JPH05299492A - ウエハの位置決め装置 - Google Patents
ウエハの位置決め装置Info
- Publication number
- JPH05299492A JPH05299492A JP12291792A JP12291792A JPH05299492A JP H05299492 A JPH05299492 A JP H05299492A JP 12291792 A JP12291792 A JP 12291792A JP 12291792 A JP12291792 A JP 12291792A JP H05299492 A JPH05299492 A JP H05299492A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 薄膜磁気ヘッド等の製造プロセスにおけるウ
エハの位置決めを、大型のウエハであっても迅速、確実
かつ精度良く行なう。 【構成】 載置台１のウエハ載置面２にウエハＷを浮上
させるエア噴出孔８ａ，８ｂ，８ｃと、ウエハＷを吸着
する真空吸着孔７ａ，７ｂとを有すると共に、ウエハの
周縁部Ｗａを押圧して基準部材２，４に当接させる押圧
部材６を備えたウエハの位置決め装置において、ウエハ
ＷのオリエンテーションフラットＦが当接する基準部材
３に真空チャック１３を設けており、その基準部材３の
方向にウエハＷを移動させるためのエアノズル５ａ，５
ｂをウエハＷの側面に向けて設けたもの。
エハの位置決めを、大型のウエハであっても迅速、確実
かつ精度良く行なう。 【構成】 載置台１のウエハ載置面２にウエハＷを浮上
させるエア噴出孔８ａ，８ｂ，８ｃと、ウエハＷを吸着
する真空吸着孔７ａ，７ｂとを有すると共に、ウエハの
周縁部Ｗａを押圧して基準部材２，４に当接させる押圧
部材６を備えたウエハの位置決め装置において、ウエハ
ＷのオリエンテーションフラットＦが当接する基準部材
３に真空チャック１３を設けており、その基準部材３の
方向にウエハＷを移動させるためのエアノズル５ａ，５
ｂをウエハＷの側面に向けて設けたもの。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はウエハの位置決め装置
に関するもので、さらに詳しくは薄膜磁気ヘッド等の製
造に用いられる比較的肉厚なウエハについての位置決め
装置に関する。
に関するもので、さらに詳しくは薄膜磁気ヘッド等の製
造に用いられる比較的肉厚なウエハについての位置決め
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子等の製造プロセスにおいて、
ウエハの位置決め技術は重要な位置を占め多くの開発、
提案がなされている。このうち、水平面内で位置決めを
行う代表的なものは、ウエハに設けられているオリエン
テーションフラットとウエハの円周側縁とを、押圧手段
により同時にそれぞれの基準部材に当接させて行うもの
である。このとき、ウエハが基準部材の方向に容易に移
動し得るように、位置決め装置のウエハ載置台に設けら
れているウエハを浮上させるためのエアや窒素ガスなど
の流体噴出孔を、基準部材の方向に向けて斜上方に傾斜
させて設けたものや、特開昭５９−１２８１２３号公報
に開示されているように、ウエハ載置面に複数個設けら
れている流体噴出孔のうち、載置面上でウエハを浮動す
べき方向の領域に設けられた噴出孔の径を、他の領域に
設けられた噴出孔の径に比べて小さく形成した構造のも
の等が知られている。
ウエハの位置決め技術は重要な位置を占め多くの開発、
提案がなされている。このうち、水平面内で位置決めを
行う代表的なものは、ウエハに設けられているオリエン
テーションフラットとウエハの円周側縁とを、押圧手段
により同時にそれぞれの基準部材に当接させて行うもの
である。このとき、ウエハが基準部材の方向に容易に移
動し得るように、位置決め装置のウエハ載置台に設けら
れているウエハを浮上させるためのエアや窒素ガスなど
の流体噴出孔を、基準部材の方向に向けて斜上方に傾斜
させて設けたものや、特開昭５９−１２８１２３号公報
に開示されているように、ウエハ載置面に複数個設けら
れている流体噴出孔のうち、載置面上でウエハを浮動す
べき方向の領域に設けられた噴出孔の径を、他の領域に
設けられた噴出孔の径に比べて小さく形成した構造のも
