 매거진 또는 회수 스트립이 적재된 매거진을 제3 트레이(113)로 유입시킬 수 있다. 이에 따라, 회수 스트립(92b)을 자동으로 회수하여 제3 트레이(113)에 별도로 적재할 수 있는 로딩언로딩 장치가 구현될 수 있다.
또한, 이하에서는 패키지 커팅 장치(2)를 설명한다.
도 11및 도 12를 참조하면, 패키지 커팅 장치(2)는 블레이드 장착부(221)를 포함하는 커팅 어셈블리(22)를 포함한다. 예를 들어, 커팅 어셈블리(22)는 반도체 스트립으로부터 패키지(P)를 커팅하여 복수의 패키지(P)로 분할할 수 있다.
커팅 어셈블리(22)는 블레이드 장착부(221)를 포함할 수 있다. 블레이드 장착부(221)에는 블레이드(92)가 장착될 수 있고, 블레이드(92)에 의해 패키지(P)가 커팅될 수 있다.
구체적으로, 도 14를 참조하면, 블레이드 장착부(221)는 모터와 연결되는 스핀들축(2211)을 포함할 수 있다. 모터는 블레이드(92)를 회전시킬 수 있다. 블레이드(92)는 스핀들축(2211)의 외면 상에 구비될 수 있고, 모터는 스핀들축(2211)을 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 모터가 제공하는 회전력에 의해 블레이드(92)는 회전될 수 있다.
구체적으로, 도 14를 참조하면, 블레이드 장착부(221)는 스핀들축(2211)의 외면으로부터 외측 방향으로 돌출되어 스핀들축(2211)의 둘레를 따라 형성되며 일면에 블레이드(92)가 안착 가능한 블레이드 안착부(2212)를 포함할 수 있다. 도 14에는 도시되지 않았지만, 블레이드(92)는 그의 타면이 블레이드 안착부(2212)의 일면에 접촉되도록 블레이드 안착부(2212)에 구비될 수 있다. 또한, 블레이드(92)의 둘레 부분은 블레이드 안착부(2212)로부터 외측으로 돌출되도록 블레이드(92)는 블레이드 안착부(2212)에 구비될 수 있다.
또한, 도 14를 참조하면, 블레이드 장착부(221)는 스핀들축(2211)의 외면 중 블레이드 안착부(2212)보다 더 일 방향을 향하는 부분(도 14를 기준으로 9시 방향)으로부터 외측 방향으로 돌출되어 스핀들축(2211)의 둘레를 따라 형성되며 일면에 플렌지(93)가 안착 가능한 플렌지 안착부(2213)를 포함할 수 있다.
또한, 도면에는 자세히 도시되지 않았지만, 도 14를 참조하면, 블레이드 장착부(221)는 스핀들축(2211)의 외면 중 플렌지 안착부(2213)보다 더 일 방향을 향하는 부분 일단부의 외면에 나사산이 형성되어 플렌지 너트(931)가 나사 결합 가능한 너트 장착부(2214)를 포함할 수 있다.
이와 같이, 블레이드(92)는 그의 일측에 구비되는 플렌지(93) 및 플렌지 너트(931)에 의해 스핀들축(2211)의 둘레를 따라 장착될 수 있고, 스핀들축(2211)이 모터에 의해 회전됨에 따라 블레이드(92)는 회전될 수 있다. 또한, 블레이드(92)는 회전됨으로써 블레이드(92)(특히 블레이드(92)의 둘레 부분)에 접촉되는 패키지(P)를 절단할 수 있다.
도 15는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 커팅 장치의 커팅 어셈블리의 센서를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 13 및 도 15를 참조하면, 커팅 어셈블리(22)는 ㄷ자형 센서(222)를 포함할 수 있다. 도 13 및 도 15를 참조하면, 센서(222)는 개구부(2221)를 가질 수 있다. 개구부(2221) 내에는 블레이드(92)의 둘레 부분이 위치할 수 있다.
또한, 도 13 및 도 15를 참조하면, 센서(222)는 개구부(2221)를 사이에 두고 배치되는 발광부(2222)와 수광부(2223)를 포함할 수 있다. 즉, 개구부(2221) 내에 블레이드(92)의 둘레 부분이 위치하는 경우, 발광부(2222)와 수광부(2223) 사이에는 블레이드(92)의 둘레 부분이 위치할 수 있다.
센서(222)는 개구부(2221) 내에 블레이드(92)의 둘레 부분이 위치하도록 배치되어 블레이드(92)의 상태를 센싱 가능하다. 예를 들어, 발광부(2222)가 조사한 광량 중 수광부(2223)가 수신한 광량의 비율에 따라 블레이드(92)의 불량 유무가 결정될 수 있다. 예를 들면, 수광부(2223)가 수신한 광량의 비율이 클수록 블레이드(92)의 내구성이 낮거나, 블레이드(92)의 상태가 상태가 안좋을 수 있으며, 또는 블레이드(92)가 많이 사용된 것일 수 있다. 이는, 블레이드(92)가 많이 사용될 수록, 블레이드(92)가 일부 손상될 수 있고, 또는 블레이드(92)가 얇아질 수 있으며, 이에 따라, 블레이드(92)를 통과하는 광량이 커질 수 있기 때문이다.
또한, 패키지 커팅 장치(2)에서, 센서(222)는, 커팅을 주로 하는 블레이드(92)의 둘레 부분에 대해 센싱을 하도록 구비되므로, 효율적 센싱이 이루어질 수 있을 것이다.
또한, 도 15를 참조하면, 센서(222)는 블레이드(92)에 대해 외측 방향으로 이동되어 블레이드(92)로부터 제거 가능하다. 예를 들어, 블레이드(92)의 교체시 센서(222)는 블레이드(92)에 대해 외측 방향(다시 말해, 스핀들 축(2211)의 외측 방향)으로 이동되어 블레이드 장착부(221)로부터 블레이드(92)가 제거되거나 블레이드 장착부(221)에 블레이드가 장착되게 할 수 있다. 이를 위해, 센서(222)는 후술하는 블레이드 자동 교환 로봇(21)과 연동되어 구동될 수 있다. 예를 들어, 센서(222)는 블레이드 자동 교환 로봇(21)의 암(211)이 블레이드 장착부(221)로부터 블레이드(92)를 제거하거나 블레이드 장착부(221)에 블레이드(92)를 장착하기 위해 소정 거리 이내로 접근하면 스핀들 축(2211)의 외측 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 블레이드 장착부(221)에 대한 블레이드(92)의 장착 및 수거가 완료되어 암(211)이 상기 소정 거리 이내에 위치하지 않게되면 센서(222)는 위치 복원될 수 있다. 또한, 도시하지 않았으나 제어부의 제어 신호에 의하여 블레이드 자동 교환 로봇(21)의 암(211)과 센서(222)의 동작이 연동하여 작동할 수 있다. 또한, 커팅 어셈블리(22)는 센서(222)의 내외측 방향으로의 이동을 위해 센서(222)를 내외측 방향으로 이동시키는 모터를 포함할 수 있다. 예를 들어, 모터는 리니어 모터일 수 있다.
또한, 도 11및 도 12를 참조하면, 패키지 커팅 장치(2)는 블레이드 자동 교환 로봇(21)을 포함한다.
블레이드 자동 교환 로봇(21)은 블레이드 장착부(221)로부터 사용 후의 블레이드(92)를 수거하거나, 블레이드 장착부(221)에 사용 전의 블레이드(92)를 장착시킨다. 예를 들어, 블레이드 자동 교환 로봇(21)은 센서(222)가 블레이드(92)의 상태를 센싱하여 블레이드(92)가 새로 교체될 필요가 있다고 판단되는 경우, 블레이드 장착부(221)로부터 블레이드(사용 후의 블레이드)(92)를 수거하고 블레이드 장착부(221)에 블레이드(사용 전의 블레이드)(92)를 장착시킬 수 있다.
도 16은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 커팅 장치의 블레이드 자동 교환 로봇의 암의 사시도이고, 도 17은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 커팅 장치의 암의 분해도이며, 도 18은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 커팅 장치의 암의 단면도이다.
도 11및 도 12, 도 16을 참조하면, 블레이드 자동 교환 로봇(21)은, 암(211)을 포함할 수 있다. 암(211)은 블레이드(92), 플렌지(93) 및 플렌지 너트(931)를 파지할 수 있다. 또한, 암(211)은 블레이드(92), 플렌지(93) 및 플렌지 너트(931)를 블레이드 장착부(221)로부터 수거하거나, 블레이드(92), 플렌지(93) 및 플렌지 너트(931) 블레이드 장착부(221)에 장착시킬 수 있다.
구체적으로, 도 16 내지 도 18을 참조하면, 암(211)은 모터와 연결되는 회전축(2111)을 포함할 수 있다. 회전축(2111)은 모터에 의해 회전될 수 있다.
또한, 도 16 내지 도 18을 참조하면, 암(211)은 블레이드 홀더(2112)를 포함할 수 있다. 도 18을 참조하면, 블레이드 홀더(2112)는 회전축(2111)으로부터 일 방향(도 18을 기준으로 3시 방향)으로 연장 배치될 수 있다. 또한, 도 17 및 도 18을 참조하면, 블레이드 홀더(2112)는 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제1 관통구(21121)를 가질 수 있다.
제1 관통구(21121)의 내경은 커팅 어셈블리(22)의 블레이드 장착부(221)의 너트 장착부(2214)의 외경보다 클 수 있다.
또한, 도 18을 참조하면, 블레이드 홀더(2112)는 후술하는 플렌지 홀더(2113)와 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)보다 일 방향으로 돌출되게 배치될 수 있다.
또한, 도 16 내지 도 18을 참조하면, 암(211)은 회전축(2111)과 블레이드 홀더(2112) 사이에 개재되는 제1 탄성부재(2115)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 18을 참조하면, 블레이드 홀더(2112)의 일 방향으로의 이동이 제한되는 상태(블레이드(92)가 블레이드 장착부(221)의 블레이드 안착부(2212)에 지지된 상태)에서 회전축(2111)이 일 방향으로 이동되면 제1 탄성부재(2115)는 탄성 압축될 수 있다.
이에 따라, 후술하는 플렌지 홀더(2113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는, 제1 탄성부재(2115)의 압축시 블레이드 홀더(2112)에 대하여 일 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있다. 구체적으로, 블레이드 홀더(2112)의 일 방향으로의 이동이 제한되는 상태에서 회전축(2111)이 일 방향으로 이동되면, 제1 탄성부재(2115)가 압축되면서 회전축(2111)과 연결되는 플렌지 홀더(2113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 블레이드 홀더(2112)의 제1 관통구(21121)의 길이 방향을 따라 일 방향으로 이동될 수 있다.
또한, 도 16 내지 도 18을 참조하면, 암(211)은 블레이드 홀더(2112)를 관통하며 후술하는 플렌지 홀더(2113)에 체결되는 제1 체결 유닛(21124)를 포함할 수 있다. 또한, 블레이드 홀더(2113)의 제1 체결 유닛(21124)이 관통하는 홀(21123)은 플렌지 홀더(2113)의 블레이드 홀더(2112)에 대한 상대적 일 방향 및 타 방향으로의 이동이 허용되도록 일 방향 및 타 방향으로 연장 형성되는 장공일 수 있다.
또한, 도 16 및 도 18을 참조하면, 블레이드 홀더(2112)는 블레이드(92)를 흡착 지지 가능하다. 예를 들어, 도 17 및 도 18을 참조하면, 블레이드 홀더(2112)의 일 방향을 향하는 일면에는, 둘레 방향을 따라 서로 이격 형성되어, 블레이드(92)에 대한 진공압을 작용하는 복수 개의 진공 홀(21122)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 진공 홀(21122)은 등간격으로 4개 형성될 수 있다. 진공 홀(21122)은 진공 펌프로부터 연결되는 진공 라인과 연결되어 블레이드(92)에 대한 흡착을 통해 블레이드(92)를 픽할 수 있고, 블레이드(92)에 대한 흡착을 해제함으로써 블레이드(92)를 플레이스 할 수 있다.
또한, 도 17 및 도 18을 참조하면, 암(211)은 플렌지 홀더(2113)를 포함할 수 있다. 도 18을 참조하면, 플렌지 홀더(2113)는 회전축(2111)으로부터 일 방향으로 연장되어 제1 관통구(21121)에 삽입될 수 있다. 또한, 플렌지 홀더(2113)는 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제2 관통구(21131)를 가질 수 있다.
제2 관통구(21131)의 내경은 커팅 어셈블리(22)의 블레이드 장착부(221)의 너트 장착부(2214)의 외경보다 클 수 있다. 즉, 제1 관통구(21121) 및 제2 관통구(21131)의 내경은 커팅 어셈블리(22)의 블레이드 장착부(221)의 너트 장착부(2214)의 외경보다 클 수 있다. 이에 따라, 너트 장착부(2214)는 제1 관통구(21121) 및 제2 관통구(21131) 내로 인입 가능하다.
또한, 도 18을 참조하면, 플렌지 홀더(2113)는 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)보다 일 방향으로 돌출되게 배치될 수 있다.
또한, 도 17 및 도 18을 참조하면, 암(211)은 회전축(2111)과 플렌지 홀더(2113) 사이에 개재되는 제2 탄성부재(2116)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 18을 참조하면, 플렌지 홀더(2113)의 일 방향으로의 이동이 제한되는 상태에서(플렌지(93)가 블레이드 장착부(221)의 플렌지 안착부(2213)에 지지된 상태) 회전축(2111)이 일 방향으로 이동되면 제2 탄성부재(2116)는 탄성 압축될 수 있다.
이에 따라, 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는, 제2 탄성부재(2116)의 압축시 플렌지 홀더(2113)에 대하여 일 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있다. 구체적으로, 플렌지 홀더(2113)의 일 방향으로의 이동이 제한되는 상태에서 회전축(2111)이 일 방향으로 이동되면 제2 탄성부재(2116)가 압축되면서 회전축(2111)과 연결되는 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)가 제2 관통구(21131)의 길이 방향을 따라 일 방향으로 이동될 수 있다.
또한, 도 18을 참조하면, 플렌지 홀더(2113)는 플렌지(93)를 흡착 지지 가능하다. 예를 들어, 도 17 및 도 18을 참조하면, 플렌지 홀더(2113)의 일 방향을 향하는 일면에는, 둘레 방향을 따라 서로 이격 형성되어, 플렌지(93)에 대한 진공압을 작용하는 복수 개의 진공 홀(21132)이 형성될 수 있다. 또한, 도 18을 참조하면, 진공 홀(21132)은 진공 펌프로부터 연결되는 진공라인(21133)과 연결되어 플렌지(93)에 대한 흡착을 통해 플렌지(93)를 픽(2pick)할 수 있고, 플렌지(93)에 대한 흡착을 해제하여 플렌지(93)를 플레이스 할 수 있다. 도 18을 참조하면, 진공라인(21133)은 제1 체결 유닛(21124)을 관통하며 플렌지 홀더(2113)를 관통하며 진공 홀(21132)에 연장 형성될 수 있다.
또한, 도 17 및 도 18을 참조하면, 암(211)은 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)를 포함할 수 있다. 도 18을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 회전축(2111)으로부터 일 방향으로 연장되어 제2 관통구(21131)에 삽입될 수 있다. 예를 들어, 도 18을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는, 회전축(2111)으로부터 일 방향으로 연장되는 지지축(21141)이 삽입되는 연결 유닛(21143) 및 연결 유닛(21143)의 일단부를 감싸며 일 방향으로 연장 배치되는 플렌지 너트 드라이버(21142)를 포함할 수 있다.
또한, 도 18을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 플렌지 너트(931)를 지지 가능하다. 예를 들어, 도 17을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버(21142)의 일 방향을 향하는 일면에는 일 방향으로 돌출되어 플렌지 너트(931)의 복수 개의 홈(932)과 맞물리는 돌기(211421) 복수 개가 형성될 수 있다. 홈(932)과 돌기(211421)가 끼워맞춤(또는 삽입 결합)됨으로써, 플렌지 너트(931)는 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)에 픽될 수 있다.
또한, 플렌지 홀더(2113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 블레이드 홀더(2112)에 대해 상대적으로 일 방향 및 타 방향으로 이동 가능하다. 또한, 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 플렌지 홀더(2113)에 대해 상대적으로 일 방향 및 타 방향으로 이동 가능하다.
상술한 바와 같이, 블레이드 홀더(2112)의 일 방향으로의 이동이 제한되는 상태에서 회전축(2111)이 일 방향으로 이동되면, 제1 탄성부재(2115)가 압축되면서 회전축(2111)과 연결되는 플렌지 홀더(2113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 블레이드 홀더(2112)의 제1 관통구(21121)의 길이 방향을 따라 일 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 회전축(2111)이 타 방향(예를 들어, 도 18 참조 9시 방향)으로 이동되면 제1 탄성부재(2115)가 탄성복원되면서(펴지면서) 회전축(2111)과 연결되는 플렌지 홀더(2113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 블레이드 홀더(2112)의 제1 관통구(21121)의 길이 방향을 따라 타 방향으로 이동될 수 있다.
또한, 플렌지 홀더(2113)의 일 방향으로의 이동이 제한되는 상태에서 회전축(2111)이 일 방향으로 이동되면 제2 탄성부재(2116)가 압축되면서 회전축(2111)과 연결되는 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)가 제2 관통구(21131)의 길이 방향을 따라 일 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 회전축(2111)이 타 방향(예를 들어, 도 18 참조 9시 방향)으로 이동되면 제2 탄성부재(2116)가 탄성복원되면서(펴지면서) 회전축(2111)과 연결되는 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 제2 관통구(21131)의 길이 방향을 따라 타 방향으로 이동될 수 있다.
또한, 도 17 및 도 18을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버(21142)에는 일 방향 및 타 방향(길이 방향)으로 제3 관통구(211422)가 형성될 수 있다. 또한, 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 지지축(21141)으로부터 연장되어 일단부가 제3 관통구(211422)에 삽입되는 연결 유닛(21143)을 포함할 수 있다. 도 18을 참조하면, 연결 유닛(21143)의 타단부는 지지축(21141)을 감싸고, 연결 유닛(21143)의 일단부는 제3 관통구(211422)에 삽입될 수 있다. 또한, 도 17 및 도 18을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 플렌지 너트 드라이버(21142)를 관통하며 연결 유닛(21143)에 체결되는 제2 체결 유닛(21144)을 포함할 수 있다. 플렌지 너트 드라이버(21142)의 제2 체결 유닛(21144)이 관통하는 홀(211423)은 플렌지 너트 드라이버(21142)의 연결 유닛(21143)에 대한 일 방향 및 타 방향으로의 이동이 허용되도록 일 방향 및 타 방향으로 연장 형성되는 장공일 수 있다.
또한, 도 17 및 도 18을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 플렌지 너트 드라이버(21142)를 연결 유닛(21143)에 대해 탄성 구동시키는 제3 탄성 부재(21146)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 도 17 및 도 18을 참조하면, 연결 유닛(21143)의 타단부에는 외측으로 돌출 형성되어 제3 탄성 부재(21146)의 타단부가 지지되는 지지턱이 형성될 수 있고, 제3 탄성 부재(21146)은 일단은 플렌지 너트 드라이버(21142)의 타 방향을 향하는 면에 지지되고 타단은 연결 유닛(21143)에 형성되는 지지턱에 지지될 수 있다.
이에 따라, 도 18을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버(21142)는 회전축의 일 방향으로의 이동이 시작되면, 소정 시간 후, 구체적으로, 제 3 탄성부재(21146)가 소정 압축되고, 제2 체결 유닛(21144)이 장공인 홀(211423)의 일단 끝까지 이동되면 회전축(2111)의 이동과 연동되어 일 방향으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 플렌지 너트 드라이버(21142)의 이동이 보다 스무스하게 이루어질 수 있다.
이하에서는 암(211)의 구동에 대해 보다 구체적으로 설명한다.
예를 들어, 블레이드 장착부(221)에 대한 블레이드(92)의 장착시, 회전축(2111)은, 블레이드 홀더(2112)의 일면 상의 블레이드(92)가 블레이드 장착부(221)의 블레이드 안착부(2212)에 안착되도록 블레이드 안착부(2212)를 향하는 방향으로 소정 거리(제1 소정 거리) 이동될 수 있다. 참고로, 여기서 소정 거리는 블레이드 홀더(2112)에 파지된 블레이드(92)가 블레이드 장착부(221)의 블레이드 안착부(2212)와 대향하도록 블레이드 홀더(2112)가 위치한 위치 지점으로부터 블레이드 홀더(2112)에 파지된 플레이드(92)가 블레이드 안착부(2212)에 안착될때까지 회전축(2111)이 이동한 거리를 의미할 수 있다. 또한, 회전축(2111)은, 플렌지 홀더(2113)의 일면 상의 플렌지(93)가 블레이드 장착부(221)의 플렌지 안착부(2213)에 안착되고, 플렌지 너트 드라이버(21142)의 일면 상의 플렌지 너트(931)가 블레이드 장착부(221)의 너트 장착부(2214)의 외면 상으로 진입하도록 블레이드 안착부(2212)를 향하는 방향으로 소정 거리(제2 소정 거리) 추가 이동될 수 있다. 여기서 소정 거리는, 블레이드(92)가 블레이드 안착부(2212)에 안착된 후부터, 플렌지 홀더(2113)의 일면 상의 플렌지(93)가 블레이드 장착부(221)의 플렌지 안착부(2213)에 안착되고, 플렌지 너트 드라이버(21142)의 일면 상의 플렌지 너트(931)가 블레이드 장착부(221)의 너트 장착부(2214)의 외면 상으로 진입할 때까지 회전축(2111)이 이동한 거리를 의미할 수 있다. 회전축(2111)이 제2 소정 거리 이동 전에, 블레이드 홀더(2112)는 그 전에 수행된 제1 소정 거리 이동에 따라 이미 블레이드(92)를 사이에 두고 블레이드 안착부(2212)에 지지되어 추가 이동이 제한된 상태이기 때문에 회전축(2111)의 제2 소정 거리 이동시, 제1 탄성부재(2115)가 탄성압축되며 플렌지 홀더(2113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 블레이드 홀더(2112)에 대하여 상대적으로 제2 소정 거리 이동될 수 있다. 이에 따라, 블레이드 홀더(2112)의 블레이드(92)가 블레이드 안착부(2212)에 안착되고 플렌지 홀더(2113)의 플렌지(93)가 블렌지 안착부(2213)에 안착되며 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)의 플렌지 너트(931)가 너트 장착부(2214)에 진입한 상태가 구현될 수 있다. 또한, 회전축(2111)은 플렌지 너트(931)가 너트 장착부(2214)와 나사 결합하도록 회전되며 블레이드 안착부(2212)를 향하는 방향으로 소정 거리(제3 소정 거리) 추가 이동될 수 있다. 소정 거리는 플렌지 너트(931)와 너트 장착부(2214) 사이의 나사 결합이 완료되도록 회전축(2111)이 이동한 거리를 의미할 수 있는데, 플렌지 너트(931)와 너트 장착부(2214)의 나사결합량에 따라 결정될 수 있다. 회전축(2111)의 제3 소정 거리 이동 전에, 블레이드 홀더(2112)는 그 전에 수행된 제1 소정 거리 이동에 따라 이미 블레이드(92)를 사이에 두고 블레이드 안착부(2212)에 지지되어 추가 이동이 제한된 상태이고, 플렌지 홀더(2113)는 제2 소정 거리 이동에 따라 이미 플렌지(93)를 사이에 두고 플렌지 안착부(2213)에 지지되어 추가 이동이 제한된 상태이기 때문에, 회전축(2111)의 제3 소정 거리 이동시, 제2 탄성부재(2116)가 탄성압축되며 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 플렌지 홀더(2113)에 대하여 상대적으로 제3 소정 거리 이동될 수 있다. 이에 따라, 블레이드 홀더(2112)의 블레이드(92)가 블레이드 안착부(2212)에 안착되고 플렌지 홀더(2113)의 플렌지(93)가 블렌지 안착부(2213)에 안착되며 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)의 플렌지 너트(931)가 너트 장착부(2214)에 나사 결합된 상태가 구현될 수 있다.
또한, 블레이드 장착부(2212)에 대한 블레이드(92)의 수거시, 회전축(2111)은, 블레이드 홀더(2112)의 일면이 블레이드 안착부(2212) 상의 블레이드(92)에 접촉되고, 플렌지 홀더(2113)의 일면이 플렌지 안착부(2212) 상의 플렌지(93)에 접촉되며, 플렌지 너트 드라이버(21142)의 일면이 너트 장착부(2214)에 나사 결합된 플렌지 너트(931)에 접촉되도록 블레이드 안착부(2212)를 향하는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있다. 여기서 소정 거리는, 블레이드 홀더(2112)가 블레이드 안착부(2212) 상의 블레이드(92)와 대향하도록 블레이드 홀더(2112)가 위치한 위치 지점으로부터 플렌지 너트 드라이버(21142)의 돌기(211421)가 블레이드(92)의 홈(932)에 삽입될때까지 회전축(2111)이 이동한 거리를 의미할 수 있다. 또한, 회전축(2111)은, 플렌지 너트(931)와 너트 장착부(2214)의 나사 결합이 해제되도록, 회전되며 블레이드 안착부(2212)로부터 멀어지는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있다. 소정 거리는 플렌지 너트(931)와 너트 장착부(2214) 사이의 나사 결합이 해제되도록 회전축(2111)이 이동한 거리를 의미할 수 있는데, 플렌지 너트(931)와 너트 장착부(2214)의 나사결합량에 따라 결정될 수 있다. 또한, 회전축(2111)은 플렌지 안착부(2212) 상의 플렌지(93), 너트 장착부(2214) 상의 플렌지 너트(931) 및 블레이드 안착부(2212) 상의 블레이드(92)가 제거되도록 블레이드 안착부(2212)로부터 멀어지는 방향으로 소정거리 이동될 수 있다.
정리하면, 센서(222)가 블레이드(92)의 교체가 필요함을 판단하면, 제어부는 암(211)의 블레이드 교체를 위한 제어 신호를 생성할 수 있다. 제어 신호에 따라 암(211)은 블레이드 장착부(221)로 접근하여, 블레이드 장착부(221)로부터의 블레이드(92) 수거를 수행할 수 있다. 먼저, 회전축(2111)은 블레이드 홀더(2112)의 일면이 블레이드 안착부(2212) 상의 블레이드(92)에 접촉되고, 플렌지 홀더(2113)의 일면이 플렌지 안착부(2212) 상의 플렌지(93)에 접촉되며, 플렌지 너트 드라이버(21142)의 일면이 너트 장착부(2214)에 나사 결합된 플렌지 너트(931)에 접촉되도록 블레이드 안착부(2212)를 향하는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있고, 이 과정에서 블레이드 홀더(2112)에는 블레이드 안착부(2212) 상의 블레이드(92)가 파지될 수 있고, 플렌지 홀더(2113)에는 플렌지 안착부(2213) 상의 플렌지(93)가 파지될 수 있으며, 플렌지 너트 드라이버(21142)에는 플렌지 너트(931)가 파지될 수 있다. 그 후, 회전축(2111)은 플렌지 너트(931)와 너트 장착부(2214)의 나사 결합이 해제되도록, 회전되며 블레이드 안착부(2212)로부터 멀어지는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있으며, 그 후, 회전축(2111)은 플렌지 안착부(2212) 상의 플렌지(93), 너트 장착부(2214) 상의 플렌지 너트(931) 및 블레이드 안착부(2212) 상의 블레이드(92)가 제거되도록 블레이드 안착부(2212)로부터 멀어지는 방향으로 이동될 수 있다. 이후, 회전축(2111)(다시 말해, 암(211))은 후술하는 블레이드 보관부(23)로 이동되어 그의 블레이드 홀더(2112)에 파지되어 있는 블레이드(92)를 블레이드 보관부(23)에 거치시킬 수 있다.
그 후, 암(211)은 그의 블레이드 홀더(2112)로 블레이드 보관부(23)로부터 블레이드(92)(사용되지 않은 새 블레이드(92))를 파지할 수 있다. 이때, 암(211)의 플렌지 홀더(2113)에는 블레이드 장착부(221)로부터 블레이드(92)를 수거할 때 블레이드 장착부(221)로부터 수거했던 플렌지(93) 및 플렌지 너트(931)가 파지된 상태일 수 있다. 암(211)은 블레이드 보관부(23)로부터 블레이드(92)를 파지한 후, 블레이드(92)가 수거되었던 블레이드 장착부(221)에 접근할 수 있고, 블레이드 홀더(2112)의 일면 상의 블레이드(92)가 블레이드 장착부(221)의 블레이드 안착부(2212)에 안착되도록 블레이드 안착부(2212)를 향하는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있다. 이후, 회전축(2111)은 플렌지 홀더(2113)의 일면 상의 플렌지(93)가 블레이드 장착부(221)의 플렌지 안착부(2213)에 안착되고, 플렌지 너트 드라이버(21142)의 일면 상의 플렌지 너트(931)가 블레이드 장착부(221)의 너트 장착부(2214)의 외면 상으로 진입하도록 블레이드 안착부(2212)를 향하는 방향으로 소정 거리 추가 이동될 수 있으며, 이후, 회전축(2111)은 플렌지 너트(931)가 너트 장착부(2214)와 나사 결합하도록 회전되며 블레이드 안착부(2212)를 향하는 방향으로 소정 거리 추가 이동될 수 있다. 이에 따라 블레이드(92), 플렌지(93), 플렌지 너트(931)가 블레이드 장착부(221)에 장착된 후, 암(211)은 블레이드 장착부(221)로부터 멀어질 수 있다.
또한, 블레이드 자동 교환 로봇(21)은 암(211)의 모터의 회전력 및 토크를 제어하는 감속기를 포함할 수 있다. 이에 따라, 모터의 회전력의 회전 속도가 제어될 수 있고(예를 들어, 보다 느리게 제어될 수 있음), 과도한 플렌지 너트(931)의 회전 및 압력으로 인해 블레이드(92)가 손상되는 것이 방지될 수 있다.
또한, 도 17 및 도 18을 참조하면, 암(211)은 회전축과 상기 제1 및 제2 탄성부재 사이에 개재되는 지지 구조체(2117)를 더 포함하되, 지지 구조체(2117)의 최외측에는 제1 탄성부재(2115)의 타단을 지지하는 최외측 지지턱(21171)이 형성될 수 있다. 또한, 지지 구조체(2117)의 최외측 지지턱(21171)보다 내측에 위치하는 부분에는 제2 탄성부재(2116)의 타단을 지지하는 외측 지지턱(21172)이 형성될 수 있다. 또한, 도 17 및 도 18을 참조하면, 암(211)은 외부로 노출될 수 있는 연결유닛(21143)의 일부를 감싸는 커버(21145)를 포함할 수 있다.
또한, 도 11및 도 12를 참조하면, 블레이드 자동 교환 로봇(21)은 암(211)을 X축 Y축 및 Z축으로 이동시킬 수 있고, 암(211)을 회전시킬 수 있다. 다시 말해, 블레이드 자동 교환 로봇(21)은 암(211)을 수평 방향으로의 이동, 수직 방향으로의 이동 및 회전 구동 시킬 수 있다. 이에 따라, 암(211)은 자유롭게 커팅 어셈블리(22)(특히 블레이드 장착부(221))와 블레이드 보관부(23)를 오가며 블레이드(92)를 교환하고 블레이드(92)를 보관시킬 수 있다.
또한, 도 11및 도 12를 참조하면, 커팅 어셈블리(22)는 한 쌍으로 구비될 수 있다. 한 쌍의 커팅 어셈블리(22)는 각각의 블레이드 장착부(221)가 서로 대향하도록 구비될 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이, 암(211)은 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)가 파지한 플렌지 너트(931)가 너트 장착부(2214)와 나사 결합되도록 회전축(2111)을 회전시킬 수 있다. 이때, 커팅 어셈블리(22) 각각에 대한 회전축(2111)의 회전 방향은 서로 반대일 수 있다. 이는, 커팅 어셈블리(22)가 서로 대향되며 배치되기 때문일 수 있다.
또한, 도 11및 도 12를 참조하면, 패키지 커팅 장치(2)는 블레이드 보관부(23)를 포함할 수 있다. 보관부(23)에는 사용 후 블레이드(92) 및 사용 전 블레이드(92)가 보관될 수 있다.
도 19는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 커팅 장치의 블레이드 보관부를 설명하기 위한 사시도이고, 도 20은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 커팅 장치의 블레이드 보관부의 정면도이다.
도 19 및 도 20을 참조하면, 블레이드 보관부(23)는 블레이드(92)의 관통공을 통과하며 블레이드(92)를 거치하는 거치부(231)를 포함할 수 있다.
또한, 도 19 및 도 20을 참조하면, 블레이드 보관부(23)는 거치부(231)에 거치되는 블레이드(92)가 거치부(231)의 양쪽 끝단 중 하나를 통해 이탈되지 않도록, 블레이드(92)의 관통공의 직경보다 큰 폭을 가지고 거치부(231)의 양쪽 끝단 중 하나에 형성되는 걸림부(232)를 포함할 수 있다.
