JPH01303788A

JPH01303788A - 回路形成装置における基板保持装置

Info

Publication number: JPH01303788A
Application number: JP13515488A
Authority: JP
Inventors: Katsuhiko Taguchi; 田口　克彦
Original assignee: Juki Corp
Current assignee: Juki Corp
Priority date: 1988-05-31
Filing date: 1988-05-31
Publication date: 1989-12-07
Anticipated expiration: 2009-10-19
Also published as: JPH0682911B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、ハイブリッドＩＣ用の回路等を基板上に描
画する回路形成装置の基板保持装置に関し、特に両面に
回路を形成し得る基板の保持に打数な基板保持装置に関
するものである。

〔従来の技術〕

現在使用されている回路形成装置としては第５図に示す
ものがある。

図において、回路形成材Ｐを収納した収納容器１の下端
には、ノズル２が設けられており、収納容器１はモータ
３によって垂直に昇降する昇降体４に保持されている。

また、前記収納容器１の下方には、基板支持台５がＸ−
Ｙステージ６上に固定されており、この基板支持台５上
に回路形成基板Ｂを固定し、前記ノズル２を回路形成基
板Ｂに近接させて回路形成材Ｐを吐出させると共に、Ｘ
−Ｙステージ５を恥動して基板支持台５を移動させるこ
とにより基板Ｂにには、所定の回路が形成される。

また、基板支持台５としては一般に、第６図に示すよう
な平板状のもの５Ａが用いられている。

すなわち、この基板支持台５Ａの端縁部には３本の係止
ピン６．７．８が突設されており、これら基板Ｂの２辺
を当接させることにより、基板Ｂを基板支持台５Ａ上の
所定の基壁位置に設定することができる。また、基板支
持台５Ａの内部は中空となっており、吸気パイプ９を介
して連結された図外の吸気源により、上面に形成された
多数の吸気孔５Ａ、から吸気を行なうことにより、位置
決めされた基板Ｂを確固に上面に吸着・保持させること
ができ、回路形成中の基板５Ａのずれ等を防止し得るも
のである。

ところで、基板Ｂには、その−面に回路を形成するもの
く以下、片面基板と称す）と、両面に回路を形成すｚも
の（以下、両面基板と称す）とがある。このうち−面に
のみ回路を形成する場合には、」１記基板支持台５Ａを
用いて良好に回路を形成することができるが、両面に回
路を形成する場合には、第２面目の回路を形成するに際
して既に第１ｍ丁に形成された回路が基板支持台５Ａの
」二面に接触し、損傷する虞れがあった。

そこで、従来１両面基板に対しては、第７図に示すよう
な四部５Ｂ工を有する基板支持台５Ｂを用いていた。、
これによれば、基板５Ｂはその周縁部のみが基板載置テ
ーブル５Ｂの中空の周縁部５Ｂ２にて保持されることと
なり、基板中の回路との接触は避けられ、回路の損傷を
防止することができる。なお、第７図中５Ｂ、は吸気孔
、】０は吸気パイプである。

〔発明を解決するための課題〕

しかしながら、上記基板支持台５Ｂにあっては。

一定サイズの回路形成基板にしか適用できず基板のサイ
ズ変更に対してその都度基板支持台３１３を交換しなけ
ればならないという問題があった。

例えば、基板支持台５Ｂの枠状の周縁部５Ｂ。

の内周より小さい基板Ｂ、を用いる場合には、第７図中
の二点鎖線に示すように、基板Ｂ、の二辺部を全く保持
できず（基板Ｂ□の状態は極めて不安定となり）、また
、周縁部５Ｂ２より大きい基板Ｂ２　を用いた場合には
周縁部５Ｂ２が基板Ｂ２中の裏面に形成した回路に接触
することとなり、この支持台５Ｂの所期の設置目的であ
る回路の損傷防止を為し得ない。

この発明は前記問題点に着目して成されたもので、基板
のサイズに拘りなく、迅速かつ確実に基板を保持するこ
とができる回路形成装置における基板保持装置の提供を
目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明は１回路形成装置の回路形成材吐出ノズルに対
向して設けた基板支持台に、吸気源に連結された吸気孔
を有する突面部と、この突面部にて保持された回路形成
基板の側端面に当接する係止ピンとを設ける一方、前記
基板支持台上に、的記突面部と同一平面上に保持面を有
すると共にこの保持面に係止ピンを立設して成る可動保
持体を載置し、かつ前記可動保持体の下面及び保持面の
上面に穿設された吸気孔に吸気源を連結したものである
。