の等が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これら従来の
ウエハ位置決め装置により、薄膜磁気ヘッド用など比較
肉厚で重量も大きいウエハを位置決めするのは困難であ
った。この種の精密機器はエアクッション付の防振台上
に設置されるので、ＸＹテーブルの移動により重心がず
れ、ウエハ載置台が水平から僅かに傾斜していることが
ある。このようなとき、重いウエハを浮上させるため噴
出する流体の圧力を高くすると、図６（イ）に示すよう
に噴出する流体のバランスがくずれ、ウエハＷが不規則
に移動して位置決めができなかったり、また、噴出流体
によりウエハを基準部材の方向に押す力が弱いため、図
６（ロ）に示すようにウエハＷの傾きを修復できない欠
点があった。さらに、図６（ハ）のようにオリエンテー
ションフラットＦと基準部材とが微小な異物等が介在し
て密着しない場合、それを検出できないという問題があ
った。本発明は上記の従来技術の問題点を解決し、最近
大型化しているウエハに対しても十分に対応し得るウエ
ハの位置決め装置を提供するものである。
ウエハ位置決め装置により、薄膜磁気ヘッド用など比較
肉厚で重量も大きいウエハを位置決めするのは困難であ
った。この種の精密機器はエアクッション付の防振台上
に設置されるので、ＸＹテーブルの移動により重心がず
れ、ウエハ載置台が水平から僅かに傾斜していることが
ある。このようなとき、重いウエハを浮上させるため噴
出する流体の圧力を高くすると、図６（イ）に示すよう
に噴出する流体のバランスがくずれ、ウエハＷが不規則
に移動して位置決めができなかったり、また、噴出流体
によりウエハを基準部材の方向に押す力が弱いため、図
６（ロ）に示すようにウエハＷの傾きを修復できない欠
点があった。さらに、図６（ハ）のようにオリエンテー
ションフラットＦと基準部材とが微小な異物等が介在し
て密着しない場合、それを検出できないという問題があ
った。本発明は上記の従来技術の問題点を解決し、最近
大型化しているウエハに対しても十分に対応し得るウエ
ハの位置決め装置を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の構成を実施例に
対応する図１〜図３により説明すると、ウエハ載置台１
のウエハ載置面２には、位置決めの際にウエハＷを浮上
させ移動しやすくするための流体噴出口８ａ，８ｂ，８
ｃと、位置決めの後にウエハＷを吸着して固定するため
の流体吸入口７ａ，７ｂとを有していると共に、ウエハ
Ｗの周縁部Ｗａを押圧して基準部材３，４に当接させる
押圧部材６を備えたウエハの位置決め装置において、ウ
エハＷのオリエンテーションフラットＦが当接する基準
部材３に真空チャック１３を設けており、また、オリエ
ンテーションフラットＦが当接する基準部材３の方向に
ウエハＷを移動させるための流体噴出口５ａ，５ｂを、
ウエハＷの周縁部の側面に向けて設けている。さらに、
真空チャック１３の回路には、ウエハＷのオリエンテー
ションフラットＦの面を吸着したことを検出する真空圧
スイッチ１０を設けている。
対応する図１〜図３により説明すると、ウエハ載置台１
のウエハ載置面２には、位置決めの際にウエハＷを浮上
させ移動しやすくするための流体噴出口８ａ，８ｂ，８
ｃと、位置決めの後にウエハＷを吸着して固定するため
の流体吸入口７ａ，７ｂとを有していると共に、ウエハ
Ｗの周縁部Ｗａを押圧して基準部材３，４に当接させる
押圧部材６を備えたウエハの位置決め装置において、ウ
エハＷのオリエンテーションフラットＦが当接する基準
部材３に真空チャック１３を設けており、また、オリエ
ンテーションフラットＦが当接する基準部材３の方向に
ウエハＷを移動させるための流体噴出口５ａ，５ｂを、
ウエハＷの周縁部の側面に向けて設けている。さらに、
真空チャック１３の回路には、ウエハＷのオリエンテー
ションフラットＦの面を吸着したことを検出する真空圧
スイッチ１０を設けている。
【０００５】
【作用】ウエハＷは、前工程によりオリエンテーション
フラットＦがほぼ所定方向に向くようにしてウエハ載置
台１上に載置されるが、このときウエハ載置面２の流体
噴出口８ａ，８ｂ，８ｃからエア等の流体を噴出させて
いるので、ウエハＷは載置面２から僅かに浮上し載置台
１上を自由に動き得るようになる。ここで横方向に設け
