JPH0685739U - 位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 位置決め対象物の位置決めのとき、位置決め
対象物を小さな力で円滑に移動させることができるとと
もに、位置決め対象物を確実に保持することができるよ
うにする。 【構成】 ステージ１に設けられ、板状の位置決め対象
物３を支持する８個の位置決め対象物支持装置４と、ス
テージ１上に設けられた基準位置設定ピン５と、位置決
め対象物支持装置４によって支持された位置決め対象物
３を基準位置設定ピン５に押し付け、その状態を保つ押
付けコマ６ａ〜６ｃとを備え、位置決め対象物支持装置
４は転動可能に保持されたボール４ａを有し、このボー
ル４ａにより位置決め対象物３の下面を支持する。位置
決め対象物３の下面に対して位置決め対象物支持装置４
のボール４ａが転動可能な状態で点接触しているので、
位置決め対象物３の位置決めのとき、位置決め対象物３
と位置決め対象物保持装置４との間の摩擦力がほとんど
働かず、位置決め対象物３は円滑に移動する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、液晶パネルや半導体ウエハ等の板体の製造・検査に用いる位置決 め装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

図６は従来の位置決め装置の斜視図、図７は従来の位置決め装置の概念図であ る。

【０００３】 ステージ１０１上には、液晶パネルや半導体ウエハ等の位置決め対象物１０３ を支持する位置決め対象物支持装置１０４が配設されている。位置決め対象物支 持装置１０４は真空吸着機構１０７を備え、位置決め対象物１０３の下面を吸着 できる。ステージ１０１上には、基準位置設定ピン１０５が固定されているとと もに、位置決め対象物１０３を基準位置設定ピン１０５に押し付ける押付けコマ １０６が摺動可能に取り付けられている。

【０００４】 位置決め対象物支持装置１０４に位置決め対象物１０３を載せて押付けコマ１ ０６を作動させると、押付けコマ１０６はステージ１０１上を摺動し、位置決め 対象物１０３を基準位置設定ピン１０５に押し付け、位置決め対象物１０３が位 置決めされる。位置決め後、押付けコマ１０６が位置決め対象物１０３から離れ 、その後、真空吸着機構１０７で位置決め対象物１０３の下面が吸着され、位置 決め対象物１０３は位置決め対象物支持装置１０４上で保持される。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、位置決め対象物１０３の平面度が高すぎると、位置決め対象物１０ ３が位置決め対象物支持装置１０４の支持面に密着して、位置決め対象物１０３ が滑りにくくなり、またフォトレジストなどの付着物の影響により位置決め対象 物１０３と位置決め対象物支持装置１０４の支持面との間で摩擦力が生じ、前述 の場合と同様に位置決め対象物１０３が滑りにくくなるという問題があった。し たがって、押付けコマ１０６で位置決め対象物１０３に大きな外力を与えなけれ ばならないので、位置決め対象物１０３を損傷させるおそれがあった。

【０００６】 逆に、位置決め対象物１０３の平面度が低すぎると、真空吸着機構１０７によ り真空吸着できないという問題があった。

【０００７】 この考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は位置決め対象 物の位置決めのとき、位置決め対象物を小さな力で円滑に移動させることができ 、しかも位置決め対象物を確実に保持することができる位置決め装置を提供する ことである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

前述の課題を解決するためこの考案の位置決め装置は、ステージに設けられ、 板状の位置決め対象物を支持する少なくとも３個の位置決め対象物支持装置と、 前記ステージ上に設けられた基準位置設定部材と、前記位置決め対象物支持装置 によって支持された前記位置決め対象物を前記基準位置設定部材に押し付け、そ の状態を保つ位置決め対象物保持装置とを備え、前記位置決め対象物支持装置は 転動可能に保持されたボールを有し、このボールにより前記位置決め対象物の下 面を支持する。

【０００９】

【作用】

位置決め対象物の下面に対して位置決め対象物支持装置のボールが転動可能な 状態で点接触しているので、位置決め対象物の位置決めのとき、位置決め対象物 と位置決め対象物保持装置との間の摩擦力がほとんど働かず、位置決め対象物は 円滑に移動する。

【００１０】

【実施例】

以下この考案の実施例を図面に基づいて説明する。

【００１１】 図１はこの考案の一実施例に係る位置決め装置を示す斜視図、図２は位置決め 対象物を保持する前の状態を示す位置決め装置の概念図、図３は位置決め対象物 を保持している状態を示す位置決め装置の概念図である。

