JPH09248732A - 基板位置決め装置 - Google Patents
基板位置決め装置Info
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- JPH09248732A JPH09248732A JP8052692A JP5269296A JPH09248732A JP H09248732 A JPH09248732 A JP H09248732A JP 8052692 A JP8052692 A JP 8052692A JP 5269296 A JP5269296 A JP 5269296A JP H09248732 A JPH09248732 A JP H09248732A
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- Japan
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- support column
- positioning device
- holding arm
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Abstract
(57)【要約】
【課題】液晶パネルなどの基板の位置決めの確実性及び
精度を向上させることを目的とする。 【解決手段】基板保持アーム４の外側かつ基板５の四隅
近辺に基板５を補助的に支持する支持支柱８を配置し、
その支持支柱８の先端部にボール９を内蔵した。支持支
柱８と基板５とはボール９を介してころがり接触するこ
ととし、更に、圧縮空気を支持支柱８の内部に設けられ
た通路８ａを介して支持支柱８の先端部に設けられた吹
き出し口１０ｃから吹き出す構造とした。
精度を向上させることを目的とする。 【解決手段】基板保持アーム４の外側かつ基板５の四隅
近辺に基板５を補助的に支持する支持支柱８を配置し、
その支持支柱８の先端部にボール９を内蔵した。支持支
柱８と基板５とはボール９を介してころがり接触するこ
ととし、更に、圧縮空気を支持支柱８の内部に設けられ
た通路８ａを介して支持支柱８の先端部に設けられた吹
き出し口１０ｃから吹き出す構造とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置関連
の製造装置などの大型の基板を自動搬送する機能を有す
る装置に関し、特に、液晶パネルの位置決め装置に関す
るものである。
の製造装置などの大型の基板を自動搬送する機能を有す
る装置に関し、特に、液晶パネルの位置決め装置に関す
るものである。
【０００２】
（第１の従来技術）図５は、第１の従来の位置決め装置
を有する基板搬送装置の斜視図である。基板搬送装置１
００は、本体フレーム１０１に回転機構１０２が設けら
れている。回転機構１０２の上には、スライド機構１０
３が設けられている。スライド機構１０３上には、基板
保持アーム１０４がスライド機構１０３に沿って往復直
線運動可能に設けられている。基板保持アーム１０４
は、液晶パネルなどの矩形薄板のような基板１０５を保
持する。基板保持アーム１０４は、基板１０５を保持し
た際に、基板１０５を真空吸着するパッド１０６を有し
ている。この基板保持アーム１０４上で、基板１０５の
位置決めを行う場合には、パッド１０６から圧縮空気を
吹き出して基板１０５を浮上させつつ、押し付け機構１
０７ａ，１０７ｂ，１０７ｃ，１０７ｄによって基板１
０５を押し付ける動作をおこなう。
を有する基板搬送装置の斜視図である。基板搬送装置１
００は、本体フレーム１０１に回転機構１０２が設けら
れている。回転機構１０２の上には、スライド機構１０
３が設けられている。スライド機構１０３上には、基板
保持アーム１０４がスライド機構１０３に沿って往復直
線運動可能に設けられている。基板保持アーム１０４
は、液晶パネルなどの矩形薄板のような基板１０５を保
持する。基板保持アーム１０４は、基板１０５を保持し
た際に、基板１０５を真空吸着するパッド１０６を有し
ている。この基板保持アーム１０４上で、基板１０５の
位置決めを行う場合には、パッド１０６から圧縮空気を
吹き出して基板１０５を浮上させつつ、押し付け機構１
０７ａ，１０７ｂ，１０７ｃ，１０７ｄによって基板１
０５を押し付ける動作をおこなう。
【０００３】（第２の従来技術）図６は、第２の従来の
位置決め装置の斜視図である。この位置決め装置２００
は、第１の従来技術のように基板保持アームの上で位置
決めを行うのではなく、図６に示すように、矩形薄板の
基板２０１を支持する支持支柱２０２を設け、この支持
支柱２０２上で押し付け機構２０３ａ，２０３ｂ，２０
３ｃ，２０３ｄによって基板２０１の縁部を押し付けて
基板２０１の位置決めを行う方法が用いられている。支