た流体噴出口５ａ，５ｂから矢印の向きにエアを噴出さ
せウエハＷの周縁側面に吹き当てると、ウエハＷはエア
流に押されてオリエンテーションフラットＦが当接すべ
き基準部材３の方向へ進みその基準部材３に当接する。
すると基準部材３に設けられた真空チャック１３が作動
し、ウエハＷのオリエンテーションフラットＦ面は基準
部材３の当接面に吸着される。このとき、オリエンテー
ションフラットＦが基準部材３の当接面３ａに隙間なく
密着すれば、真空回路１３内の真空圧は急上昇するか
ら、真空圧スイッチ１０によりウエハＷが基準部材３に
正しく当接したことが確認される。これが確認された
後、押圧部材６によりウエハＷの周縁部Ｗａを押圧する
と、ウエハＷはそのオリエンテーションフラットＦが基
準部材３と当接しながら幾分か平行に移動し、周縁部Ｗ
ｂが基準部材４に当接することにより位置決めがなされ
る。
フラットＦがほぼ所定方向に向くようにしてウエハ載置
台１上に載置されるが、このときウエハ載置面２の流体
噴出口８ａ，８ｂ，８ｃからエア等の流体を噴出させて
いるので、ウエハＷは載置面２から僅かに浮上し載置台
１上を自由に動き得るようになる。ここで横方向に設け
た流体噴出口５ａ，５ｂから矢印の向きにエアを噴出さ
せウエハＷの周縁側面に吹き当てると、ウエハＷはエア
流に押されてオリエンテーションフラットＦが当接すべ
き基準部材３の方向へ進みその基準部材３に当接する。
すると基準部材３に設けられた真空チャック１３が作動
し、ウエハＷのオリエンテーションフラットＦ面は基準
部材３の当接面に吸着される。このとき、オリエンテー
ションフラットＦが基準部材３の当接面３ａに隙間なく
密着すれば、真空回路１３内の真空圧は急上昇するか
ら、真空圧スイッチ１０によりウエハＷが基準部材３に
正しく当接したことが確認される。これが確認された
後、押圧部材６によりウエハＷの周縁部Ｗａを押圧する
と、ウエハＷはそのオリエンテーションフラットＦが基
準部材３と当接しながら幾分か平行に移動し、周縁部Ｗ
ｂが基準部材４に当接することにより位置決めがなされ
る。
【０００６】
【実施例】本発明の一実施例を図１〜図３に示す。全体
を表す図１において１は載置台、Ｗはその載置面２上に
載置されたウエハで、このウエハＷには周縁の一部を直
線的に切欠いたオリエンテーションフラットＦが設けら
れている。載置台１の中央部には、手前側からウエハＷ
の直径の３分の２程度まで奥側へ延びる逃げ溝９が形成
され、ウエハＷの搬送用ハンド１５が挿入されたとき支
障ないようにしている。載置台１上の正面奥には、オリ
エンテーションフラットＦが当接する基準部材３が固設
されており、その当接面３ａには真空チャック１３が設
けられている。真空チャック１３は、図２に示すように
当接面３ａに横向きのスリット溝が設けられ、その溝底
部から真空回路１２によって真空圧スイッチ１０および
真空発生源１１に接続されている。また、載置台１の載
置面２には逃げ溝９をはさんで２か所の真空吸着溝７
ａ，７ｂが設けられ、その溝底部から導びかれる図示し
ない管路と開閉弁を経て真空発生源１１に接続されてい
る。
を表す図１において１は載置台、Ｗはその載置面２上に
載置されたウエハで、このウエハＷには周縁の一部を直
線的に切欠いたオリエンテーションフラットＦが設けら
れている。載置台１の中央部には、手前側からウエハＷ
の直径の３分の２程度まで奥側へ延びる逃げ溝９が形成
され、ウエハＷの搬送用ハンド１５が挿入されたとき支
障ないようにしている。載置台１上の正面奥には、オリ
エンテーションフラットＦが当接する基準部材３が固設
されており、その当接面３ａには真空チャック１３が設
けられている。真空チャック１３は、図２に示すように
当接面３ａに横向きのスリット溝が設けられ、その溝底
部から真空回路１２によって真空圧スイッチ１０および
真空発生源１１に接続されている。また、載置台１の載
置面２には逃げ溝９をはさんで２か所の真空吸着溝７
ａ，７ｂが設けられ、その溝底部から導びかれる図示し
ない管路と開閉弁を経て真空発生源１１に接続されてい
る。
【０００７】載置台１上の右側方には、ウエハＷの周縁
部Ｗｂが当接する基準部材４が基準部材３とほぼ直角の
向きに固設されており、載置台１上の左側に設けられた
押圧部材であるエアシリンダ６は、ウエハＷの周縁部Ｗ