〔作　　用〕

この発明においては、可動保持体が基板支持台上のいか
なる個所へも移動可能であるため、回路形成基板の少な
くとも二辺部を基板支持台の保持面に保持させた後、他
の保持されていない周辺部分に適宜可動支持台を移動さ
せてその保持面にて保持させることができ、いかなるサ
イズの回路形成基板に対しても、その周辺部分を保持さ
せることができ、しかも、基板の側端面が突面部と、突
出部とにより少なくとも四点で係止されると共に、吸気
孔からの吸気作用により基板が可動保持及び基（反支持
台に吸着され更に可動保持体自体もその下面に設けた吸
気孔からの吸気作用により基板支持台−ヒに位置を固定
し得るため、回路形成動作中の基板支持台の水平移動に
より基板がずれることもない。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の一実施例を第１図ないし第４図に基づ
き説明する。

図において、１１は迅区動手段としてのＸ−Ｙステージ
１２上に固定された基板支持台で、Ｘ−Ｙステージ１２
の駆動により水平面上をＸ方向およびＹ方向に移動する
ようになっている。この基板支持台１１は長方形状を成
し、その上面には二辺に沿ってＬ字状に突面部Ｌｌａが
形成されている。

また、１３は前記突面部１１ａ、ｌｌｂの外周縁に沿っ
て形成した複数の基亭穴で、その基準穴には複数（この
場合３個）の基準ピン１４，１５゜１６が嵌脱可能に取
付けられている。１７・・・・・・はｎ？ｒ記突面突面
部１１ａｌｂの上面から側面に亘って形成された多数の
吸気孔であり、これら吸気孔１７・・・・・・の上面側
開口部１７ａ、・・・・・・は突面部ＩＬａ；ｌＬｂの
内縁に沿って等間隔に配列されお材１８．・・を介して
吸気パイプ１９・・・・・・が連結され、さらにこれら
吸気パイプ１９．・・・・・・は電磁弁２０、・・・・
・・を介して吸気源２１（第３図参照）に連結されてい
る。

２２は前記基板支持台１１上に載置されたＬ字状の可動
保持体である。この可動保持体２２には１１７ｉ記突面
部ＬＬａ、Ｌｌｂと同一平面上に位置する保持面２２ａ
が形成され、さらにその保持面２２ａの外側には保持面
２２ａより上方へ突出する突出部２２ｂが形成されてい
る。また、２３．・・・及び２４．・・・・・は前記可
動保持体２２の下面から上面に亘って形成された多数の
吸気孔で、これら吸気孔２３．・・・・・・及び２４．
・・・・・・は、水平方向に形成された吸気流路２５に
連通しており、さらに吸気流路２５は接続部材２６を介
して吸気パイプ２７に連結され、吸気パイプ２７は電磁
弁２８を介して吸気ｇ２１に連結されている（第３図参
照）。　また、２９は前記′電磁弁２８の開閉指令を行
なうためのスイッチ、３０はこのスイッチ２９に連結さ
たリード線である。

また、第３図中、３１はＣＰＵ、３２はこのＣＰＵ３１
にｌ１０３３を介して連結された電磁弁ドライバで、Ｃ
ＰＵ３１からの制御信号に基づき前記電磁弁３０．・・
・・・及び２８を開閉させる。３４は前記吸気孔１７・
・・・・・からの吸気状態、すなわち、突面部１１ａ、
ｌｌｂにおける回路形成基板Ｂの吸気状態を検出する負
圧センサで、その検出出力はｌ１０３３を介してＣＰＵ
３１に入力される。

以上の構成を有する基板保持装置において、いま、描画
すべき回路形成基板Ｂが長方形状を成していたとする。

この場合、作業者は、まず基板Ｂの隣り合う二辺部８ａ
、８ｂを基板支持台１１の突面部１１ａ、ｌｌｂ上に載
置し、二辺部Ｂａ。

Ｂｂの側端面を基準ピン１４，１５．１６に当接させて
位置決めを行なう。なお、基準ピン１４゜１５．１６は
、使用する基板Ｂのサイズに応じて。

予め適当な基準穴１３へ嵌合させておく。

次に、上記二辺部Ｂａ、Ｂｂと対向する二辺部１３ｃ、
Ｂｄの下面に可動保持体２２の保持面２２ａを位置させ
て二辺部Ｂｃ、Ｂｄを保持させると共に、二辺部Ｂｃ、
Ｂｃｌの側端面を突出部２２１〕の側端面２２ｂ、に当
接させて可動保持体２２の位置決めを行なう。

この後、可動保持体２２」二のスイッチ２９を押す。す
ると電磁弁ドライバ３２によって電磁弁２８が開となり
、吸気源２１に吸気孔２３．２４が連通し、吸気孔２３
．２４の吸気作用により、Ｊ、Ｇ板Ｂは保持面２２ａ上
に吸着固定されると共に、可動保持体２２自体も吸気孔
２４における吸引作用によって基板支持台１１上に吸着
固定される。