또한, 도 19 및 도 20을 참조하면, 블레이드 보관부(23)는 거치부(231)에 거치되는 블레이드(92)가 거치부(231)의 양쪽 끝단 중 다른 하나로부터 이탈되지 않도록 거치부(231)의 양쪽 끝단 중 다른 하나에 구비되는 클램프(233)를 포함할 수 있다. 도 20을 참조하면, 클램프(233)는 거치부(231)로부터의 블레이드(92)의 이탈이 가능하도록 거치부(231)로부터 이격 가능하다. 예를 들어, 도 20을 참조하면 클램프(233)는 걸림부(232)로부터 멀어지는 방향 및 걸림부(232)를 향하는 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 도 19를 참조하면, 클램프(233)는 회전 가능하다. 이에 따라, 암(211)이 거치부(231)에 블레이드(92)가 보관해야 하거나, 거치부(231)로부터 블레이드(92)를 가져갈때, 클램프(233)는 걸림부(232)로부터 멀어지는 방향으로 이동되어 회전됨으로써, 거치부(231)로부터의 블레이드(92)의 이탈 및 거치부(231)에 대한 블레이드(92)의 거치를 허용할 수 있다. 이후 거치부는, 회전되어 걸림부(232)에 가까워지는 방향으로 이동됨으로써 거치부(231)로부터의 블레이드(92)의 이탈 및 거치부(231)에 대한 블레이드(92)의 거치를 차단할 수 있다.
또한, 거치부(231)의 단면은 원형 형상일 수 있다. 또한, 도 20을 참조하면, 거치부(231)의 클램프(233)를 향하는 부분은 클램프(233)를 향할수록 직경이 줄어들 수 있다. 이에 따라, 거치부(231)의 클램프(233)를 향하는 부분은 그 길이 방향(도 20 참조, 9시 3시 방향)을 따라 비스듬한 경사면(2311)이 형성될 수 있다. 따라서, 거치부(231)로부터의 블레이드(92)의 이탈시 블레이드(92)가 보다 용이하게 거치부(231)로부터 빠질 수 있다.
또한, 도 19를 참조하면, 블레이드 보관부(23)는 복수 개 구비될 수 있다. 또한, 복수 개의 블레이드 보관부(23) 각각에 블레이드(92)가 보관될 수 있는데, 예를 들어, 첫 번째 블레이드 보관부(23)에는 사용되지 않은 새 블레이드(92)가 보관될 수 있다. 두 번째 블레이드 보관부(23)에는 사용된 블레이드(92)가 보관될 수 있다. 세 번째 블레이드 보관부(23)에는 사용 중인 블레이드(92)가 보관될 수 있다.
또한, 패키지 커팅 장치(2)는 블레이드 보관부(23)에 구비되어 블레이드(92)의 보관 유무, 블레이드(92)의 보관량, 블레이드(92)의 보관 가능 유무 등 중 하나 이상을 체크하는 센서를 포함할 수 있다.
이하에서는, 본원의 일 실시예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇의 암(이하 '본 암'이라 함)(211)에 대해 설명한다. 다만, 본 암은, 앞서 살핀 패키지 커팅 장치(2)의 암(211)과 동일 한 구성일 수 있다. 이에 따라, 앞서 살핀 패키지 커팅 장치(2)에서 설명한 구성과 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고, 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하기로 한다.
본 암(211)은 모터와 연결되는 회전축(2111)을 포함한다. 회전축(2111)은 모터에 의해 회전된다.
또한, 본 암(211)은 블레이드 홀더(2112)를 포함한다. 블레이드 홀더(2112)는 회전축(2111)으로부터 일 방향으로 연장 배치된다. 또한, 블레이드 홀더(2112)는 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제1 관통구(21121)를 갖는다.
제1 관통구(21121)의 내경은 커팅 어셈블리(22)의 블레이드 장착부(221)의 너트 장착부(2214)의 외경보다 크다.
또한, 블레이드 홀더(2112)는 후술하는 플렌지 홀더(2113)와 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)보다 일 방향으로 돌출되게 배치된다.
또한, 본 암(211)은 회전축(2111)과 블레이드 홀더(2112) 사이에 개재되는 제1 탄성부재(2115)를 포함한다.
이에 따라, 후술하는 플렌지 홀더(2113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는, 제1 탄성부재(2115)의 압축시 블레이드 홀더(2112)에 대하여 일 방향으로 이동 가능하게 구비된다.
또한, 본 암(211)은 블레이드 홀더(2112)를 관통하며 후술하는 플렌지 홀더(2113)에 체결되는 제1 체결 유닛(21124)를 포함할 수 있다. 또한, 블레이드 홀더(2113)의 제1 체결 유닛(21124)이 관통하는 홀(21123)은 플렌지 홀더(2113)의 블레이드 홀더(2112)에 대한 상대적 일 방향 및 타 방향으로의 이동이 허용되도록 일 방향 및 타 방향으로 연장 형성되는 장공일 수 있다.
또한, 블레이드 홀더(2112)는 블레이드(92)를 흡착 지지 가능하다. 예를 들어, 블레이드 홀더(2112)의 일 방향을 향하는 일면에는, 둘레 방향을 따라 서로 이격 형성되어, 블레이드(92)에 대한 진공압을 작용하는 복수 개의 진공 홀(21122)이 형성될 수 있다.
또한, 본 암(211)은 플렌지 홀더(2113)를 포함한다. 플렌지 홀더(2113)는 회전축(2111)으로부터 일 방향으로 연장되어 제1 관통구(21121)에 삽입된다. 또한, 플렌지 홀더(2113)는 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제2 관통구(21131)를 갖는다.
제2 관통구(21131)의 내경은 커팅 어셈블리(22)의 블레이드 장착부(221)의 너트 장착부(2214)의 외경보다 크다. 즉, 제1 관통구(21121) 및 제2 관통구(21131)의 내경은 커팅 어셈블리(22)의 블레이드 장착부(221)의 너트 장착부(2214)의 외경보다 클 수 있다. 이에 따라, 너트 장착부(2214)는 제1 관통구(21121) 및 제2 관통구(21131) 내로 인입 가능하다.
또한, 플렌지 홀더(2113)는 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)보다 일 방향으로 돌출되게 배치된다.
또한, 본 암(211)은 회전축(2111)과 플렌지 홀더(2113) 사이에 개재되는 제2 탄성부재(2116)를 포함한다. 예를 들어, 플렌지 홀더(2113)의 일 방향으로의 이동이 제한되는 상태에서 회전축(2111)이 일 방향으로 이동되면 제2 탄성부재(2116)는 탄성 압축될 수 있다.
이에 따라, 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는, 제2 탄성부재(2116)의 압축시 플렌지 홀더(2113)에 대하여 일 방향으로 이동 가능하게 구비된다.
또한, 플렌지 홀더(2113)는 플렌지(93)를 흡착 지지 가능하다. 예를 들어, 플렌지 홀더(2113)의 일 방향을 향하는 일면에는, 둘레 방향을 따라 서로 이격 형성되어, 플렌지(93)에 대한 진공압을 작용하는 복수 개의 진공 홀(21132)이 형성될 수 있다.
또한, 본 암(211)은 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)를 포함한다. 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 회전축(2111)으로부터 일 방향으로 연장되어 제2 관통구(21131)에 삽입된다. 예를 들어, 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는, 회전축(2111)으로부터 제2 관통구(21131) 내로 돌출 연장되는 지지축(21141) 및 지지축(21141)의 일단부를 감싸며 일 방향으로 연장 배치되는 플렌지 너트 드라이버(21142)를 포함할 수 있다.
또한, 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 플렌지 너트(931)를 지지 가능하다. 예를 들어, 도 17을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버(21142)의 일 방향을 향하는 일면에는 일 방향으로 돌출되어 플렌지 너트(931)의 복수 개의 홈(932)과 맞물리는 돌기(211421) 복수 개가 형성될 수 있다. 홈(932)과 돌기(211421)가 끼워맞춤(또는 삽입 결합)됨으로써, 플렌지 너트(931)는 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)에 픽될 수 있다.
플렌지 홀더(2113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 블레이드 홀더(2112)에 대해 상대적으로 일 방향 및 타 방향으로 이동 가능하다. 또한, 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)는 플렌지 홀더(2113)에 대해 상대적으로 일 방향 및 타 방향으로 이동 가능하다.
또한, 블레이드 장착부(221)에 대한 블레이드(92)의 장착시, 회전축(2111)은, 블레이드 홀더(2112)의 일면 상의 블레이드(92)가 블레이드 장착부(221)의 블레이드 안착부(2212)에 안착되도록 블레이드 안착부(2212)를 향하는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있다. 참고로, 여기서 소정 거리는 블레이드 홀더(2112)에 파지된 블레이드(92)가 블레이드 장착부(221)의 블레이드 안착부(2212)와 대향하도록 블레이드 홀더(2112)가 위치한 위치 지점으로부터 블레이드 홀더(2112)에 파지된 플레이드(92)가 블레이드 안착부(2212)에 안착될때까지 회전축(2111)이 이동한 거리를 의미할 수 있다. 또한, 회전축(2111)은, 플렌지 홀더(2113)의 일면 상의 플렌지(93)가 블레이드 장착부(221)의 플렌지 안착부(2213)에 안착되고, 플렌지 너트 드라이버(21142)의 일면 상의 플렌지 너트(931)가 블레이드 장착부(221)의 너트 장착부(2214)의 외면 상으로 진입하도록 블레이드 안착부(2212)를 향하는 방향으로 소정 거리 추가 이동될 수 있다. 여기서 소정 거리는, 블레이드(92)가 블레이드 안착부(2212)에 안착된 후부터, 플렌지 홀더(2113)의 일면 상의 플렌지(93)가 블레이드 장착부(221)의 플렌지 안착부(2213)에 안착되고, 플렌지 너트 드라이버(21142)의 일면 상의 플렌지 너트(931)가 블레이드 장착부(221)의 너트 장착부(2214)의 외면 상으로 진입할 때까지 회전축(2111)이 이동한 거리를 의미할 수 있다. 또한, 회전축(2111)은 플렌지 너트(931)가 너트 장착부(2214)와 나사 결합하도록 회전되며 블레이드 안착부(2212)를 향하는 방향으로 소정 거리 추가 이동될 수 있다. 소정 거리는 플렌지 너트(931)와 너트 장착부(2214) 사이의 나사 결합이 완료되도록 회전축(2111)이 이동한 거리를 의미할 수 있는데, 플렌지 너트(931)와 너트 장착부(2214)의 나사결합량에 따라 결정될 수 있다.
또한, 블레이드 장착부(2212)에 대한 블레이드(92)의 수거시, 회전축(2111)은, 블레이드 홀더(2112)의 일면이 블레이드 안착부(2212) 상의 블레이드(92)에 접촉되고, 플렌지 홀더(2113)의 일면이 플렌지 안착부(2212) 상의 플렌지(93)에 접촉되며, 플렌지 너트 드라이버(21142)의 일면이 너트 장착부(2214)에 나사 결합된 플렌지 너트(931)에 접촉되도록 블레이드 안착부(2212)를 향하는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있다. 여기서 소정 거리는, 블레이드 홀더(2112)가 블레이드 안착부(2212) 상의 블레이드(92)와 대향하도록 블레이드 홀더(2112)가 위치한 위치 지점으로부터 플렌지 너트 드라이버(21142)의 돌기(211421)가 블레이드(92)의 홈(932)에 삽입될때까지 회전축(2111)이 이동한 거리를 의미할 수 있다. 또한, 회전축(2111)은, 플렌지 너트(931)와 너트 장착부(2214)의 나사 결합이 해제되도록, 회전되며 블레이드 안착부(2212)로부터 멀어지는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있다. 소정 거리는 플렌지 너트(931)와 너트 장착부(2214) 사이의 나사 결합이 해제되도록 회전축(2111)이 이동한 거리를 의미할 수 있는데, 플렌지 너트(931)와 너트 장착부(2214)의 나사결합량에 따라 결정될 수 있다. 또한, 회전축(2111)은 플렌지 안착부(2212) 상의 플렌지(93), 너트 장착부(2214) 상의 플렌지 너트(931) 및 블레이드 안착부(2212) 상의 블레이드(92)가 제거되도록 블레이드 안착부(2212)로부터 멀어지는 방향으로 소정거리 이동될 수 있다.
또한, 본 암(211)은 모터의 회전력을 제어하는 감속기를 포함할 수 있다. 이에 따라, 모터의 회전력의 회전 속도가 제어될 수 있고(예를 들어, 보다 느리게 제어될 수 있음), 장비가 손상되는 것이 방지될 수 있다.
또한, 본 암(211)은 회전축과 상기 제1 및 제2 탄성부재 사이에 개재되는 지지 구조체(2117)를 더 포함하되, 지지 구조체(2117)의 최외측에는 제1 탄성부재(2115)의 타단을 지지하는 최외측 지지턱(21171)이 형성될 수 있다. 또한, 지지 구조체(2117)의 최외측 지지턱(21171)보다 내측에 위치하는 부분에는 제2 탄성부재(2116)의 타단을 지지하는 외측 지지턱(21172)이 형성될 수 있다.
또한, 본원은 본 암(211)을 포함하는 본원의 일 실시예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇(21)을 제공할 수 있다. 본원의 일 실시예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇은 본 암(211)을 X축 Y축 및 Z축으로 이동시킬 수 있고, 본 암(211)을 회전시킬 수 있다. 다시 말해, 본원의 일 실시예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇(21)은 본 암(211)을 수평 방향으로의 이동, 수직 방향으로의 이동 및 회전 구동 시킬 수 있다. 본원의 일 실시예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇(21)은 앞서 살핀 패키지 커팅 장치(2)의 블레이드 자동 교환 로봇(21)과 동일할 수 있다. 이에 따라, 본원의 일 실시예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇(21)에 대한 상세한 설명은 생략한다.
상술한 바에 따르면, 블레이드 자동 교환 로봇(21)에 의해 커팅 어셈블리(22)의 블레이드(92)가 수거될 수 있고, 또한, 커팅 어셈블리(22)에 블레이드(92)가 장착될 수 있다. 이에 따라, 블레이드(92)의 교환이 자동으로 이루어지는 패키지 커팅 장치가 구현될 수 있다.
또한, 블레이드 장착부(221)에 대한 블레이드(92) 장착시, 블레이드 홀더(2112)에 블레이드(92)가 흡착 지지되고 플렌지 홀더(2113)에 플렌지(93)가 흡착 지지되며 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)에 플렌지 너트(931)가 지지된 상태로 암(211)은 블레이드 장착부(221)에 접근하여, 블레이드 장착부(221)의 블레이드 안착부(2212)에 블레이드(92)를 안착시키고 플렌지 안착부(2213)에 플렌지(93)를 안착시키며 플렌지 너트(931)가 너트 장착 단부와 나사 결합되도록 이동 및 회전 구동할 수 있다. 또한, 블레이드 장착부(221)의 블레이드(92)를 수거할 때, 암(211)은 블레이드 장착부(221)에 접근하여 블레이드 홀더(2112)가 블레이드 안착부(2213) 상의 블레이드(92)를 흡착하고 플렌지 홀더(2113)가 플렌지 안착부(2213) 상의 플렌지(93)를 흡착하며 플렌지 너트 드라이버 구조체(2114)가 너트 장착 단부에 나사 결합된 플렌지 너트(931)에 접촉하도록 이동한 후, 회전 구동하여 플렌지 너트(931)와 너트 장착 단부의 나사 결합을 해제하고, 이후, 블레이드 장착부(221)로부터 멀어지는 방향으로 이동하여 플렌지 너트(931), 플렌지(93), 블레이드(92)를 수거할 수 있다.
또한, 이하에서는 드라이 장치(4)에 대해 설명한다.
참고로, 이하의 드라이 장치(4)의 설명과 관련하여, 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 하측, 전방, 후방 등)는 도 21 내지 도 26에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들면, 도 21 내지 도 26을 보았을 때 전반적으로 12시 방향이 상측, 전반적으로 6시 방향이 하측, 전반적으로 8시 방향이 전방, 전반적으로 2시 방향이 후방 등이 될 수 있다.
도 21을 참조하면, 드라이 장치(4)는 적재모듈(41)을 포함한다. 적재모듈(41)은 패키지(P)가 적재되는 수용 상태 및 상측 방향으로 건조 기류를 형성하는 건조 상태가 가능하다. 다시 말해, 적재모듈(41)은 패키지(P)가 적재되는 수용 상태를 갖거나, 또는 상측 방향으로 건조 기류를 형성하는 건조 상태를 가질 수 있다.
여기서, 적재모듈(41)의 수용 상태라는 것은, 적재모듈(41)에 패키지(P)가 적재되어 있는 상태를 의미할 수 있다.
구체적으로, 도 21과 도 22를 함께 참조하면, 적재모듈(41)은 패키지(P)가 적재되며 상하 방향 이동이 가능한 적재부(411)를 포함할 수 있다. 적재부(411)에 적재되는 복수의 패키지(P)는 세척 공정을 거친 것일 수 있다. 다시 말해, 도 22를 참조하면, 적재부(411)에는 세척 공정을 거쳐 세척 장치로부터 옮겨진 패키지(P)가 적재될 수 있다. 또한, 패키지(P)는 상면이 상측으로 노출되도록 적재부(411)에 적재될 수 있다. 적재부(411)는 패키지(P)를 진공 흡착할 수 있다. 예를 들어, 패키지(P)는 하면이 적재부(411)의 상면과 접촉되도록 적재부(411)에 안착될 수 있다. 또한, 도 22를 참조하면, 패키지(P)는 복수 개가 n행×m열로 적재부(411)에 배열될 수 있다.
또한, 적재모듈(41)의 건조 상태라 함은, 적재모듈(41)이 상측 방향으로 기체를 배출하여 건조 기류를 형성하는 것을 의미할 수 있다. 예를 들어, 상측 방향은 수직 방향에서 좌측으로 소정 각도 기울어진 방향(약 10시~11시 방향)을 포함할 수 있다. 이에 따라, 형성되는 건조 기류는 상측 방향뿐만 아니라 공간 내에서 다양한 방향으로 전파(전달)될 수 있다.
구체적으로, 도 21과 도 23을 함께 참조하면, 적재모듈(41)은 적재부(411)의 후방에서 적재부(411)의 길이 방향을 따라 구비되는 제1 건조부(412)를 포함할 수 있다. 제1 건조부(412)는 상측 방향으로의 건조 기류를 형성할 수 있다. 예를 들어, 제1 건조부(412)는 상측 방향으로 기체를 배출함으로써 공간 상에서 다양한 방향으로 전파되는 건조 기류를 형성할 수 있다. 예시적으로, 제1 건조부(412)는 기체를 배출하는 기체 배출 유닛 복수 개를 포함할 수 있고, 복수 개의 기체 배출 유닛은 적재부(411)의 길이 방향을 따라 배치될 수 있다. 또한, 제1 건조부(412)는 적재부(411)의 길이 방향을 따라 배치됨으로써, 그가 형성하는 건조 기류가 적재부(411)의 길이 방향으로 형성되게 할 수 있다. 또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 복수의 제1건조부(412)는 적재부(411)의 측면에서 상하방향으로 이동하거나 회전하여 건조 기류를 다양한 방향으로 형성할 수 있다.
또한, 도 21을 참조하면, 드라이 장치(4)는 플립퍼모듈(42)을 포함한다. 플립퍼모듈(42)은 적재부(411) 상에서 이동하며 하측 방향으로 건조 기류를 형성하여 적재모듈(41)에 적재되는 패키지(P)의 상면을 건조시키는 건조 모드 및 적재모듈(41)에 적재되는 패키지(P)를 픽업하여 적재모듈(41) 상에서 이동하는 픽업 모드가 가능하다.
구체적으로, 도 21을 참조하면, 플립퍼모듈(42)은 픽업부(421)를 포함할 수 있다. 도 21과 도 25를 함께 참조하면, 픽업부(421)는 회전이 가능하다. 예를 들어, 픽업부(415)는 그의 상면이 하측을 향하도록 회전될 수 있다. 또한, 도 21과 도 26을 함께 참조하면, 픽업부(421)는 전후 방향 이동이 가능하다. 이러한 픽업부(421)는 패키지(P)를 흡착하여 픽업할 수 있다. 예를 들어, 픽업부(421)는 패키지(P)가 흡착되는 상면이 하측을 향하도록 회전된 후, 전방 이동하여 다시 말해, 적재부(411) 상으로 이동되어 적재부(411)에 적재된 패키지(P)를 흡착하여 픽업할 수 있다. 또한, 픽업부(421)는 패키지(P)를 픽업한 상태로 전후 방향 이동함으로써 픽업 모드를 수행할 수 있다. 또한, 픽업부(421)의 전후 방향 이동은 제2 건조부(422)의 전후 방향 이동과 연동될 수 있다. 또한, 픽업부(421)의 회전은 제2 건조부(422)와는 별개로 독립적으로 이루어질 수 있다. 플립퍼모듈(42)은 픽업부(421)와 제2 건조부(422)의 이러한 구동이 이루어지도록 픽업부(421)를 회전시킬 수 있고, 픽업부(421)와 제2 건조부(422)를 전후 방향 이동시킬 수 있는 지그 유닛(423)을 포함할 수 있다.
보다 구체적으로, 도 21을 참조하면, 픽업부(421)는 길이 방향이 적재부(411)의 길이 방향과 대응하도록 제1 건조부(412)의 후방에 위치할 수 있다. 이에 따라, 픽업부(421)는 길이 방향으로의 이동 없이 전후 방향으로의 이동만으로도 적재부(411) 상으로 이동하여 적재부(411)에 적재된 패키지(P)를 픽업할 수 있다. 다시 말해, 픽업부(421)는 그의 길이 방향이 적재부(411)의 길이 방향과 대응하도록 제1 건조부(412)의 후방에 위치됨으로써, 적재부(411) 상의 패키지(P)를 픽업하기 위해 이동하는 이동 동선 및 적재부(41) 상에서의 전후 방향 이동 동선을 간명화할 수 있다.
또한, 도 21을 참조하면, 플립퍼모듈(42)은 제2 건조부(422)를 포함할 수 있다. 도 21 및 도 24를 참조하면, 제2 건조부(422)는 픽업부(421)와 적재부(411) 사이에서 픽업부(421)(적재부(411))의 길이 방향을 따라 구비되어 하측 방향으로 건조 기류를 형성할 수 있다. 예를 들어, 하측 방향은 하측 수직 방향에서 우측으로 소정 각도 기울어진 방향(약 5시 방향)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 건조부(422)는 하측 방향으로 기체를 배출함으로써 공간 상에서 다양한 방향으로 전파되는 건조 기류를 형성할 수 있다. 예시적으로, 제2 건조부(422)는 기체를 배출하는 기체 배출 유닛 복수 개를 포함할 수 있고, 복수 개의 기체 배출 유닛은 픽업부(421)의 길이 방향을 따라 배치될 수 있다. 또한, 제2 건조부(422)는 전후 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 도 21을 참조하면, 제2 건조부(422)는 픽업부(421)에 연결 구비될 수 있고, 이에 따라, 제2 건조부(422)는 픽업부(421)의 전후 방향 이동과 연동되어 전후 방향 이동할 수 있다. 또한, 제2 건조부(422)가 픽업부(421)의 길이 방향을 따라 배치됨으로써, 제2 건조부(422)에 의한 건조 기류는 그의 길이 방향, 다시 말해 픽업부(421)의 길이 방향(적재부(411)의 길이 방향)을 따라 형성될 수 있다. 또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 복수의 제2건조부(422)는 픽업부(421)의 측면에서 상하방향으로 이동하거나 회전하여 건조 기류를 다양한 방향으로 형성할 수 있다.
또한, 적재부(411)는 그에 적재되는 패키지(P)에 의해 작용되는 외력에 대응해 형상 변형 가능한 재질일 수 있다. 다시 말해, 적재부(411)는 패키지(P)가 적재될 때, 적재되는 패키지(P)의 하중에 의해 변형될 수 있다. 이에 따르면 패키지(P)의 하중(외력)에 의해 적재부(411)의 적어도 일부는 패키지(P)의 하면과 접촉되며 패키지(P)의 측면(상면과 하면 사이의 둘레면) 중 적어도 일부에 접촉될 수 있다.
또한, 적재부(411)는 유체를 흡수하는 재질일 수 있다. 이에 따라, 적재부(411)에 패키지(P)가 적재될 때, 적재부(411)는 패키지(P)로부터 유입되(흘러 내리)는 유체의 적어도 일부를 흡수할 수 있다. 예를 들어, 적재부(411)는 패키지(P)가 적재되어 있을 때, 패키지(P)의 하면과 접촉되므로, 패키지(P) 하면에 분포하는 유체의 적어도 일부를 흡수할 수 있을 것이다. 또한, 상술한 바와 같이, 적재부(411)에 패키지(P)가 적재될 때 적재부(411)의 적어도 일부는 패키지(P)에 의한 외력에 의해 변형되며 패키지(P)의 측면 중 적어도 일부에 접촉될 수 있다. 이러한 경우, 적재부(411)는 패키지(P)의 측면의 유체의 적어도 일부 역시 흡수할 수 있다.
예를 들어, 이러한 적재부(411)는 포러스(porous) 재질일 수 있다.
이와 같이, 복수의 패키지(P)가 안착되는 적재부(411)가 포러스 재질로 구비되어 각 패키지가 안착되는 안착홈을 구비하거나 패키지 제품의 사이즈 별로 시트를 교체하지 않고도 개별 패키지를 진공 흡착시켜 고정시킬 수 있다.
또한, 적재부(411)의 하측에는 적재부(411)가 흡수한 유체가 배출되는 배출부가 구비되며, 제1건조부(412)와 제2건조부(422)의 기류에 의해 적재부(411)로부터 이탈된 이물(먼지 등)을 흡입하는 석션 및 배출부가 구비될 수 있다.
이하에서는 드라이 장치(4)의 구동 및 관련된 구성을 보다 자세히 설명한다.
도 22를 참조하면, 적재부(411)에는 드라이 장치의 이웃에 구비된 세척 장치로부터 전달되는 패키지(P)가 적재될 수 있다.
또한, 도 22와 도 23을 함께 참조하면, 적재부(411)에 세척 장치로부터 전달되는 패키지(P)가 적재되면, 적재모듈(41)의 적재부(411) 및 제1 건조부(412)는 하측 방향으로 이동될 수 있다. 적재되는 복수의 패키지(P) 중 적어도 일부는 건조될 필요가 있는(젖은) 상태일 수 있다.
또한, 적재부(411) 및 제1 건조부(412)는 적재모듈(41)의 수용 상태 및 건조 상태 시에, 하측 방향으로 이동된 상태를 유지할 수 있다. 다시 말해, 적재모듈(41)의 수용 상태 및 건조 상태 시에, 적재부(411) 및 제1 건조부(412)는 픽업부(421) 및 제2 건조부(422)보다 상대적으로 하측에 위치할 수 있다. 이에 따라, 적재모듈(41)의 수용 상태 시에, 적재부(411)는 패키지(P)가 상면을 상측으로 노출하도록 적재하여 상기 제2 건조부(422)보다 하측에 위치하도록 하향 이동하고, 다시 말해, 적재부(411)는 상면이 상측으로 노출되도록 패키지(P)가 적재된 상태로 하향 이동하여 제2 건조부(422)의 하측(보다 정확히, 전방 하측)에 위치한다고 할 수 있다.
또한, 도 23과 도 24를 참조하면, 플립퍼모듈(42)은 적재모듈(41)의 수용 상태 시에, 건조 모드가 되어 제2건조부(422)에 의해 형성되는 그의 건조 기류를 이용해 적재모듈(41)에 적재된 패키지의 상면의 적어도 일부를 포함하는 부분을 건조할 수 있다. 구체적으로, 적재모듈(41)의 수용 상태 시에, 제2 건조부(422)는 하측으로 이동된 적재부(411) 상에서 전후 방향으로 이동하며 하측 방향으로 건조 기류를 형성하여 건조 모드를 수행할 수 있다. 이에 따르면, 적재부(411) 상에서 상면을 상측으로 노출하며 적재된 패키지(P)의 상면의 적어도 일부를 포함하는 부분이 기류에 의해 건조될 수 있다. 또한, 제2 건조부(422)에 의한 기류가 적재부(411)에 적재된 파지한 패키지(P) 길이 방향으로의 전체 범위에 전파될 수 있도록, 제2 건조부(422)는 적재부(411)의 길이보다 긴 길이 범위로 구비될 수 있다.
또한, 적재모듈(41)의 건조 상태 시에, 플립퍼모듈(42)은 픽업 모드가 되어 적재모듈(41)의 제1건조부(412)에 의해 형성되는 건조 기류를 이용하여 그에 픽업된 패키지(P)의 하면의 적어도 일부를 포함하는 부분을 건조할 수 있다. 예를 들어, 적재모듈(41)의 건조 상태는 플립퍼모듈(42)의 건조 모드가 종료된 후 시작될 수 있다.
예를 들어, 도 26을 참조하면, 적재모듈(41)의 건조 상태 시에, 픽업부(421)는 적재부(411) 상의 패키지(P)를 하면이 하측으로 노출되도록 픽업하여(픽업모드) 적재모듈(41) 및 제1 건조부(412) 상에서 전후 방향으로 이동(왕복 이동)할 수 있고, 제1 건조부(412)는 픽업부(421)의 하측에서 상측 방향으로 건조 기류를 형성할 수 있다.
구체적으로, 픽업부(421)는 패키지(P)의 흡착이 가능한 그의 상면이 하측을 향하도록 회전할 수 있고, 전방으로 이동하여 적재부(411) 상에 위치할 수 있고, 적재부(411)에 적재된 패키지(P)를 진공 흡착할 수 있다. 픽업부(421)가 적재부(411) 상에 위치하면, 적재부(411)는 상측으로 이동하여 적재부(411) 상에 적재된 패키지(P)를 하측을 향하는 픽업부(421)의 상면에 접근시킬 수 있고, 픽업부(421)는 접근하는 패키지(P)의 상면을 흡착할 수 있을 것이다. 이러한 방법으로 픽업부(421)의 패키지(P) 흡착이 이루어질 수 있다. 또는, 다른 예로, 픽업부(421)가 적재부(411) 상에 위치한 후, 하측으로 이동하여 적재부(411) 상에 적재된 패키지(P)에 하측을 향하는 픽업부(421)의 상면을 접근시키고, 픽업부(421)가 흡착(흡입)을 수행함으로써 패키지(P)를 흡착할 수 있다. 이에 따르면, 패키지(P)는 그의 상면이 픽업부(421)의 상면에 흡착되고 그의 하면이 하측으로 노출된 상태일 수 있다.
이와 같이 패키지(P)를 흡착한 픽업부(421)는 제1 건조부(412) 상에서 전후 방향으로 이동함으로써 픽업 모드를 수행할 수 있다. 또한, 픽업부(421)의 픽업 모드 시(적재모듈(41)의 건조 상태 시) 제1 건조부(412)는 픽업부(421)의 하측에서 상측 방향으로 건조 기류를 형성할 수 있다. 이에 따르면, 제1 건조부(412)에 의해 형성되는 건조 기류 상으로 픽업부(421)가 픽업한 패키지(P)가 전후 방향으로 이동되며 건조 기류에 노출될 수 있으므로, 건조 기류가 형성되고 있는 하측으로 하부가 노출된 패키지(P)의 하면의 적어도 일부를 포함하는 부분이 건조될 수 있다. 이와 같이, 드라이 장치(4)는 패키지(P)의 하면을 기류로 건조할 수 있다. 또한, 제1 건조부(412)에 의한 기류가 픽업부(421)가 파지한 패키지(P) 길이 방향으로의 전체 범위에 전파될 수 있도록, 제1 건조부(412)는 픽업부(421)(또는 적재부(411))의 길이보다 긴 길이 범위로 구비될 수 있다.
이와 같이, 본원의 일 실시예에 따르면, 패키지가 적재모듈에 적재되었을 때 플립퍼모듈이 적재모듈 상에서 이동하며 하측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지의 상면을 포함하는 부분이 기류에 의해 건조될 수 있고, 패키지가 플립퍼모듈에 의해 픽업된 상태로 적재모듈 상에서 이동될 때 적재모듈이 상측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지의 하면을 포함하는 부분이 기류에 의해 건조될 수 있다. 이에 따라, 패키지 상면뿐만 아니라 하면까지 건조 기류에 의해 건조될 수 있으므로, 열에의해 패키지의 수분을 제거하는 종래기술과 달리 패키지에 얼룩이 남는 현상이 방지될 수 있다. 또한, 패키지의 상면 및 하면을 모두 건조함으로써, 패키지의 최상의 건조 상태를 유지하고, 패키지의 건조 효율을 높일 수 있다
상술한 바에 따르면, 드라이 장치(4)는 이하와 같은 단계로 구동할 수 있다.
먼저, 적재부(411) 및 제1 건조부(412)는, 세척 장치로부터 전달되는 패키지(P)가 적재되면, 하측으로 이동하여 제1 소정 시간 동안 픽업부(421) 및 제2 건조부(422)보다 낮은 위치에서 패키지(P)를 적재하고 있음으로써 수용 상태를 가질 수 있고, 제2 건조부(422)는 제1 소정 시간 동안 적재부(411) 상에서 그의 하측 방향으로의 건조 기류를 형성하며 전후 방향으로 이동함으로써 건조 모드를 수행할 수 있다. 이에 따라, 패키지(P)의 상면의 적어도 일부를 포함하는 부분은 기류에 의해 건조될 수 있다.
