JPS60204506A - 基板の搬出・搬入装置 - Google Patents
基板の搬出・搬入装置Info
- Publication number
- JPS60204506A JPS60204506A JP6083784A JP6083784A JPS60204506A JP S60204506 A JPS60204506 A JP S60204506A JP 6083784 A JP6083784 A JP 6083784A JP 6083784 A JP6083784 A JP 6083784A JP S60204506 A JPS60204506 A JP S60204506A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- stocker
- supporter
- handler
- elevator
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- Granted
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G65/00—Loading or unloading
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Stacking Of Articles And Auxiliary Devices (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、半導体基板を収納するストッカ内に自動的に
半導体基板を収納したシ搬出し］する装置に関するもの
である。
半導体基板を収納したシ搬出し］する装置に関するもの
である。
半導体基板を自動装置によって搬送、保管する場合、そ
の表面を汚損したり擦痕を残したりすることは極度に嫌
忌される。
の表面を汚損したり擦痕を残したりすることは極度に嫌
忌される。
このため、半導体基板を収納するストッカは第１図に示
すような構造が用いられ、複数個の基板ｌａ、ｌｂ〜１
ｆを棚状に支承するよう、棚受状の突起２ａ＊２ｂ〜２
ｆを設けたストッカ２が用いられる。
すような構造が用いられ、複数個の基板ｌａ、ｌｂ〜１
ｆを棚状に支承するよう、棚受状の突起２ａ＊２ｂ〜２
ｆを設けたストッカ２が用いられる。
これによシ、基板１ａ〜１ｆは表面に触れることなく裏
面の周辺部を支承される。
面の周辺部を支承される。
上記のストッカ２に基板を搬入したり搬出したシするた
め、複数個の基板の間に進入・後退するハンドラ３が設
けられる。従来一般に、このハンドラの上面にビン３＆
が植設され、その頂面に真空吸着口３ｂが設けられて操
作弁及び真空源（共に図示せず）に連通されている。こ
れによ如基板の表面に触れることなくその裏面を吸着保
持してストッカ２内の基板を搬出したり、ストッカ２内
に基板を搬入したシすることができる。ストッカ２とハ
ンド′７３とは相対、的に上下に駆動できるようになっ
ておシ、ハンドラ３は任意の基板（２ａ〜２ｆの内の１
つ）の下側に進入して該基板を吸着した後に後退して搬
出作動をすることができる。
め、複数個の基板の間に進入・後退するハンドラ３が設
けられる。従来一般に、このハンドラの上面にビン３＆
が植設され、その頂面に真空吸着口３ｂが設けられて操
作弁及び真空源（共に図示せず）に連通されている。こ
れによ如基板の表面に触れることなくその裏面を吸着保
持してストッカ２内の基板を搬出したり、ストッカ２内
に基板を搬入したシすることができる。ストッカ２とハ
ンド′７３とは相対、的に上下に駆動できるようになっ
ておシ、ハンドラ３は任意の基板（２ａ〜２ｆの内の１
つ）の下側に進入して該基板を吸着した後に後退して搬
出作動をすることができる。
また、吸着保持した基板を任意の棚受状突起（２ａ〜２
ｆの内の１つ）に載置することができる。
ｆの内の１つ）に載置することができる。
一方、半導体技術の進歩に伴って半導体基板の品質管理
への要求はますます厳しくなシ、特に異物の付着や汚損
が絶対的に禁忌されるようになった。この為、半導体基
板の裏面といえども吸着機を残すことは望ましくないよ
うにな９、為し得べくは表面にも裏面にも触れず、その
周縁で点接触、乃至、点接触に近い線接触によって基板
を保持して搬出、搬入することが望まれる。
への要求はますます厳しくなシ、特に異物の付着や汚損
が絶対的に禁忌されるようになった。この為、半導体基
板の裏面といえども吸着機を残すことは望ましくないよ
うにな９、為し得べくは表面にも裏面にも触れず、その
周縁で点接触、乃至、点接触に近い線接触によって基板
を保持して搬出、搬入することが望まれる。
本発明は上述の事情に鑑みて為され、基板の表面にも裏
面にも触れず、その周縁部を点乃至線接触で支承してス
トッカ内に搬入したシストツカ内から搬出したシできる
、搬出、入装置を提供しようとするものである。
面にも触れず、その周縁部を点乃至線接触で支承してス
トッカ内に搬入したシストツカ内から搬出したシできる
、搬出、入装置を提供しようとするものである。
上記の目的を達成するため、本発明は、ストッカ内に対
向離間させて収納される半導体基板を搬出・搬入する装
置において、上記のストッカを上下に駆動するエレベー
タと、上昇したストッカの下方へ進入・後退するハンド
ラと、上記のハンドラ上に設けた基板サポータとを有し
、がっ、上記の基板サポータは上方に向って開くテーバ
面を有し、半導体基板と点接触乃至線接触するように構
成し次ことを特徴とする。
向離間させて収納される半導体基板を搬出・搬入する装