持支柱２０２の先端部は、鉛筆の先端部のように尖って
いる。
位置決め装置の斜視図である。この位置決め装置２００
は、第１の従来技術のように基板保持アームの上で位置
決めを行うのではなく、図６に示すように、矩形薄板の
基板２０１を支持する支持支柱２０２を設け、この支持
支柱２０２上で押し付け機構２０３ａ，２０３ｂ，２０
３ｃ，２０３ｄによって基板２０１の縁部を押し付けて
基板２０１の位置決めを行う方法が用いられている。支
持支柱２０２の先端部は、鉛筆の先端部のように尖って
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記第
１の従来技術においては、各パッド１０６から吹き出す
圧縮空気の流量を均一に調整することが難しく、あるパ
ッド１０６では基板１０５がパッド１０６と接触しない
ほどに浮き上がるが、あるパッド１０６では、接触した
ままであるというような状態となり、この場合に、基板
１０５の外周の縁部に押し付け機構１０７ａ，１０７
ｂ，１０７ｃ，１０７ｄによって押し付け力が作用する
と、接触したままの点を中心とした偶力により基板１０
５が回転して、位置決めの確実性を低下させるという問
題が生じる。このために、押し付け力を強くしたり、又
はパッド１０６の材質にすべり性の良いものを選定した
りするのだが、押し付け力を強くすれば基板１０５への
ダメージが大きくなり、基板１０５の周辺部分にクラッ
クを生じさせるおそれが増大し、また、パッド１０６の
材質にすべり性の良いものを選定すれば、基板保持アー
ム１０４を高速で往復直線運動させた際に、基板保持ア
ーム１０４上で基板１０５がすべってしまい、受け渡し
精度が低下する問題が生じる。
１の従来技術においては、各パッド１０６から吹き出す
圧縮空気の流量を均一に調整することが難しく、あるパ
ッド１０６では基板１０５がパッド１０６と接触しない
ほどに浮き上がるが、あるパッド１０６では、接触した
ままであるというような状態となり、この場合に、基板
１０５の外周の縁部に押し付け機構１０７ａ，１０７
ｂ，１０７ｃ，１０７ｄによって押し付け力が作用する
と、接触したままの点を中心とした偶力により基板１０
５が回転して、位置決めの確実性を低下させるという問
題が生じる。このために、押し付け力を強くしたり、又
はパッド１０６の材質にすべり性の良いものを選定した
りするのだが、押し付け力を強くすれば基板１０５への
ダメージが大きくなり、基板１０５の周辺部分にクラッ
クを生じさせるおそれが増大し、また、パッド１０６の
材質にすべり性の良いものを選定すれば、基板保持アー
ム１０４を高速で往復直線運動させた際に、基板保持ア
ーム１０４上で基板１０５がすべってしまい、受け渡し
精度が低下する問題が生じる。
【０００５】また、基板保持アーム１０４の形状は、基
板保持アーム１０４が基板１０５を受け渡しする相手側
の構造などの都合により設計上の自由度が制限されるた
め、基板保持アーム１０４上に基板１０５を保持した際
の基板１０５の自重によるたわみを適切に矯正できるよ
うな構造に設計できるとは限らない。従って、図７に示
すように、基板保持アーム１０４上で基板１０５が撓ん
だ状態で押し付け機構１０７ａ，１０７ｃにより押し付
けて基板１０５の位置決めを行うことになるが、このた
わみにより、基板１０５の平面方向の位置決め精度は低
下する。更に、押し付け機構１０７ａ，１０７ｂ，１０
７ｃ，１０７ｄの押し付けピンの長さを長くするなど、
このたわみ量を考慮して押し付け機構１０７ａ，１０７
ｂ，１０７ｃ，１０７ｄを設計しなくてはならない。
板保持アーム１０４が基板１０５を受け渡しする相手側
の構造などの都合により設計上の自由度が制限されるた
め、基板保持アーム１０４上に基板１０５を保持した際
の基板１０５の自重によるたわみを適切に矯正できるよ
うな構造に設計できるとは限らない。従って、図７に示
すように、基板保持アーム１０４上で基板１０５が撓ん
だ状態で押し付け機構１０７ａ，１０７ｃにより押し付
けて基板１０５の位置決めを行うことになるが、このた
わみにより、基板１０５の平面方向の位置決め精度は低
下する。更に、押し付け機構１０７ａ，１０７ｂ，１０
７ｃ，１０７ｄの押し付けピンの長さを長くするなど、
このたわみ量を考慮して押し付け機構１０７ａ，１０７
ｂ，１０７ｃ，１０７ｄを設計しなくてはならない。
【０００６】一方、前記第２の従来技術においては、ス
ライド機構と支持支柱２０２とは、各々独立に設置され
るため、基板保持アームと支持支柱２０２との受け渡し
精度が、位置決め精度に加算されることになり、位置決
め精度を低下させる。また、支持支柱２０２のそれぞれ
の先端部での摩擦係数の差により、第１の従来技術での
問題と同様に偶力が発生し、位置決めの確実性に問題が