ａを基準部材３と基準部材４の中間の方向に押圧するよ
うに取付けられている。また、載置台１の手前側の逃げ
溝９の両側には、流体噴出口である２個の図３に示すよ
うなエアノズル５ａ，５ｂが設けられ、ウエハＷの側面
をエア流によって基準部材３の方向に押すような向きに
取付けられている。さらに載置面２にはウエハＷを浮上
させるためのエア噴出孔８ａ，８ｂ，８ｃが３か所設け
られている。これらエアシリンダ６，エアノズル５ａ，
５ｂおよびエア噴出孔８ａ，８ｂ，８ｃは、図示しない
管路、開閉弁を経てエア供給源（図示省略）に接続され
ている。
部Ｗｂが当接する基準部材４が基準部材３とほぼ直角の
向きに固設されており、載置台１上の左側に設けられた
押圧部材であるエアシリンダ６は、ウエハＷの周縁部Ｗ
ａを基準部材３と基準部材４の中間の方向に押圧するよ
うに取付けられている。また、載置台１の手前側の逃げ
溝９の両側には、流体噴出口である２個の図３に示すよ
うなエアノズル５ａ，５ｂが設けられ、ウエハＷの側面
をエア流によって基準部材３の方向に押すような向きに
取付けられている。さらに載置面２にはウエハＷを浮上
させるためのエア噴出孔８ａ，８ｂ，８ｃが３か所設け
られている。これらエアシリンダ６，エアノズル５ａ，
５ｂおよびエア噴出孔８ａ，８ｂ，８ｃは、図示しない
管路、開閉弁を経てエア供給源（図示省略）に接続され
ている。
【０００８】この実施例の作動は次のようである。図示
しない前工程のプリアライメント装置によって、オリエ
ンテーションフラットＦがほぼ所定方向に向くようにさ
れたウエハＷは、図４に示すようにロボットの搬送用ハ
ンド１５に真空吸着されて搬送される。ウエハ位置決め
装置の載置台１上にウエハＷが搬入されたとき、搬送用
ハンド１５は載置台１の逃げ溝９の中に挿入される。こ
こで搬送用ハンド１５の真空吸着が解かれウエハＷは載
置台１上に載置される。このとき載置面２のエア噴出孔
８ａ，８ｂ，８ｃから浮上用のエアが噴出し、さらにエ
アノズル５ａ，５ｂから横移動用のエア流も噴出するか
ら、ウエハＷは、これらのエア流の推力によって基準部
材３の方向に移動し、オリエンテーションフラットＦが
基準部材３の面に当接する。
しない前工程のプリアライメント装置によって、オリエ
ンテーションフラットＦがほぼ所定方向に向くようにさ
れたウエハＷは、図４に示すようにロボットの搬送用ハ
ンド１５に真空吸着されて搬送される。ウエハ位置決め
装置の載置台１上にウエハＷが搬入されたとき、搬送用
ハンド１５は載置台１の逃げ溝９の中に挿入される。こ
こで搬送用ハンド１５の真空吸着が解かれウエハＷは載
置台１上に載置される。このとき載置面２のエア噴出孔
８ａ，８ｂ，８ｃから浮上用のエアが噴出し、さらにエ
アノズル５ａ，５ｂから横移動用のエア流も噴出するか
ら、ウエハＷは、これらのエア流の推力によって基準部
材３の方向に移動し、オリエンテーションフラットＦが
基準部材３の面に当接する。
【０００９】基準部材３に当接したオリエンテーション
フラットＦは真空チャック１３に吸着される。このとき
オリエンテーションフラットＦが基準部材３の当接面３
ａに隙間なく密着すれば、真空回路１３内の真空圧は急
上昇するから真空圧スイッチ１０によりウエハＷが基準
部材３に正しく吸着されたことが確認される。吸着が確
認された後、エアシリンダ６を前進させてウエハＷの周
縁部Ｗａを押圧すると、ウエハＷはオリエンテーション
フラットＦの面と平行に移動し、周縁部の他の点Ｗｂで
基準部材４と当接することにより位置決めがなされる。
フラットＦは真空チャック１３に吸着される。このとき
オリエンテーションフラットＦが基準部材３の当接面３
ａに隙間なく密着すれば、真空回路１３内の真空圧は急
上昇するから真空圧スイッチ１０によりウエハＷが基準
部材３に正しく吸着されたことが確認される。吸着が確
認された後、エアシリンダ６を前進させてウエハＷの周
縁部Ｗａを押圧すると、ウエハＷはオリエンテーション
フラットＦの面と平行に移動し、周縁部の他の点Ｗｂで
基準部材４と当接することにより位置決めがなされる。
【００１０】位置決め終了後は、エア噴出孔８ａ，８
ｂ，８ｃおよびエアノズル５ａ，５ｂからのエア噴出が
停止され、代って真空吸着溝７ａ，７ｂから吸気される
ことによりウエハＷは載置面２に固定される。ウエハＷ
が固定された後、ロボットの搬送用ハンド１５は載置台