제1 소정 시간 이후, 픽업부(421)는 적재부(411) 상으로 이동하여 적재부(411)에 적재된 패키지(P)를 픽업할 수 있고, 패키지(P)를 픽업한 상태로 제2 소정 시간 동안 제1 건조부(412) 상에서 전후 방향으로 이동함으로써 픽업 모드를 수행할 수 있다. 이를 위해, 픽업부(421)는 패키지(P)를 픽업하기 전(예를 들어, 제1 소정 시간 전, 제1 소정 시간 동안 및 제1 소정 시간 이후 중 하나의 시기에)에 그의 상면이 하측을 향하도록 회전하여 적재부(411) 상의 패키지(P)를 픽업할 수 있다. 이에 따르면, 패키지(P)가 하면(하부)이 하측으로 노출된 상태로 제1 건조부(412) 상에서 전후 방향으로 왕복 이동될 수 있다. 또한, 제2 소정 시간 동안 제1 건조부(412)는 상측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 건조 상태가 될 수 있다. 이에 따르면 제2 소정 시간 동안 패키지(P)가 하면이 하측으로 노출된 상태로 제1 건조부(412)가 형성하는 건조 기류 상에서 전후 방향으로 왕복 이동될 수 있으므로, 패키지(P)의 하면의 적어도 일부를 포함하는 부분은 기류에 의해 건조될 수 있다.
제2 소정 시간 이후, 픽업부(421)는 그가 픽업(파지)했던 패키지(P)를 적재부(411)에 재위치(재적재)할 수 있다. 패키지(P)의 재위치 과정 또한, 패키지(P)의 흡착 과정과 유사하게 픽업부(421)가 적재부(411) 상에 위치할 때, 적재부(411)가 상측 방향으로 이동되거나 픽업부(4221)가 하측 방향으로 이동되는 과정을 포함할 수 있다. 참고로, 제1 소정 시간은 건조 기류에 의해 패키지의 상면의 적어도 일부를 포함하는 부분이 건조될 수 있는 시간을 의미할 수 있으며, 보다 바람직하게는 상면 전체를 포함하는 부분이 건조될 수 있는 시간일 수 있다. 또한, 제2 소정 시간은 건조 기류에 의해 패키지의 하면의 적어도 일부를 포함하는 부분이 건조될 수 있는 시간을 의미할 수 있으며, 보다 바람직하게는 하면 전체를 포함하는 부분이 건조될 수 있는 시간일 수 있다.
패키지(P)가 적재부(411)에 재위치 되면, 픽업부(421)(및 픽업부(421)에 연결 구비된 제2 건조부(422))는 초기 위치, 즉, 적재부(411) 및 제1 건조부(412)의 후방으로 이동될 수 있고, 적재부(411)(및 적재부(411)에 연결 구비된 제1 건조부(412))는 상향 이동되어 초기 위치, 즉, 적재부(411)와 같은 레벨(높이)의 위치로 복귀될 수 있다.
이와 같이, 패키지(P)에 대한 건조 공정이 완료되면, 후속 공정을 위해 그리드 픽커(6)에 의해 그리드 테이블(5)로 옮겨질 수 있다.
상술한 바에 따르면, 패키지(P)가 적재모듈(41)에 적재되었을 때 플립퍼모듈(42)이 적재모듈(41) 상에서 이동하며 하측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지(P)의 상면을 포함하는 부분이 기류에 의해 건조될 수 있고, 패키지(P)가 플립퍼모듈(42)에 의해 픽업된 상태로 적재모듈(41) 상에서 이동될 때 적재모듈(41)이 상측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지(P)의 하면을 포함하는 부분이 기류에 의해 건조될 수 있다. 이에 따라, 패키지(P) 상면뿐만 아니라 하면까지 건조 기류에 의해 건조될 수 있으므로, 패키지(P)에 얼룩이 남는 현상이 방지될 수 있다.
또한, 상술한 바에 따르면, 패키지(P)가 적재모듈(41)에 적재되었을 때 플립퍼모듈(42)이 적재모듈(41) 상에서 이동하며 하측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지(P)의 상면을 포함하는 부분이 기류에 의해 건조될 수 있고, 패키지(P)가 플립퍼모듈(42)에 의해 픽업된 상태로 적재모듈(41) 상에서 이동될 때 적재모듈(41)이 상측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지(P)의 상면 및 하면을 모두 건조함으로써, 패키지(P)의 최상의 건조 상태를 유지하고, 패키지(P)의 건조 효율을 높일 수 있다.
또한, 이하에서는 그리드 테이블(5)에 대해 설명한다.
참고로, 이하의 그리드 테이블(5)의 설명과 관련하여, 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 하측, 일측, 타측, 내측, 외측 등)는 도 27 내지 도 33에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들면, 도 27을 보았을 때 전반적으로 12시 방향이 상측, 전반적으로 6시 방향이 하측, 전반적으로 4시 방향이 일측, 전반적으로 10시 방향이 타측, 전반적으로 2시 방향이 내측, 전반적으로 8시 방향이 외측 등이 될 수 있다.
참고로, 패키지를 커팅하는 장치는, 복수개의 패키지들이 형성된 스트립에서 개별 패키지로 절단하는 절단공정, 절단공정에서 절단된 패키지를 세척하는 세척공정, 세척공정에서 세척된 패키지를 건조하는 건조공정, 건조가 완료된 패키지의 불량 여부를 검사하는 패키지 검사공정 및 검사 결과에 따라 불량 여부 검사를 통과한 패키지와 통과하지 못한 패키지를 분류하는 오프로드 공정 등을 순차적으로 수행하여 반도체 자재에서 검사 완료된 개별 패키지가 제조될 수 있다. 본원의 일 실시예에 따른 그리드 테이블(5)은 전술한 바와 같이 패키지를 패키지 단위 별로 절단, 세척, 건조, 검사 및 분류시키는 작업을 수행하는 패키지 제조 장치에서, 개별 절단된 패키지를 안정적으로 진공 흡착하여 고정시켜 안착시킬 수 있는 그리드 테이블(5)에 관한 것으로, 패키지 제조 장치에서 건조공정을 마친 개발 절단된 패키지 복수개가 그리드 피커(Grid Picker)로 이송되어 본원의 일 실시예에 따른 그리드 테이블(5)에 안착될 수 있다.
또한, 본 시스템의 그리드 테이블(5)은 패키지(P)를 건조공정 후 검사위치로 반송하는 테이블로 사용되지만, 이에만 한정된 것은 아니며 개별화된 패키지(P)가 건조되는 건조 테이블, 개별 패키지(P)에 소정의 처리를 수행하기 위해 패키지(P)가 일시적으로 안착되는 모든 안착용 테이블에 동일하거나 유사하게 적용할 수 있다.
도 28을 참조하면, 그리드 테이블(5)은 수용홈(5110) 및 복수의 진공홀(5120)이 구비되는 베이스부(5100)를 포함할 수 있다. 예시적으로 베이스부(5100)는 스테인리스 서스(sus) 메탈소재일 수 있다.
도 27 내지 도 28을 참조하면, 베이스부(5100)의 상면 중앙에 수용홈(5110)을 구비할 수 있다. 예시적으로 수용홈(5110)은 사각형이 하측으로 함몰된 형상일 수 있다. 또한, 베이스부(5100)의 하면에는 패키지(P)를 진공 흡착하여 그리드 테이블(5) 상에 고정시킬 수 있는 진공압이 형성되도록 복수의 진공홀(5120)이 구비될 수 있다. 도시하지 않았지만 진공홀(5120)에는 진공압을 제공하기 위한 하나 이상의 진공 장치(또는 펌프)가 연결될 수 있다. 복수의 진공홀(5120)은 수용홈(5110)에 대응하는 베이스부(5100)의 하면에 형성될 수 있다.
도 27 및 도 29를 참조하면, 그리드 테이블(5)은 수용홈(5110) 상에 배치되는 안착시트(5200)를 포함할 수 있다. 안착시트(5200)의 상면에는 개별로 절단된 복수의 패키지(P)가 도 29에 도시된 바와 같이 안착될 수 있다. 안착시트(5200)는 수용홈(5110) 상에 배치되도록 수용홈(5110)의 형상에 대응되는 형상으로 구비될 수 있다. 예시적으로 안착시트(5200)는 육면체 형상일 수 있다.
또한, 안착시트(5200)는 포러스(porous) 재질일 수 있다. 안착시트(5200)는 다공성 재질로 구비되어 수용홈(5110) 상에 배치되고, 진공홀(5120)을 통해 베이스부(5100)의 하면으로부터 진공압이 형성될 때, 안착시트(5200)에 안착된 패키지(P)는 진공 흡착될 수 있다. 이에 따라 개별의 패키지(P) 각각이 안착되는 복수의 안착부가 형성되고, 안착부의 수에 대응되는 복수의 진공홀을 구비하여 패키지(P)를 각각 진공 흡착시키는 종래의 방식과는 달리 포러스 재질의 안착시트(5200)를 통해 패키지(P)를 진공 흡착하여 안착시켜 개별 패키지(P) 각각이 안착되는 안착부 및 안착부에 따른 진공홀을 별도로 구비하지 않을 수 있다.
또한, 종래의 안착부는 개별 패키지(P)의 크기를 고려하여 패키지(P)의 크기에 맞게 제작해야 하지만 본원의 일 실시예에 따른 안착시트(5200)에는 그리드 피커(Grid Picker)에 의해 이송된 패키지(P)가 안착시트(5200)의 상면 상에 그대로 안착될 수 있기 때문에 패키지(P)의 크기를 고려하여 안착시트(5200)가 제작되지 않아도 되는 이점이 있을 수 있다.
또한, 종래에는 개별로 절단된 패키지들의 품질검사, 위치검사, 비전검사 등을 위하여 패키지(P) 간의 간격이 소정 거리 이상 형성되도록 진공홀이 형성된 복수의 안착부 간의 간격이 필요하였으며, 패키지가 안착되지 않는 복수의 여유공간부가 교차되어 있는 안착 영역이 하나의 안착 테이블 내에 두 개가 구비되었다. 또한, 이러한 종래의 안착 테이블에 패키지를 재치하기 위하여 패키지(P)를 두번에 거쳐서 이송시켜야 했다. 한편, 도 29를 참조하면, 본원의 일 실시예에 따른 안착시트(5200)에는 그리드 피커로 이송된 패키지(P) 모두가 그대로 안착될 수 있다. 절단 장치의 절단날의 두께에 의해 패키지(P) 각각은 0.2mm~0.3mm의 간격을 이루고 있을 수 있다.
그리드 테이블(5)은 안착시트(5200)의 하면에 형성되어 안착시트(5200)를 지지하는 복수의 받침(5300)을 포함할 수 있다.
도 28을 참조하면, 복수의 받침(5300)은 수용홈(5110) 상에 배치되고, 복수의 받침(5300) 상에는 안착시트(5200)가 배치될 수 있어, 복수의 받침(5300)은 안착시트(5200)의 하면을 지지할 수 있다.
또한, 도 28을 참조하면, 복수의 받침(5300)은 진공홀(5120)에 비하여 상대적으로 많은 수로 구비될 수 있다. 또한, 복수의 받침(5300)은 진공홀(5120)이 형성된 영역을 제외한 수용홈(5110) 상에 일정한 간격으로 배치될 수 있다. 복수의 받침(5300)이 위치하는 열과 진공홀(5120)이 위치하는 열이 번갈아가며 수용홈(5110) 내에 형성될 수 있다. 복수의 받침(5300)은 복수의 받침(5300) 상에 배치되는 안착시트(5200)가 진공홀(5120)에 의해 전달되는 진공압에 의해 하측으로 변형되지 않을 정도의 높이와 배치간격을 가질 수 있다. 또한, 받침(5300)의 높이와 안착시트(5200)의 높이의 합은 수용홈(5110)의 깊이에 대응될 수 있다. 따라서, 수용홈(5110)에 삽입된 안착시트(5200)와 베이스부(5100)는 동일 평면을 형성할 수 있다.
도 30 및 도 31을 참조하면, 안착시트(5200)는 복수의 패키지(P)를 재치하기 위한 복수의 함몰부(5210)를 포함할 수 있다. 안착시트(5200)는 안착시트(5200)의 상면으로부터 소정 깊이만큼 하측으로 함몰된 복수의 함몰부(5210)를 포함할 수 있다. 함몰부(5210)의 수는 안착시트(5200)에 재치되는 복수의 패키지(P) 수에 대응되며 함몰부(5210)는 이웃하는 함몰부(5210)와 예를 들어, 0.4mm~ 0.6mm의 간격으로 형성될 수 있다. 함몰부(5210)의 크기는 패키지(P)의 크기보다 작게 형성될 수 있다.
도 32를 참조하면, 패키지(P)의 하면에 형성된 볼(P1)이 함몰부(5210)에 대응되도록 패키지(P)가 안착시트(5200) 상에 진공 흡착되어 안착될 수 있다. 안착시트(5200)는 함몰부(5210)와 함몰부(5210) 주변을 둘러싸도록 형성된 지지턱(5230)을 포함할 수 있다. 패키지(P)가 안착시트(5200)에 재치될 때 패키지(P)의 하면에 볼(P1)이 형성되지 않은 영역은 지지턱(5230)에 지지되고 패키지(P)의 하면에 볼(P1)이 형성된 영역은 함몰부(5210)에 위치하도록 재치될 수 있다. 함몰부(5210)의 깊이는 패키지(P)의 하면에 형성된 볼(P1)의 높이보다 크게 설정되어 안착시트(5200)의 상면에 볼(P1)이 접촉되지 않을 수 있다. 패키지(P)가 함몰부(5210)에 볼(P1)이 대응되도록 안착되어 안착시트(5200)에 볼(P1)이 직접적으로 접촉되지 않아 패키지(P)의 하면의 볼(P1)의 손상을 막을 수 있다.
함몰부(5210) 각각은 아령 형상일 수 있다. 도 31을 참조하면, 함몰부(5210)는 중심에 일자 형상의 메인부(5211)와 메인부(5211)의 양 끝단에 메인부(5211)보다 더 넓은 폭을 가지고 형성되는 확장부(5212)를 포함할 수 있다. 또한, 확장부(5212)의 양 끝단의 테두리는 안착시트(5200)에 함몰부(5210)를 형성하는 기계의 작동으로 라운드 처리된 형상일 수 있다. 다시 말해, 확장부(5212)의 양 끝단은 곡면을 갖는 형상일 수 있다.
도 33을 참조하면, 그리드 테이블(5)은 안착시트(5200) 상에 배치되며 복수의 홈(5410)이 형성되는 포러스(porous) 재질의 프레임부(5400)를 포함할 수 있다. 프레임부(5400)는 수용홈(5110)상에 배치된 복수의 받침(5300)상에 배치된 안착시트(5200) 상에 배치될 수 있다. 프레임부(5400)의 크기는 안착시트(5200)의 크기에 대응되도록 형성될 수 있다. 또한, 받침(5300)의 높이, 안착시트(5200)의 높이 및 프레임부(5400)의 높이 합은 수용홈(5110)의 깊이에 대응될 수 있다.
프레임부(5400)의 상면에 그리드 피커로 이송된 0.2mm~0.3mm의 간격을 이루는 패키지(P)가 안착될 수 있다. 홈(5410)의 수는 안착시트(5200)에 재치되는 복수의 패키지(P) 수에 대응되며 홈(5410)은 이웃하는 홈(5410)과 0.4mm~ 0.6mm의 간격으로 형성될 수 있다. 홈(5410)의 크기는 패키지(P)의 크기보다 작게 형성될 수 있다. 또한 프레임부(5400)는 안착시트(5200)와 동일하거나 유사한 재질로 구비될 수 있다.
도 33을 참조하면, 패키지(P)의 하면에 형성된 볼(P1)이 홈(5410)에 대응되도록 패키지(P)가 프레임부(5400) 상에 진공 흡착되어 안착될 수 있다. 프레임부(5400)의 높이는 패키지(P)의 볼의 높이(P1)보다 크게 설정되어 안착시트(5200)의 상면에 볼(P1)이 접촉되지 않을 수 있다. 패키지(P)가 홈(5410)에 볼(P1)이 대응되도록 안착되어 안착시트(5200)에 볼(P1)이 직접적으로 접촉되지 않아 패키지(P)의 손상을 막을 수 있다.
홈(5410) 각각은 아령 형상일 수 있다. 홈(5410)은 중심에 일자 형상의 메인부와 메인부의 양 끝단에 메인부보다 더 넓은 폭을 가지고 형성되는 확장부를 포함할 수 있다. 또한, 확장부의 양 끝단의 테두리는 프레임부(5400)에 홈(5410)을 형성하는 기계의 작동으로 라운드 처리된 형상일 수 있다. 다시 말해, 확장부의 양 끝단은 곡면을 갖는 형상일 수 있다. 홈(5410)은 함몰부(5210)와 동일하거나 유사한 형상일 수 있다.
또한, 이하에서는 그리드 픽커(6)에 대해 설명한다.
먼저, 본 시스템의 일 구현예에 따른 그리드 픽커(6)(이하 '본 제1 그리드 픽커'라 함)의 일 구현예에 대해 설명한다. 참고로, 본 제1 그리드 픽커 및 후술할 본 제2 그리드 픽커에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(X축, Y축, Z축 등)은 도 34 내지 도 43에 도시된 좌표축(또는 구성의 배치 상태)을 기준으로 설정한 것이다.
도 34 내지 도 36을 참조하면, 본 제1 그리드 픽커는 제2 플레이트(62)를 포함한다. 또한, 도 34, 도 35 및 도 36을 참조하면, 본 제1 그리드 픽커는 제1 플레이트(61)를 포함한다. 도 34, 도 35 및 도 36을 참조하면, 제2 플레이트(62)는 제1 플레이트(61)의 Z축 방향 일측에 배치된다. 또한, 제2 플레이트(62)는 제1 플레이트(61)와의 사이 중 적어도 일부에 간격 영역(67)을 형성하고 배치된다.
또한, 도 37을 참조하면, 본 제1 그리드 픽커는, 제1 플레이트(61)의 중앙 영역 중 일부 영역(후술함) 내에서 제1 플레이트(61)를 Z축 방향으로 관통 형성되는 복수 개의 제1 관부(63)를 포함한다.
또한, 도 37을 참조하면, 본 제1 그리드 픽커는, 제1 플레이트(61)의 상기 일부 영역 내에서 제1 플레이트(61) 및 간격 영역(67)을 Z축 방향으로 관통 형성되는 제2 관부(64)를 포함한다. 도 37에 도시된 바와 같이, 제1관부(63)와 제2관부(64)는 높이(길이)가 상이하게 형성될 수 있으며, 제2관부(64)의 높이가 제1관부(63)의 높이보다 클 수 있다. 제2 관부(64)는 제1플레이트(61)의 일부 영역 내에서 제1 관부(63)와 X축 방향 및 Y축 방향으로 교번하여 형성된다. 제2 관부(64)와 제1 관부(63)는 X축 방향으로 서로 이웃하도록 X축 방향으로 교번하여 형성될 수 있다. 또한, 제2 관부(64)와 제1 관부(63)는 Y축 방향으로 서로 이웃하도록 Y축 방향으로 교번하여 형성될 수 있다. 이에 따르면, 제1플레이트(61)의 일부 영역 내에서 X축 방향 최일측 및 X축 방향 최타측에 위치하는 관부 자리에는 제1 관부(63)와 제2 관부(64)가 교번하여 위치할 수 있다.
구체적으로, 제1 플레이트(61)의 일부 영역 내에서 제1 관부(63)와 제2 관부(64)는 서로 교번하여 위치하며 X축 방향을 따라 한 열(줄)을 이룰 수 있는데, 이러한 그룹 중에는 X축 방향 최일측 및 X축 방향 최타측에 위치하는 관부가 제1 관부(63)인 열(줄)이 있고, X축 방향 최일측 및 X축 방향 최타측에 위치하는 관부가 제2 관부(64)인 열(줄)이 있을 수 있다. 또한, 참고로, 도 35를 참조하면, 제1 관부(63) 및 제2 관부(64)가 형성하는 열(줄) 복수 개는 그룹을 이룰 수 있다. 예를 들어, 이러한 그룹은, 복수 개(도 35 참조, 예시적으로 4 개일 수 있음)일 수 있다. 상기 그룹이 형성되는 부분이 상술한 제1 플레이트(61)의 일부 영역일 수 있다. 즉, 상술한 제1 플레이트(61)의 일부 영역이라 함은, 제1 관부(63)와 제2 관부(64)가 서로 교번하여 위치하는 그룹이 형성되는 부분을 의미할 수 있다. 이에 따라, 도 35를 참조하면, 예시적으로 제1 플레이트(61)에는 제1 관부(63)와 제2 관부(64)가 형성하는 그룹 4 개가 형성될 수 있고, 일부 영역은 4개일 수 있다. 또한, 도 36을 참조하면, 그룹간에는 간격이 형성될 수 있다. 다시 말해, 일부 영역 사이에는 소정의 간격이 있을 수 있다.
또한, 도 37을 참조하면, 제2 관부(64)는 제1 플레이트(61)를 Z축 방향으로 관통하는 홀(641) 및 홀(641)로부터 연장되어 간격 영역(67)에 구비되는 관 부재(643)를 포함할 수 있다. 다만, 다양한 실시예에 따라, 제2관부(64)가 일체형의 관으로 형성되어 제1플레이트(61)에 삽입될 수 있다. 다시 말해, 제1 Z축 방향으로의 타단부가 제1 플레이트(61)에 삽입된 일체형의 관이 Z축 방향 타측으로 연장되어 간격 영역(67)에 구비되는 형태로 관 부재(643)는 구비될 수 있다.
또한, 도 36 및 도 37을 참조하면, 본 제1 그리드 픽커는 제2 플레이트(64)의 중앙 영역에 형성되어 제2 관부(64)에 진공압을 작용하는 제2 진공작용관(65)을 포함한다. 도 36을 참조하면, 제2 플레이트(62)의 중앙 영역은 제1 관부(63)와 제2 관부(64)가 형성되는 영역에 대응하는 영역을 의미할 수 있다. 또한, 도 36 및 도 37을 참조하면, 제2 진공작용관(65)은 복수 개 형성될 수 있는데, 제2 관부(64)의 관 부재(643)는 복수 개의 제2 진공작용관(65) 각각과 연통될 수 있다. 다시 말해, 복수 개의 제2 진공 작용관(65) 각각은 제2 관부(64)의 관 부재(643) 각각에 대응하여 형성될 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 제2 관부(64)가 제1 관부(63)와 그룹을 이루며 제1 플레이트(61)의 복수 개의 일부 영역 각각에서 형성되므로, 도 36을 참조하면, 제2 진공작용관(65)은 제2 관부(64)의 형성 위치와 대응되게 제2 플레이트(62)의 복수 개의 일부 영역 각각 내에서 형성될 수 있다. 또한, 제2진공작용관(65)의 하면과 제2관부(64)의 관 부재(643)의 상면은 밀착 또는 압착될 수 있으며, 그에 따라 제2진공작용관(65)으로부터 제공되는 진공압이 누수되는 것 없이 제2관부(64)로 제공될 수 있고, 간격 영역(67)을 통해 유입되는 공기 등이 제2관부(64)로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제2 진공작용관(65)은 제2 관부(64)의 Z축 방향 일단으로부터 제2 관부(64)와 연통되게 이어 형성될 수 있으며, 제2 플레이트(62)를 Z축 방향으로 관통 형성될 수 있다.
또한, 도 36 및 도 37을 함께 참조하면, 본 제1 그리드 픽커는 제2 플레이트(62)의 X축 방향 일측 및 X축 방향 타측 각각에 형성되어 간격 영역(67)을 통해 제1 관부(63)에 진공압을 작용하는 복수 개의 제1 진공작용관(66)을 포함한다. 도 37을 참조하면, 제1 진공작용관(66)과 간격 영역(67)이 연통되고 간격 영역(67)과 제1 관부(63)가 연통됨으로써, 제1 진공작용관(66)은 간격 영역(67)을 통해 제1 관부(63)에 진공압을 작용할 수 있다.
제1진공작용관(66)은 상술한 제2진공작용관(65)이 형성된 제2플레이트(62)의 중앙 영역의 양 측인 제2플레이트(62)의 양쪽 가장자리 영역에 형성될 수 있다. 다시 말해, 도 36 및 도 37을 함께 참조하면, 제1 진공작용관(66)은 제1 관부(63)와 제2 관부(62)의 X축 방향 일측 및 X축 방향 타측 각각에 대응하는 영역 형성될 수 있다. 또한, 도 36을 참조하면, 복수 개의 제1 진공작용관(66)은 Y축 방향으로 서로 이격되어 형성될 수 있다. 또한, 도 36을 참조하면, 제1 진공작용관(66)은 복수 개의 제2 진공작용관(65)이 X축 방향으로 형성하는 열(줄)과 어긋나게 형성될 수 있다. 다시 말해, 제1 진공작용관(66)은 복수 개의 제2 진공작용관(65)이 X축 방향으로 형성하는 열(줄)과 같은 열에 위치하지 않도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 제1 그리드 픽커의 도 36의 A-A선과 대응되는 부분을 절개한 단면도인 도 37은 제1 진공작용관(66) 및 후술하는 러버 플레이트(69)의 홀(95)을 점선으로 도시하였다.
또한, 도 37을 참조하면, 본 제1 그리드 픽커는 제1 플레이트(61)와 제2 플레이트(62)의 사이 중 적어도 일부에 구비되는 러버 플레이트(9)를 포함할 수 있다. 본원의 일 실시예에 따르면, 제1플레이트(61)와 제2플레이트(62)는 금속 소재로 형성될 수 있으며, 러버 플레이트(9)는 금속 소재의 제1플레이트(61)와 제2플레이트(62)의 결합, 밀착의 정도를 향상시킬 수 있다. 러버 플레이트(9)가 제1 관부(63)와 제2 관부(64)가 형성되는 중앙 영역에 구비되는 경우, 러버 플레이트(9)에는 제2 진공작용관(65)과 제2 관부(64)를 연통시키는 홀(94)이 형성될 수 있다. 또한, 러버 플레이트(9)가 제1 진공작용관(66)이 형성되는 부분(영역)에 구비되는 경우, 러버 플레이트(9)에는 제1 진공작용관(66)과 간격 영역(67)을 연통시키는 홀(95)이 형성될 수 있다.
또한, 제1 플레이트(61)는 베이스 플레이트(611) 및 베이스 플레이트(611)의 Z축 방향 타측에 구비되는 보조플레이트(612)를 포함할 수 있다. 이러한 경우, 제1 관부(63)는 베이스 플레이트(611)를 Z축 방향으로 관통 형성되는 제1 일측 홀(631) 및 제1 일측 홀(631)과 연통되게 제1 일측 홀(631)의 타측으로부터 Z축 방향 타측으로 연장 형성되고 보조플레이트(612)를 관통하는 제1 타측 홀(632)을 포함할 수 있다. 또한, 제2 관부(64)는 베이스 플레이트(611)를 Z축 방향으로 관통 형성되는 제2 일측 홀(641) 및 제2 일측 홀(641)과 연통되게 제2 일측 홀(641)의 타측으로부터 Z축 방향 타측으로 연장 형성되고 보조플레이트(612)를 관통하는 제2 타측 홀(642)을 포함할 수 있다. 도 40을 참조하면, 제1 타측홀(632)의 일단부의 내경은 제1 일측 홀(631)의 타단부의 내경보다 작을 수 있다. 또한, 제2 타측홀(642)의 일단부의 내경은 제2 일측 홀(641)의 타단부의 내경보다 작을 수 있다.
상술한 본 제1 그리드 픽커는, 복수의 제1진공작용관(66) 및 제2진공작용관(65)에 진공압을 제공 및 해제하는 진공공급기(예를 들어, 진공펌프)가 연결되어 있고, 제1 진공작용관(66) 및 제2 진공작용관(65) 전체에 대해 진공을 작용하거나, 전체에 대한 진공 작용을 해제할 수 있다. 또한, 제1 진공작용관(66) 및 제2 진공작용관(65) 중 어느 하나에는 진공을 작용하고 나머지에는 진공 작용을 해제하는 선택적 진공 작용을 통해, 제1 관부(63) 및 제2 관부(64) 중 하나에는 진공이 작용되고 나머지에는 진공 작용이 해제되게 할 수 있다. 이에 따라, 본 제1 그리드 픽커는 제1 및 제2 진공작용관(66, 65)에 진공을 작용하여 n열×m행으로 패키지(P)를 흡착함으로써 픽업할 수 있고, 제1 및 제2 진공작용관(66, 65) 중 하나에는 진공 작용을 유지하고 다른 하나에는 진공 작용을 해제함으로써 그리드 테이블(5)에 n열×m행으로 배열되어 픽업되는 패키지(P) 중 서로 이웃하지 않는 패키지(P)들로 이루어지는 절반 정도의 패키지(P)를 제1 그리드 테이블(5)에 적재할 수 있으며, 이후, 다른 하나에 대한 진공 작용을 해제함으로써, 서로 이웃하지 않는 패키지(P)들로 이루어지는 나머지 절반을 제2 그리드 테이블(5)에 적재할 수 있다(참고로, 제1 그리드 테이블(5) 및 제2 그리드 테이블(5) 각각은 상술한 그리드 테이블(5)과 동일 내지 대응될 수 있다.).
구체적으로, n열×m행으로 배열된 패키지(P)에 대한 픽업시, 본 제1 그리드 픽커는, 제1 진공작용관(66) 및 제2 진공작용관(65)에 진공을 작용할 수 있다. 이에 따르면 제1 진공작용관(66)을 통해 작용하는 진공은 간격 영역(67)을 통해 제1 관부(63)에 작용할 수 있고 제2 진공작용관(65)을 통해 작용하는 진공은 제2진공작용관(65)과 압착 및 밀착되어 연결되는 제2 관부(64)에 작용할 수 있다. 이러한 진공의 작용에 의해 제1 관부(63)를 통해 기체가 흡입되며 패키지(P)가 제1 관부(63)에 흡착될 수 있고, 흡입되는 기체는 간격 영역(67)을 통해 제1 진공작용관(66)으로 유입될 수 있다. 또한, 진공의 작용에 의해 제2 관부(64)를 통해 기체의 흡입이 이루어지며 패키지(P)가 제2 관부(64)에 흡착될 수 있고, 흡입되는 기체는 제2 진공작용관(65)으로 유입될 수 있다. 이에 따라, 제1 관부(63) 및 제2 관부(64)에 대해 패키지(P)의 흡착이 이루어져 본 제1 그리드 픽커는 n열×m행으로 배열된 패키지(P)를 픽업할 수 있다.
이후, 본 제1 그리드 픽커는 픽업한 n열×m행의 패키지(P)를 제1 그리드 테이블(5) 및 제2 그리드 테이블(5)이 나눠 적재할 수 있다. 구체적으로, 본 제1 그리드 픽커는 제1 및 제2 진공작용관(66, 65) 중 하나에는 진공 작용을 유지하고 다른 하나에는 진공 작용을 해제함으로써 그리드 테이블(5)에 n열×m행으로 배열되어 픽업되는 패키지(P) 중 서로 이웃하지 않는 패키지(P)들로 이루어지는 절반 정도의 패키지(P)를 제1 그리드 테이블(5)에 적재할 수 있다. 예를 들어, 본 제1 그리드 픽커는 제1 진공작용관(66)의 진공 작용을 해제할 수 있고, 이러한 경우, 제1 진공작용관(66)과 연통되는 간격 영역(67) 및 제1 관부(63) 의 기체 흡입이 중단되며 제1 관부(63) 에 흡착되어 있던 패키지(P)는 제1 관부(63)로부터 탈거되며 제1 그리드 테이블(5)에 적재될 수 있다. 상술한 바와 같이, 제1 관부(63)가 제2 관부(64)와 X축 및 Y축으로 교번하여 구비되는바, 제1 관부(63)로부터 탈거되며 제1 그리드 테이블(5)에 적재되는 패키지(P)는 n열×m행의 패키지(P) 중 서로 이웃하지 않는 패키지(P)로 이루어지는 그룹일 수 있다. 이어서, 본 제1 그리드 픽커는 제2 그리드 테이블(5)로 이동하여 제2 진공작용관(65)의 진공 작용을 해제할 수 있고, 이러한 경우, 제2 진공작용관(65)과 연통되는 제2 관부(64) 의 기체 흡입이 중단되며 제2 관부(64) 에 흡착되어 있던 패키지(P)는 제2 관부(64)로부터 탈거되며 제2 그리드 테이블(5)에 적재될 수 있다. 상술한 바와 같이, 제2 관부(64)가 제1 관부(63)와 X축 및 Y축으로 교번하여 구비되는바, 제2 관부(64)로부터 탈거되며 제2 그리드 테이블(5)에 적재되는 패키지(P)는 n열×m행의 패키지(P) 중 상술한 제1 그리드 테이블(5)에 적재된 패키지(P)를 제외하고 남은 서로 이웃하지 않는 패키지(P)로 이루어지는 그룹일 수 있다.
상술한 본 제1 그리드 픽커에 의하면, 제1 진공작용관(66) 및 제2 진공작용관(65)이 제2 플레이트를 Z축 방향으로 관통하며 형성되고, 제1 진공작용관(66)과 제1 관부(63)가 간격 영역(67)에 의해 연결될 수 있으므로, 별도의 진공관이 불필요하며, 진공 라인이 종래 대비 간명하게 구성될 수 있다.