起こる。もちろん、たわみについても同様である。
ライド機構と支持支柱２０２とは、各々独立に設置され
るため、基板保持アームと支持支柱２０２との受け渡し
精度が、位置決め精度に加算されることになり、位置決
め精度を低下させる。また、支持支柱２０２のそれぞれ
の先端部での摩擦係数の差により、第１の従来技術での
問題と同様に偶力が発生し、位置決めの確実性に問題が
起こる。もちろん、たわみについても同様である。
【０００７】本発明は、以上のような従来の問題点に鑑
みてなされたもので、前記従来技術よりも基板の位置決
めの確実性及び精度を向上させることを目的とする。
みてなされたもので、前記従来技術よりも基板の位置決
めの確実性及び精度を向上させることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために、本発明は、基板保持アームの外側かつ基板の四
隅近辺に基板を補助的に支持する支持支柱を配置し、そ
の支持支柱の先端部にボールを内蔵した。支持支柱と基
板とはボールを介してころがり接触することとし、更
に、圧縮空気を支持支柱の内部に設けられた通路を介し
て支持支柱の先端部に設けられた吹き出し口から吹き出
す構造とした。また、支持支柱は、押し付け機構により
基板の位置決め動作が行われていないときには、下方へ
待避するように上下動機構を有するものとした。
ために、本発明は、基板保持アームの外側かつ基板の四
隅近辺に基板を補助的に支持する支持支柱を配置し、そ
の支持支柱の先端部にボールを内蔵した。支持支柱と基
板とはボールを介してころがり接触することとし、更
に、圧縮空気を支持支柱の内部に設けられた通路を介し
て支持支柱の先端部に設けられた吹き出し口から吹き出
す構造とした。また、支持支柱は、押し付け機構により
基板の位置決め動作が行われていないときには、下方へ
待避するように上下動機構を有するものとした。
【０００９】本発明では、支持支柱を基板の四隅に配置
したので、基板の自重によるたわみを矯正することがで
きる。また、支持支柱と基板とは、ボールを介してころ
がり接触するようにし、かつ圧縮空気によるエアベアリ
ングの効果すなわち基板を空気により浮上させる力の発
生によって基板と支持支柱との摩擦係数を極めて微小な
値とすることができる。従って、押し付け機構による押
し付け動作時の位置決めの確実性及び精度が向上する。
したので、基板の自重によるたわみを矯正することがで
きる。また、支持支柱と基板とは、ボールを介してころ
がり接触するようにし、かつ圧縮空気によるエアベアリ
ングの効果すなわち基板を空気により浮上させる力の発
生によって基板と支持支柱との摩擦係数を極めて微小な
値とすることができる。従って、押し付け機構による押
し付け動作時の位置決めの確実性及び精度が向上する。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明は、位置決めされるべき基
板の一側面を支持する支持部材と、基板の縁部を押すこ
とにより支持部材上で基板を所定位置に位置決めする押
し付け機構とから成る基板位置決め装置において、支持
部材と基板との間にころがり接触部材を設け、支持部材
と基板との間に圧縮空気を吹き出す吹き出し口を支持部
材に設けたものである。
板の一側面を支持する支持部材と、基板の縁部を押すこ
とにより支持部材上で基板を所定位置に位置決めする押
し付け機構とから成る基板位置決め装置において、支持
部材と基板との間にころがり接触部材を設け、支持部材
と基板との間に圧縮空気を吹き出す吹き出し口を支持部
材に設けたものである。
【００１１】前記ころがり接触部材は、前記支持部材に
回転可能に支持された球体であるとよい。
回転可能に支持された球体であるとよい。
【００１２】前記支持部材は、支持支柱であるとよい。
【００１３】前記球体は、前記支持支柱の先端部に回転
可能に支持されているとよい。
可能に支持されているとよい。
【００１４】前記吹き出し口は、前記支持支柱の先端部
に設けられているとよい。
に設けられているとよい。
【００１５】前記基板を搬送するためのロボットアーム
をさらに有し、前記支持支柱は、前記ロボットアーム上
に支持された前記基板が前記押し付け機構により位置決
めされるときに、前記基板が撓むのを防止するように、
前記基板を支持しているとよい。
をさらに有し、前記支持支柱は、前記ロボットアーム上
に支持された前記基板が前記押し付け機構により位置決
めされるときに、前記基板が撓むのを防止するように、
前記基板を支持しているとよい。
【００１６】前記支持支柱は、前記基板位置決め装置の
本体に伸縮自在に設けられているとよい。
本体に伸縮自在に設けられているとよい。
【００１７】
【実施例】図１は、本発明による基板位置決め装置を有
する基板搬送装置５０の斜視図である。この基板搬送装