１の逃げ溝９に挿入されて、ウエハＷの下面に隙間なく
接するようにされる。次いで搬送用ハンド１５にウエハ
Ｗの下面が真空吸着されると、続いてエアシリンダ６が
後退し、さらに載置面２の真空吸着溝７ａ，７ｂからの
吸気が停止されることによって、ウエハＷは完全に搬送
用ハンド１５上に固定され、ロボットにより次工程に移
動させられる。
ｂ，８ｃおよびエアノズル５ａ，５ｂからのエア噴出が
停止され、代って真空吸着溝７ａ，７ｂから吸気される
ことによりウエハＷは載置面２に固定される。ウエハＷ
が固定された後、ロボットの搬送用ハンド１５は載置台
１の逃げ溝９に挿入されて、ウエハＷの下面に隙間なく
接するようにされる。次いで搬送用ハンド１５にウエハ
Ｗの下面が真空吸着されると、続いてエアシリンダ６が
後退し、さらに載置面２の真空吸着溝７ａ，７ｂからの
吸気が停止されることによって、ウエハＷは完全に搬送
用ハンド１５上に固定され、ロボットにより次工程に移
動させられる。
【００１１】この実施例の装置によるウエハの位置決め
実験を行った結果、その実測値は図５に示すようにＸ，
Ｙ方向とも−１〜＋１μｍ以内に納まっており、良好な
結果を示した。
実験を行った結果、その実測値は図５に示すようにＸ，
Ｙ方向とも−１〜＋１μｍ以内に納まっており、良好な
結果を示した。
【００１２】
【発明の効果】本発明においては、ウエハを基準部材に
当接させて位置決めを行うに際し、ウエハを浮上させる
流体噴出に加えて、ウエハの側面に向けて流体を吹き付
けているので、基準部材にウエハを当接させる横方向の
推力が大きく、ウエハの傾きを修正させる力も強くなり
安定したウエハの位置決めを行うことができる。また、
最近の大型化しているウエハに対しても十分に対応でき
る。さらに、オリエンテーションフラットが当接する基
準部材の面に真空チャックを設けて真空圧を検出してい
るので、当接面に異物等が介在した場合にこれを異常と
して検出することができる。
当接させて位置決めを行うに際し、ウエハを浮上させる
流体噴出に加えて、ウエハの側面に向けて流体を吹き付
けているので、基準部材にウエハを当接させる横方向の
推力が大きく、ウエハの傾きを修正させる力も強くなり
安定したウエハの位置決めを行うことができる。また、
最近の大型化しているウエハに対しても十分に対応でき
る。さらに、オリエンテーションフラットが当接する基
準部材の面に真空チャックを設けて真空圧を検出してい
るので、当接面に異物等が介在した場合にこれを異常と
して検出することができる。
【図１】本発明の一実施例の平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う部分断面図。
【図３】図１のＢ−Ｂ線に沿う部分断面図。
【図４】ウエハを搬送する状態を示す斜視図。
【図５】図１の実施例装置による位置決め実験結果を示
す図。
す図。
【図６】従来技術における問題点を示す図。
１ 載置台 ２ 載置面 ３ 基準部材（オリエンテーションフラット用） ４ 基準部材（ウエハ周縁部用） ５ａ，５ｂ エアノズル（流体噴出口） ６ エアシリンダ（押圧部材） ７ａ，７ｂ 真空吸着溝（流体吸入口） ８ａ，８ｂ，８ｃ エア噴出孔（流体噴出口） １０ 真空圧スイッチ １２ 真空回路 １３ 真空チャック Ｗ ウエハ Ｗａ，Ｗｂ ウエハ周縁部 Ｆ オリエンテーションフラット
Claims (2)
- 【請求項１】 載置台のウエハ載置面にウエハを浮上さ
せる流体噴出口と、ウエハを吸着する流体吸入口を有し
ていると共にウエハの周縁部を押圧して基準部材に当接
させる押圧部材を備えたウエハの位置決め装置におい
て、 ウエハのオリエンテーションフラットが当接する基準部
材に真空チャックが設けられており、また前記オリエン
テーションフラットが当接する基準部材の方向にウエハ
を移動させるための流体噴出口がウエハの周縁部側面に
向けて設けられていることを特徴とするウエハの位置決
め装置。 - 【請求項２】 真空チャックの回路にウエハのオリエン
テーションフラットを吸着したことを検知する真空圧ス
イッチが設けられている請求項１記載のウエハの位置決