이하에서는, 본 시스템의 다른 구현예에 따른 그리드 픽커(이하 '본 제2 그리드 픽커'라 함)에 대하여 설명한다. 다만, 본 제2 그리드 픽커의 설명과 관련하여 앞서 살핀 본 제1 그리드 픽커에서 설명한 구성과 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면 및 도면부호를 사용하고, 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하기로 한다.
도 38은 본원의 제2 실시예에 따른 그리드 픽커를 하측에서 비스듬히 올려다본 개략적인 사시도이고, 도 39는 본원의 제2 실시예에 따른 그리드 픽커의 제2플레이트를 뒤집어 제2 플레이트의 의 Z축 방향 일면을 상측에서 내려다본 개략적인 사시도이며, 도 40은 본원의 제2 실시예에 따른 그리드 픽커의 Z축 방향으로의 단면도이고, 도 41은 본원의 제2 실시예에 따른 그리드 픽커의 제1 플레이트를 상측에서 비스듬하게 내려다본 개략적인 사시도이다.
도 34, 도 38 및 도 39를 참조하면, 본 제2 그리드 픽커는 제2 플레이트(62)를 포함한다. 또한, 도 34, 도 38 및 도 40을 참조하면, 본 제2 그리드 픽커는 제1 플레이트(61)를 포함한다. 도 34, 도 38 및 도 40을 참조하면, 제2 플레이트(62)는 제1 플레이트(61)의 Z축 방향 일측(상측)에 배치된다. 참고로, 본 제2 그리드 픽커는 Z축 방향 일측이 상측을 바라보도록 배치될 수 있다. 이렇게 배치되는 경우, Z축 방향 일측은 상측을 향할 수 있고, Z축 방향 타측은 하측을 향할 수 있다.
또한, 도5를 참조하면, 본 제2 그리드 픽커는 제1 플레이트(61)의 적어도 일부를 Z축 방향으로 관통 형성되는 복수 개의 제1 관부(63)를 포함한다.
또한, 도 40을 참조하면, 본 제2 그리드 픽커는 제1 플레이트(61)를 Z축 방향으로 관통 형성되는 제2 관부(64)를 포함한다. 도 40을 참조하면, 제2 관부(64)는 제1 관부(63)와 X축 방향 및 Y축 방향으로 교번하여 형성된다. 구체적으로, 도 40을 참조하면, 제2 관부(64)와 제1 관부(63)는 X축 방향으로 서로 이웃하도록 X축 방향으로 교번하여 형성될 수 있다. 또한, 제2 관부(64)와 제1 관부(63)는 Y축 방향으로 서로 이웃하도록 Y축 방향으로 교번하여 형성될 수 있다.
도 41을 참조하여 보다 자세히 설명한다. 참고로, 도 41에서 후술할 기체 이동 통로(68)에 의해 연결되는 관부는 제1 관부(63)이고, 그렇지 않은 관부는 제2 관부(64)일 수 있다. 또한, 도 41에는 자세히 도시되지 않았지만, 도 40과 도 41을 함께 참조하면, 기체 이동 통로(68)의 양 끝단 중 하나 이상은 제1 진공작용관(66)과 연통될 수 있다. 상술한 바에 따르면, X축 방향 최일측 및 X축 방향 최타측에 위치하는 관부 자리에는 제1 관부(63)와 제2 관부(64)가 교번하여 위치할 수 있다. 구체적으로, 도 41을 참조하면, 제1 관부(63)와 제2 관부(64)는 서로 교번하여 위치하며 X축 방향을 따라 한 그룹(줄)을 이룰 수 있는데, 이러한 그룹 중에는 X축 방향 최일측 및 X축 방향 최타측에 위치하는 관부가 제1 관부(63)인 그룹이 있고, X축 방향 최일측 및 X축 방향 최타측에 위치하는 관부가 제2 관부(64)인 그룹이 있을 수 있다.
또한, 도 39 및 도 40을 함께 참조하면, 본 제2 그리드 픽커는 제2 플레이트(62)의 중앙 영역에 형성되어 제2 관부(64)에 진공압을 작용하는 제2 진공작용관(65)을 포함한다. 제2 플레이트(62)의 중앙 영역은 제1 관부(63)와 제2 관부(64)가 형성되는 영역에 대응하는 영역을 의미할 수 있다. 또한, 도 39 및 도 40을 참조하면, 제2 진공작용관(65)은 복수 개 형성될 수 있는데, 도 40을 참조하면, 복수 개의 제2 진공 작용관(65) 각각은 제2 관부(64) 각각에 대응하여 형성될 수 있다. 또한, 제2 진공작용관(65)은 제2 관부(64)의 Z축 방향 일단으로부터 연장 형성될 수 있으며, 제2 플레이트(62)를 Z축 방향으로 관통 형성될 수 있다. 제2진공작용관(65)의 최하단과 제2관부(64)의 최상단이 직접 연통하며, 이들 간의 간극(틈) 없이 상호 연결될 수 있다.
또한, 도 40 및 도 41을 참조하면, 본 제2 그리드 픽커는 제2 플레이트(62)의 X축 방향 일측 및 X축 방향 타측 각각에 형성되고 제1 관부(63)에 진공압을 작용하는 복수 개의 제1 진공작용관(66)을 포함한다. 제1진공작용관(66)은 상술한 제2진공작용관(65)이 형성된 제2플레이트(62)의 중앙 영역의 양 측인 제2플레이트(62)의 양쪽 가장자리 영역에 형성될 수 있다. 다시 말해, 도 39 및 도 40을 함께 참조하면, 제1 진공작용관(66)은 제1 관부(63)와 제2 관부(62)의 X축 방향 일측 및 X축 방향 타측 각각에 대응하는 영역 형성될 수 있다. 또한, 도 39 및 도 41을 참조하면, 복수 개의 제1 진공작용관(66)은 Y축 방향으로 서로 이격되어 형성될 수 있다. 또한, 도 40 및 도9를 참조하면, 제1 진공작용관(66)은, 제1 관부(63)와 제2 관부(64)가 X축 방향으로 서로 교번하여 위치하며 형성하는 그룹 중, X축 방향 최일측 관부 자리 및 X축 방향 최타측 관부 자리에 제1 관부(63)가 위치하는 그룹의 X축 방향 일측 및 타측 각각에 구비될 수 있다.
또한, 도 40 및 도 41을 참조하면, 본 제2 그리드 픽커는 제1 관부(63)와 연통되고, 연통되는 제1 관부(63)의 Z축 방향 일측을 지나면서 평면 방향으로 제1 플레이트(62)의 상부에 형성되는 기체 이동 통로(68)를 포함한다. 예를 들어, 기체 이동 통로(68)는 제1플레이트(61)의 Z축 방향 일면(상부 표면)에서 Z축 방향 타측 방향(하측 방향)으로 소정의 깊이로 함몰된 형태일 수 있다. 여기서 평면 방향이라 함은, X축과 Y축이 이루는 면 범위 내에서 발생할 수 있는 다양한 방향을 의미할 수 있는데, X축과 평행하는 방향, Y축과 평행하는 방향, X축 또는 Y축과 비스듬한 방향 등 다양한 방향을 의미할 수 있다. 예를 들어, 도 39를 참조하면, 기체 이동 통로(68)는 X축 방향으로 연장되는 부분, X축 방향과 비스듬하며 Y축 방향과도 비스듬하게 연장되는 부분을 포함할 수 있다. 또한, 도 41을 참조하면, 기체 이동 통로(68)는 복수 개 형성될 수 있다.
또한, 도 41을 참조하면, 기체 이동 통로(68)는 복수 개의 제1 진공작용관(66) 중 적어도 하나와 연통될 수 있다. 다시 말해, 복수의 기체 이동 통로(68) 각각은 적어도 하나의 제1 진공작용관(66)과 연통될 수 있다. 이에 따라, 제1 진공작용관(66)은 기체 이동 통로(68)를 통해 제1 관부(63)에 대해 진공을 작용하거나 작용 해제할 수 있다.
또한, 도 41을 참조하면, 기체 이동 통로(68)는 제1 진공작용관(66) 및 제1 진공작용관(66)과 직선상의 거리가 가장 가까운 제1 관부(63)를 연통시킬 수 있다.
또한, 도 41을 참조하면, 복수의 기체 이동 통로(68) 중 적어도 일부는 1 개의 제1 관부(63)를 제1 진공작용관(66)과 연결(연통)할 수 있고, 나머지 일부는 2 개 이상의 제1 관부(63)를 제1 진공작용관(66)과 연결(연통)할 수 있다.
또한, 도 41을 참조하면, 기체 이동 통로(68)는, 2 개 이상의 제1 관부(63)의 Z축 방향 일측을 지나는 경우, 제1 관부(63) 및 제1 관부(63)와 대각선 방향으로 이웃하는 이웃 제1 관부(63)가 연통되게 제1 관부(63)와 이웃 제1 관부(63)의 Z축 방향 일측을 지나며 형성될 수 있다. 또한, 2개 이상의 제1 관부(63)를 지나는(연결하는) 기체 이동 통로(68)의 2개 이상의 제1 관부(63)를 지나는 부분은 서로 동일한 방향으로 비스듬하게 연장 형성될 수 있다.
이에 따라, 도 41을 참조하면, 기체 이동 통로(68)가1 개의 제1 관부(63)와 연통되는 경우(다시 말해, 1 개의 제1 관부(63)의 Z축 방향 일측을 지나는 경우), 기체 이동 통로(68)는 제1 진공 작용관(66)과 제1 진공 작용관(66)과의 직선상의 거리가 가장 가까운 제1 관부(63)를 연통시킬 수 있고, 제1 진공 작용관(66)과 제1 관부(63)가 연통되도록 X축과 나란하게 연장되는 부분을 포함할 수 있다.
또한, 기체 이동 통로(68)가 2 개 이상의 제1 관부(63)와 연통되는 경우(다시 말해, 2 개 이상의 제1 관부(63)의 Z축 방향 일측을 지나는 경우), 기체 이동 통로(68)는 제1 진공 작용관(66)과 제1 진공 작용관(66)과의 직선상의 거리가 가장 가까운 제1 관부(63)를 연통시킬 수 있고, 연통되는 제1 관부(63)와 대각선 방향으로 이웃하는 이웃 제1 관부(63)를 연통시킬 수 있다. 이러한 경우, 기체 이동 통로(68)는 제1 진공 작용관(66)과 제1 진공 작용관(66)과의 직선상의 거리가 가장 가까운 제1 관부(63)를 연통되도록 X축과 나란하게 연장되는 부분 및 제1 관부(63)와 이웃 제1 관부(63)가 연통되도록 X축 및 Y축 에 대해 비스듬하게 사선으로 연장되는 부분을 포함할 수 있다.
또한, 도 41을 참조하면, 제2플레이트(62)의 X축 방향 일측에 구비되는 복수 개의 제1진공작용관(66) 중 일부 각각과 제2플레이트(62)의 X축 방향 타측에 구비되는 복수 개의 제1진공작용관(66) 중 일부 각각은 기체 이동 통로(68) 각각에 의해 상호 연결될 수 있다. 다시 말해, 제2플레이트(62)의 X축 방향 일측에 구비되는 복수 개의 제1진공작용관(66)은 기체 이동 통로(68)와 일대일 대응하며 연결될 수 있는데, 기체 이동 통로(68)의 연장 경로에 따라, 제2플레이트(62)의 X축 방향 일측에 구비되는 복수 개의 제1진공작용관(66) 중 일부는 그가 연결되는 기체 이동 통로(68)에 의해 제2플레이트(62)의 X축 방향 타측에 구비되는 복수 개의 제1진공작용관(66) 중 일부와 일대일 대응하며 상호 연결될 수 있다.
또한, 도 40을 참조하면, 본 제2 그리드 픽커는 제1 플레이트(61)와 제2 플레이트(62)의 사이 중 적어도 일부에 구비되는 러버 플레이트(9)를 포함할 수 있다. 본원의 일 실시예에 따르면, 제1플레이트(61)와 제2플레이트(62)는 금속 소재로 형성될 수 있으며, 러버 플레이트(9)는 금속 소재의 제1플레이트(61)와 제2플레이트(62)의 결합, 밀착의 정도를 향상시킬 수 있다. 러버 플레이트(9)가 제1 관부(63)와 제2 관부(64)가 형성되는 중앙 영역에 구비되는 경우, 러버 플레이트(9)에는 제2 진공작용관(65)과 제2 관부(64)를 연통시키는 홀(94)이 형성될 수 있다. 또한, 러버 플레이트(9)가 제1 진공작용관(66)이 형성되는 부분(영역)에 구비되는 경우, 러버 플레이트(9)에는 제1 진공작용관(66)과 기체이동통로(68)를 연통시키는 홀(95)이 형성될 수 있다.
또한, 제1 플레이트(61)는 베이스 플레이트(611) 및 베이스 플레이트(611)의 Z축 방향 타측에 구비되는 보조플레이트(612)를 포함할 수 있다. 이러한 경우, 제1 관부(63)는 베이스 플레이트(611)를 Z축 방향으로 관통 형성되는 제1 일측 홀(631) 및 제1 일측 홀(631)과 연통되게 제1 일측 홀(631)의 타측으로부터 Z축 방향 타측으로 연장 형성되고 보조플레이트(612)를 관통하는 제1 타측 홀(632)을 포함할 수 있다. 또한, 제2 관부(64)는 베이스 플레이트(611)를 Z축 방향으로 관통 형성되는 제2 일측 홀(641) 및 제2 일측 홀(631)과 연통되게 제2 일측 홀(641)의 타측으로부터 Z축 방향 타측으로 연장 형성되고 보조플레이트(612)를 관통하는 제2 타측 홀(642)을 포함할 수 있다. 도 40을 참조하면, 제1 타측홀(632)의 일단부의 내경은 제1 일측 홀(631)의 타단부의 내경보다 작을 수 있다. 또한, 제2 타측홀(642)의 일단부의 내경은 제2 일측 홀(641)의 타단부의 내경보다 작을 수 있다.
상술한 본 제2 그리드 픽커는, 제1 진공작용관(66) 및 제2 진공작용관(65) 전체에 대해 진공을 작용하거나, 전체에 대한 진공 작용을 해제할 수 있다. 또한, 제1 진공작용관(66) 및 제2 진공작용관(65) 중 어느 하나에는 진공을 작용하고 나머지에는 진공 작용을 해제하는 선택적 진공 작용을 통해, 제1 관부(63) 및 제2 관부(64) 중 하나에는 진공이 작용되고 나머지에는 진공 작용이 해제되게 할 수 있다. 이에 따라, 본 제2 그리드 픽커는 제1 및 제2 진공작용관(66, 65)에 진공을 작용하여 n열×m행으로 패키지(P)를 흡착함으로써 픽업할 수 있고, 제1 및 제2 진공작용관(66, 65) 중 하나에는 진공 작용을 유지하고 다른 하나에는 진공 작용을 해제함으로써 그리드 테이블(5)에 n열×m행으로 배열되어 픽업되는 패키지(P) 중 서로 이웃하지 않는 패키지(P)들로 이루어지는 절반 정도의 패키지(P)를 제1 그리드 테이블(5)에 적재할 수 있으며, 이후, 다른 하나에 대한 진공 작용을 해제함으로써, 서로 이웃하지 않는 패키지(P)들로 이루어지는 나머지 절반을 제2 그리드 테이블(5)에 적재할 수 있다.
구체적으로, n열×m행으로 배열된 패키지(P)에 대한 픽업시, 본 제2 그리드 픽커는, 제1 진공작용관(66) 및 제2 진공작용관(65)에 진공을 작용할 수 있다. 이에 따르면 제1 진공작용관(66)을 통해 작용하는 진공은 기체 이동 통로(68)를 통해 제1 관부(63)에 작용할 수 있고 제2 진공작용관(65)을 통해 작용하는 진공은 제2 관부(64)에 작용할 수 있다. 이러한 진공의 작용에 의해 제1 관부(63)를 통해 기체가 흡입되며 패키지(P)가 제1 관부(63)에 흡착될 수 있고, 흡입되는 기체는 기체 이동 통로(68)를 통해 제1 진공작용관(66)으로 유입될 수 있다. 또한, 진공의 작용에 의해 제2 관부(64)를 통해 기체의 흡입이 이루어지며 패키지(P)가 제2 관부(64)에 흡착될 수 있고, 흡입되는 기체는 제2 진공작용관(65)으로 유입될 수 있다. 이에 따라, 제1 관부(63) 및 제2 관부(64)에 대해 패키지(P)의 흡착이 이루어져 본 제2 그리드 픽커는 n열×m행으로 배열된 패키지(P)를 픽업할 수 있다.
이후, 본 제2 그리드 픽커는 픽업한 n열×m행의 패키지(P)를 제1 그리드 테이블(5) 및 제2 그리드 테이블(5)이 나눠 적재할 수 있다. 구체적으로, 본 제2 그리드 픽커는 제1 및 제2 진공작용관(66, 65) 중 하나에는 진공 작용을 유지하고 다른 하나에는 진공 작용을 해제함으로써 그리드 테이블(5)에 n열×m행으로 배열되어 픽업되는 패키지(P) 중 서로 이웃하지 않는 패키지(P)들로 이루어지는 절반 정도의 패키지(P)를 제1 그리드 테이블(5)에 적재할 수 있다. 예를 들어, 본 제2 그리드 픽커는 제1 그리드 테이블(5)에서 제1 진공작용관(66)의 진공 작용을 해제할 수 있고, 이러한 경우, 제1 진공작용관(66)과 연통되는 기체 이동 통로(68) 및 제1 관부(63) 의 기체 흡입이 중단되며 제1 관부(63) 에 흡착되어 있던 패키지(P)는 제1 관부(63)로부터 탈거되며 제1 그리드 테이블(5)에 적재될 수 있다. 상술한 바와 같이, 제1 관부(63)가 제2 관부(64)와 X축 및 Y축으로 교번하여 구비되는바, 제1 관부(63)로부터 탈거되며 제1 그리드 테이블(5)에 적재되는 패키지(P)는 n열×m행의 패키지(P) 중 서로 이웃하지 않는 패키지(P)로 이루어지는 그룹일 수 있다. 이어서, 본 제2 그리드 픽커는 제2 그리드 테이블(5)로 이동하여, 제2 진공작용관(65)의 진공 작용을 해제할 수 있고, 이러한 경우, 제2 진공작용관(65)과 연통되는 제2 관부(64) 의 기체 흡입이 중단되며 제2 관부(64) 에 흡착되어 있던 패키지(P)는 제2 관부(64)로부터 탈거되며 제2 그리드 테이블(5)에 적재될 수 있다. 상술한 바와 같이, 제2 관부(64)가 제1 관부(63)와 X축 및 Y축으로 교번하여 구비되는바, 제2 관부(64)로부터 탈거되며 제2 그리드 테이블(5)에 적재되는 패키지(P)는 n열×m행의 패키지(P) 중 상술한 제1 그리드 테이블(5)에 적재된 패키지(P)를 제외하고 남은 서로 이웃하지 않는 패키지(P)로 이루어지는 그룹일 수 있다.
또한, 상술한 본 제2 그리드 픽커에 의하면, 제1 진공작용관(66) 및 제2 진공작용관(65)이 제2 플레이트를 Z축 방향으로 관통하며 형성되고, 제1 진공작용관(66)과 제1 관부(63)가 기체 이동 통로(68)에 의해 연결될 수 있으므로, 별도의 진공관이 불필요하며, 진공 라인이 종래 대비 간명하게 구성될 수 있다.
이하에서는, 본원의 또 다른 실시예에 따른 그리드 픽커(이하 '본 제3 그리드 픽커'라 함)에 대하여 설명한다. 다만, 본 제3 그리드 픽커의 설명과 관련하여 앞서 살핀 본 제1 그리드 픽커 및 본 제2 그리드 픽커에서 설명한 구성과 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면 및 동일한 도면부호를 사용하고, 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하기로 한다.
도 42는 본원의 제3 실시예에 따른 그리드 픽커의 Z축 방향으로의 단면도이고, 도 43는 본원의 제3 실시예에 따른 그리드 픽커의 제1 플레이트를 상측에서 비스듬하게 내려다본 개략적인 사시도이다.
도 34, 도 38 및 도 39를 참조하면, 본 제3 그리드 픽커는 제2 플레이트(62)를 포함한다. 또한, 도 34, 도 38 및 도 39를 참조하면, 본 제3 그리드 픽커는 제1 플레이트(61)를 포함한다. 도 42를 참조하면, 제2 플레이트(62)는 제1 플레이트(61)의 Z축 방향 일측에 배치된다. 또한, 제2 플레이트(62)는 제1 플레이트(61)와의 사이 중 적어도 일부에 간격 영역(67)을 형성하고 배치된다.
또한, 도 42를 참조하면, 본 제3 그리드 픽커는, 제1 플레이트(61)를 Z축 방향으로 관통 형성되는 복수 개의 제1 관부(63)를 포함한다.
또한, 도 42를 참조하면, 본 제3 그리드 픽커는, 제1 플레이트(61) 및 간격 영역(67)을 Z축 방향으로 관통 형성되는 제2 관부(64)를 포함한다. 도 43에 도시된 바와 같이, 제1관부(63)와 제2관부(64)는 높이(길이)가 상이하게 형성될 수 있으며, 제2관부(64)의 높이가 제1관부(63)의 높이보다 클 수 있다. 제2 관부(64)는 제1 플레이트(61)에서 제1 관부(63)와 X축 방향 및 Y축 방향으로 교번하여 형성된다. 제2 관부(64)와 제1 관부(63)는 X축 방향으로 서로 이웃하도록 X축 방향으로 교번하여 형성될 수 있다. 또한, 제2 관부(64)와 제1 관부(63)는 Y축 방향으로 서로 이웃하도록 Y축 방향으로 교번하여 형성될 수 있다. 이에 따르면, 제1 플레이트(61)에서 X축 방향 최일측 및 X축 방향 최타측에 위치하는 관부 자리에는 제1 관부(63)와 제2 관부(64)가 교번하여 위치할 수 있다. 구체적으로, 제1 관부(63)와 제2 관부(64)는 서로 교번하여 위치하며 X축 방향을 따라 한 그룹(줄)을 이룰 수 있는데, 이러한 그룹 중에는 X축 방향 최일측 및 X축 방향 최타측에 위치하는 관부가 제1 관부(63)인 그룹이 있고, X축 방향 최일측 및 X축 방향 최타측에 위치하는 관부가 제2 관부(64)인 그룹이 있을 수 있다.
또한, 도 42를 참조하면, 제2 관부(64)는 제1 플레이트(61)를 Z축 방향으로 관통하는 홀(641) 및 홀(641)로부터 연장되어 간격 영역(67)에 구비되는 관 부재(643)를 포함할 수 있다. 다만, 다양한 실시예에 따라, 제2관부(64)가 일체형의 관으로 형성되어 제1플레이트(61)에 삽입될 수 있다.
또한, 도 39 및 도 42를 참조하면, 본 제3 그리드 픽커는 제2 플레이트(64)의 중앙 영역에 형성되어 제2 관부(64)에 진공압을 작용하는 제2 진공작용관(65)을 포함한다. 도 42를 참조하면, 제2 플레이트(62)의 중앙 영역은 제1 관부(63)와 제2 관부(64)가 형성되는 영역에 대응하는 영역을 의미할 수 있다. 또한, 도 42 및 도 43을 참조하면, 제2 진공작용관(65)은 복수 개 형성될 수 있는데, 제2 관부(64)의 관 부재(643)는 복수 개의 제2 진공작용관(65) 각각과 연통될 수 있다. 다시 말해, 복수 개의 제2 진공 작용관(65) 각각은 제2 관부(64)의 관 부재(643) 각각에 대응하여 형성될 수 있다. 제2진공작용관(65)의 하면과 제2관부(64)의 관 부재(643)의 상면은 밀착 또는 압착될 수 있으며, 그에 따라 제2진공작용관(65)으로부터 제공되는 진공압이 누수되는 것 없이 제2관부(64)로 제공될 수 있고, 간격 영역(67)을 통해 유입되는 공기 등이 제2관부(64)로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제2 진공작용관(65)은 제2 관부(64)의 Z축 방향 일단으로부터 제2 관부(64)와 연통되게 이어 형성될 수 있으며, 제2 플레이트(62)를 Z축 방향으로 관통 형성될 수 있다.
또한, 도 43을 참조하면, 본 제3 그리드 픽커는 제2 플레이트(62)의 X축 방향 일측 및 X축 방향 타측 각각에 형성되어 후술할 기체 이동 관(68)을 통해 제1 관부(63)에 진공압을 작용하는 복수 개의 제1 진공작용관(66)을 포함한다. 기체 이동 관(68)은 간격 영역(67)에 구비되므로, 이에 따르면, 제1 진공작용관(66)은 간격 영역(67)을 통해 제1 관부(63)에 진공압을 작용한다고 할 수 있을 것이다.
구체적으로, 도 42 및 도 43을 참조하면, 본 제3 그리드 픽커는 제1 관부(63)와 연통되고, 연통되는 제1 관부(63)의 Z축 방향 일측을 지나면서 간격 영역에서 평면 방향으로 연장 형성되는 기체 이동 관(68)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 기체 이동 관(65)은 복수의 제1관부(63)의 상측에 배치되는 터널 또는 반원 타입의 관 형태의 구조체일 수 있다. 도 43에는 자세히 도시되지 않았지만, 도 42과 도 43을 함께 참조하면, 기체 이동 관(68)은 복수 개의 제1진공작용관(66) 중 적어도 하나와 연통될 수 있다. 이에 따라, 제1 진공작용관(66)은 기체 이동 관(68)을 통해 제1 관부(63)에 대해 진공을 작용하거나 작용 해제할 수 있다. 여기서, 평면 방향이라 함은, X축 Y축이 이루는 면 내에서 발생할 수 있는 다양한 방향을 의미할 수 있는데, X축과 평행하는 방향, Y축과 평행하는 방향, X축 또는 Y축과 비스듬한 방향 등 다양한 방향을 의미할 수 있다. 예를 들어, 도 43을 참조하면, 기체 이동 관(68)은 X축 방향으로 연장되는 부분, X축 방향과 비스듬하며 Y축 방향과도 비스듬하게 연장되는 부분을 포함할 수 있다.
또한, 기체 이동 관(68)은 복수 개일 수 있다.
또한, 기체 이동 관(68)은 제1 진공작용관(66) 및 제1 진공작용관(66)과 직선상의 거리가 가장 가까운 제1 관부(63)를 연통시킬 수 있다.
또한, 도 42 및 도 43을 참조하면, 기체 이동 관(68)은 제1 진공작용관(66) 및 제1 진공작용관(66)과 직선상의 거리가 가장 가까운 제1 관부(63)를 연통시킬 수 있다.
또한, 도 43을 참조하면, 기체 이동 관(68)은, 2 개 이상의 제1 관부(63)의 Z축 방향 일측을 지나는 경우, 제1 관부(63) 및 제1 관부(63)와 대각선 방향으로 이웃하는 이웃 제1 관부(63)가 연통되게 제1 관부(63)와 이웃 제1 관부(63)의 Z축 방향 일측을 지나며 형성될 수 있다. 또한, 2개 이상의 제1 관부(63)를 지나는(연결하는) 기체 이동 관(68)의 2개 이상의 제1 관부(63)를 지나는 부분은 서로 동일한 방향으로 비스듬하게 연장 형성될 수 있다.
이에 따라, 도 43을 참조하면, 기체 이동 관(68)이 1 개의 제1 관부(63)와 연통되는 경우(다시 말해, 1 개의 제1 관부(63)의 Z축 방향 일측을 지나는 경우), 기체 이동 관(68)은 제1 진공 작용관(66)과 제1 진공 작용관(66)과의 직선상의 거리가 가장 가까운 제1 관부(63)를 연통시킬 수 있고, 제1 진공 작용관(66)과 제1 관부(63)가 연통되도록 X축과 나란하게 연장되는 부분을 포함할 수 있다.
또한, 기체 이동 관(68)이 2 개 이상의 제1 관부(63)와 연통되는 경우(다시 말해, 2 개 이상의 제1 관부(63)의 Z축 방향 일측을 지나는 경우), 기체 이동 관(68)은 제1 진공 작용관(66)과 제1 진공 작용관(66)과의 직선상의 거리가 가장 가까운 제1 관부(63)를 연통시킬 수 있고, 연통되는 제1 관부(63)와 대각선 방향으로 이웃하는 이웃 제1 관부(63)를 연통시킬 수 있다. 이러한 경우, 기체 이동 관(68)은 제1 진공 작용관(66)과 제1 진공 작용관(66)과의 직선상의 거리가 가장 가까운 제1 관부(63)를 연통되도록 X축과 나란하게 연장되는 부분 및 제1 관부(63)와 이웃 제1 관부(63)가 연통되도록 X축 및 Y축 에 대해 비스듬하게 사선으로 연장되는 부분을 포함할 수 있다.
또한, 도 43을 참조하면, 제2플레이트(62)의 X축 방향 일측에 구비되는 복수 개의 제1진공작용관(66) 중 일부 각각과 제2플레이트(62)의 X축 방향 타측에 구비되는 복수 개의 제1진공작용관(66) 중 일부 각각은 기체 이동 관(68) 각각에 의해 상호 연결될 수 있다. 다시 말해, 제2플레이트(62)의 X축 방향 일측에 구비되는 복수 개의 제1진공작용관(66)은 기체 이동 통로(68)와 일대일 대응하며 연결될 수 있는데, 기체 이동 관(68)의 연장 경로에 따라, 제2플레이트(62)의 X축 방향 일측에 구비되는 복수 개의 제1진공작용관(66) 중 일부는 그가 연결되는 기체 이동 관(68)에 의해 제2플레이트(62)의 X축 방향 타측에 구비되는 복수 개의 제1진공작용관(66) 중 일부와 일대일 대응하며 상호 연결될 수 있다
또한, 본 제3 그리드 픽커는 제1 플레이트(61)와 제2 플레이트(62)의 사이 중 적어도 일부에 구비되는 러버 플레이트를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1플레이트(61)와 제2플레이트(62)는 금속 소재로 형성될 수 있으며, 러버 플레이트는 금속 소재의 제1플레이트(61)와 제2플레이트(62)의 결합, 밀착의 정도를 향상시킬 수 있다.
상술한 본 제3 그리드 픽커는, 제1 진공작용관(66) 및 제2 진공작용관(65) 전체에 대해 진공을 작용하거나, 전체에 대한 진공 작용을 해제할 수 있다. 또한, 제1 진공작용관(66) 및 제2 진공작용관(65) 중 어느 하나에는 진공을 작용하고 나머지에는 진공 작용을 해제하는 선택적 진공 작용을 통해, 제1 관부(63) 및 제2 관부(64) 중 하나에는 진공이 작용되고 나머지에는 진공 작용이 해제되게 할 수 있다. 이에 따라, 본 제1 그리드 픽커는 제1 및 제2 진공작용관(66, 65)에 진공을 작용하여 n열×m행으로 패키지(P)를 흡착함으로써 픽업할 수 있고, 제1 및 제2 진공작용관(66, 65) 중 하나에는 진공 작용을 유지하고 다른 하나에는 진공 작용을 해제함으로써 그리드 테이블(5)에 n열×m행으로 배열되어 픽업되는 패키지(P) 중 서로 이웃하지 않는 패키지(P)들로 이루어지는 절반 정도의 패키지(P)를 제1 그리드 테이블(5)에 적재할 수 있으며, 이후, 다른 하나에 대한 진공 작용을 해제함으로써, 서로 이웃하지 않는 패키지(P)들로 이루어지는 나머지 절반을 제2 그리드 테이블(5)에 적재할 수 있다.
구체적으로, n열×m행으로 배열된 패키지(P)에 대한 픽업시, 본 제3 그리드 픽커는, 제1 진공작용관(66) 및 제2 진공작용관(65)에 진공을 작용할 수 있다. 이에 따르면 제1 진공작용관(66)을 통해 작용하는 진공은 기체 이동 관(68)을 통해 제1 관부(63)에 작용할 수 있고 제2 진공작용관(65)을 통해 작용하는 진공은 제2 관부(64)에 작용할 수 있다. 이러한 진공의 작용에 의해 제1 관부(63)를 통해 기체가 흡입되며 패키지(P)가 제1 관부(63)에 흡착될 수 있고, 흡입되는 기체는 기체 이동 관(68)을 통해 제1 진공작용관(66)으로 유입될 수 있다. 또한, 진공의 작용에 의해 제2 관부(64)를 통해 기체의 흡입이 이루어지며 패키지(P)가 제2 관부(64)에 흡착될 수 있고, 흡입되는 기체는 제2 진공작용관(65)으로 유입될 수 있다. 이에 따라, 제1 관부(63) 및 제2 관부(64)에 대해 패키지(P)의 흡착이 이루어져 본 제1 그리드 픽커는 n열×m행으로 배열된 패키지(P)를 픽업할 수 있다.