【００１２】 ステージ１の開口縁にはフレーム２が固定されている。フレーム２には、例え ば液晶パネルや半導体ウエハ等の板状の位置決め対象物３を支持する８個の位置 決め対象物支持装置４がステージ１の矩形の開口縁を囲むようにして配設されて いる。位置決め対象物支持装置４の外側には３個の基準位置設定ピン（基準位置 設定部材）５が固定されている。基準位置設定ピン５は、ステージ１の開口の隣 り合う２辺に沿って配置されている。また、ステージ１には水平方向に摺動可能 な３個の押付けコマ（位置決め対象物保持装置）６ａ〜６ｃが設けられている。 押付けコマ６ａ〜６ｃはステージ１の開口の隣り合う２辺（基準位置設定ピン５ が配置されていない２辺）に沿って配置されている。押付けコマ６ａ，６ｂは互 いに同方向に移動し、押付けコマ６ｃは押付けコマ６ａ，６ｂの移動方向に対し て直角方向に移動する。

【００１３】 前記位置決め対象物支持装置４は、図４及び図５に示すように、ボール４ａと 、このボール４ａを転動可能に保持するボール支持部４ｂと、このボール支持部 ４ｂに一体に連結されたねじ部４ｃと、このねじ部４ｃに螺合するナット４ｄと で構成されている。ねじ部４ｃをフレーム２のめねじ２ａにねじこみ、ねじ部４ ｃの先端部にナット４ｄを螺合して位置決め対象物支持装置４を取り付ける。

【００１４】 次に、この実施例の位置決め装置の動作について述べる。

【００１５】 図２に示すように、位置決め対象物３を位置決め対象物支持装置４に載せたと き、位置決め対象物３の下面は位置決め対象物支持装置４のボール４ａによって 支持される。図３に示すように、押付けコマ６ａ〜６ｃを作動させると、押付け コマ６ａ〜６ｃはステージ１上を摺動し、位置決め対象物３を基準位置設定ピン ５に押し付け、位置決め対象物３が位置決めされる。位置決め対象物３の下面は 位置決め対象物支持装置４のボール４ａに点接触し、位置決め対象物３が押付け コマ６ａ〜６ｃによって基準位置設定ピン５に押されたとき、ボール４ａはボー ル支持部４ｂの凹部８内で転動するので、位置決め対象物３は基準位置設定ピン ５へ円滑に移動する。

【００１６】 位置決め後、押付けコマ６ａ〜６ｃは位置決め対象物３を基準位置設定ピン５ に押し付け続け、位置決め対象物３を保持する。

【００１７】 この実施例の位置決め装置によれば、位置決め対象物３の下面に対して位置決 め対象物支持装置４のボール４ａが転動可能な状態で点接触しているので、位置 決め対象物３と位置決め対象物保持装置４との間の摩擦力がほとんど働かず、位 置決め対象物３は円滑に移動する。位置決め対象物３の平面度が高すぎて位置決 め対象物支持装置４に密着することもないし、位置決め対象物３のフォトレジス トなどの付着物の影響を受けて位置決め対象物３の滑りが悪くなることもなく、 小さな力で位置決め対象物３を位置決めすることができ、位置決め対象物３の損 傷を防ぐことができる。

【００１８】 また、押付けコマ６ａ〜６ｃで位置決め対象物３を基準位置設定ピン５に押し 付け続けて位置決め対象物３を保持するようにしたので、位置決め対象物３の平 面度が低すぎる場合も確実に位置決め対象物３を保持することができるとともに 、真空吸着による位置決め対象物３の保持のための真空吸着装置を必要とせず、 構造の簡素化を図ることができる。

【００１９】

【考案の効果】

以上説明したようにこの考案の位置決め装置によれば、位置決め対象物の位置 決めのとき、位置決め対象物と位置決め対象物保持装置との間の摩擦力がほとん ど働かず、位置決め対象物を小さな力で円滑に移動させることができるし、位置 決め対象物を確実に保持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はこの考案の一実施例に係る位置決め装置
を示す斜視図である。

【図２】図２は位置決め対象物を保持する前の状態を示
す位置決め装置の概念図である。

【図３】図３は位置決め対象物を保持している状態を示
す位置決め装置の概念図である。

【図４】図４は位置決め対象物支持装置の拡大斜視図で
ある。

【図５】図５は位置決め対象物支持装置の縦断面図であ
る。

【図６】図６は従来の位置決め装置の斜視図である。

【図７】図７は従来の位置決め装置の概念図である。

【符号の説明】

１ ステージ ３ 位置決め対象物 ４ 位置決め対象物支持装置 ４ａ ボール ５ 基準位置設定ピン ６ａ〜６ｃ 押付けコマ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ステージに設けられ、板状の位置決め対
   象物を支持する少なくとも３個の位置決め対象物支持装
   置と、 前記ステージ上に設けられた基準位置設定部材と、 前記位置決め対象物支持装置によって支持された前記位
   置決め対象物を前記基準位置設定部材に押し付け、その
   状態を保つ位置決め対象物保持装置とを備え、 前記位置決め対象物支持装置は転動可能に保持されたボ
   ールを有し、このボールにより前記位置決め対象物の下
   面を支持することを特徴とする位置決め装置。