また、先のスイッチ２９の抑圧により、ＣＰＵ３１は一
旦、電磁弁２０．・・・・・・を全て間とする。

そして、負圧センサ３４の出力が負圧として検出される
まで、′ポ磁弁２０．・・・・・・を外側の吸気孔に対
応するものから順次閉状態としてゆき、負圧が検出され
た時点で所定の告知手段を作動させ１回路形成可能状態
であることを作業者に告知する。

すなわち、この実施例では各吸気孔１１．・・・・・が
同一の吸気経路に連結されているため、この経路に形成
連結された負圧センサ３４により負圧が検出されるとい
うことは、基板Ｂにて覆われていない吸気孔１７が全て
吸侭源２１から遮断されて吸気ｙ）１作が行なわれてい
ないことを意味し、この状態となってはじめて、基板Ｂ
はこれに覆われている吸気孔１７によって基板支持台１
１の突面部１１ａ上に吸気・固定される４つまり、回路
形成可能状態となる。

この後、作業者は回路形成データを入力し、描画開始ス
イッチ（図示せず）をＯＮすると、Ｘ−Ｙステージ１２
と共に、基板支持台１１が水平方向へ移動し、ノズル２
から吐出される回路形成材Ｐによって第４図に示すよう
に塞板Ｂ上に回路が形成されてゆくが、その際、基板Ｂ
は、基板支持台１１上に吸着・固定されている可動保持
体２２の保持面２２ａと基板支持台１１の突面部１１ａ
。

１１ｂとに吸着し、水平に保持・固定されており、しか
も、その側端面が基壁ピン１４，１５．１６と突出部側
面２２ｂ１に当接し、略５点で水平方向の移動を規制さ
れているため、回路形成動作時の水平移動及び振動等に
よって基板の取り釘位置がずれる虞れは全くない。

また、基板１３が基板支持台１１及び可動保持体２２と
接触する部分は２周縁部のみであるため。

基板Ｂが両面基板であったとしても、その第２面に回路
を形成するに際し、既に第１面に形成されている回路を
傷付けることはない。

なお、回路形成動作終了後は、スイッチ２９を再度押す
ことにより、ＣＰＵ３１が全ての電磁弁２０、・・・・
・及び２８を閉とし、基板Ｂ及び可動保持体２２の固定
状態は解除される。

このように、この実施例では、可動保持台２２を基板支
持台Ｙｌ上のいかなる個所へも固定することができるた
め、いかなるサイズの基板であっても、可動保持体２２
の固定位置を移動させることにより容易に保持させるこ
とができる。

なお、上記実施例では、基板支持台１１の突面部１１，
１に形成した吸気孔１７．・・・・・・を全で同一の吸
気経路に連結するものとしたため、基板Ｂに覆われてい
ない吸気孔に連結されている電磁弁を閉じるようにした
が、各吸気孔１７．・・・・・・をそれぞれ個々の吸気
経路へ接続するようにすれば、特に、上述のような不用
吸気孔の選別、遮断を行なわなくとも良い。

また、上記実施例においては、長方形形状の基板を使用
した場合を例にとり説明したが、平行四辺形、三角形を
はじめ、その他の多角形状を成す基板も適用可能である
。

（発明の効果〕以上説明したとおり、この発明によれば、基板支持台と
可動保持体との組合せにより、いかなるサイズの基板に
対しても回路を損傷することなく迅速かつ確実に保持す
ることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図は第
１図に示したものの側面図、第３図は第１図に示したも
のの電気回路および空気圧回路を示す図、第４図は第１
図に示したものの使用状態を示す斜視図、第５図は回路
形成装置および従来の基板支持台を示す斜視図、第６図
は従来の基板支持台の一例を示す斜視図、第７図は従来
の基板支持台の他の例を示す斜視図である。２・・・ノズル１１・・・基板支持台１１ａ・・突面部１４・・・係止ピン１７・・・吸気孔２１・・・吸気源２２・・・可動保持体２２ａ・・・保持面２２ｂ・・・突出部

Claims

【特許請求の範囲】回路形成装置の回路形成材吐出ノズルに対向して設けら
れ、所定の駆動手段により水平面上を移動可能な基板支
持台と、回路形成基板の少なくとも二辺部を保持し得るよう前記
基板支持台上に一体的に形成した突面部と、前記突面部に穿設された吸気孔に連結した吸気源と、前記基板保持台上に載置され、前記突面部と同一平面上
の保持面を有すると共に、この保持面上に支持された回
路基板の側端面に少なくとも二点で当接する突出部を形
成してなる可動保持体と、前記可動保持体の下面及び保
持面の上面に穿設された吸気孔に連結した吸引気源とを
備えたことを特徴とする回路形成基板における基板保持
装置。