이후, 본 제3 그리드 픽커는 픽업한 n열×m행의 패키지(P)를 제1 그리드 테이블(5) 및 제2 그리드 테이블(5)이 나눠 적재할 수 있다. 구체적으로, 본 제1 그리드 픽커는 제1 및 제2 진공작용관(66, 65) 중 하나에는 진공 작용을 유지하고 다른 하나에는 진공 작용을 해제함으로써 그리드 테이블(5)에 n열×m행으로 배열되어 픽업되는 패키지(P) 중 서로 이웃하지 않는 패키지(P)들로 이루어지는 절반 정도의 패키지(P)를 제1 그리드 테이블(5)에 적재할 수 있다. 예를 들어, 본 제1 그리드 픽커는 제1 그리드 테이블(5)에서 제1 진공작용관(66)의 진공 작용을 해제할 수 있고, 이러한 경우, 제1 진공작용관(66)과 연통되는 기체 이동 관(68) 및 제1 관부(63) 의 기체 흡입이 중단되며 제1 관부(63) 에 흡착되어 있던 패키지(P)는 제1 관부(63)로부터 탈거되며 제1 그리드 테이블(5)에 적재될 수 있다. 상술한 바와 같이, 제1 관부(63)가 제2 관부(64)와 X축 및 Y축으로 교번하여 구비되는바, 제1 관부(63)로부터 탈거되며 제1 그리드 테이블(5)에 적재되는 패키지(P)는 n열×m행의 패키지(P) 중 서로 이웃하지 않는 패키지(P)로 이루어지는 그룹일 수 있다. 이어서, 본 제1 그리드 픽커는 제2 그리드 테이블(5)로 이동하여, 제2 진공작용관(65)의 진공 작용을 해제할 수 있고, 이러한 경우, 제2 진공작용관(65)과 연통되는 제2 관부(64) 의 기체 흡입이 중단되며 제2 관부(64) 에 흡착되어 있던 패키지(P)는 제2 관부(64)로부터 탈거되며 제2 그리드 테이블(5)에 적재될 수 있다. 상술한 바와 같이, 제2 관부(64)가 제1 관부(63)와 X축 및 Y축으로 교번하여 구비되는바, 제2 관부(64)로부터 탈거되며 제2 그리드 테이블(5)에 적재되는 패키지(P)는 n열×m행의 패키지(P) 중 상술한 제1 그리드 테이블(5)에 적재된 패키지(P)를 제외하고 남은 서로 이웃하지 않는 패키지로 이루어지는 그룹일 수 있다.
또한, 상술한 본 제3 그리드 픽커에 의하면, 제1 진공작용관(66) 및 제2 진공작용관(65)이 제2 플레이트를 Z축 방향으로 관통하며 형성되고, 제1 진공작용관(66)과 제1 관부(63)가 기체 이동 관(68)에 의해 연결될 수 있으므로, 별도의 진공관이 불필요하며, 진공 라인이 종래 대비 간명하게 구성될 수 있다.
이하에서는, 본 시스템의 또 다른 구현예에 따른 그리드 픽커(이하 '본 제4 그리드 픽커'라 함)에 대하여 설명한다.
참고로, 또한, 본 제4 그리드 픽커에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 상면, 하측, 하면, 행 방향, 열 방향 등)는 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들면, 도 46을 보았을 때 전반적으로 12시 방향이 상측, 전반적으로 12시 방향을 향하는 면이 상면, 전반적으로 6시 방향이 하측, 전반적으로 6시 방향을 향하는 면이 하면 등이 될 수 있다. 또한, 도 46 및 도 47을 보았을 때 전반적으로 3시-9 시 방향이 행 방향, 전반적으로 6시-12시 방향이 열 방향이 될 수 있다. 이에 따르면, 후술하는 행 그룹(6031a1 내지 31a6)은 전반적으로 3시-9시 방향으로 배열되는 흡착부(6031)와 여유 공간부(6032)로 이루어지는 그룹을 의미할 수 있고, 열 그룹(6031b)은 6시-12시 방향으로 배열되는 흡착부(6031)와 여유 공간부(6032)로 이루어지는 그룹을 의미할 수 있다.
도 45 및 도 46을 참조하면, 본 제4 그리드 픽커는 하부 플레이트(601)를 포함한다. 도 46을 참조하면, 하부 플레이트(601)에는 상하로 통공되는 복수 개의 제1 홀(6011)이 형성된다.
또한, 도 45 및 도 46을 참조하면, 본 제4 그리드 픽커는 상부 플레이트(602)를 포함한다. 상부 플레이트(602)는 하부 플레이트(601)의 상측에 위치한다. 또한, 상부 플레이트(602)에는 복수 개의 제1 홀(6011)과 대응되게 상하로 통공되는 복수 개의 제2 홀(6021)이 형성된다. 도 46을 참조하면, 제2 홀(6021)이 제1 홀(6011)과 대응되게 형성된다는 것은 복수 개의 제2 홀(6021) 각각의 중심이 복수 개의 제1 홀(6011) 각각의 중심과 대향하게 제2 홀(6021)이 제1 홀(6011) 상에 형성되는 것을 의미할 수 있다.
또한, 본 제4 그리드 픽커는 제2 홀(6021)을 통해 제1 홀(6011)에 진공압을 작용하는 진공부를 포함한다. 도면에는 자세히 도시되지 않았지만, 도 45 및 도 46을 참조하면, 진공부는 상부 플레이트(602)의 상측에 위치할 수 있다. 또한, 진공부는 진공 라인을 포함할 수 있다.
또한, 도 46을 참조하면, 본 제4 그리드 픽커는 하부 플레이트(601)의 하측에 위치하며, 제1 홀(6011)에 작용하는 진공압을 이용하여 패키지(P)를 흡착하는 복수의 흡착부(6031)를 포함하는 흡착 패드(6033)를 포함한다. 다시 말해, 흡착부(6031)는 하부 플레이트(601)의 하면 중 제1 홀(6011)에 흡착되는 패키지(P)가 접촉되는 부분에 구비될 수 있다. 흡착 패드(6033)는 러버(rubber)를 포함하는 재질로 이루어질 수 있다. 흡착 패드(6033)는 복수의 흡착부(6031)와 여유 공간부(6032)를 포함할 수 있다. 또한, 흡착부(6031)는 여유 공간부(6032)보다 하측으로 돌출되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 제1 홀(6011)에 대한 흡착 및 진공압 작용시, 여유 공간부(6032)보다 하측으로 돌출된 흡착부(6031)에 패키지(P)가 우선하여 접촉될 수 있다. 또한, 도 46 및 도 47을 참조하면, 복수 개의 흡착부(6031)는 여유 공간부(6032)를 사이에 두고 형성된다. 또한, 여유 공간부(6032)의 크기는 패키지(P)의 규격과 대응되고, 여유 공간부(6032)와 흡착부(6031)의 크기는 패키지(P)의 크기와 동일할 수 있다. 따라서, 본 제4 그리드 픽커의 흡착 패드(6033)의 크기, 개별 흡착부(6031) 간의 간격 등의 변경 없이도, 본 제4 그리드 픽커를 이용하여 패키지(P)가 절단되어 재치되어 있는 테이블(예를 들어, 건조 테이블)과 패키지(P)의 개별 검사를 위한 테이블(예를 들어, 그리드 테이블) 간에 패키지(P)를 이송할 수 있다.
또한, 도 47을 참조하면, 복수 개의 흡착부(6031) 및 복수 개의 여유 공간부(6032)는 복수 개의 행 그룹(6031a1 내지 31a6) 및 복수 개의 열 그룹(6031b)을 포함할 수 있다.
행 그룹(6031a1 내지 31a6)의 개수는 테이블 상에서 복수 개의 패키지(P)가 배열 배치되는 패키지(P) 배열의 행 개수보다 적어도 하나 더 많을 수 있다. 예를 들어, 패키지(P) 배열의 행 개수가 5 개인 경우, 도 47을 참조하면, 행 그룹(6031a1 내지 31a6)의 개수는 6 개일 수 있다. 상기 테이블은 패키지(P)가 절단되어 재치되어 있는 테이블, 예를 들어, 건조 테이블 등을 포함할 수 있다.
또한, 열 그룹(6031b)의 개수는 패키지 배열의 열 개수와 대응될 수 있다. 예를 들어, 패키지 배열의 열 개수가 16 개인 경우, 도 47을 참조하면, 열 그룹(6031b)의 개수는 16개일 수 있다.
상술한 바에 따르면, 본 제4 그리드 픽커는, 복수 개의 행 그룹(6031a1 내지 31a6) 중 첫 번째 행 그룹(6031a1)이 패키지 배열의 첫 번째 행에 대응하게 하여 패키지(P) 중 일부를 픽(pick)하여 플레이싱(placing)할 수 있다. 여기서 첫 번째 행 그룹(6031a1)이 패키지 배열의 첫 번째 행에 대응하게 한다는 것은, 첫 번째 행 그룹(6031a1)의 첫번째(행 그룹(6031a1)의 흡착부(6031) 및 여유 공간부(6032) 중 가장 좌측(603시 방향)에 위치하는 것)가 패키지 배열의 첫번째 행의 첫번째 패키지(P)의 상측에 위치하도록 본 제4 그리드 픽커가 패키지 배열의 상측에 위치하는 것을 의미할 수 있다. 이에 따르면 본 제4 그리드 픽커는, 첫번째 행 그룹(6031a1)이 패키지 배열의 첫 번째 행에 대응하고 두번째 행 그룹(6031a2)이 패키지 배열의 두번째 행에 대응하며, 세번째 행 그룹(6031a3)이 패키지 배열의 세번째 행에 대응하고, 네번째 행 그룹(6031a4)이 패키지 배열의 네번째 행에 대응하며, 다섯번째 행 그룹(6031a5)이 패키지 배열의 다섯번째 행(마지막 행)에 대응하는 위치를 가질 수 있으며, 이러한 위치에서 본 제4 그리드 픽커가 패키지(P)를 향하는 방향(예를 들어 하측 방향)으로 하강 이동하면 흡착부(6031)가 복수 개의 패키지(P) 일부 중에 접촉되고, 나머지 패키지(P)의 상측에는 여유 공간부(6032)가 위치할 수 있다. 이후, 제1 홀(6011)에 진공압이 작용되면 흡착부(6031)와 접촉된 상기 일부 패키지(P)가 흡착(픽)될 수 있고(601차 픽), 상기 나머지 패키지(P)(여유 공간부(6032)에 대응하는 패키지)는 흡착되지 않고 테이블 상에 그대로 위치할 수 있으며, 본 제4 그리드 픽커는 그에 흡착된 상기 일부 패키지(P)를 검사 테이블(이하 '준비 위치 테이블'이라함)(608)(도 44 참조)의 제1 안착 영역(6081) 또는 제2 안착 영역(6082)에 플레이싱할 수 있다(1차 플레이싱). 참고로, 제1 안착 영역(6081)은 상술한 제1 그리드 테이블(5)을 포함할 수 있고, 제2 안착 영역(6082)는 상술한 제2 그리드 테이블(5)을 포함할 수 있다. 또한, 이와 같은 1차 픽&플레이싱 과정에서 첫번째 행 그룹(6031a1)이 패키지 배열의 첫번째 행의 일부 패키지(P)를 이송시키고, 두번째 행 그룹(6031a2)이 패키지 배열의 두번째 행의 일부 패키지(P)를 이송시키며, 세번째 행 그룹(6031a3)이 패키지 배열의 세번째 행의 일부 패키지(P)를 이송시키고, 네번째 행 그룹(6031a4)이 패키지 배열의 네번째 행의 일부 패키지(P)를 이송시키며, 다섯번째 행 그룹(6031a5)이 패키지 배열의 다섯번째 행(마지막 행)의 나머지 패키지(P)를 이송시킬 수 있을 것이다. 즉, 본 제4 그리드 픽커의 행 그룹(6031a1 내지 31a6) 의 개수는 패키지(P)의 배열 행 개수보다 하나 더 많으므로 1차 픽&플레이싱 과정에서 첫번째 행 그룹(6031a1) 내지 다섯번째 행 그룹(6031a5)은 사용 상태일 수 있고, 마지막 행 그룹(6031a6)은 패키지(P)를 흡착하지 않는 미 사용 상태일 것이다. 또한, 도 47에 도시된 본 제4 그리드 픽커의 첫번째 행 그룹(6031a1)의 첫번째는 여유 공간부(6032)이므로, 본 제4 그리드 픽커의 상기 일부 패키지(P)의 픽시 패키지 배열의 첫번째 행의 첫번째는 픽되지 않을 수 있고, 따라서, 본 제4 그리드 픽커의 상기 일부 패키지(P)의 검사 테이블(5)에 대한 플레이싱은 제1 및 제2 안착 영역(6081, 6082) 중 첫번째 행의 첫번째에 안착부(6084)가 형성되지 않은 제1 안착 영역(6081)에 대해 이루어질 수 있다.
또한, 본 제4 그리드 픽커는 복수 개의 행 그룹(6031a1 내지 31a6) 중 마지막 행 그룹(6031a6)이 패키지 배열의 마지막 행에 대응하게 하여 복수 개의 패키지(P) 중 나머지를 픽하여 플레이싱할 수 있다. 여기서 마지막 행 그룹(6031a6)이 패키지 배열의 마지막 행에 대응하게 한다는 것은, 마지막 행 그룹(6031a6)의 첫번째(마지막 행 그룹(6031a6)의 흡착부(6031) 및 여유 공간부(6032) 중 가장 좌측(603시 방향)에 위치하는 것)가 패키지 배열의 마지막 행의 첫번째의 패키지(P)의 상측에 위치하도록 본 제4 그리드 픽커가 패키지 배열의 상측에 위치하는 것을 의미할 수 있다. 이에 따르면, 본 제4 그리드 픽커는, 마지막 행 그룹(6031a6)이 패키지 배열의 마지막 행에 대응하고, 다섯번째 행 그룹(6031a5)이 패키지 배열의 네번째 행에 대응하며, 네번째 행 그룹(6031a4)이 패키지 배열의 세번째 행에 대응하고, 세번째 행 그룹(6031a3)이 패키지 배열의 두번째 행에 대응하며, 두번째 행 그룹(6031a2)이 패키지 배열의 첫번째 행에 대응하는 위치를 가질 수 있으며, 이러한 위치에서 본 제4 그리드 픽커가 패키지(P)를 향하는 방향(예를 들어 하측 방향)으로 하강 이동하면 흡착부(6031)가 복수 개의 패키지(P) 일부 중에 접촉되고, 상술한 1착 픽 이후에 검사 테이블(5)에 남아 있던 나머지 패키지(P)의 상측에는 흡착부(6031)가 위치할 수 있다. 이후, 제1 홀(6011)에 진공압이 작용되면 흡착부(6031)와 접촉된 상기 나머지 패키지(P)가 흡착(픽)될 수 있고(602차 픽), 본 제4 그리드 픽커는 그에 흡착된 상기 나머지 패키지(P)를 검사 테이블(5)(도 44 참조)의 제1 안착 영역(6081) 또는 제2 안착 영역(6082)에 플레이싱할 수 있다(602차 플레이싱).
2차 픽&플레이싱 과정에서는 마지막 행 그룹(6031a6)이 패키지 배열의 다섯번째 행(마지막 행)의 나머지 패키지(P)를 이송시키고, 다섯번째 행 그룹(6031a5)이 패키지 배열의 네번째 행의 나머지 패키지(P)를 이송시키며, 네번째 행 그룹(6031a4)이 패키지 배열의 세번째 행의 나머지 패키지(P)를 이송시키고, 세번째 행 그룹(6031a3)이 패키지 배열의 두번째 행의 나머지 패키지(P)를 이송시키며, 두번째 행 그룹(6031a2)이 패키지 배열의 첫번째 행의 나머지 패키지(P)를 이송시킬 수 있다. 이에 따라, 2차 픽&플레이싱 과정에서는 두번째 행 그룹(6031a2) 내지 마지막 행 그룹(6031a6)은 사용 상태일 수 있고, 첫번째 행 그룹(6031a1)은 패키지(P)를 흡착하지 않는 미사용 상태일 것이다. 또한, 도 47에 도시된 본 제4 그리드 픽커의 마지막 행 그룹(6031a6)의 첫번째는 흡착부(6031)이므로, 본 제4 그리드 픽커의 마지막 행 그룹(6031a6)의 첫번째에는 패키지(P)가 픽되어 있을 수 있고, 따라서, 본 제4 그리드 픽커의 상기 일부 패키지(P)의 검사 테이블(5)에 대한 플레이싱은 제1 및 제2 안착 영역(6081, 6082) 중 마지막 행의 첫번째에 안착부(6084)가 형성된 제2 안착 영역(6082)에 대해 이루어질 수 있다. 이와 같이, 본 흡착 이송 장치는 1차 및 2차로 나누어 패키지(P)를 이동시킬 수 있다. 즉, 1차 픽에 의해 흡착되는 패키지와 2차 픽에 의해 흡착되는 반도체 패키기는 서로 이웃한 상태로 테이블에 재치되어 있으며, 1차 픽과 2차 픽에 의해 지그재그 형태로 픽&플레이싱될 수 있다.
종래에는 이송 장치의 흡착패드에는 여유 공간부가 없이 흡착부가 형성되어 있었으며, 복수 개의 흡착부 모두를 이용하여 패키지(P)를 흡착한 후 흡착부의 일부에는 진공 작용을 유지하며 나머지에는 진공 작용을 해제하면서 패키지(P)를 플레이싱함으로써, 흡착부 각각에 대한 진공 작용 유무를 선택적으로 조절하기 위해 진공 라인이 복잡하게 구비되어야 하고 진공 조작 구동 과정이 복잡했다. 반면에, 본 제4 그리드 픽커는 제1 홀(6011) 전체에 대해 진공을 작용하고 제1 홀(6011) 전체에 대해 진공 작용을 해제하면서도 패키지(P)를 검사 테이블(5)의 제1 안착 영역(91) 및 제2 안착 영역(6082) 각각에 나눠 배치시킬 수 있으므로, 진공 라인이 간명하게 설비될 수 있고, 진공 조작 구동 과정이 간명해질 수 있다.
또한, 도 47 내지 도 50을 참조하면, 본 제4 그리드 픽커는 핀(604)을 포함할 수 있다. 도 47을 참조하면, 핀(604)은 첫 번째 행 그룹(6031a1) 및 마지막 행 그룹(6031a6) 내의 제1 홀(6011)에 배치될 수 있다. 도 48 및 도 49를 참조하면, 핀(604)은 제1 홀(6011)에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 삽입 배치될 수 있다.
핀(604)은, 진공압이 작용하면서 첫 번째 행 그룹(6031a1) 또는 마지막 행 그룹(6031a6) 내의 제1 홀(6011)이 미사용될 때, 사용되고 있는 나머지 다른 제1 홀(6011)에 대한 진공압이 저하되는 것을 감소시킬 수 있다. 상술한 바에 따르면, 첫번째 행 그룹(6031a1) 및 마지막 행 그룹(6031a6)은 서로 교번하여 선택적으로 사용되거나 미사용될 수 있다. 다시 말해, 첫번째 행 그룹(6031a1) 및 마지막 행 그룹(6031a6) 중 어느 하나가 사용되는 상태일 때 다른 하나는 미사용 상태일 수 있다. 이에 따르면, 복수 개의 제1 홀(6011) 중 일부(첫번째 행 그룹(6031a1) 또는 마지막 행 그룹(6031a6)의 제1 홀(6011))는 미사용 상태를 가질 수 있고, 진공 압의 작용시 미사용 제1 홀(6011)은 폐쇄되지 않은 상태(예를 들어, 미사용 상태에 따라 패키지(P)의 흡착이 이루어지지 않아 폐쇄되지 않은 상태)를 가지므로, 외부 기체가 미사용 제1 홀(6011)로 계속 흡입되어 미사용 제1 홀(6011)에 대한 진공압 작용량이 커져 사용 상태의 제1 홀(6011)에 대한 진공압을 저하시키거나, 미사용 제1홀(6011)을 통해 공기가 유통됨으로써, 나머지 사용중인 제1홀(6011)에 작용하는 진공합을 저하시킬 수 있다. 그러나, 본 제4 그리드 픽커에 따르면, 미사용 상태의 제1 홀(6011)에 삽입되어 있는 핀(604)의 작용으로 인해 이러한 미사용 상태의 제1 홀(6011)로 인한 사용 상태의 제1 홀(6011)의 진공압 저하가 줄어들 수 있다.
구체적으로, 도 48 및 도 49를 참조하면, 핀(604)은 상부 핀부(6041) 및 상부 핀부(6041)로부터 하측 방향으로 연장 형성되되, 그(하부 핀부(6042))와 상부 핀부(6041) 사이에 단턱(6043)이 형성되도록 상부 핀부(6041)보다 작은 직경을 갖는 하부 핀부(6042)를 포함할 수 있다.
또한, 도 48 및 도 49를 참조하면, 제1 홀(6011)은 상부 핀부(6041)를 감싸되 핀(604)의 상하 방향으로의 이동이 가능하도록, 상부 핀부(6041)의 길이보다 더 큰 길이를 갖는 상부 홀(60111)을 포함할 수 있다.
또한, 제1 홀(6011)은 하부 핀부(6042)를 감싸되 그(하부 홀(60112))와 상부 홀(60111) 사이에 단턱(6043)의 접촉이 가능한 지지턱(60113)이 형성되도록 상부 홀(60111)보다 작은 직경을 갖는 하부 홀(60112)을 포함할 수 있다.
이에 따르면, 제1 홀(6011)에 대한 진공압이 작용되면, 핀(604)은 상부 핀부(6041)가 상부 홀(60111)의 최상측에 위치하도록 상측 방향으로 이동될 수 있고, 제1 홀(6011)에 대한 진공압의 작용이 해제되면 단턱(6043)이 지지턱(60113)에 접촉되도록 하측 방향으로 이동될 수 있다.
상부 핀부(6041)의 직경은 제2 홀(6021(특히, 제2 홀(6021)의 하단))의 내경보다 클 수 있다. 이에 따라, 진공압이 작용되면, 핀(604)이 최상측으로 이동하여 제2 홀(6021)을 덮을 수 있다.
즉, 첫 번째 행 그룹(6031a1) 또는 마지막 행 그룹(6031a6) 내의 제1 홀(6011)에는 핀(604)이 구비될 수 있고, 진공압의 작용시 핀(604)이 상측 방향으로 이동되어 제2 홀(6021)을 덮을 수 있으므로, 진공압의 작용시 첫 번째 행 그룹(6031a1) 또는 마지막 행 그룹(6031a6) 중 미사용 상태의 행 그룹 내의 제1 홀(6011)에 작용하는 진공압의 누수(leak)가 핀(604)이 구비되지 않는 경우 대비 작아질 수 있고 이에 따라, 사용 상태의 제1 홀(6011)에 대한 진공압 저하가 줄어들 수 있다.
또한, 첫 번째 행 그룹(6031a1) 또는 마지막 행 그룹(6031a6) 내의 제1 홀(6011)에 핀(604)이 구비되더라도, 사용 상태의 첫 번째 행 그룹(6031a1) 또는 마지막 행 그룹(6031a6) 내의 제1 홀(6011)은 사용 상태시에 패키지(P)를 흡착할 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 첫 번째 행 그룹(6031a1) 또는 마지막 행 그룹(6031a6) 내의 제1 홀(6011)에 핀(604)이 구비됨으로써, 패키지(P)를 흡착하는 사용 상태의 첫 번째 행 그룹(6031a1) 또는 마지막 행 그룹(6031a6) 내의 제1 홀(6011)을 이용하여 패키지(P)를 흡착할 수 있음과 동시에 첫 번째 행 그룹(6031a1) 또는 마지막 행 그룹(6031a6) 중 미사용 상태의 행 그룹 내의 제1 홀(6011)에 작용하는 진공압의 누수(leak)를 최소화하여 사용 상태의 나머지 제1 홀(6011)에 대한 진공압 저하를 최소화할 수 있다.
구체적으로, 첫번째 행 그룹(6031a1) 또는 마지막 행 그룹(6031a6) 내의 제1 홀(6011)에 대한 진공압은 핀(604)의 외면과 제1 홀(6011)의 내면 사이의 유로를 통해 작용할 수 있다. 또한, 상부 홀(60111)의 내경은 상부 핀부(6041)의 직경보다 클 수 있다. 이에 따라, 첫번째 행 그룹(6031a1) 또는 마지막 행 그룹(6031a6) 내의 제1 홀(6011)의 내면과 핀(604)의 외면 사이에 진공압의 흐름이 가능한 유로가 형성될 수 있다.
또한, 도 50을 참조하면, 상부 핀부(6041)의 상면에는 적어도 일부가 하측 방향으로 함몰되어 외측 방향으로 연장되는 함몰부(6045)가 형성될 수 있다. 이에 따라, 핀(604)이 제1 홀(6011) 내에서 최상측으로 이동되어 제2 홀(6021)을 막더라도, 제2 홀(6021)로부터 작용하는 진공압은 함몰부(6045) 및 제1 홀(6011)의 내면과 핀(604)의 외면 사이의 유로를 통해 작용됨으로써 제1 홀(6011)에 대해 작용할 수 있다. 이를 위해, 함몰부(6045)의 적어도 일부는 제2 홀(6021)과 대향함이 바람직하다.
즉, 본 제4 그리드 픽커는 이송 장치 전체에 포함되어 있는 제1 홀(6011) 전체에 대해 진공을 작용하고 제1 홀(6011) 전체에 대해 진공 작용을 해제하면서도 패키지(P)를 검사 테이블(5)의 제1 안착 영역(6081) 및 제2 안착 영역(6082) 각각에 나눠 배치시킬 수 있고, 이 과정에서 미사용 상태의 제1 홀(6011)에 의해 사용 상태의 제1 홀(6011)의 진공압이 저하되는 것이 방지되도록, 진공압 작용시 상측 방향으로 이동되어 제2 홀(6021)의 하면을 덮어 제1 홀(6011)에 작용하는 진공압의 누수를 줄이는 핀(604)을 첫번째 및 마지막 행 그룹(6031a1, 31a6)의 제1 홀(6011)에 구비할 수 있다. 또한, 첫번째 및 마지막 행 그룹(6031a1, 31a6)의 제1 홀(6011)에 핀(604)이 구비되더라도 사용 상태시에 패키지(P)를 흡착할 수 있도록, 핀(604)의 직경을 제1홀(6011)의 직경보다 작게 형성하고, 핀(604)의 상면에 함몰부(6045)를 형성하여 제2 홀(6021)을 통해 작용하는 진공압이 제1 홀(6021) 내의 유로를 통해 작용하게 할 수 있다. 이에 따르면, 진공 라인이 단순하게 설비될 수 있고, 진공 조작 구동 과정이 간명해지는 흡착 이송 장치가 구현될 수 있고, 미사용 상태 또는 사용 상태를 갖는 첫번째 및 마지막 행 그룹(6031a1, 31a6)의 제1 홀(6011)에 최적화된 구조가 구현될 수 있다.
패키지(P)를 커팅하는 장치는, 복수개의 패키지(P)들이 형성된 스트립에서 개별 패키지(P)로 절단하는 절단공정, 절단공정에서 절단된 패키지(P)를 세척하는 세척공정, 세척공정에서 세척된 패키지(P)를 건조하는 건조공정, 건조가 완료된 패키지(P)의 불량 여부를 검사하는 패키지(P) 검사공정 및 검사 결과에 따라 불량 여부 검사를 통과한 패키지(P)와 통과하지 못한 패키지(P)를 분류하는 오프로드 공정 등을 순차적으로 수행하여 반도체 자재에서 검사 완료된 개별 패키지(P)를 제조할 수 있다. 본 흡착 이송 장치는 이러한 패키지(P)를 커팅하는 장치에 적용되어 패키지(P)를 이송시키는데 사용될 수 있으며, 특히, 패키지 제조 장치에서 건조공정을 마친 개별 절단된 패키지(P) 복수개를 검사 테이블(5)에 안착시키는데 사용될 수 있다.
또한, 본 제1 내지 제3 그리드 픽커는 다양한 형태로 조합될 수 있다.
또한, 이하에서는 브러쉬 장치(7)에 대해 설명한다.
본원의 브러쉬 장치에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 하측, 전방, 후방 등)는 도 51 내지 도 56에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들면, 도 51을 보았을 때 전반적으로 12시 방향이 상측, 전반적으로 6시 방향이 하측, 전반적으로 4시 방향이 전방, 전반적으로 10시 방향이 후방 등이 될 수 있다.
브러쉬 장치(7)는 패키지 절단 및 검사 장치에 적용 가능하다. 예를 들어, 브러쉬 장치(7)는 패키지(P)가 검사 장치로 이송되기 전, 예를 들어, 세척공정 이후의 건조공정과 검사 공정 사이에 브러쉬 장치(7)에 의해 브러쉬질 될 수 있도록 구비될 수 있다.
도 51을 참조하면, 브러쉬 장치(7)는 평면 브러쉬 구조체(71) 및 롤 브러쉬 구조체(72)를 포함한다. 도 52 및 도 53을 참조하면, 평면 브러쉬 구조체(71)는 베이스부(712) 및 베이스부(712)로부터 상측으로 돌출되어 베이스부(712)의 길이 방향 및 폭 방향을 따라 배치되는 복수의 브러쉬 유닛(711)을 포함할 수 있다. 후술하겠지만, 평면 브러쉬 구조체(71)의 브러쉬 유닛(711)은 패키지(P)와 접촉하여 패키지(P)를 브러쉬질할 수 있다. 따라서, 평면 브러쉬 구조체(71)의 브러쉬 유닛(711)은 패키지(P)에 대한 브러쉬질 시 패키지(P)를 손상시키지 않는 재질일 수 있다.
또한, 도 53을 참조하면, 롤 브러쉬 구조체(72)는 평면 브러쉬 구조체(71)의 후방에 구비될 수 있으며, 길이 방향이 베이스부(712)의 길이 방향과 평행하도록 배치되는 축부(721) 및 축부(721)의 둘레를 따라 나선 형태로 연장 구비되는 브러쉬 유닛(722)을 포함할 수 있다. 롤 브러쉬 구조체(72)의 브러쉬 유닛(722)은 축부(721)를 중심으로 회전하면서 패키지(P)를 브러쉬질할 수 있다. 따라서, 롤 브러쉬 구조체(72)의 브러쉬 유닛(722)은 패키지(P)에 대한 브러쉬질 시 패키지(P)를 손상시키지 않는 재질일 수 있다.
또한, 도 54를 참조하면, 본 시스템에 의하면, 후술할 패키지 픽커 모듈(8)의 픽커(81)는 그리드 테이블(5)에 안착된 패키지(P)를 파지하여 브러쉬 장치(7)의 상부로 이동시킬 수 있다. 상술한 바와 같이, 브러쉬 장치(7)는 건조 공정과 검사 공정 사이에 패키지(P)가 브러쉬질되도록 사용될 수 있다. 따라서, 픽커(81)가 파지하는 패키지(P)는 건조 공정 이후에 검사 공정을 위한 검사 장치로 이송되는 패키지(P)일 수 있다.
또한, 픽커(81)는 파지한 패키지(P)(패키지(P)의 하면의 적어도 일부를 포함하는 부분)를 평면 브러쉬 구조체(71) 및 롤 브러쉬 구조체(72) 중 하나 이상에 접촉시킨다. 다시 말해, 픽커(81)는 건조가 완료된 패키지(P)를 파지(흡착)한 후 평면 브러쉬 구조체(71) 및 롤 브러쉬 구조체(72)의 상부로 이동하여 평면 브러쉬 구조체(71) 및 롤 브러쉬 구조체(72) 중 하나 이상에 일정 시간 접촉시킬 수 있다. 참고로, 픽커(81)가 파지한 패키지(P)의 평면 브러쉬 구조체(71)에 대한 접촉은 패키지(P)와 평면 브러쉬 구조체(71)의 브러쉬 유닛(711)의 접촉을 의미할 수 있다. 또한, 픽커(81)가 파지한 패키지(P)의 롤 브러쉬 구조체(72)에 대한 접촉은 패키지(P)와 롤 브러쉬 구조체(72)의 브러쉬 유닛(722)의 접촉을 의미할 수 있다.
또한, 픽커(81)는 패키지(P)를 파지하여 평면 브러쉬 구조체(71)의 브러쉬 유닛(711)에 일정 시간 접촉시킨 후 후술할 정렬부(70)로 이동시킬 수 있다. 또는, 픽커(81)는 패키지(P)를 파지하여 롤 브러쉬 구조체(72)의 브러쉬 유닛(722)에 일정 시간 접촉시킨 후 후술할 정렬부(70)로 이동시킬 수 있다. 또는, 픽커(81)는 패키지(P)를 파지하여 평면 브러쉬 구조체(71)의 브러쉬 유닛(711)에 일정 시간 접촉시킨 후 롤 브러쉬 구조체(72)의 브러쉬 유닛(722)에 일정 시간 접촉시켜(또는 롤 브러쉬 구조체(72)의 브러쉬 유닛(722)에 일정 시간 접촉 시킨 후 평면 브러쉬 구조체(71)의 브러쉬 유닛(711)에 일정 시간 접촉시켜) 후술할 정렬부(70)로 이동시킬 수 있다.