置５０は、本体フレーム１に回転機構２が設けられてい
る。回転機構２の上には、スライド機構３が設けられて
いる。スライド機構３上には、基板保持アーム４がスラ
イド機構３に沿って往復直線運動可能に設けられてい
る。基板保持アーム４は、液晶パネルなどの矩形薄板の
ような基板５を保持する。基板保持アーム４は、基板５
を保持した際に、基板５を真空吸着するパッド６を有し
ている。この基板保持アーム４上で、基板５の位置決め
を行う場合には、パッド６から圧縮空気を吹き出して基
板５を浮上させつつ、押し付け機構７ａ，７ｂ，７ｃ，
７ｄによって基板５を押し付ける動作をおこなう。本体
フレーム１には、支持支柱８が４つ設けられている。支
持支柱８は、上下動可能に本体フレーム１に設けられて
いる。支持支柱８は、上昇して、基板５の４隅の端部を
それぞれ支持することができる。
する基板搬送装置５０の斜視図である。この基板搬送装
置５０は、本体フレーム１に回転機構２が設けられてい
る。回転機構２の上には、スライド機構３が設けられて
いる。スライド機構３上には、基板保持アーム４がスラ
イド機構３に沿って往復直線運動可能に設けられてい
る。基板保持アーム４は、液晶パネルなどの矩形薄板の
ような基板５を保持する。基板保持アーム４は、基板５
を保持した際に、基板５を真空吸着するパッド６を有し
ている。この基板保持アーム４上で、基板５の位置決め
を行う場合には、パッド６から圧縮空気を吹き出して基
板５を浮上させつつ、押し付け機構７ａ，７ｂ，７ｃ，
７ｄによって基板５を押し付ける動作をおこなう。本体
フレーム１には、支持支柱８が４つ設けられている。支
持支柱８は、上下動可能に本体フレーム１に設けられて
いる。支持支柱８は、上昇して、基板５の４隅の端部を
それぞれ支持することができる。
【００１８】押し付け機構７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄは、
スライド機構３に取り付けられており、回転機構２の動
作時に、基板保持アーム４上の基板５がずれてしまわな
いように、基板５の周辺部分を保持する役割をも果た
す。
スライド機構３に取り付けられており、回転機構２の動
作時に、基板保持アーム４上の基板５がずれてしまわな
いように、基板５の周辺部分を保持する役割をも果た
す。
【００１９】図２は、支持支柱８の先端部の断面図であ
る。支持支柱８は、中空となっており、圧縮空気が通る
通路８ａが形成されている。先端部には、雄ネジ８ｂが
形成されている。この雄ネジ８ｂと螺合する雌ネジ１０
ａを有するナット部材１０が支持支柱８の先端部に取り
付けられている。図３は、ナット部材１０の平面図であ
る。支持支柱８の先端部には、半球状の凹部８ｃが形成
されている。ナット部材１０には、半球状の凹部１０ｂ
が形成されている。この凹部８ｃと凹部１０ｂの間に、
ボール９が回転可能に配置されている。ボール９の材質
は、セラミック等の非金属材料である。ナット部材１０
には、圧縮空気の抜け溝すなわち吹き出し口１０ｃが設
けられている。また、ナット部材１０には、ボール９の
一部分が突出することができるように開口１０ｄが形成
されている。この開口１０ｄから突出したボール９の一
部分が基板５ところがり接触をする。
る。支持支柱８は、中空となっており、圧縮空気が通る
通路８ａが形成されている。先端部には、雄ネジ８ｂが
形成されている。この雄ネジ８ｂと螺合する雌ネジ１０
ａを有するナット部材１０が支持支柱８の先端部に取り
付けられている。図３は、ナット部材１０の平面図であ
る。支持支柱８の先端部には、半球状の凹部８ｃが形成
されている。ナット部材１０には、半球状の凹部１０ｂ
が形成されている。この凹部８ｃと凹部１０ｂの間に、
ボール９が回転可能に配置されている。ボール９の材質
は、セラミック等の非金属材料である。ナット部材１０
には、圧縮空気の抜け溝すなわち吹き出し口１０ｃが設
けられている。また、ナット部材１０には、ボール９の
一部分が突出することができるように開口１０ｄが形成
されている。この開口１０ｄから突出したボール９の一
部分が基板５ところがり接触をする。
【００２０】上記のように構成された装置の動作につい
て、以下に説明する。外部装置、例えば、基板を収納す
るキャリアを搭載し、上下動機構を有するいわゆるキャ
リアエレベータ上の、そのキャリア内へ、スライド機構
３を動作させて基板保持アーム４を進入させ、キャリア
エレベータを下降させてキャリア内の基板５を基板保持
アーム４上に移載した後に、パッド６で基板５を真空吸
着して、スライド機構３を動作させて基板保持アーム４
を待避させる。基板保持アーム４が所定位置に待避した
時点で真空吸着を開放する。
て、以下に説明する。外部装置、例えば、基板を収納す