置において、上記のストッカを上下に駆動するエレベー
タと、上昇したストッカの下方へ進入・後退するハンド
ラと、上記のハンドラ上に設けた基板サポータとを有し
、がっ、上記の基板サポータは上方に向って開くテーバ
面を有し、半導体基板と点接触乃至線接触するように構
成し次ことを特徴とする。
次に、本発明の１実施例を第２図及び第３図について説
明する。
明する。
第２図は本発明の基板搬出、入装置の１実施例を模式化
して描いた説明図でおる。
して描いた説明図でおる。
２′は従来装置におけるストッカ２と類似の構成部材で
あるが、棚受状突起２ａ’〜２ｇ′の上面にテーパを付
し、基板１１〜１ｇの周縁に対して点接触乃至線接触す
るように（ｆｆ［ｌち面接触しな込ように）構成しであ
る。
あるが、棚受状突起２ａ’〜２ｇ′の上面にテーパを付
し、基板１１〜１ｇの周縁に対して点接触乃至線接触す
るように（ｆｆ［ｌち面接触しな込ように）構成しであ
る。
４は、上記のストッカ２′を上下に駆動するエレベータ
で、４ａは送シネジ、４ｂは回転駆動手段である。
で、４ａは送シネジ、４ｂは回転駆動手段である。
３１は、ストッカ２′が上昇したときその下方へ進入、
後退できるように構成したノーンドラであって、従来装
置におけるノ・ンドラ３と類似の構成部材であるが、第
１図について説明したような真空吸着口付きのピン３ａ
を設けない。
後退できるように構成したノーンドラであって、従来装
置におけるノ・ンドラ３と類似の構成部材であるが、第
１図について説明したような真空吸着口付きのピン３ａ
を設けない。
前記のハンドラ３′の上面に基板サポータ５を設ける。
第３図はサポータ５付近の拡大図である。
本実施例においては角形の基板の４隅に対応させて４個
のサポータ５ ａ ＊ ５ ｂ ＋ ５ ａ １５ ｄ
を設けるが、本第３図においてはサポータ５＆と同５
ｂ。
のサポータ５ ａ ＊ ５ ｂ ＋ ５ ａ １５ ｄ
を設けるが、本第３図においてはサポータ５＆と同５
ｂ。
サポータ５Ｃと同５ｄはそれぞれ重なって描かれている
。対向している１対のサポータ５ｍ（５ｂ）。
。対向している１対のサポータ５ｍ（５ｂ）。
５ｃ（５ｄ）の上面に、上開き方向のテーノ（を設ける
。これによりサポータ５ｍ、５ｃと基板ｌとは点Ａ、Ｃ
で点接触する０ただし、サポータ５ ｍ ｓ ５０は紙
面とｍ直方向に厚みを有しているので、上記の点接触は
厳密には短かい線接触であるＯ本実施例の装置を用いて
ストッカ２Ｉ内に収納されている基板２ａ’を搬出する
には、エレベータ４を作動させてストッカ２′を上昇ス
トロークいつけ・−−一）・Ｌ −リ【＋４すＩ＆ ｆ
ｆＳ、、ｉツナ９Ｉめ１士に進入せしめて基板サポータ
５を基板１ａの下面に対向させる。
。これによりサポータ５ｍ、５ｃと基板ｌとは点Ａ、Ｃ
で点接触する０ただし、サポータ５ ｍ ｓ ５０は紙
面とｍ直方向に厚みを有しているので、上記の点接触は
厳密には短かい線接触であるＯ本実施例の装置を用いて
ストッカ２Ｉ内に収納されている基板２ａ’を搬出する
には、エレベータ４を作動させてストッカ２′を上昇ス
トロークいつけ・−−一）・Ｌ −リ【＋４すＩ＆ ｆ
ｆＳ、、ｉツナ９Ｉめ１士に進入せしめて基板サポータ
５を基板１ａの下面に対向させる。
次いでエレベータ４を作動させてストッカ２′ヲ若干下
降させる。このときの下降距離は基板の収納間隔ｄよシ
も小さいことが必要である。本実施例においては／Ａｄ
だけ降下させて好結果が得られた。
降させる。このときの下降距離は基板の収納間隔ｄよシ
も小さいことが必要である。本実施例においては／Ａｄ
だけ降下させて好結果が得られた。
ストッカ２′を ３４ａ だけ下げると、最下段の基板
１ａがサポータ５の上に乗る。このとき、第３図につい
て説明したように基板１ａはその周縁の４個所を点接触
に近い状態で支承される。このため、該基板１＆は表面
にも裏面にも吸着機や擦痕を生じる虞れ無くサポータ５
によって支承される。
１ａがサポータ５の上に乗る。このとき、第３図につい
て説明したように基板１ａはその周縁の４個所を点接触
に近い状態で支承される。このため、該基板１＆は表面
にも裏面にも吸着機や擦痕を生じる虞れ無くサポータ５
によって支承される。
次いでハンドラ３′が後退させて支承した基板１ａを搬
出する。
出する。
上述の動作を繰シ返して順次に基板１ｂ〜１ｇを搬出す
ることができる０また、前述と逆の順序に作動して基板
をスタッカ２′内に搬入して収納することもできる。
ることができる０また、前述と逆の順序に作動して基板
をスタッカ２′内に搬入して収納することもできる。
以上詳述したように、本発明を適用すると、基板の表面
にも裏面にも触れることなく、その周縁部を点接触に近
い状態で支承してストッカ内に搬入したり、ストッカ内
から搬出したシすることができる。
にも裏面にも触れることなく、その周縁部を点接触に近
い状態で支承してストッカ内に搬入したり、ストッカ内
から搬出したシすることができる。
第１図は従来の基板搬出、入装置の説明図、第２図は本
発明の基板搬出、入装置の１実施例を模式的に描いた説
明図、第３図は上記実施例におけるサポータ付近の拡大
図である。 １、ｌａ 〜１ｆ・・一基板、２ 、２’−ストッカ、
２ａ〜２ｆ、２ａ’〜２ｇ／・・・棚受状突起、３，３
′・・・ハンドラ、３１・・・ピン、３ｂ・・・真空吸
着口、４・・・エレベータ、４ａ・・・送シネジ、４ｂ
・・・回転駆動手段、５＆〜５ｄ・・・基板サポータ。 特許出願人 日立電子エンジニアリング株式会社代理人
弁理士 秋 本 正 実
発明の基板搬出、入装置の１実施例を模式的に描いた説
明図、第３図は上記実施例におけるサポータ付近の拡大