평면 브러쉬 구조체(71) 및 롤 브러쉬 구조체(72) 각각은 반도에 패키지가 접촉되면 소정 시간 진동한다. 평면 브러쉬 구조체(71) 및 롤 브러쉬 구조체(72) 각각은 패키지(P)에 접촉된 상태로 진동함으로써, 패키지(P) 표면 상의 버(burr) 등과 같은 이물질을 제거할 수 있다. 따라서, 여기서 소정 시간이라 함은 패키지(P) 표면 상의 이물질이 평면 브러쉬 구조체(71) 및 롤 브러쉬 구조체(72) 각각에 의해 제거될 수 있도록 사용자가 설정한 시간을 의미할 수 있다. 평면 브러쉬 구조체(71) 및 롤 브러쉬 구조체(72) 각각은 패키지(P)가 접촉되면 소정 시간 진동할 수 있으므로, 소정 시간은 픽커(81)가 패키지(P)를 브러쉬부에 접촉시키는 일정 시간 이하로 설정될 수 있다.
예를 들면, 평면 브러쉬 구조체(71)는 길이 방향(베이스부(712)의 길이 방향)으로 진동을 할 수 있다. 도 53을 참조하면, 브러쉬 장치(7)는 베이스부(712)를 길이 방향으로 진동시키는 제1 선형 구동 유닛(713)을 포함할 수 있다. 제1 선형 구동 유닛(713)은 베이스부(712)와 연결되는 제1 선형 구동 가이드(7132), 제1 선형 구동 가이드(7132)가 베이스부(712)의 길이 방향으로 이동 될 수 있게 하는 제1 가이드 레일(7131)을 포함할 수 있다. 제1 가이드 레일(7131)은 베이스부(712)의 길이 방향과 평행한 방향으로 연장 구비될 수 있고, 제1 선형 구동 가이드(7132)는 제1 가이드 레일(7131) 상에서 왕복 이동할 수 있다. 이에 따라, 베이스부(712)는 그의 길이 방향으로 왕복 이동하며 그의 길이 방향으로 진동할 수 있고, 브러쉬 유닛(711)은 베이스부(712)의 길이 방향으로 왕복 이동되며 진동할 수 있다. 이와 같이, 패키지(P)가 접촉된 상태일 때 평면 브러쉬 구조체(71)가 베이스부(712)의 길이 방향으로 진동함으로써 브러쉬 유닛(711)의 상측에서 파지되어 있는 패키지(P)의 하면 또는 측면 상의 이물질이 제거될 수 있다.
참고로, 도 53을 참조하면, 제1 선형 구동 가이드(7132)는 보조 플레이트(7133)에 의해 베이스부(712)와 연결될 수 있다. 다시 말해, 베이스부(712)의 하부와 보조 플레이트(7133)가 연결되고, 보조 플레이트(7133)의 하부가 제1 선형 구동 가이드(7132)와 연결되는 형태로, 제1 선형 구동 가이드(7132)는 베이스부(712)와 연결될 수 있다. 또는, 다른 예로서, 제1 선형 구동 가이드(7132)는 베이스부(712)와 직접 연결될 수도 있다. 또한, 제1 선형 구동 가이드(7132) 및 제1 가이드 레일(7131)은 쌍을 이룰 수 있는데, 도 53을 참조하면, 이러한 쌍은 베이스부(712)의 길이 방향으로 복수 개 구비될 수 있다. 예시적으로, 제1 선형 구동 가이드(7132) 및 제1 가이드 레일(7131)로 이루어진 쌍 2 개가 간격을 두고 구비될 수 있다.
또한, 픽커(81)는, 평면 브러쉬 구조체(71)가 상술한 바와 같이 길이 방향으로 진동하는 경우, 평면 브러쉬 구조체(71)에 접촉된 상태인 파지한 패키지(P)가 폭 방향(베이스부(712)의 폭 방향)으로 진동되도록 폭 방향으로 진동할 수 있다. 다시 말해, 패키지(P)는 평면 브러쉬 구조체(71)에 접촉된 상태에서, 평면 브러쉬 구조체(71)가 길이 방향으로 진동할 때 길이 방향과 수직하는 폭 방향으로 진동할 수 있다. 이와 같이, 평면 브러쉬 구조체(71)의 길이 방향으로의 진동에 따라 패키지(P)의 표면 상의 이물질이 제거되는 상황에서 패키지(P) 또한 픽커(81)에 의해 길이 방향과 수직하는 폭 방향으로 평면 브러쉬 구조체(71)에 대해 진동할 수 있으므로, 패키지(P) 표면 상의 이물질 제거 효과가 향상될 수 있다.
또한, 평면 브러쉬 구조체(71)는 폭 방향(베이스부(712)의 폭 방향)으로 진동 할 수 있다. 도 53을 참조하면, 브러쉬 장치(7)는 베이스부(712)를 베이스부(712)의 폭 방향으로 진동시키는 제2 선형 구동 유닛(714)을 포함할 수 있다. 제2 선형 구동 유닛(714)은 베이스부(712)와 연결되는 제2 선형 구동 가이드(7142) 및 제2 선형 구동 가이드(7142)가 베이스부(712)의 폭 방향으로 이동 가능하게 하는 제2 가이드 레일(7141)을 포함할 수 있다. 제2 가이드 레일(7141)은 베이스부(712)의 폭 방향과 평행한 방향으로 연장 구비될 수 있고, 제2 선형 구동 가이드(7142)는 제2 가이드 레일(7141) 상에서 왕복 이동할 수 있다. 이에 따라, 베이스부(712)는 그의 길이 방향으로 왕복 이동하며 그의 폭 방향으로 진동할 수 있고, 브러쉬 유닛(711)은 베이스부(712)의 폭 방향으로 왕복 이동되며 진동할 수 있다. 이와 같이, 패키지(P)가 접촉된 상태일 때 평면 브러쉬 구조체(71)가 베이스부(712)의 폭 방향으로 진동함으로써 패키지(P) 상의 이물질이 제거될 수 있다.
참고로, 제2 선형 구동 유닛(714)은 제1 선형 구동 유닛(713)의 하측에 구비될 수 있다. 예를 들어, 제2 선형 구동 유닛(714)의 제2 선형 구동 가이드(7142)는 제1 가이드 레일(7131)이 구비된 플레이트(7143)의 하부와 연결될 수 있다. 이에 따르면, 상술한 바와 같이, 제1 선형 구동 유닛(713)이 보조 플레이트(7133)를 통해 베이스부(712)와 연결되고, 제2 선형 구동 유닛(714)이 플레이트(7143)를 통해 제1 선형 구동 유닛(713)과 연결되는 형태로, 제2 선형 구동 가이드(7142)는 베이스부(712)와 연결될 수 있다. 이러한 경우, 제2 선형 구동 가이드(7142)가 제2 가이드 레일(7141) 상에서 이동하면, 제2 선형 구동 가이드(7142)와 플레이트(7143)를 통해 연결되는 제1 선형 구동 유닛(713) 및 제1 선형 구동 유닛(713)과 연결되는 베이스부(712)가 함께 이동 될 수 있고, 따라서, 제2 선형 구동 유닛(714)에 의한 폭 방향 왕복시 제1 선형 구동 유닛(713) 및 평면 브러쉬 구조체(71)가 함께 폭 방향으로 이동될 수 있다.
또한, 도 53을 참조하면, 제2 선형 구동 가이드(7142) 및 제2 가이드 레일(7141)은 쌍을 이룰 수 있는데, 이러한 쌍은 베이스부(712)의 길이 방향으로 복수 개 구비될 수 있다. 예시적으로, 제2 선형 구동 가이드(7142) 및 제2 가이드 레일(7141)로 이루어진 쌍 2 개가 간격을 두고 구비될 수 있다.
또한, 도면에는 자세히 도시되지 않았지만, 제1 선형 구동 유닛(713)은 제1 선형 구동 가이드(7132)의 선형 이동의 동력을 제공하는 모터를 포함할 수 있다. 또한, 제2 선형 구동 유닛(714)은 제2 선형 구동 가이드(7142)의 선형 이동의 동력을 제공하는 모터를 포함할 수 있다. 또한, 다른 실시예에 따르면, 제1선형구동 유닛(713)과 제2선형 구동 유닛(714)에 이동 동력을 공통으로 제공하는 모터가 포함될 수 있다. 이와 같이, 제1 선형 구동 가이드(7132) 및 제2 선형 구동 가이드(7142) 각각은 모터로부터 동력을 공급받아 선형 이동할 수 있다.
또한, 픽커(81)는, 평면 브러쉬 구조체(71)가 상술한 바와 같이 폭 방향으로 진동하는 경우, 평면 브러쉬 구조체(71)에 접촉된 상태인 파지한 패키지(P)가 길이 방향(베이스부(712)의 길이 방향)으로 진동되도록 길이 방향으로 진동할 수 있다. 다시 말해, 패키지(P)는 평면 브러쉬 구조체(71)에 접촉된 상태에서, 평면 브러쉬 구조체(71)가 폭 방향으로 진동할 때 폭 방향과 수직하는 길이 방향으로 진동할 수 있다. 이와 같이, 평면 브러쉬 구조체(71)의 폭 방향으로의 진동에 따라 패키지(P)의 표면 상의 이물질이 제거되는 상황에서 패키지(P) 또한 픽커(81)에 의해 폭 방향과 수직하는 길이 방향으로 평면 브러쉬 구조체(71)에 대해 진동할 수 있으므로, 패키지(P) 표면 상의 이물질 제거 효과가 향상될 수 있다.
또한, 평면 브러쉬 구조체(71)는 상하 방향으로의 축의 둘레 방향으로 회전할 수 있다. 도 53을 참조하면, 브러쉬 장치(7)는 베이스부(712)를 상하 방향으로의 축의 둘레 방향으로 회전시키는 회전 유닛(715)을 포함할 수 있다.
예시적으로, 회전 유닛(715)은 모터로부터 회전력을 제공받는 회전부(7153), 회전부(7153)로부터 상측 방향으로 연장되는 보조 회전축(도 53에서 보조 회전축은 하우징(7151) 내부에 수용되어 있을 수 있음) 및 보조 회전축으로부터 상측으로 돌출 연장되어 베이스부(712)와 연결되는 주 회전축(7152)을 포함할 수 있다. 주 회전축(7152)은 그의 중심이 보조 회전축의 중심에 대하여 편심되도록 구비될 수 있다. 이에 따라, 보조 회전축의 회전시, 주 회전축(7152)은 보조 회전축의 둘레 방향으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 주 회전축(7152)은 상하 방향으로의 축의 둘레 방향을 따라 원을 그리며 이동할 수 있고, 베이스부(712)가 주 회전축(7152)과 연결된 평면 브러쉬 구조체(71)는 원을 그리며 이동할 수 있다. 이와 같이, 평면 브러쉬 구조체(71)는 원을 그리며 이동함으로써 진동할 수 있다. 예를 들어, 주 회전축(7152)은 둘레의 길이가 4π cm인 원을 그리며 이동할 수 있다. 이에 따라, 평면 브러쉬 구조체(71)는 둘레의 길이가 4π cm인 원을 그리며 이동할 수 있다. 참고로, 도 53을 참조하면, 브러쉬 장치(7)가 제1 선형 구동 유닛(713), 제2 선형 구동 유닛(714) 및 회전 유닛(715)을 포함하는 경우, 회전부(7153) 및 보조 회전축은 제1 및 제2 선형 구동 유닛(713, 114)의 하측에 위치할 수 있고, 주 회전축(7152)은 그의 원을 그리는 이동 경로가 확보되도록 제1 및 제2 선형 구동 유닛(713, 114)을 통과하며 베이스부(712)의 하측에 연결될 수 있다.
또한, 픽커(81)는, 평면 브러쉬 구조체(71)가 상술한 바와 같이 둘레 방향으로의 회전 이동에 따라 진동하는 경우, 평면 브러쉬 구조체(71)에 접촉된 상태인 파지한 패키지(P)가 평면 브러쉬 구조체(71)의 이동 방향의 역 방향으로 회전되도록 진동할 수 있다. 예를 들어, 평면 브러쉬 구조체(71)는 상술한 바와 같이 원을 그리며 이동할 수 있는데, 이 과정에서, 그리는 원의 시계 방향 또는 반시계 방향을 이동 방향으로 설정하여 이동하며 원을 그릴 수 있다. 픽커(81)는 상기와 같은 평면 브러쉬 구조체(71)의 이동 방향(시계 방향 또는 반시계 방향)의 역 방향(반시계 방향 또는 시계 방향)으로 패키지(P)가 회전하도록 회전할 수 있다. 또는, 다른 예로서, 픽커(81)는 평면 브러쉬 구조체(71)의 이동 방향(시계 방향 또는 반시계 방향)의 역 방향(반시계 방향 또는 시계 방향)으로 픽커(81)의 중심축 및 그가 파지한 패키지(P)가 원을 그리며 이동하도록 구동함으로써 진동할 수 있다.
또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 평면 브러쉬 구조체(71)는 상하 방향으로 진동할 수 있다. 이러한 경우, 평면 브러쉬 구조체(71)는 베이스부(712)를 상하 이동(상하 왕복 이동)시키는 상하 구동 유닛을 포함할 수 있다.
또한, 도 53을 참조하면, 브러쉬 장치(7)는 롤 브러쉬 구조체(72)가 회전되도록, 축부(721)에 회전력을 전달하는 회전력 전달 구조체(723)를 포함할 수 있다. 회전력 전달 구조체(723)는 모터로부터의 외력을 제공받는 외력 수용 유닛(7232) 및 외력 수용 유닛(7232)의 회전력을 축부(721)의 회전력으로 전환하는 벨트 구조체(7231)를 포함할 수 있다. 외력 수용 유닛(7232)의 회전축은 축부(721)와 평행할 수 있다.
또한, 도 53을 참조하면, 롤 브러쉬 구조체(72)의 외력 수용 유닛(7232)은 평면 브러쉬 구조체(71)의 회전부(7153)를 회전시키는 모터의 외력을 공용할 수 있다. 예를 들어, 도 53을 참조하면, 브러쉬 장치(7)는 모터로부터 연장되어 회전부(7153)를 회전시키는 벨트(7239)의 외력을 외력 수용 유닛(7232)에 전달하는 보조 외력 수용 유닛(7234)을 포함할 수 있다. 보조 외력 수용 유닛(7243)은 그의 회전축이 회전부(7153)의 회전축과 평행할 수 있고, 모터로부터 연장되는 벨트(7239)는 회전부(7153) 및 보조 외력 수용 유닛(7234)을 거쳐 회주하며 회전부(7153) 및 보조 외력 수용 유닛(7234)을 회전시킬 수 있다. 보조 외력 수용 유닛(7234)의 회전력은, 외력 수용 유닛(7232)에 구비되어 보조 외력 수용 유닛(7234)과 맞물리는 기어(7233)를 통해 외력 수용 유닛(7232)에 전달될 수 있고, 이에 따라, 모터로부터 연장되는 벨트(7239)에 의해 전달되는 모터의 외력은 보조 외력 수용 유닛(7234) 및 기어(7233)를 거쳐 외력 수용 유닛(7232)에 전달될 수 있고, 외력 수용 유닛(7232)에 전달된 외력은 축부(721)를 회전시킬 수 있다.
또한, 도 53을 참조하면, 브러쉬 장치(7)는 평면 브러쉬 구조체(71) 및 롤 브러쉬 구조체(72)의 하측에 구비되어 낙하하는 이물질을 흡입하는 집진기(73)를 포함할 수 있다. 집진기(73)는 이물질이 낙하되는 수용부(731) 및 수용부에 낙하되는 이물질을 흡입하는 흡입부(732)를 포함할 수 있다. 수용부(731)는 흡입부(732)에 의해 이물질이 흡입될 수 있도록, 흡입부(732)와 연결되는 홀이 형성될 수 있다. 예를 들어, 홀은 수용부(731)의 바닥면에 형성될 수 있다.
또한, 브러쉬 장치(7)는 정렬부(70)를 포함할 수 있다. 정렬부(70)는 패키지 절단 및 검사 장치에서 브러쉬 장치(7)의 일측에 위치할 수 있다. 정렬부(70)는 브러쉬 장치(7)에 대한 접촉이 완료된, 다시 말해, 평면 브러쉬 구조체(71) 및 롤 브러쉬 구조체(72) 중 하나 이상에 대한 접촉이 완료된 패키지(P)가 적재될 수 있다.
상술한 바와 같이, 픽커(81)는 흡착을 통해 패키지(P)를 파지할 수 있는데, 도 54와 도 55를 비교하여 참조하면, 브러쉬 장치(7)에 의한 브러쉬질 과정에서 패키지(P)는 브러쉬질 전에 가졌던 정위치(초기 위치)(도 54 참조)에서 어긋나게 외측으로 이동(도 55 참조)했을 수 있다. 그런데, 이와 같이, 패키지(P)가 초기 위치에서 어긋나게 파지된 상태로 비전 검사 장치로 이동되면, 패키지(P)의 어긋난 위치로 인하여 검사 공정의 효율 및 정확성이 저하될 수 있다. 브러쉬 장치(7)는 이를 방지하기 위해, 브러쉬질 후에 비전 검사 장치의 상부로 이동하게 되는 패키지(P)가 파지부에 파지된 상태가 정렬될 수 있도록, 브러쉬 장치(7)에 대한 접촉이 완료된 패키지(P)를 정렬부(70)에 적재하여 패키지(P)를 정렬할 수 있다.
예를 들어, 도 56을 참조하면, 정렬부(70)는 그의 상면으로부터 하측으로 함몰 형성되어, 픽커(81)가 파지한 패키지(P)가 개별적으로 적재되는 함몰부(701)를 포함할 수 있다. 다시 말해, 픽커(81)는 그가 파지한 복수의 패키지(P) 각각이 정렬부(70)의 복수의 함몰부(701) 각각 내부에 안착되도록 패키지(P)에 대한 파지를 개별적으로 해제할 수 있다. 상술한 바와 같이, 픽커(81)는 복수 개의 패키지(P)를 이송시킬 수 있는데, 함몰부(701)의 개수는 픽커(81)가 이송시키는 패키지(P)의 개수와 동일하거나 그를 초과할 수 있다.
또한, 도 56을 참조하면, 함몰부(701)의 내측면은 함몰부의 저면과 어긋나게 함몰부(701) 내로 놓여지는 패키지(P)가 저면으로 이동되도록 비스듬한 경사면을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상술한 초기 위치에서 어긋나게 픽커(81)에 파지된 상태의 패키지(P)는 함몰부(701)에 놓일때 함몰부(701)의 저면과 어긋난 위치에 놓여질 수 있다. 그런데, 브러쉬 장치(7)에 의하면, 함몰부(701)의 내측면이 비스듬한 경사면을 포함할 수 있기 때문에, 패키지(P)가 함몰부(701)의 저면과 어긋난 위치에 놓이더라도, 경사면을 따라 이동(예를 들어, 슬라이드 이동)되어 함몰부(701)의 저면에 안착될 수 있다.
또한, 함몰부(701)의 저면 중 일부(예를 들어, 함몰부(701)의 저면의 중앙)에는 진공압을 가하거나 해제하기 위한 진공통로(702)가 형성될 수 있다. 따라서, 파지부(81)에 파지된 상태의 패키지(P)는 함몰부(701)에 놓일때 함몰부(701)의 저면으로부터 인가되는 진공압에 의하여 패키지(P)가 신속하기 함몰부(701)의 정 위치에 놓일 수 있다.
또한, 정렬부(70)에 개별적으로 적재되어 위치가 정렬된 패키지(P)는 패키지 픽커 모듈(8) 또는 별도의 다른 파지부에 의해 파지되어 검사 장치로 이송할 수 있다. 따라서, 함몰부(701)의 저면의 형상 및 면적은 정렬부(70)에 적재된 패키지(P)를 파지하는 파지부(패키지 픽커 모듈(8) 또는 별도의 다른 파지부)가 함몰부(701)의 저면 상에 놓이는 패키지(P)를 파지하였을 때 패키지(P)가 정위치(예를 들어, 패키지(P)가 파지부에 파지된 상태로 검사 장치에 의해 검사될 수 있는 위치)를 가지고 파지부에 파지될 수 있도록 형성될 수 있다. 또한, 정렬부(70)에 적재된 패키지(P)를 파지하는 파지부는 복수 개의 패키지(P)를 파지할 수 있는데, 예를 들어 8 개의 패키지(P)를 파지할 수 있다.
이와 같이, 브러쉬 장치(7)에 따르면, 건조 공정이 마무리된 복수의 패키지(P)를 소정의 테이블로부터 픽커(81)가 파지하여 브러쉬 장치(7)의 브러쉬질을 통해 패키지(P)에 부착되어 있는 이물질을 제거하며, 다만, 브러쉬질 과정에서 픽커(81)의 파지위치가 어긋날 수 있고, 그로 인해 비전 검사 장치의 패키지(P)의 위치 인식 오류 등으로 인해 비전 검사의 정확도가 저하된다. 따라서, 브러쉬 장치(7)는 브러쉬질 과정 후 곧바로 비전 검사를 수행하지 않고, 파지부의 파지 위치를 정렬하기 위하여 브러쉬질이 완료된 복수의 패키지(P)를 정렬부(70)에 재치한 후 제2파지부가 패키지를 정위치에 파지하여 비전 검사 장치의 상부로 이동할 수 있다.
또한, 도 51을 참조하면, 브러쉬 장치(7)는 이동이 가능하다. 이를 위해, 본 시스템은 브러쉬 장치(7)의 이동을 가이드하는 레일부(79)를 포함할 수 있다. 따라서, 픽커(81)에 의해 복수의 패키지(P)가 파지된 상태에서 브러쉬 장치(7)가 레일부(79)를 따라 이동함으로써 패키지(P)의 하면 및 측면이 브러쉬질 될 수 있다.
이하에서는 패키지 픽커 모듈(8)에 대해 설명한다.
먼저, 패키지 픽커 모듈(8)의 픽커(81)에 대해 설명한다.
픽커 모듈(8)의 픽커(81)에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 상부, 상면, 하측, 하부, 하면 등)는 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들면, 도 57 내지 도 63을 보았을 때 전반적으로 12시 방향이 상측, 전반적으로 12시 방향을 향하는 부분이 상부, 전반적으로 12시 방향을 향하는 면이 상면, 전반적으로 6시 방향이 하측, 전반적으로 6시 방향을 향하는 부분이 하부, 전반적으로 6시 방향을 향하는 면이 하면 등이 될 수 있다.
픽커 모듈(8)은 대상체(패키지)를 픽업하여 특정 위치에 플레이싱할 수 있다. 예를 들어, 대상체는 반도체 칩 등과 같은 전자 소자의 칩, 전자 소자의 패키지일 수 있다. 또한, 픽커 모듈(8)은 패키지가 부착된 필름으로부터 패키지를 분리할 수 있다. 이를 테면, 반도체 패키지의 제조 과정에서, 반도체 패키지는 링 형태의 프레임의 외주면에 부착된 필름으로부터 분리(탈거, 떼어져)될 필요가 있는데, 픽커 모듈(8)은 이러한 공정에 적용될 수 있다. 참고로, 이하에서 링은 필름이 부착된 링 형상의 프레임을 의미할 수 있다.
다만, 본 픽커가 픽업 및 플레이싱 하는 대상체는 상술한 바에 한정되지 않으며, 본 픽커는 다양한 물체를 픽업 및 플레이싱하는데 이용될 수 있다.
도 57 및 도 58을 참조하면, 픽커 모듈(8)은 패키지(P)를 픽업 가능한 픽커(81)를 포함한다.
구체적으로, 도 59 내지 도 61을 참조하면, 픽커(81)는 하부 몸체(811)를 포함한다. 하부 몸체(811)에는 길이 방향으로 가이드 관(8111)이 형성된다. 또한, 하부 몸체(811)는 가이드 관(8111)의 중간부의 내면으로부터 내측으로 돌출 형성되는 단턱(81111)을 포함할 수 있다.
또한, 도 60 및 도 61을 참조하면, 픽커(81)는 중간 몸체(812)를 포함한다. 중간 몸체(812)는 하부 몸체(811)의 상측에 배치될 수 있다. 또한, 중간 몸체(812)와 하부 몸체(811)는 서로 연결될 수 있다. 이에 따라, 중간 몸체(812)의 후술할 본체 몸체(816)에 대한 상하 이동시, 중간 몸체(812)와 연동되어 하부 몸체(811)는 상하 이동될 수 있다.
또한, 도 60 및 도 61을 참조하면, 중간 몸체(812)에는 진공 라인(8121)이 형성된다. 도 61을 참조하면, 진공 라인(8121)은 기체압 전달부(818)와 연통될 수 있다. 또한, 진공 라인(8121)은 하단이 가이드 관(8111)의 상단과 연통되며 가이드 관(8111)과 기체압 전달부(818)를 연통시킨다. 이에 따라, 기체압 전달부(818)가 진공압(기체압 전달부(818) 측으로 기체가 흡입됨에 따라 가이드 관(8111)과 진공 라인(8121)에 형성되는 흡입력일 수 있음)을 작용하면 가이드 관(8111)에 진공압이 작용될 수 있다. 또한, 기체압 전달부(818)가 블로우압(기체압 전달부(818)로부터 기체가 토출됨에 따라 가이드 관(8111)과 진공 라인(8121)에 형성되는 기체 토출압일 수 있음)을 작용하면, 가이드 관(8111)에 블로우압이 작용될 수 있다. 참고로, 도면에는 자세히 도시되지 않았지만, 도 58을 참조하면, 기체압 전달부(818)는 후술할 진공 생성부(82)의 픽커 연결부(821)와 연결되어 진공 생성부(82)에 의해 가이드 관(8111)에 진공압을 작용하거나, 가이드 관(8111)에 블로우압을 작용할 수 있다.
또한, 도 61을 참조하면, 중간 몸체(812)는 진공 라인(8121)의 하단 둘레를 따라 형성되는 지지턱(8122)을 포함한다. 지지턱(8122)의 적어도 일부는 후술하는 이젝트 핀(813)의 상단 테두리(8131)와 대향한다.
또한, 도 59 및 도 60을 참조하면, 픽커(81)는 이젝트 핀(813)을 포함한다. 이젝트 핀(813)은 가이드 관(8111) 내에 상하 방향으로 이동 가능하게 구비된다. 도 61을 참조하면, 대기상태일 때(예를 들어, 진공압이 작용하지 않는 상태) 이젝트 핀(813)은 하단이 가이드 관(8111)의 하단보다 하측으로 돌출되고 상단이 지지턱(8122)으로부터 이격되는 초기 위치를 가지고 가이드 관(8111)에 구비된다.
도 61을 참조하면, 이젝트 핀(813)의 중간부(8133)는 이젝트 핀(813)의 하부보다 외측으로 돌출되어 상측 방향으로 연장 형성될 수 있다. 또한, 중간부(8133)의 하단은 이젝트 핀(813)의 초기 위치시에 단턱(81111)에 지지되는 지지턱(81331)일 수 있다. 이젝트 핀(813)은 그의 상단 테두리(8131)가 지지턱(8122)에 접촉되는 위치와 그의 지지턱(81331)이 단턱(81111)에 지지되는 위치 사이에서 상하 이동할 수 있다.
또한 도 61 및 도 62를 참조하면, 픽커(81)는 복수 개의 진공 홀(814)을 포함한다. 복수 개의 진공 홀(814)은 하부 몸체(811)의 하면에 형성된다. 예를 들어, 도 61 및 도 62를 참조하면, 복수 개의 진공 홀(814)은 하부 몸체(811)의 하면에서 가이드 관(8111)의 둘레를 따라 형성될 수 있다. 예를 들어, 도 61 및 도 62에 도시된 바에 따르면, 진공 홀(814)은 하부 몸체(811)의 하면에서 단턱을 포함하여 하측으로 개방된 형상을 가질 수 있다. 또한, 예를 들어, 진공 홀(814)은 4 개가 형성될 수 있다. 또한, 도면에는 자세히 도시되지 않았지만, 복수 개의 진공 홀(814) 각각은 기체압 전달부(818)와 연결된다. 이에 따라, 진공 홀(814)은 기체압 전달부(818)가 작용하는 진공압 및 블로우압을 전달받아 그의 하측(외부)에 대해 작용할 수 있다. 이에 따라, 기체압 전달부(818)에 의해 진공압이 작용되면, 진공 홀(814)의 진공압에 의해 패키지(P)는 픽커(81)에 흡착될 수 있다. 또한, 기체압 전달부(818)에 의해 블로우압이 작용되면, 진공 홀(814)의 블로우압에 의해 패키지(P)는 픽커(81)로부터 이탈(플레이싱)될 수 있다. 구체적으로, 기체압 전달부(818)가 진공압을 작용하는 경우, 진공 홀(814)에 진공압이 작용되어 진공 홀(814)의 하측에 위치하는 패키지(P)가 흡착될 수 있다. 예를 들어, 패키지(P)는 후술할 패키지 안착부(811)의 하면에 접촉(지지)되며 픽커(81)에 흡착될 수 있다. 또한, 기체압 전달부(818)가 블로우압을 작용하는 경우, 진공 홀(814)에 블로우압이 작용되어 진공 홀(814)에 그의 내부로부터 외부로 향하는 공기 흐름(블로우압)이 작용될 수 있다. 이에 따라, 흡착된 패키지(P)가 픽커(81)로부터 이격될 수 있다.
또한, 도 61 및 도 62를 참조하면, 진공 홀(814)은 하부 몸체(811)의 하부를 관통하며 상측으로 연장 형성되어 가이드 관(8111)과 연결됨으로써, 가이드 관(8111)을 통해 작용되는 진공압 및 블로우압을 전달 받아 그의 하측에 대해 작용할 수 있다. 이러한 경우, 도 61 및 도 62를 참조하면, 진공 홀(814)은 하부 몸체(811)의 하면으로부터 상측 방향으로 연장 형성되는 부분은 가이드 관(8111)의 하부 관(81116)의 둘레를 따라 복수 개 형성될 수 있다. 다만, 진공 홀(814)의 기체압 전달부(818)와의 연결 형태는 이에 한정되지 않으며, 다른 예로서, 진공 홀(814)은 진공 라인(8121)과는 다른 별도의 기체 통로를 통해 기체압 전달부(818)와 연결됨으로써 기체압 전달부(818)가 작용하는 진공압 및 블로우압을 전달받아 그의 하측에 대해 작용할 수 있다.
또한, 도 61 및 도 62를 참조하면, 픽커(81)는 하부 몸체(811)의 하부에 결합되는 패키지 안착부(8191)를 포함할 수 있다. 패키지 안착부(811)에는 진공 홀(814)로부터 작용되는 진공압과 블로우압이 통과하고, 이젝트 핀(813)의 가이드 관(8111)으로부터 돌출되는 하단이 위치하는 작용 통로(8111)가 형성될 수 있다. 도 60 및 도 61을 참조하면, 작용 통로(8111)의 단면적은 진공 홀(814)의 단면적보다 클 수 있다. 이와 같은 작용 통로(8111)가 진공 홀(814)의 하측에 형성됨에 따라, 진공 홀(814)에서 작용되는 기체압이 직접적으로 패키지(P)에 작용되는 것보다 작용 통로(8111)를 통해 패키지(P)에 작용하는 기체압이 완화될 수 있다. 만약, 패키지(P)에 기체압이 강하게 작용될 경우, 패키지(P)가 픽커(81)에 순간적으로 흡착되어 패키지(P)가 픽커(81)에 부딪힐 수 있다. 반면에, 픽커(81)에 의하면, 단면적이 상대적으로 넓은 작용 통로(8111)를 통해 패키지(P)가 픽커(81)에 흡착되기 때문에, 패키지(P)에 대한 외력 작용이 보다 감소되고 안정적으로 흡착될 수 있다. 도 60을 참조하면, 초기 위치의 이젝트 핀(813)의 하단은 작용 통로(8111)의 하단보다 돌출될 수 있다.
또한, 픽커(81)는 그의 하면에 형성되어 흡착된 패키지(P)의 적어도 일부가 수용되는 함몰부(81912)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 도 61 및 도 62를 참조하면, 패키지 안착부(8191)의 하면에는 상측으로 함몰된 함몰부(81912)가 형성될 수 있다. 도 61 및 도 62를 참조하면, 함몰부(81912)는 픽커(81)의 패키지(P) 흡착시 패키지(P)의 상면의 적어도 일부가 접촉되는 접촉면(819121) 및 패키지(P)의 측면의 적어도 일부와 대향하는 월부(819122)를 포함할 수 있다. 즉, 진공 홀(814)로부터 진공압이 작용되면, 진공압에 의해 패키지(P)는 픽커(81)에 흡착될 수 있는데, 이때, 패키지(P)의 적어도 일부는 패키지 안착부(8191)의 함몰부(81912)에 수용될 수 있다. 또한, 패키지(P)의 월부(819122)와 대향하는 부분과 월부(819122) 사이의 간격은 패키지(P)의 소정 각도 이상으로의 회전을 방지하도록 형성될 수 있다. 이러한 함몰부(81912)에 의한 효과는 후술한다.
또한, 참고로, 도 61을 참조하면, 함몰부(81912)는 접촉면(819121)과 월부(819122) 사이에서 상측으로 함몰된 추가 함몰부(819123)를 포함할 수 있다.
또한, 도 62를 참조하면, 기체압 전달부(818)에 의해 진공압이 작용되면, 픽커(81)는 패키지(P)를 흡착할 수 있고, 이젝트 핀(813)은 흡착되는 패키지(P)에 의한 상측 방향으로의 외력 및 진공압 중 하나 이상에 의해 상측 방향으로 이동될 수 있다.