るキャリアを搭載し、上下動機構を有するいわゆるキャ
リアエレベータ上の、そのキャリア内へ、スライド機構
３を動作させて基板保持アーム４を進入させ、キャリア
エレベータを下降させてキャリア内の基板５を基板保持
アーム４上に移載した後に、パッド６で基板５を真空吸
着して、スライド機構３を動作させて基板保持アーム４
を待避させる。基板保持アーム４が所定位置に待避した
時点で真空吸着を開放する。
【００２１】支持支柱８が、その先端部がパッド６と同
じ高さとなる位置まで上昇する。図４は、基板５の自重
によるたわみを支持支柱８により矯正している状態を示
す説明図である。このように、支持支柱８は、基板５の
たわみを矯正して、基板５を平らに支持することができ
る。パッド６及び支持支柱８の先端部から圧縮空気を吹
き出し、基板５を浮上させる。押し付け機構７ａ，７
ｂ，７ｃ，７ｄが動作し、基板５を押し付けて基板５の
位置決めをする。パッド６及び支持支柱８の先端部から
の圧縮空気の吹き出しを停止すると同時に支持支柱８
は、下降し、次いでパッド６が真空吸着に切り換わる。
じ高さとなる位置まで上昇する。図４は、基板５の自重
によるたわみを支持支柱８により矯正している状態を示
す説明図である。このように、支持支柱８は、基板５の
たわみを矯正して、基板５を平らに支持することができ
る。パッド６及び支持支柱８の先端部から圧縮空気を吹
き出し、基板５を浮上させる。押し付け機構７ａ，７
ｂ，７ｃ，７ｄが動作し、基板５を押し付けて基板５の
位置決めをする。パッド６及び支持支柱８の先端部から
の圧縮空気の吹き出しを停止すると同時に支持支柱８
は、下降し、次いでパッド６が真空吸着に切り換わる。
【００２２】次に、回転機構２が動作し、所定の外部装
置の方へ向きを変える。押し付け機構７ａ，７ｂ，７
ｃ，７ｄが基板５から離れ、スライド機構３が動作して
基板５を外部装置へ排出する。
置の方へ向きを変える。押し付け機構７ａ，７ｂ，７
ｃ，７ｄが基板５から離れ、スライド機構３が動作して
基板５を外部装置へ排出する。
【００２３】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。
施され、以下に記載されるような効果を奏する。
【００２４】本発明によれば、基板を支持する補助的な
支持支柱を基板の四隅を支持するように配置したので、
基板の自重によるたわみを矯正することができる。ま
た、支持支柱と基板とは、ボールを介してころがり接触
するようにし、かつ圧縮空気によるエアベアリングの効
果すなわち基板を空気により浮上させる力の発生によっ
て基板と支持支柱との摩擦係数を極めて微小な値とする
ことができる。これにより、基板保持アームのパッドか
らの圧縮空気流量に不均一性が生じても、その影響を減
ずることができ、押し付け機構による押し付け動作時の
位置決めの確実性及び精度が向上する。
支持支柱を基板の四隅を支持するように配置したので、
基板の自重によるたわみを矯正することができる。ま
た、支持支柱と基板とは、ボールを介してころがり接触
するようにし、かつ圧縮空気によるエアベアリングの効
果すなわち基板を空気により浮上させる力の発生によっ
て基板と支持支柱との摩擦係数を極めて微小な値とする
ことができる。これにより、基板保持アームのパッドか
らの圧縮空気流量に不均一性が生じても、その影響を減
ずることができ、押し付け機構による押し付け動作時の
位置決めの確実性及び精度が向上する。
【００２５】また、本発明の支持支柱の構造は、図６に
示す第２の従来技術にも応用することができることはい
うまでもない。
示す第２の従来技術にも応用することができることはい
うまでもない。
【図１】図１は、本発明による基板位置決め装置を有す
る基板搬送装置の斜視図である。
る基板搬送装置の斜視図である。
【図２】図２は、支持支柱の先端部の断面図である。
【図３】図３は、ナット部材の平面図である。
【図４】図４は、基板の自重によるたわみを支持支柱に
より矯正している状態を示す説明図である。
より矯正している状態を示す説明図である。
【図５】図５は、第１の従来の位置決め装置を有する基
板搬送装置の斜視図である。
板搬送装置の斜視図である。
【図６】図６は、第２の従来の位置決め装置の斜視図で
ある。
ある。
【図７】図７は、基板の自重によるたわみの状態を示す
説明図である。
説明図である。
１ 本体フレーム ２ 回転機構 ３ スライド機構 ４ 基板保持アーム ５ 基板 ６ パッド ７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ 押し付け機構 ８ 支持支柱 ９ ボール １０ ナット部材
Claims (7)
- 【請求項１】位置決めされるべき基板の一側面を支持す
る支持部材と、 前記基板の縁部を押すことにより、前記支持部材上で前