図である。 １、ｌａ 〜１ｆ・・一基板、２ 、２’−ストッカ、
２ａ〜２ｆ、２ａ’〜２ｇ／・・・棚受状突起、３，３
′・・・ハンドラ、３１・・・ピン、３ｂ・・・真空吸
着口、４・・・エレベータ、４ａ・・・送シネジ、４ｂ
・・・回転駆動手段、５＆〜５ｄ・・・基板サポータ。 特許出願人 日立電子エンジニアリング株式会社代理人
弁理士 秋 本 正 実
Claims (1)
- ストッカ内に対向離間させて収納される半導体基板を搬
出・搬入する装置において、上記のストッカを上下に駆
動するエレベータと、上昇したス−トツカの下方へ進入
・後退するハンドラと、上記のハンドラ上に設けた基板
サポータとを有し、かつ、上記の基板サポータは上方に
向って開くテーパ面を有し、半導体基板と点接触乃至線
接触するように構成したことを特徴とする、基板の搬出
・搬入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6083784A JPS60204506A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 基板の搬出・搬入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6083784A JPS60204506A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 基板の搬出・搬入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60204506A true JPS60204506A (ja) | 1985-10-16 |
| JPS6339483B2 JPS6339483B2 (ja) | 1988-08-05 |
Family
ID=13153866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6083784A Granted JPS60204506A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 基板の搬出・搬入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60204506A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62222906A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエ−ハ搬送機構 |
| JPS63208430A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-29 | Canon Inc | 基板搬送装置 |
| JPS6464921A (en) * | 1987-09-01 | 1989-03-10 | Nitto Denko Corp | Buffer device for workpiece conveyance |
| CN109920748A (zh) * | 2017-12-12 | 2019-06-21 | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 | 一种大面积玻璃基板装载机 |
| CN109911617A (zh) * | 2017-12-12 | 2019-06-21 | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 | 用于玻璃装载机的基板装载机构 |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP6083784A patent/JPS60204506A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62222906A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエ−ハ搬送機構 |
| JPH037574B2 (ja) * | 1986-03-25 | 1991-02-01 | Hitachi Electr Eng | |
| JPS63208430A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-29 | Canon Inc | 基板搬送装置 |
| JPS6464921A (en) * | 1987-09-01 | 1989-03-10 | Nitto Denko Corp | Buffer device for workpiece conveyance |
| CN109920748A (zh) * | 2017-12-12 | 2019-06-21 | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 | 一种大面积玻璃基板装载机 |
| CN109911617A (zh) * | 2017-12-12 | 2019-06-21 | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 | 用于玻璃装载机的基板装载机构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6339483B2 (ja) | 1988-08-05 |
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