예를 들어, 도 62를 참조하면, 기체압 전달부(818)에 의해 진공압이 작용되면 진공 홀(814)은 흡입할 수 있고, 이젝트 핀(813)은 가이드 관(8111) 내에서 진공압에 의해 상측 방향으로 이동될 수 있다. 이 과정에서, 진공 홀(814)의 흡입에 따라 흡착되는 패키지(P)에 의한 상측 방향으로의 외력이 이젝트 핀(813)에 작용할 수 있다. 이에 따라, 진공압이 작용되면, 진공 홀(814)에 의한 패키지(P)의 흡착이 이루어질 수 있고, 이젝트 핀(813)은 패키지(P)가 흡착되면서 이젝트 핀(813)을 상측 방향으로 밀어올리는 외력 및 진공압 중 하나 이상에 의해 상측 방향으로 이동될 수 있다.
또한, 도 61을 참조하면, 기체압 전달부(818)의 진공압이 해제되고, 기체압 전달부(818)에 의해 블로우압이 작용되면, 이젝트 핀(813)은 블로우 압에 의해 하측 방향으로 이동되어 초기 위치를 가지며 패키지(P)에 하측 방향으로의 외력을 작용할 수 있다. 또한, 기체압 전달부에 의해 블로우압이 작용되면 진공 홀(814)로부터 하측으로 블로우압이 토출될 수 있다. 이에 따라, 패키지(P)는 블로우압 및 이젝트 핀(813)에 의한 하측 방향으로의 외력 중 하나 이상에 의해 플레이싱될 수 있다. 따라서, 패키지(P)가 블로우압에 의해서만 플레이싱되는 것에 비해 보다 빨리 패키지(P)가 플레이싱될 수 있다.
또한, 도 62 및 도 63을 참조하면, 이젝트 핀(813)의 상부 중 진공 라인과 대향하는 부분에는 이젝트 핀(813)의 상단 테두리(8131)보다 하측 방향으로 함몰되는 함몰부(8132)가 형성될 수 있다. 이에 따라, 블로우압의 작용시, 블로우 압은 이젝트 핀(813)의 상면 중 함몰부(8132)에 집중되어 작용될 수 있고, 블로우 압이 이젝트 핀(813)의 상면 중 일부분에 집중되어 작용됨에 따라, 블로우압의 작용시 이젝트 핀(813)은 보다 빠르게 하측 방향으로 이동될 수 있다.
예를 들어, 도 61 및 도 63을 참조하면, 함몰부(8132)의 하부(81321)는 하단을 향할수록 직경이 작아질 수 있다. 도 61을 참조하면, 또한, 함몰부(8132)의 상부(81323)은 하단을 향할수록 직경이 줄어들 수 있으며, 함몰부(8131)의 중간부(81322)는 직경이 유지되며 함몰부(8132)의 상부(81323)로부터 하부(81321)로 연장될 수 있다.
또한, 도 63을 참조하면, 이젝트 핀(813)의 상단 테두리(8131) 중 적어도 일부에는 다른 부분보다 하측으로 함몰된 테두리 함몰 영역(81311)이 형성될 수 있다. 도 63을 참조하면, 테두리 함몰 영역(81311)은 상단 테두리(8131)의 둘레를 따라 이격되어 복수 개가 형성될 수 있다.
또한, 도 61을 참조하면, 이젝트 핀(813)의 상부는 중간부(8133)의 상단의 직경보다 외측으로 돌출되어 상측 방향으로 연장 형성되는 유로 면적 조절부(8134)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 이젝트 핀(813)의 외면과 가이드 관(8111)의 내면 사이에는 상하 방향으로 이동하는 기체 유로가 형성될 수 있다. 이러한 기체 유로는 기체압 전달부(818)가 흡입하거나 토출할 때 상측 또는 하측으로 이동하는 기체의 유로(다시 말해, 진공압 및 블로우압에 따라 상측 또는 하측으로 이동하는 기체의 유로)일 수 있다.
도 61을 참조하면, 가이드 관(8111)은 초기 위치를 갖는 이젝트 핀(813)의 유로 면적 조절부(8134)의 상부(81341)가 위치하는 상부 관(81112) 및 초기 위치를 갖는 이젝트 핀(813)의 유로 면적 조절부(8134)의 하부(81342)가 위치하는 중간 관(81113)을 포함할 수 있다. 또한, 도 61을 참조하면, 상부 관(81112)은 중간 관(81113)의 직경보다 큰 직경을 갖도록 형성될 수 있다. 또한, 중간 관(81113)은 유로 면적 조절부(8134)의 상하 이동을 허용하는 범위에서 그(중간 관(81113))의 내면과 유로 면적 조절부(8134)의 외면이 최소의 간격을 두도록 형성될 수 있다.
유로 면적 조절부(8134), 상부 관(81112) 및 중간 관(81113)에 의해 기체 유로의 유로 면적이 조절될 수 있다. 먼저, 기체 유로의 유로 면적은 기체 유로 중 가작 작은 면적을 갖는 부분에 의해 결정될 수 있다. 그 이유는 가장 작은 면적을 갖는 부분을 통과하는 기체량에 따라 유로를 통과하는 기체량이 결정될 수 있기 때문이다.
이에 따라, 도 62를 참조하면, 진공압이 작용되어 이젝트 핀(813)이 상측으로 이동된 경우, 기체 유로의 유로 면적은 유로 면적 조절부(8134)와 상부 관(81112) 사이의 면적 또는 이젝트 핀(813)의 중간부(8133)와 중간 관(81113) 사이의 면적일 수 있다. 이는, 이젝트 핀(813)이 상측으로 이동된 경우, 유로 면적 조절부(8134)와 상부 관(81112) 사이의 면적과 이젝트 핀(813)의 중간부(8133)와 중간 관(81113) 사이의 면적은 서로 동일하며 이젝트 핀(813)과 가이드 관(8111) 사이의 간격 중 가장 작은 면적을 갖기 때문이다.
그런데, 도 61을 참조하면, 진공압이 해제되고 블로우압이 작용되어 이젝트 핀(813)이 하측으로 이동된 경우, 기체 유로의 유로 면적은 유로 면적 조절부(8134)와 중간 관(81113) 사이의 면적일 수 있다. 이는, 이젝트 핀(813)이 하측으로 이동된 경우, 유로 면적 조절부(8134)와 중간 관(81113) 사이의 면적이 이젝트 핀(813)과 가이드 관(8111) 사이의 면적 중 가장 작은 면적을 갖기 때문이다. 또한, 도 61와 도 62를 비교하여 보면, 블로우압이 작용되어 이젝트 핀(813)이 하측으로 이동된 경우(초기 위치)의 유로 면적(도 61 참조, 유로 면적 조절부(8134)와 중간 관(81113) 사이의 면적)이 이젝트 핀(813)이 상측으로 이동된 경우의 유로 면적(도 62 참조, 유로 면적 조절부(8134)와 상부 관(81112) 사이의 면적) 대비 감소될 수 있다. 이와 같이, 이젝트 핀(813)이 하측으로 이동됨에 따라, 유로 면적 조절부(8134)가 중간 관(81113) 내로 진입하게 되면 이젝트 핀(813)과 가이드 관(8111) 사이로 통과하는 기체량이 최소로 감소될 수 있다.
이에 따라, 상술한 바와 같이, 블로우압이 작용하여 이젝트 핀(813)이 하측으로 됨에 따라, 유로 면적 조절부(8134)가 중간 관(81113) 내로 진입하게 되면, 블로우압에 따라 기체 유로 내에서 하측 방향으로 이동하는 기체량이 감소하게 되고(유로 면적 조절부(8134)와 중간 관(81113)의 사이로 통과하는 기체량이 최소화 됨), 이에 따라, 기체압 전달부(818)로부터 제공되는 블로우압에 의해 가이드 관(8111) 내로 유입되는 기체는 이젝트 핀(813)의 상부에 집중 작용될 수 있다. 이에 따라, 이젝트 핀(813)에 대해 하측 방향으로의 기체압은 보다 크게 작용될 수 있고, 이젝트 핀(813)은 보다 빠르게 하측으로 이동되어 패키지(P)를 이탈시켜 플레이싱할 수 있다. 또한, 블로우압이 이젝트 핀(813)에 직중될 수 있으므로, 유로 면적 조절이 이루어지지 않는 경우 대비 보다 적은 블로우압으로도 효율적으로 이젝트 핀(813)에 하측 방향으로의 외력이 작용될 수 있다.
또한, 도 61을 참조하면, 이젝트 핀(813)의 중간부(8133)와 유로 면적 조절부(8134) 사이의 외면에는 경사면(8135)이 형성될 수 있다. 또한, 상부 관(81112)과 중간 관(81113) 사이의 내면에는 경사면(81114)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 이젝트 핀(813)의 상하 이동시, 이젝트 핀(813)의 유로 면적 조절부(8134)는 상부 관(81112)보다 단면적이 작은 중간 관(81113)으로의 진입 시, 상부 관(81112)과 중간 관(81113)의 직경 차에 의해 발생할 수 있는 단턱에 걸리지 않고 중간 관(81113)으로 용이하게 진입할 수 있다.
만약, 픽커(81)에 의하면, 유로 면적 조절을 위해 상부 관(81112)과 중간 관(81113)은 서로 직경 차를 가지고 형성되고, 이젝트 핀(813)의 유로 면적 조절부(8134)와 중간부(8133)는 직경차를 가질 수 있다. 이러한 직경 차에 의해, 상부 관(81112)과 중간 관(81113) 사이에는 단턱이 형성될 수 있고, 유로 면적 조절부(8134)와 중간부(8133) 사이에도 단턱이 형성될 수 있으며, 이러한 경우, 유로 면적 조절부(8134)의 중간 관(81113) 내로의 진입시 단턱과 단턱의 걸림이 발생하여 진입이 원활하게 이루어지지 않을 수 있다. 그러나, 픽커(81)에 의하면, 경사면(8135, 114)이 형성되므로, 유로 면적 조절부(8134)의 중간부(8133)로의 진입이 용이하고 원활하게 이루어질 수 있다.
또한, 참고로, 도 62를 참조하면, 이젝트 핀(813)의 길이와 관련하여, 이젝트 핀(813)은 그의 상단 테두리가 지지턱(8122)에 접촉될 때, 다시 말해, 패키지(P)가 흡착되었을 때 그의 하단이 패키지(P)에 접촉되는 길이를 가질 수 있다. 이에 따라, 패키지(P)의 플레이싱시, 블로우압이 작용되기 시작하면 그와 동시에 이젝트 핀(813)이 빠르게 패키지(P)에 하측 방향으로의 외력을 가하여 패키지(P)의 플레이싱 속도를 보다 향상시킬 수 있다. 다만, 이젝트 핀(813)의 길이는 이에 한정되지 않으며, 다른 예로서, 이젝트 핀(813)은 그의 상단 테두리가 지지턱(8122)에 접촉될 때, 다시 말해, 패키지(P)가 흡착될 때 그의 하단이 작용 통로에 위치하도록 설정되는 길이를 가질 수 있다.
또한, 도 59 및 도 60을 참조하면, 픽커(81)는 중간 몸체(812)의 상부로부터 상측으로 돌출 형성되는 돌출부(815)를 포함할 수 있다.
또한, 도 59 및 도 60을 참조하면, 픽커(81)는 본체 몸체(816)를 포함할 수 있다. 본체 몸체(816)에는 통로(8161)가 형성될 수 있다. 통로(8161)에는 중간 몸체(812) 및 돌출부(815)가 하측으로부터 삽입될 수 있다.
또한, 도 60을 참조하면, 픽커(81)는 돌출부(815)의 외면을 감싸며 상측 방향으로 연장되어 통로(8161)의 일부에 구비되는 탄성부재(817)를 포함할 수 있다. 탄성부재(817)는 중간 몸체(812)와 하부 몸체(811)의 하측으로의 이동(하강)시 패키지(P)에 대한 픽커(81)의 충격을 완화할 수 있다. 탄성부재(817)는 스프링 타입일 수 있다.
픽커(81)는 탄성부재(817)가 기체압 전달부(818)보다 상측에 위치하도록 돌출부(815)에 대하여 구비될 수 있다. 이에 따라, 탄성부재(817)에 대한 기체압 전달부(818)의 진공압 및 블로우압의 영향은 탄성부재(817)가 진공펌프(818)보다 하측에 위치하는 것 대비 저감될 수 있다. 따라서, 높은 탄성을 갖는 탄성부재가 탄성부재(817)로 구비될 수 있어, 패키지(P)에 대한 픽커(81)의 충격 완화 효과가 클 수 있고, 탄성부재(817)의 손상, 이탈, 마모 등을 방지하여 픽커의 내구성을 향상시킬 수 있다.
또한, 픽커 모듈(8)은 픽커(81)를 회전시키는 회전 모터를 포함한다. 도 59를 참조하면, 픽커(81)는 회전 모터에 의해 회전될 수 있다. 예를 들어, 픽커 모듈(8)이 후술할 링(92)의 필름(921)에 부착된 패키지(P)를 탈거하는데 적용되는 경우, 픽커(81)는 패키지 제공 상태인 링(92)으로부터의 패키지(P)를 진공 흡착하고 회전될 수 있다. 링(92)으로부터의 패키지(P) 픽업시 패키지(P)가 필름(921)과 붙어 있는 상태이므로, 필름(921)과 패키지(P)의 분리를 위해서는 순간적인 강한 외력 작용이 필요할 수 있다. 이에 대하여, 픽커 모듈(8)은 링(92)으로부터의 패키지(P) 픽업시에 픽커(81)가 패키지(P)를 흡착한 후 패키지(P)를 필름으로부터 이격시킬 때 픽커(81)가 회전되게 함으로써 패키지(P)를 링(92)으로부터 용이하게 분리시킬 수 있다.
또한, 픽커(81)의 패키지(P) 흡착시, 패키지(P)의 적어도 일부가 함몰부(81912)에 수용될 수 있는바, 픽커(81)의 회전시 픽커(81)는 패키지(P)에 대해 헛돌지 않고 픽커(81)의 회전과 함께 패키지(P)까지 용이하게 회전시켜 필름(921)으로부터 패키지(P)를 용이하게 탈거할 수 있다.
또한, 도 57 및 도 58을 참조하면, 픽커 모듈(8)은 픽커(81)에 대한 진공압을 작용하거나 진공압을 해제하는 진공 생성부(82)를 포함한다.
이하에서는 진공 생성부(82)에 대해 설명한다.
도 64를 참조하면, 진공 생성부(82)는 메인 기체 라인(8211)을 포함하는 픽커 연결부(821)를 포함한다. 상술한 바와 같이, 픽커 연결부(821)는 기체압 전달부(818)와 연결될 수 있다. 메인 기체 라인(8211) 내에 음압이 형성되면, 음압이 기체압 전달부(818)를 통해 픽커(81)의 가이드 관(8111)에 작용되어 픽커(81)에 패키지(P)가 흡착되며 패키지(P)의 픽업(파지)이 이루어질 수 있다. 또한, 메인 기체 라인(8211) 내의 음압 형성이 해제되며 파기 기체가 메인 기체 라인(8211) 측으로 공급되면, 기체압 전달부(818)를 통해 가이드 관(8111) 내의 진공압 작용 해제와 함께 가이드 관(8111)으로 파기 기체(상술한 블로우압)가 공급되어 픽업했던 패키지(P)의 픽업이 해제되며 패키지(P)의 플레이싱이(언로딩)이 이루어질 수 있다.
도 64를 참조하면, 진공 생성부(82)는 제1 기체 밸브 구조체(822)를 포함한다. 제1 기체 밸브 구조체(822)는 메인 기체 라인(8211)과 연통되는 제1 기체 라인(8221), 제1 상태 시에 제1 기체 라인(8221)과 선택적으로 연통되는 제2 기체 라인(8222), 및 제2 상태 시에 제1 기체 라인(8221)과 선택적으로 연통되며 제1 기체 라인(8221)과의 연통 시에 제1 기체 라인(8221)에 파기 기체를 공급하는 제3 기체 라인(8223)을 포함한다.
예를 들어, 픽커 연결부(821)의 메인 기체 라인(8211)에 음압(진공)이 형성되어야 할 때 제1 상태가 될 수 있다. 이러한 제1 상태 시에 제1 기체 라인(8221)과 제2 기체 라인(8222)은 연통될 수 있으며, 이에 따라, 제1 상태 시에, 메인 기체 라인(8211)은 제1 기체 라인(8221)을 통해 제2 기체 라인(8222)과 연통될 수 있다. 참고로, 픽커 연결부(821)가 패키지(P)를 파지(흡착)해야할 때 메인 기체 라인(8211)에 음압이 형성되어야 할 수 있다. 상기 제1상태는 패키지(P)를 흡착하거나 흡착하려는 상태를 의미할 수 있다.
또한, 픽커 연결부(821)의 메인 기체 라인(8211)에 파기 기체가 공급되어야 할 때 제2 상태가 될 수 있다. 이러한 제2 상태 시에 제1 기체 라인(8221)과 제3 기체 라인(8223)은 연통될 수 있으며, 이에 따라, 제2 상태 시에, 메인 기체 라인(8211)은 제1 기체 라인(8221)을 통해 제3 기체 라인(8223)과 연통될 수 있다. 참고로, 픽커 연결부(821)와 연결된 픽커(81)가 흡착하고 있던 패키지(P)를 놓기 위해 외부로 파기 기체를 토출할해야 할 때 픽커(81)의 가이드 관(8111)과 진공 라인(8121)에 파기 기체(블로우압)이 공급되며어야 하며, 이를 위해, 메인 기체 라인(8211)에 파기 기체가 공급되어야 할 수 있다. 또한, 도 57을 참조하면, 제3 기체 라인(8223)은 파기 기체 공급부(827)로부터 파기 기체를 공급받을 수 있다. 상기 제2상태는 패키지(P)를 픽커 연결부(821)와 연결된 픽커(81)로부터 이탈시키거나 이탈시키려는 상태를 의미할 수 있다.
제1 기체 밸브 구조체(822)는 제1 솔레노이드 밸브(8224)를 포함할수 있다. 제1 솔레노이드 밸브(8224)는 통전 및 단전에 따라, 제1 기체 라인(8221)이 선택적으로 제2 기체 라인(8222)과 연통되게 하거나(이때, 제1 기체 라인(8221)과 제3 기체 라인(8223)의 연통은 단절), 제1 기체 라인(8221)이 선택적으로 제3 기체 라인(8223)과 연통되게(이때, 제1 기체 라인(8221)과 제2 기체 라인(8222)의 연통은 단절) 할 수 있다. 이에 대해서는 자세히 후술한다.
또한, 도 64를 참조하면, 진공 생성부(82)는 진공 노즐 구조체(823)를 포함한다. 진공 노즐 구조체(823)는 음압을 형성하고, 제1 기체 라인(8221)과 제2 기체 라인(8222)의 연통시 음압을 메인 기체 라인(8211)에 작용한다. 구체적으로, 진공 노즐 구조체(823)는 제2 기체 라인(8222)에 음압을 형성할 수 있다. 또한, 진공 노즐 구조체(823)에 의해 제2 기체 라인(8222)에 음압이 형성될 때, 제1 기체 라인(8221)과 제2 기체 라인(8222)이 연통된 상태이면, 상기 음압에 의해 제1 기체 라인(8221) 및 제1 기체 라인(8221)과 연통된 메인 기체 라인(8211)에 음압이 형성될 수 있다.
진공 노즐 구조체(823)는 고압 기체가 공급되면 내부에 음압이 형성될 수 있다. 구체적으로, 도 64를 참조하면, 진공 노즐 구조체(823)는 음압 형성부(8231)를 포함한다. 음압 형성부(8231)는 고압 기체가 유입되는 입구(82311), 입구(82311)로부터 연장 형성되는 통로부(82312) 및 통로부(82312)로부터 연장 형성되며 외부와 연통되는 출구(82313)를 포함할 수 있다. 이러한 음압 형성부(8231)는 후술할 통과 라인(8242)으로부터 연장 형성될 수 있다. 또한, 음압 형성부(8231)의 통로부(82312)는 후술할 진공 노즐 유닛(8232)이 배치되는 부분을 의미할 수 있다. 또한, 음압 형성부(8231)는 형성된 음압을 제2기체 라인(8222)으로 제공하기 위하여 제2 기체 라인(8222)과 연통될 수 있다.
또한, 도 64 및 도 65를 참조하면, 진공 노즐 구조체(823)는 길이 방향으로 관통구(82321)가 형성되는 진공 노즐 유닛(8232)을 포함할 수 있다. 진공 노즐 유닛(8232)의 둘레면에는 관통구(82321)의 내부와 외부(음압 형성부(8231)의 통로부(82312)를 연통시키는 적어도 하나의 홀(82322)이 형성될 수 있다. 또한, 진공 노즐 유닛(8232)은 입구(82311)로부터 유입되는 고압 기체의 적어도 일부가 관통구(82321)를 통과하여 출구(82313)로 배출되도록 통로부(82312)에 삽입되어 배치될 수 있다.
이에 따라, 고압 기체가 입구(82311)로 유입되면 고압 기체의 적어도 일부는 진공 노즐 유닛(8232)(관통구(82321))을 통과해 출구(82313)를 외부로 배출될 수 있고, 이 과정에서(고압의 기체가 빠르게 이동), 음압 형성부(8231)의 내면과 진공 노즐 유닛(8232)의 외면 사이(즉, 음압 형성부(8231)의 통로부(82312))의 기체가 적어도 하나의 홀(82322)을 통해 진공 노즐 유닛(8232)의 내부(관통구(82321))로 빨려들어가 출구(82313)로 배출될 수 있으며, 이 과정에서, 음압 형성부(8231)의 내면과 진공 노즐 유닛(8232)의 외면 사이의 기체량이 줄어들고, 통로부(82312)와 진공 노즐 유닛(8232)의 내부에서 발생하는 대류 현상 등으로 인하여, 음압 형성부(8231)의 내면과 진공 노즐 유닛(8232)의 외면 사이에는 진공(음압)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 통로부(8232)와 연통되는 제2 기체 라인(8222)에 음압이 형성되며, 제2 기체 라인(8222)이 제1 기체 라인(8221)과 연통된 경우 제1 기체 라인(8221) 및 메인 기체 라인(8211)에 음압이 형성될 수 있다. 참고로, 음압 형성부(8231) 내의 음압이 용이하게 형성되도록, 진공 노즐 유닛(8232)은, 입구(82311)로 유입되는 고압 기체의 대부분이 관통구(82321)를 통해서만 출구(82313)로 배출되도록 배치될 수 있다. 참고로, 고압 기체라 함은, 상술한 바와 같은 과정을 통해 음압 형성부(8231) 내에 음압을 형성할 수 있는 압력, 속도, 유량 등 중 하나 이상을 가진 기체를 의미할 수 있다.
예를 들어, 고압 기체는 0.5MPa 내지 0.8MPa의 압력을 갖는 기체를 의미할 수 있다. 또한, 본원에 있어서, 음압이라 함은 픽커(81) 및 픽커 연결부(821)를 통해 픽커(81) 외부의 기체가 가이드 관(8111), 진공 라인(8121), 기체압 전달부(818) 및 픽커 연결부(821)를 통해 메인 기체 라인(8211)으로 빨려들어 갈 수 있게 하는 압력을 의미할 수 있는데, 구체적으로, 대기압 이하의 압력을 의미할 수 있다. 또한, 파기 기체는 상기 고압 기체에 비하여 상대적으로 저압의 압력을 갖는 기체를 의미할 수 있다. 예를 들어, 상기 파기 기체는 0.5MPa 미만, 바람직하게는 0.2Mpa의 압력을 가지는 기체를 의미할 수 있다.
또한, 도 64를 참조하면, 진공 생성부(82)는 제2 기체 밸브 구조체(824)를 포함한다. 제2 기체 밸브 구조체(824)는 진공 노즐 구조체(823) 내에 음압이 형성되도록, 진공 노즐 구조체(823)에 고압 기체를 제공한다.
구체적으로, 도 64를 참조하면, 제2 기체 밸브 구조체(824)는, 진공 노즐 구조체(823)와 연통되는 통과 라인(8242) 및 통과 라인(8242)과 선택적으로 연통되며 통과 라인(8242)과의 연통 시에 통과 라인(8242)에 고압 기체를 공급하는 공급 라인(8241)을 포함한다. 도 64를 참조하면, 공급 라인(8241)은 고압 기체 공급부(825)로부터 고압 기체를 공급받을 수 있다. 또한, 공급 라인(8241)이 통과 라인(8242)과 연통되면, 공급 라인(8241)이 공급하는 고압 기체가 통과 라인(8242)을 통해 진공 노즐 구조체(823)로 유입될 수 있다.
또한, 제2 기체 밸브 구조체(824)는 제2 솔레노이드 밸브(8244)를 포함할수 있다. 제2 솔레노이드 밸브(8244)는 통전 및 단전에 따라, 통과 라인(8242)과 공급 라인(8241)이 선택적으로 연통되거나 연통 해제되게 할 수 있다. 예시적으로, 제2 기체 밸브 구조체(824)는 보조 라인(8243)을 더 포함할 수 있다. 이러한 경우, 제2 솔레노이드 밸브(8244)는 통전 및 단전에 따라, 통과 라인(8242)과 공급 라인(8241)이 연통되거나(이때, 통과 라인(8242)과 보조 라인(8243)의 연통은 단절된 상태), 통과 라인(8242)과 보조 라인(8243)이 연통되게할 수 있다(이때, 공급 라인(8241)과 통과 라인(8242) 또는 보조 라인(8243)의 연통은 단절된 상태). 이에 대해서는 자세히 후술한다.
상술한 바에 따르면, 진공 생성부(82)가 패키지(P)를 흡착하기 위해 제1 상태가 되어야 하는 경우, 제1 기체 라인(8221)과 제2 기체 라인(8222)이 연통되고(이때, 제1 기체 라인(8221)과 제3 기체 라인(8222)의 연통은 단절된 상태), 공급 라인(8241)과 통과 라인(8242)이 연통될 수 있다. 이러한 각 기체 밸브 구조체의 라인의 연통은 각 기체 밸브 구조체에 포함되어 있는 솔레노이드 밸브(8224, 144)에 개별적으로 인가되는 전기 신호(통전 및 단전)에 따라 개별적 및 선택적으로 제어될 수 있다. 이에 따르면, 공급 라인(8241)으로부터 고압 기체가 통과 라인(8242)을 통해 진공 노즐 구조체(823)의 음압 형성부(8231)로 공급될 수 있고, 음압 형성부(8231)의 입구(82311)를 통해 유입되는 고압 기체는 진공 노즐 유닛(8232)을 통해 출구(82313)로 배출될 수 있으며, 이때, 음압 형성부(8231)의 내면과 진공 노즐 유닛(8232)의 외면 사이의 기체가 진공 노즐 유닛(8232)의 홀(82322)을 통해 진공 노즐 유닛(8232)의 내부로 유입될 수 있다. 이에 따라, 음압 형성부(8231)의 내면과 진공 노즐 유닛(8232)의 외면 사이에 기체량이 줄어들며 음압이 형성될 수 있고, 음압 형성부(8231)와 연통되는 제2 기체 라인(8222)의 기체가 음압 형성부(8231)로 이동되며 제2 기체 라인(8222)에 음압이 형성될 수 있다. 이때, 상술한 바와 같이, 제1 기체 라인(8221)과 제2 기체 라인(8222)이 연통된 상태인바, 제2 기체 라인(8222)과 연통된 제1 기체 라인(8221) 및 제1 기체 라인(8221)과 연통된 메인 기체 라인(8211) 내의 기체가 제2 기체 라인(8222) 또는 음압 형성부(8231) 측으로 이동되며 제1 기체 라인(8221) 및 메인 기체 라인(8211) 내에 음압이 형성될 수 있고, 패키지(P)가 흡착될 수 있다.
또한, 진공 생성부(82)가 흡착했던 패키지(P)를 픽커 연결부로부터 이격시키기 위해 제2 상태가 되어야 하는 경우(파기 에어를 방출 해야 하는 경우), 제1 기체 라인(8221)과 제3 기체 라인(8223)이 연통될 수 있다(이때, 제1 기체 라인(8221)과 제2 기체 라인(8222)의 연통은 단절된 상태). 또한, 보조 라인(8243)과 통과 라인(8242)이 연통될 수 있다. 이러한 각 기체 밸브 구조체의 라인의 연통은 각 기체 밸브 구조체에 포함되어 있는 솔레노이드 밸브(8224, 144)에 개별적으로 인가되는 전기 신호(통전 및 단전)에 따라 개별적 및 선택적으로 제어될 수 있다. 이에 따르면, 고압 기체의 음압 형성부(8231)로의 유입이 차단되고, 제1 기체 라인(8221)과 제2 기체 라인(8222)의 연통이 단절되며 제1 기체 라인(8221)이 제3 기체 라인(8223)과 연통될 수 있기 때문에, 진공 노즐 구조체(823)에 의해 제1 기체 라인(8221) 및 메인 기체 라인(8211)에 형성되었던 음압이 해제되며, 파기 에어(파기 기체, 블로우압)가 제3 기체 라인(8223)을 통해 유입되어 제1 기체 라인(8221)을 거쳐 메인 기체 라인(8211)을 통해 픽커 연결부(821), 픽커 연결부(821)와 연결된 기체압 전달부(818)로 유입될 수 있고, 기체압 전달부(818)로 유입된 파기 에어는 진공 라인(8121) 및 가이드 관(8111)을 통해 픽커(81)의 외부로 배출될 수 있다. 이러한 파기 에어에 의하여, 흡착되었던 패키지(P)가 파기 에어에 의해 보다 빠르게 흡착 해제되며 픽커(81)로부터 이격될 수 있다.
참고로, 도 64를 참조하면, 음압 형성부(8231)는 블록(8233)에 형성되는 통로 형태로 구현될 수 있다. 구체적으로, 진공 생성부(82)는 블록(8233)을 포함할 수 있고, 블록(8233)에는 제1 기체 라인(8221)의 적어도 일부, 제2 기체 라인(8222)의 적어도 일부, 제3 기체 라인(8223)의 적어도 일부, 기체 공급부(827)의 적어도 일부, 공급 라인(8241)의 적어도 일부, 통과 라인(8242)의 적어도 일부 및 기체 공급부(825)의 적어도 일부 중 하나 이상이 블록(8233)의 적어도 일부를 통과하는 관통구 형태로 형성될 수 있고, 음압 형성부(8231)는 블록(8233)에 형성되는 통과 라인(8242)으로부터 연장 형성되어 블록(8233)의 적어도 일부를 통과하는 관통구 형태로 형성될 수 있으며, 진공 노즐 유닛(8232)은 이러한 음압 형성부(8231)에 삽입되는 형태로 배치될 수 있다.
한편, 본원의 일 실시예에 따르면, 제1 기체 밸브 구조체(822)가 포함하는 제1 솔레노이드 밸브(8224)는 노말 오픈 타입(normal open type)의 솔레노이드 밸브일 수 있다. 구체적으로, 제1 솔레노이드 밸브(8224)는 단전시 제1 기체 라인(8221)과 제2 기체 라인(8222)을 연통시키고, 통전시 제1 기체 라인(8221)과 제3 기체 라인(8223)을 연통시킬 수 있다.
또한, 제2 기체 밸브 구조체(824)가 포함하는 제2 솔레노이드 밸브(8244)는 노말 클로즈 타입(normal close type)의 솔레노이드 밸브일 수 있다. 구체적으로, 제2 솔레노이드 밸브(8244)는 단전시 통과 라인(8242)과 공급 라인(8241)을 연통시키고, 통전시 통과 라인(8242)과 공급 라인(8241)의 연통을 해제할 수 있다. 이때, 제2 기체 밸브 구조체(824)가 보조 라인(8243)을 포함하는 경우, 제2 솔레노이드 밸브(8244)는 단전시 통과 라인(8242)과 보조 라인(8243)의 연통을 단절시키며, 통과 라인(8242)과 공급 라인(8241)을 연통시킬 수 있고, 통전시 통과 라인(8242)과 보조 라인(8243)을 연통시키며 공급 라인(8241)과 통과 라인(8242)의 연통을 단절할 수 있다. 제1 솔레노이드 밸브(8224) 및 제2 솔레노이드 밸브(8244)는 그 내부에 코일과 전자석을 포함하며, 전기 신호의 인가 여부에 따라 유도되는 자기장에 의하여 전자석의 이동 및 위치가 선택적으로 결정되고, 전자석의 이동에 따라 솔레노이드 밸브(8224, 144) 내의 연통 출구와 복수의 라인 중 일부 간의 연통을 선택적으로 결정함으로써, 상술한 각 라인의 연통을 제어 할 수 있다.