記基板を所定位置に位置決めする押し付け機構と、 前記支持部材と前記基板との間に設けられたころがり接
触部材と、 前記支持部材に設けられており、前記支持部材と前記基
板との間に圧縮空気を吹き出す吹き出し口とを含む基板
位置決め装置。 - 【請求項２】前記ころがり接触部材は、前記支持部材に
回転可能に支持された球体であることを特徴とする請求
項１に記載の基板位置決め装置。 - 【請求項３】前記支持部材は、支持支柱であることを特
徴とする請求項１又は２に記載の基板位置決め装置。 - 【請求項４】前記球体は、前記支持支柱の先端部に回転
可能に支持されていることを特徴とする請求項３に記載
の基板位置決め装置。 - 【請求項５】前記吹き出し口は、前記支持支柱の先端部
に設けられていることを特徴とする請求項３に記載の基
板位置決め装置。 - 【請求項６】前記基板を搬送するためのロボットアーム
を有しており、 前記支持支柱は、前記ロボットアーム上に支持された前
記基板が前記押し付け機構により位置決めされるとき
に、前記基板が撓むのを防止するように、前記基板を支
持していることを特徴とする請求項３乃至５に記載の基
板位置決め装置。 - 【請求項７】前記支持支柱は、前記基板位置決め装置の
本体に伸縮自在に設けられていることを特徴とする請求
項６に記載の基板位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8052692A JPH09248732A (ja) | 1996-03-11 | 1996-03-11 | 基板位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8052692A JPH09248732A (ja) | 1996-03-11 | 1996-03-11 | 基板位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09248732A true JPH09248732A (ja) | 1997-09-22 |
Family
ID=12921949
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8052692A Withdrawn JPH09248732A (ja) | 1996-03-11 | 1996-03-11 | 基板位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09248732A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013082776A1 (zh) * | 2011-12-06 | 2013-06-13 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 切割机的对位装置 |
| CN107009163A (zh) * | 2017-03-03 | 2017-08-04 | 上海交通大学 | 柔性气囊滚动支撑装置 |
| CN114420623A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-04-29 | 三河建华高科有限责任公司 | 一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构 |
-
1996
- 1996-03-11 JP JP8052692A patent/JPH09248732A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013082776A1 (zh) * | 2011-12-06 | 2013-06-13 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 切割机的对位装置 |
| CN107009163A (zh) * | 2017-03-03 | 2017-08-04 | 上海交通大学 | 柔性气囊滚动支撑装置 |
| CN114420623A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-04-29 | 三河建华高科有限责任公司 | 一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构 |
| CN114420623B (zh) * | 2022-03-31 | 2022-06-07 | 三河建华高科有限责任公司 | 一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构 |
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