め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12291792A JPH05299492A (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | ウエハの位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12291792A JPH05299492A (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | ウエハの位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05299492A true JPH05299492A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=14847802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12291792A Withdrawn JPH05299492A (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | ウエハの位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05299492A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5937993A (en) * | 1997-01-14 | 1999-08-17 | Tamarac Scientific Co., Inc. | Apparatus and method for automatically handling and holding panels near and at the exact plane of exposure |
| EP1094499A2 (en) * | 1999-10-19 | 2001-04-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Heating apparatus for bump bonding, bump bonding method and bump forming apparatus |
| KR100809275B1 (ko) * | 2006-11-13 | 2008-03-03 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 워피지 방지 장치 |
| CN100378944C (zh) * | 2003-05-14 | 2008-04-02 | Hoya株式会社 | 基板保持用具、基板处理装置、基板检查装置及使用方法 |
| WO2009148070A1 (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-10 | 株式会社アルバック | アライメント機能付きステージ及びこのアライメント機能付きステージを備えた処理装置並びに基板アライメント方法 |
| JP2010074108A (ja) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Tokyo Electron Ltd | ウエハ位置合わせ装置 |
| JP2010238710A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Lintec Corp | 位置決め装置および位置決め方法 |
| CN113108715A (zh) * | 2021-04-13 | 2021-07-13 | 南京中安半导体设备有限责任公司 | 悬浮物的测量装置和气浮卡盘 |
| CN114420623A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-04-29 | 三河建华高科有限责任公司 | 一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构 |
-
1992
- 1992-04-17 JP JP12291792A patent/JPH05299492A/ja not_active Withdrawn
Cited By (14)
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