본원의 일 실시예에 따르면, 제1 상태 시에, 제1 기체 밸브 구조체(822)는 단전되고, 제2 기체 밸브 구조체(824)는 단전될 수 있다. 이에 따라, 상술한 바와 같이, 진공 생성부(82)가 패키지(P)를 흡착하기 위해 제1 상태가 되어야 하는 경우, 제1 기체 라인(8221)과 제2 기체 라인(8222)이 연통되고, 공급 라인(8241)과 통과 라인(8242)이 연통될 수 있으며, 공급 라인(8241)으로부터 고압 기체가 통과 라인(8242)을 통해 진공 노즐 구조체(823)의 음압 형성부(8231)로 공급될 수 있고, 음압 형성부(8231)의 입구(82311)를 통해 유입되는 고압 기체는 진공 노즐 유닛(8232)을 통해 출구(82313)로 배출될 수 있으며, 이때, 음압 형성부(8231)의 내면과 진공 노즐 유닛(8232)의 외면 사이의 기체가 진공 노즐 유닛(8232)의 홀(82322)을 통해 진공 노즐 유닛(8232)의 내부로 유입될 수 있으며, 이에 따라, 음압 형성부(8231) 내면과 진공 노즐 유닛(8232)의 외면 사이에 음압이 형성될 수 있고, 제2 기체 라인(8222), 제1 기체 라인(8221) 및 메인 기체 라인(8211) 내에 음압이 형성되며 패키지(P)가 흡착될 수 있다.
또한, 제2 상태 시에, 제1 기체 밸브 구조체(822)는 통전되고, 제2 기체 밸브 구조체(824)는 통전될 수 있다. 이에 따라, 상술한 바와 같이, 진공 생성부(82)가 흡착했던 패키지(P)를 픽커(81)로부터 이격시키기 위한 제2 상태 시에, 제1 기체 라인(8221)과 제2 기체 라인(8222)의 연통이 단절되며 제1 기체 라인(8221)이 제3 기체 라인(8223)과 연통될 수 있고, 진공 노즐 구조체(823)에 의해 제1 기체 라인(8221) 및 메인 기체 라인(8211)에 형성되었던 음압이 해제되며, 파기 에어가 제3 기체 라인(8223)을 통해 유입되어 제1 기체 라인(8221)을 거쳐 메인 기체 라인(8211)을 통해 픽커 연결부(821)로 유입되어 기체압 전달부(818), 진공 라인(8121), 가이드 관(8111) 등을 거쳐 픽커(81)의 외부로 배출될 수 있다. 이러한 파기 에어에 의해 흡착되었던 패키지(P)가 보다 빠르게 흡착 해제되며 픽커(81)로부터 이격될 수 있다.
또한, 진공 생성부(82)는 제2 상태 이후에 제3 상태를 가질 수 있다. 제3 상태는 패키지(P)를 픽업하지 않으며, 파기 기체가 나오지 않는 상태를 의미할 수 있다(즉, 픽커 대기 상태). 제3 상태 시에, 제1 기체 밸브 구조체(822)는 단전되고, 제2 기체 밸브 구조체(824)는 통전될 수 있다. 이에 따라, 제3 상태 시에 제1 기체 라인(8221)과 제2 기체 라인(8222)이 연통되되, 통과 라인(8242)과 공급 라인(8241)의 연통은 해제(단절)될 수 있어, 픽커(81)는 파기 에어를 배출하지 않고 패키지(P)를 파지하지도 않는 상태를 가질 수 있다.
한편, 본원의 일 실시예에 따르면, 제2상태의 유지 시간은 제1상태의 유지 시간보다 상대적으로 짧으며, 예를 들어, 수 ms~수십ms 동안만 유지되어 순간적으로 매우 짧은 시간 동안만 파기 에어가 배출될 수 있도록 한다. 또한, 패키지(P)를 흡착하거나 파기할 필요가 없는 평소 대기상태(제3상태)에는 음압이 형성되지 않을 뿐만 아니라 파기 에어도 배출하지 않는다. 따라서, 불필요한 파기 에어의 계속적인 배출로 인하여 제품이 손상되거나 제품이 파기 에어에 의하여 불필요한 위치로 강제 이탈하는 등의 현상을 방지할 수 있다.
또한, 다른 실시예로, 제1 솔레노이드 밸브(8224)는 노말 클로즈 타입의 솔레노이드 밸브일 수 있다. 예를 들어, 제1 솔레노이드 밸브(8224)는 통전시 제1 기체 라인(8221)과 제2 기체 라인(8222)을 연통시키고, 단전시 제1 기체 라인(8221)과 제3 기체 라인(8223)을 연통시킬 수 있다. 또한, 제2 솔레노이드 밸브(8244)는 노말 오픈 타입의 솔레노이드 밸브일 수 있다. 예를 들어, 제2 솔레노이드 밸브(8244)는 통전시 통과 라인(8242)과 공급 라인(8241)을 연통시키고, 단전시 통과 라인(8242)과 공급 라인(8241)의 연통을 해제할 수 있다. 이러한 경우, 제1 상태 시에, 제1 기체 밸브 구조체(822)는 통전되고, 제2 기체 밸브 구조체(824)는 통전될 수 있다. 또한, 제2 상태 시에, 제1 기체 밸브 구조체(822)는 단전되고, 제2 기체 밸브 구조체(824)는 단전될 수 있다. 또한, 제3 상태 시에, 제1 기체 밸브 구조체(822)는 통전되고, 제2 기체 밸브 구조체(824)는 단전될 수 있다. 이외에도, 진공 생성부(82)에 있어서, 제1 기체 밸브 구조체(822) 및 제2 기체 밸브 구조체(824)는 노말 클로즈 타입의 솔레노이드 밸브와 노말 오픈 타입의 솔레노이드 밸브의 다양한 조합으로 구성될 수 있으며, 이에 따른 제1 상태 및 제2 상태시의 구동 또한, 통전 및 단전의 다양한 조합으로 구현될 수 있다.
또한, 진공 생성부(82)에 있어서, 제1 기체 밸브 구조체(822) 및 제2 기체 밸브 구조체(824)는 별개 구동이 가능하다. 예를 들어, 상술한 바와 같이, 제1 기체 밸브 구조체(822) 및 제2 기체 밸브 구조체(824)는 각각에 대한 통전 및 단전 여부에 따라 구동될 수 있으므로, 제1 기체 밸브 구조체(822)의 구동 및 제2 기체 밸브 구조체(824)의 구동 및 각 라인의 연결은 다양한 조합을 가질 수 있다.
또한, 도 64를 참조하면, 진공 생성부(82)는 음압 형성부(8231) 내에 형성된 음압 정도를 측정하는 센서(828)를 포함할 수 있다. 음압 형성부(8231), 제2 기체 라인(8222), 제1 기체 라인(8221) 및 메인 기체 라인(8211)에 음압이 형성되고 있는데, 픽커(81)에 패키지(P)가 흡착되면, 음압에 의해 픽커(81), 픽커 연결부(821) 등을 통해 유입되던 기체의 유입이 차단될 수 있으므로, 음압 형성부(8231)로의 기체의 추가 유입 없이 출구(82313)로의 기체의 배출만 이루어지게 될 수 있으므로, 음압 형성부(8231), 제2 기체 라인(8222), 제1 기체 라인(8221) 및 메인 기체 라인(8211)의 음압 정도는 높아질 수 있다. 이에 대하여, 진공 생성부(82)에 따르면, 센서(828)에 의해 음압 형성부(8231) 내의 음압 정도(지수)가 센싱 가능하므로, 센서에 의해 측정되는 음압 형성부(8231) 내의 음압 정도가 미리 설정된 음압을 초과하는 경우, 음압 형성부(8231) 내에 형성되는 음압 정도가 조절될 수 있다. 예를 들어, 센서(828)의 센싱 결과에 기초하여 진공 노즐 구조체(823)에 공급되는 고압 기체의 통과량, 고압 기체의 압력 정도 등 중 하나 이상이 조절됨으로써 음압 정도가 조절될 수 있다.
또한, 도 64를 참조하면, 진공 생성부(82)는 파기 기체 공급부(827)로부터 제3 기체 라인(8223)으로 공급되는 파기 기체의 공급량을 조절하는 유량 조절부(826)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 도 64 및 도 66을 함께 참조하면, 파기 기체 공급부(827)와 제3 기체 라인(8223)은 보조 연결관(8271)에 의해 연통될 수 있는데, 보조 연결관(8271)은 그의 제3 기체 라인(8223)을 향하는 부분의 면적이 제3 기체 라인(8223)의 보조 연결관(8271)을 향하는 부분의 면적보다 크도록 보조 연결관(8271)의 반경 방향으로의 외측 방향으로 함몰되는 단차를 가지고 형성될 수 있다. 또한, 유량 조절부(826)는 면적이 감소하는 쐐기 형상의 면적 조절 유닛(8261)을 포함하며, 면적 조절 유닛(8261)이 보조 연결관(8271)과 제3 기체 라인(8223)의 사이에 위치하도록 배치될 수 있다. 제3 기체 라인(8223)의 보조 연결관(8271)을 향하는 부분의 내면과 면적 조절 유닛(8261)의 외면 사이에 형성되는 통과 유로(82231)를 통해 파기 기체 공급부(827)로부터 제3 기체 라인(8223)으로 파기 기체가 공급될 수 있다. 제3 기체 라인(8223)의 보조 연결관(8271)을 향하는 부분의 내면과 면적 조절 유닛(8261)의 외면 사이에 형성되는 통과 유로(82231)가 면적 조절 유닛(8261)의 제3 기체 라인(8223) 내로의 인입량에 따라 조절될 수 있으며, 따라서, 면적 조절 유닛(8261)의 제3 기체 라인(8223) 내로의 인입량에 따라 보조 연결관(8271)으로부터 제3 기체 라인(8223) 내로 유입되는 파기 기체의 공급량(유량)이 조절될 수 있다. 예를 들어, 도 66을 참조하면, 면적 조절 유닛(8261)의 인입량이 커질수록 통과 유로(82231)의 면적이 줄어들고 파기 기체의 공급량이 감소될 수 있고, 인입량이 작아질수록 통과 유로(82231)의 면적이 커지며 파기 기체의 공급량이 증가될 수 있다. 유량 조절부(826)는 보조 연결관(8271)과 나사 결합 가능하며 나사 조절에 의하여 면적 조절 유닛(8261)의 제3 기체 라인(8223) 내로의 인입량이 결정될 수 있다.
또한, 진공 생성부(82)는 파기 기체의 공급 압력을 조절하는 레귤레이터를 포함할 수 있다. 이에 따라, 필요한 경우, 파기 기체의 공급 압력이 조절될 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 따르면 패키지(P)를 파지하기 위한 음압 형성 및 공급과 패키지(P)의 흡착을 보다 빠르게 해제하기 위한 파기 에어의 공급을 별개로 조절함으로써, 패키지(P)의 흡착 및 흡착 해제를 보다 용이하게 조절할 수 있으며, 미세하게 조절될 필요가 있는 패키지(P)의 파기 에어의 압력 및 유량을 보다 정확하게 제어할 수 있다.
또한, 픽커 모듈(8)은 픽커(81) 및 진공 생성부(82) 각각을 하나 이상 포함할 수 있다. 또한, 진공 생성부(82)는 상술한 픽커(81) 각각에 대하여 구비될 수 있다. 예를 들어, 도 57을 참조하면, 픽커 모듈(8)은 픽커(81)를 8 개 포함할 수 있고, 8 개의 픽커(81) 각각에 대하여 진공 생성부(82)가 구비되도록, 진공 생성부(82)를 8개 포함할 수 있다. 이러한 경우, 픽커 모듈(8)이 파지 가능한 패키지(P)의 최대 개수는 8개 일 수 있다. 이 때, 고압 기체 공급부(825) 및 파기 기체 공급부(827)는 각 픽커 구조체의 제3기체 라인 및 공급 라인에 연결될 수 있다.
또한, 픽커 모듈(8)에 있어서, 복수 개의 픽커(81)는 개별적으로 구동될 수 있다. 또한, 복수 개의 진공 생성부(82)는 개별적으로 구동될 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 픽커(81) 중 하나 이상이 파지할 때, 다른 픽커(81)는 파지하지 않는 상태일 수 있는데, 이때, 파지하는 픽커(81)와 연결된 진공 생성부(82)는 파지 상태일 수 있고, 파지하지 않는 상태의 다른 픽커(81)와 연결된 진공 생성부(82)는 파지 해제 상태를 갖거나, 또는, 파지상태도 아니고 파지 해제 상태도 아닌 상태일 수 있다.
복수 개의 진공 생성부(82) 중 하나의 진공 생성부(82)의 제1 기체 밸브 구조체와 복수 개의 진공 생성부(82) 중 다른 진공 생성부(82)의 제2 기체 밸브 구조체는 서로 별개로 구동할 수 있으며, 픽커 모듈(8)과 다른 픽커 모듈(8)은 서로 별개로 구동할 수 있다. 이에 따라, 본 픽커 장치(82000)의 구동은 복수 개의 진공 생성부(82) 각각의 제1 기체 밸브 구조체(822) 및 제2 기체 밸브 구조체(824)의 서로 다른 상태 조합으로 다양하게 구현될 수 있다.
또한, 이하에서는 오프로드 공정부(901)에 대해 설명한다. 참고로, 오프로드 공정부(901)에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(X축, Y축, Z축 등)은 도 67 및 도 68에 도시된 좌표축(또는 구성의 배치 상태)을 기준으로 설정한 것이다.
또한, 도 1 및 도 67을 참조하면, 오프로드 공정부(901)는 검사 완료된 패키지(P)가 적재되는 트레이가 준비되는 트레이부(a, b, c)를 포함한다. 구체적으로, 트레이부(a, b, c)는 복수 개의 트레이 각각이 적재되도록 복수개로 구비될 수 있다. 예시적으로, 복수개의 트레이부(a, b, c)는 제1 트레이부(a), 제2 트레이부(b) 및 제3 트레이부(c)를 포함할 수 있다. 또한, 제1 내지 제3 트레이부(a, b, c) 중 두 개에는 양품 판정 받은 패키지(P)가 플레이싱되는 트레이가 안착되고, 나머지 하나에는 불량 판정 받은 패키지(P)가 플레이싱되는 트레이가 안착될 수 있다. 예를 들어, 제1 트레이부(a)에 배치되는 트레이에는 양품 판정 받은 패키지(P)가 플레이싱될 수 있고, 제2 트레이부(b)에 배치되는 트레이에는 양품 판정 받은 패키지(P)가 플레이싱될 수 있으며, 제3 트레이부(c)에 배치되는 트레이에는 불량 판정 받은 패키지(P)가 플레이싱될 수 있다.
또한, 도 67을 참조하면, 오프로드 공정부(901)는 트레이부(a, b, c)를 Y축 방향으로 이동시키는 트레이 이동부(909)를 포함할 수 있다.
예시적으로, 도 67을 참조하면, 트레이 이동부(909)는 Y축 방향으로 연장 배치되고, 제1트레이부(a)의 이동을 가이드하는 제1 Y축 레일(9091)을 포함할 수 있다. 또한, 트레이 이동부(909)는 Y축 방향으로 연장 배치되되 제1 Y축 레일(9091)의 X축 방향 타측에 배치되어 제2트레이부(b)의 이동을 가이드하는 제2 Y축 레일(9092) 및 Y축 방향으로 연장 배치되되 제2 Y축 레일(9092)의 X축 방향 타측에 배치되어 제3트레이부(c)의 이동을 가이드하는 제3 Y축 레일(9093)을 포함할 수 있다.
제1 내지 제3 Y축 레일(9091, 9092, 9093) 각각의 Y축 방향 일측부에는 제1 내지 제3 트레이부(a, b, c) 각각에 안착된 트레이에 대한 패키지 플레이싱이 이루어지는 로딩 대기 영역이 형성되고, 제1 내지 제3 Y축 레일(9091, 9092, 9093) 각각의 Y축 방향 타측부에는 제1 내지 제3 트레이부(a, b, c) 각각에 대한 트레이의 공급 및 수거가 이루어지는 교환 대기 영역이 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 트레이부(a)의 교환 대기 영역 위치시 제1 트레이부(a)에 새 트레이가 공급(안착)될 수 있고, 새 트레이를 공급받은 제1 트레이부(a)가 로딩 대기 영역으로 이동되어 양품 판정 받은 패키지(P)를 제3 패키지 픽커부(75) 및 제4 패키지 픽커부(76) 각각에 의해 패키지(P)를 이송받을 수 있다. 또한, 제1 트레이부(a)의 트레이에 대한 패키지(P) 플레이싱이 최종적으로 완료되면, 제1 트레이부(a)는 교환 대기 영역으로 이동될 수 있고, 제1 트레이부(a) 상의 트레이는 회수될 수 있으며, 제1 트레이부(a)에는 새 트레이가 공급될 수 있다. 제2 트레이부(b)의 구동은 제1 트레이부(a)의 구동과 유사하므로 상세한 설명은 생략한다. 또한, 제3 트레이부(c)의 경우, 제3 트레이부(c)의 교환 대기 영역 위치시 제3 트레이부(c)에 새 트레이가 공급(안착)될 수 있고, 새 트레이를 공급받은 제3 트레이부(c)가 로딩 대기 영역으로 이동되어 불량 판정 받은 패키지(P)를 제3 패키지 픽커부(75) 및 제4 패키지 픽커부(76) 각각에 의해 이송받을 수 있다. 또한, 제3 트레이부(c)의 트레이에 대한 패키지(P) 플레이싱이 최종적으로 완료되면, 제3 트레이부(c)는 교환 대기 영역으로 이동될 수 있고, 제3 트레이부(c) 상의 트레이는 회수될 수 있으며, 제3 트레이부(c)에는 새 트레이가 공급될 수 있다. 참고로, 로딩 대기 영역은, 제3 및 제4 패키지 픽커부(75, 76) 각각의 제1 내지 제3 트레이부(a, b, c) 각각에 대한 패키지(P) 플레이싱이 가능한 위치에 형성될 수 있다.
또한, 본 패키지 언로딩 장치에 의하면, 패키지의 트레이에 대한 플레이싱이 시작되기 전에, 제1 내지 제3 트레이부(a, b, b)는 빈 상태로 교환 대기 영역으로부터 로딩 대기 영역으로 이동되어, 로딩 대기 영역에 위치할 수 있다. 또한, 패키지의 트레이에 대한 플레이싱이 시작되면, 양품 판정받은 패키지는 제1 및 제2 트레이부(a, b) 중 하나에 플레이싱될 수 있고, 불량 판정받은 패키지는 제3 트레이부(c)에 플레이싱될 수 있는데, 양품 판정받은 패키지는 제1 및 제2 트레이부(a, b) 중 하나의 트레이부의 트레이에 대한 적재가 완료될때까지 상기 하나의 트레이부의 트레이에만 적재될 수 있고, 하나의 트레이부의 트레이에 대한 적재가 완료되면, 양품 판정받은 패키지는 다른 하나의 트레이부의 트레이에 적재되기 시작할 수 있으며 적재가 완료된 하나의 트레이부의 트레이는 교환 대기 영역으로 이동되어 회수되고 하나의 트레이부는 트레이를 공급받아 로딩 대기 영역으로 이동될 수 있다. 예를 들어, 패키지의 트레이에 대한 플레이싱이 시작되면, 양품 판정받은 패키지는 제1 트레이부(a)의 트레이에 적재될 수 있는데, 이때 제1 트레이부(a)의 트레이가 풀(full) 상태가 되기 전까지는 제1 트레이부(a)의 트레이에 대해 패키지의 플레이싱이 이루어질 수 있다(이때, 제2 트레이부(b)의 트레이는 대기 상태). 이후, 제1 트레이부(a)의 트레이가 풀 상태가 되면, 제1 트레이부(a)는 교환 대기 영역으로 이동되고 제2 트레이부(b)의 트레이에 대한 패키지의 플레이싱이 시작될 수 있으며, 제1 트레이부(a)의 트레이는 교환 대기 영역에서 그가 적재하고 있던 풀 상태의 트레이가 회수되어 새 트레이를 공급받으면 로딩 대기 영역으로 이동하여 제2 트레이부(b)의 트레이가 풀 상태가 될 때까지 대기할 수 있고, 제2 트레이부(b)의 트레이가 풀 상태가 되면, 제2 트레이부(b)는 교환 대기 영역으로 이동될 수 있고, 제1 트레이부(a)의 새 트레이에 대한 패키지 플레이싱이 시작될 수 있다.
이와 같이, 불량 패키지에 비해 다량이라 빠르게 적재 완료되는 양품 패키지의 플레이싱과 관련하여, 2개의 트레이부(a, b) 중 하나인 트레이부의 트레이에 대한 양품 패키지 적재가 완료되어 트레이 회수가 이루어져야 할 때, 하나인 트레이부의 트레이의 회수가 이루어지는 과정에서도 다른 트레이부의 트레이에 양품 패키지 적재가 이루어질 수 있으므로, 트레이부의 트레이 회수 및 새 트레이 공급시 작동이 멈추지 않고 계속적으로 패키지 적재가 이루어질 수 있다.
또한, 도 1 및 도 68을 참조하면, 오프로드 공정부(901)는 제1 내지 제3 Y축 레일(9091, 9092, 9093)의 Y축 방향 타측에 구비되어 트레이부(a, b, c)에 공급되는 트레이 및 트레이부(a, b, c)로부터 회수되는 트레이가 적재되는 트레이 스태커(9061a, 9061b, 9061c) 복수개를 포함할 수 있다. 예를 들어, 복수개의 트레이 스태커(9061a, 9061b, 9061c)는, 복수 개의 새 트레이가 적재되는 제1 트레이 스태커(stacker)(9061a), 양품 판정 받은 패키지(P)가 플레이싱된 트레이가 적재되는 제2 트레이 스태커(9061b) 및 불량 판정 받은 패키지(P)가 플레이싱된 트레이가 적재되는 제3 트레이 스태커(9061c)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 교환 대기 영역으로 이동되는 제1 및 제2 트레이부(a, b)로부터 회수되는 트레이는 제2 트레이 스태커(9061b)로 회수될 수 있고, 제3 트레이부(c)의 불량 판정 받은 패키지(P)가 플레이싱된 트레이는 제3 트레이 스태커(9061c)로 회수될 수 있으며, 제1 내지 제3 트레이부(a, b, c)에는 제1 트레이 스태커(9061a)의 트레이가 공급될 수 있다.
양품 판정 받은 패키지(P)가 플레이싱된 트레이가 적재되는 제2 트래이 스태커(9061b) 및 불량 판정 받은 패키지(P) 플레이싱된 트레이를 적재받는 제3 트레이 스태커(9061c) 각각은 적재받는 트레이를 하측으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 제2 트레이 스태커(9061b) 및 제3 트레이 스태커(9061c) 각각은 Y축 방향으로 연장 형성되는 ㄱ 형상의 받침 부재 2개가 X축 방향으로 간격을 두고 배치되고, 받침 부재에 트레이가 안착되는 받침부 및 받침부의 사이에서 상하 방향으로 왕복 이동하는 베이스부를 포함할 수 있다. 구체적으로, 초기(트레이 적재 전)에 베이스부는 받침 부재보다 하측에 위치하는 초기 상태를 가질 수 있는데, 트레이 피커부(9062)는 트레이를 픽업하여 받침 부재 상에 안착시킬 수 있고, 이후 베이스부가 상측으로 이동하여 받침 부재에 안착된 트레이의 하면의 적어도 일부에 접촉하며 트레이를 받침 부재보다 더 높게 상측으로 이동시킬 수 있고, 이후, 2 개의 받침 부재가 서로 이격되며 2 개의 받침 부재 사이의 간격을 보다 넓게 하여 트레이가 받침 부재보다 낮은 높이로 이동되게 할 수 있다. 이때, 베이스부는 그에 안착된 트레이의 상면과 받침 부재의 하면이 소정의 높이차를 갖도록(접촉하지 않는 범위 내에서 최대한 가깝게 위치하도록), 위치할 수 있다. 트레이의 하측 방향으로의 이동 후, 2 개의 받침 부재는 서로 가까워져 초기 상태의 간격을 가질 수 있다. 이후, 트레이 픽커부(9062)는 다른 트레이를 픽업하여 초기 상태의 간격을 가지고 있는 2 개의 받침 부재 상에 다른 트레이를 안착시킬 수 있고, 이후, 베이스부는 상측으로 이동하여 베이스부에 안착된 트레이 중 최상측의 트레이의 상면과 받침 부재 상의 다른 트레이의 하면이 접촉되게 하며 다른 트레이를 받침 부재보다 더 높은 상측으로 이동시킬 수 있고, 이후, 2 개의 받침부재가 서로 이격되며 넓은 간격이 확보되면 베이스부는 하측으로 이동되어 그에 안착된 트레이 중 최상측에 위치하는 다른 트레이의 상면과 받침 부재의 하면이 소정의 높이차를 갖되 다른 트레이가 받침 부재보다 하측에 위치하도록 하향이동될 수 있다. 이후 받침 부재는 다시 서로 가까워져 초기 상태의 간격을 가질 수 있다. 이러한 과정에 따라 제2 트레이 스태커(61b) 및 제3 트레이 스태커(61c) 각각은 그에 안착되는 스태커를 적층받을 수 있다. 또한, 참고로, 위 과정에서 2 개의 받침부재가 멀어지도록 이격되지 않으며 초기 상태의 간격을 가지고도 베이스부 상의 트레이는 2 개의 받침부재 사이를 통과하며 상측으로 이동될 수 있는데, 이를 위해 트레이에는 소정의 절개부(홈)이 형성되어 있을 수 있다.
참고로, 도 68을 참조하면, 트레이 스태커(61a, 61b, 61c)는 2 개의 받침 부재 상에 안착되는 트레이를 감지할 수 있는 센서를 포함할 수 있다. 센서는 2개의 받침 부재를 가로지르는 센서광(9061r)을 송수신함으로써, 2 개의 받침 부재 상에 안착되는 트레이 유무 및 트레이의 위치를 감지할 수 있다.
또한, 도 1을 참조하면, 또한, 제1 내지 제3 트레이부(a, b, c)에 대한 트레이의 공급 및 회수는 트레이 피커부(9062)에 의해 이루어질 수 있다. 이하에서 자세히 설명한다.
오프로드 공정부(901)는 트레이 피커부(9062)를 포함할 수 있다. 트레이 피커부(9062)는, 제1 트레이 스태커(9061a)로부터 새 트레이를 파지하여 제1 내지 제3 트레이부(a, b, c) 각각에 안착시키거나, 제1 내지 제3 트레이부(a, b, c)로부터 양품 판정 받은 패키지(P)가 플레이싱된 트레이를 파지하여 제2 트레이 스태커(9061b)에 안착시키거나, 또는, 제1 내지 제3 트레이부(a, b, c)로부터 불량 판정 받은 패키지(P)가 플레이싱된 트레이를 파지하여 제3 트래이 스태커(9061c)에 안착시킬 수 있다.
도 1을 참조하면, 트레이 피커부(9062)는 제1 내지 제3 Y축 레일(9091, 9092, 9093)의 Y축 방향 타측부를 가로지르며 X축 방향으로 연장 배치되는 X축 레일 유닛(90621), X축 레일 유닛(90621)의 X축 방향 타측부에서 X축 레일 유닛(90621)을 따라 이동 가능하게 구비되되, Y축 방향으로 연장 배치되는 Y축 레일 유닛 및 Y축 레일 유닛을 따라 이동 가능하며 트레이의 파지가 가능한 트레이 피커 유닛(90623)을 포함할 수 있다. 정확히, x축 레일 유닛(90621)은 제1 내지 제3 Y축 레일(9091, 9092, 9093)의 상측에서 제1 내지 제3 Y축 레일(9091, 9092, 90 93)의 Y축 방향 타측부를 가로지를 수 있다.
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 로딩언로딩 장치
2: 커팅 장치
3: 세척부
4: 드라이 장치
5: 그리드 테이블
6: 그리드 픽커
7: 브러쉬 장치
8: 패키지 픽커 모듈
90: 검사부
901: 오프로드 공정부

Claims (8)

  1. 패키지 싱귤레이션 시스템에 있어서,
    스트립을 유입하는 로딩언로딩 장치;
    스트립을 패키지로 커팅하는 패키지 커팅 장치;
    커팅된 패키지를 세척하는 세척부;
    세척된 패키지를 건조하는 드라이 장치;
    건조된 패키지가 안착되는 그리드 테이블;
    상기 드라이 장치에서 건조된 패키지를 상기 그리드 테이블로 이송하는 그리드 픽커;
    건조된 패키지를 브러쉬하는 브러쉬 장치; 및
    상기 그리드 테이블에 안착된 패키지를 상기 브러쉬 장치로 이송하는 패키지 픽커 모듈;
    브러쉬된 패키지의 불량 여부를 검사하는 검사부;
    상기 검사부의 결과에 따라 불량 패키지와 양품 패키지로 분류하는 오프로드 공정부를 포함하되,
    상기 로딩언로딩 장치는,
    준비된 스트립이 적재된 매거진을 적재하는 제1 트레이, 상기 제1 트레이의 상측에 구비되며 빈 매거진을 적재하는 제2 트레이 및 상기 제2 트레이의 상측에 구비되며 회수 판정을 받아 상기 커팅 장치로 이송되지 않고 회수되는 회수 스트립이 적재된 매거진을 적재하는 제3 트레이를 포함하는 트레이부;
    상기 준비된 스트립이 적재된 매거진을 파지하는 제1클램프 유닛, 상기 빈 매거진 또는 상기 회수 스트립이 적재된 매거진을 파지하는 제2클램프 유닛 및 상기 제1클램프 유닛 및 상기 제2클램프 유닛을 상하 방향으로 구동하는 구동 레일부를 포함하고, 상기 트레이부의 길이 방향으로의 일측에 구비되는 클램프 구조체; 및
    상기 준비된 스트립을 상기 준비된 스트립이 적재된 매거진으로부터 제공 받거나, 상기 회수 스트립을 상기 빈 매거진 또는 상기 회수 스트립이 적재된 매거진에 제공하는 로딩언로딩부를,
    포함하는 것인, 패키지 싱귤레이션 시스템.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 패키지 커팅 장치는,
    블레이드가 장착되는 블레이드 장착부를 포함하고, 스트립을 패키지로 커팅하는 커팅 어셈블리; 및
    상기 블레이드 장착부로부터 블레이드를 수거하거나, 상기 블레이드 장착부에 블레이드를 장착시키는 블레이드 자동 교환 로봇을,
    포함하는 것인, 패키지 싱귤레이션 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 드라이 장치는,
    패키지가 적재되는 수용 상태 및 상측 방향으로 건조 기류를 형성하는 건조 상태가 가능한 적재모듈; 및
    상기 적재모듈 상에서 이동하며 하측 방향으로 건조 기류를 형성하여 상기 적재모듈에 적재되는 패키지의 상면을 건조시키는 건조 모드 및 상기 적재모듈에 적재되는 패키지를 픽업하여 상기 적재모듈 상에서 이동하는 픽업 모드가 가능한 플립퍼모듈,
    을 포함하는 패키지 싱귤레이션 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 브러쉬 장치는,
    평면 브러쉬 구조체; 및
    롤 브러쉬 구조체를 포함하되, 상기 평면 브러쉬 구조체 및 상기 롤 브러쉬 구조체 각각은 패키지가 접촉되면 소정 시간 진동하는 것인, 패키지 싱귤레이션 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 그리드 테이블은,
    수용홈 및 복수의 진공홀이 구비되는 베이스부; 및
    상기 수용홈 상에 배치되는 안착시트,
    를 포함하고,
    상기 안착시트는 포러스(porous) 재질인 것인, 패키지 싱귤레이션 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 그리드 픽커는,
    상하로 통공되는 복수 개의 제1 홀이 형성되는 하부 플레이트;
    상기 하부 플레이트의 상측에 위치하며, 상기 복수 개의 제1 홀 각각과 대응되게 상하로 통공되는 복수 개의 제2 홀이 형성되는 상부 플레이트;
    상기 하부 플레이트의 하측에 위치하며, 상기 제1 홀에 작용하는 진공압을 이용하여 패키지를 흡착하는 복수의 흡착부를 포함하는 흡착 패드; 및
    상기 제2 홀을 통해 상기 제1 홀에 진공압을 작용하는 진공부를 포함하되,
    복수 개의 상기 흡착부는 여유 공간부를 사이에 두고 형성되고, 상기 여유 공간부의 크기는 상기 패키지의 규격과 대응되는 것인, 패키지 싱귤레이션 시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 패키지 픽커 모듈은,
    패키지를 픽업 가능한 픽커를 포함하되,
    상기 픽커는,
    길이 방향으로 가이드 관이 형성되는 하부 몸체;
    하단이 상기 가이드 관의 상단과 연통되며 상기 가이드 관과 진공 생성부를 연통시키는 진공 라인이 형성되고, 상기 하부 몸체와 연결되는 중간 몸체; 및
    상기 가이드 관 내에 상하 방향으로 이동 가능하게 구비되는 이젝트 핀; 및
    상기 하부 몸체의 하면에 상기 가이드 관의 하단 둘레를 따라 형성되어 각각이 진공 펌프와 연통되는 복수 개의 진공 홀을 포함하되,
    상기 중간 몸체는 상기 진공 라인의 하단 둘레를 따라 형성되되 적어도 일부가 상기 이젝트 핀의 상단 테두리와 대향하는 지지턱을 포함하고,
    상기 이젝트 핀은 하단이 상기 가이드 관의 하단보다 하측으로 돌출되고 상단이 상기 지지턱으로부터 이격되는 초기 위치를 가지고 상기 가이드 관에 구비되는 것인, 패키지 싱귤레이션 시스템.
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