JP3414491B2 - 基板保持部材及びこれを用いた基板外観検査装置 - Google Patents
基板保持部材及びこれを用いた基板外観検査装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、半導体ウエハ
やガラス基板等の基板に光源から光を当て、基板面上の
キズ、汚れ等の外観の検査を目視で観察することにより
基板の外観を検査する際に用いられる基板保持部材及び
これを用いた基板外観検査装置に関する。
やガラス基板等の基板に光源から光を当て、基板面上の
キズ、汚れ等の外観の検査を目視で観察することにより
基板の外観を検査する際に用いられる基板保持部材及び
これを用いた基板外観検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の装置としては、例えば特開平５
−１０９８４９号公報に開示されたものが知られてい
る。この装置は、複数の基板を互いに所定間隔を有して
水平に収納するキャリアと、基板の目視検査を行なう検
査装置と、この検査装置を操作する操作部とにより構成
されている。そして、この検査装置には、水平方向に移
動してキャリアから基板を取り出すと共に、少なくとも
２軸を中心として基板を回動させるための保持アームが
設けれている。この基板は、この保持アーム上に吸着保
持され、保持アームが回動機構により回動されている間
に外観が検査される。
−１０９８４９号公報に開示されたものが知られてい
る。この装置は、複数の基板を互いに所定間隔を有して
水平に収納するキャリアと、基板の目視検査を行なう検
査装置と、この検査装置を操作する操作部とにより構成
されている。そして、この検査装置には、水平方向に移
動してキャリアから基板を取り出すと共に、少なくとも
２軸を中心として基板を回動させるための保持アームが
設けれている。この基板は、この保持アーム上に吸着保
持され、保持アームが回動機構により回動されている間
に外観が検査される。
【０００３】前記保持アームは、基部から１対のアーム
部が互いに所定間隔を有して平行に延出したコ字状の平
坦な板状保持部と、この板状保持部と回転機構とを接続
するように保持部から延出した接続部とを有する。そし
て、板状保持部には、この上に基板を吸着保持するため
の３つの吸着機構が三角形の頂点位置に設けられてい
る。これら吸着機構は、夫々のアーム部の先端部近く
と、基部の中心部とに、夫々位置している。この吸着機
構は、具体的には、板状保持部の上面に形成された吸着
孔であり、保持アームの裏面に設けられた吸引通路を介
して真空ポンプに接続されている。このような構成の保
持アームにおいては、この上面に基板の裏面を吸着機構
により吸着することにより基板を保持し、保持アームの
移動に伴って基板も移動される。
部が互いに所定間隔を有して平行に延出したコ字状の平
坦な板状保持部と、この板状保持部と回転機構とを接続
するように保持部から延出した接続部とを有する。そし
て、板状保持部には、この上に基板を吸着保持するため
の３つの吸着機構が三角形の頂点位置に設けられてい
る。これら吸着機構は、夫々のアーム部の先端部近く
と、基部の中心部とに、夫々位置している。この吸着機
構は、具体的には、板状保持部の上面に形成された吸着
孔であり、保持アームの裏面に設けられた吸引通路を介
して真空ポンプに接続されている。このような構成の保
持アームにおいては、この上面に基板の裏面を吸着機構
により吸着することにより基板を保持し、保持アームの
移動に伴って基板も移動される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記構成の保持アーム
では、ＬＣＤ基板のような大型で重量のある基板に対し
ては保持能力が弱く、検査中に基板が動いたり脱落した
りして、基板にキズができたり損傷したりする恐れがあ
る。。また、基板の上面に続いて裏面も検査する場合に
は、裏面を上にする必要がある。このために、上面の検
査の後、吸着機構の吸着機能をいったん解除し、検査者
が基板を裏返しにして保持アーム上に載置し、再び吸着
機能を再開させている。しかし、このような操作は手間
を要するので、回動機構により保持アームを１８０°回
動させて基板を反転させて裏面を検査することも考えら
れるが、この場合には、前述したように、保持能力が弱
いので、基板が脱落する恐れがある。
では、ＬＣＤ基板のような大型で重量のある基板に対し
ては保持能力が弱く、検査中に基板が動いたり脱落した
りして、基板にキズができたり損傷したりする恐れがあ
る。。また、基板の上面に続いて裏面も検査する場合に
は、裏面を上にする必要がある。このために、上面の検
査の後、吸着機構の吸着機能をいったん解除し、検査者
が基板を裏返しにして保持アーム上に載置し、再び吸着
機能を再開させている。しかし、このような操作は手間
を要するので、回動機構により保持アームを１８０°回
動させて基板を反転させて裏面を検査することも考えら
れるが、この場合には、前述したように、保持能力が弱
いので、基板が脱落する恐れがある。
【０００５】従って、本発明は上記課題に着目して案出
されたものであり、大型で重量のある基板でも確実に保
持することができ、また、裏面を観察するために、基板
を１８０°回転させても、基板が脱落する恐れのない、
基板を保持するための基板保持部材及びこれを用いた基
板外観検査装置を提供することである。
されたものであり、大型で重量のある基板でも確実に保
持することができ、また、裏面を観察するために、基板
を１８０°回転させても、基板が脱落する恐れのない、
基板を保持するための基板保持部材及びこれを用いた基
板外観検査装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の基板保持部材は、表裏面が検査対象となる
基板の裏面周縁部の全周に沿って吸着する吸引孔を複数
有し、基板裏面側から基板を検査可能な開口を形成した
枠状の保持部と、この保持部の開口周縁部に沿って複
数、好ましくは少なくとも３箇所に固定して設けられ、
前記保持部に載置された前記基板を基準位置に規制する
固定規制部材と、前記保持部の開口周縁部に前記固定規
制部材側に向けて移動可能に設けられ、前記保持部に載
置された前記基板を前記固定規制部材に押付ける可動規
制部材と、前記基板が位置決めされ吸着保持された状態
で、前記保持部を上面から下面に反転させる回動機構
と、前記回転機構により前記保持部を下面に反転させる
際に、前記保持部に吸着保持された基板の周縁部上方に
延出して前記基板の落下を防止する突出部と、を備えた
ことを特徴とします。
に、本発明の基板保持部材は、表裏面が検査対象となる
基板の裏面周縁部の全周に沿って吸着する吸引孔を複数
有し、基板裏面側から基板を検査可能な開口を形成した
枠状の保持部と、この保持部の開口周縁部に沿って複
数、好ましくは少なくとも３箇所に固定して設けられ、
前記保持部に載置された前記基板を基準位置に規制する
固定規制部材と、前記保持部の開口周縁部に前記固定規
制部材側に向けて移動可能に設けられ、前記保持部に載
置された前記基板を前記固定規制部材に押付ける可動規
制部材と、前記基板が位置決めされ吸着保持された状態
で、前記保持部を上面から下面に反転させる回動機構
と、前記回転機構により前記保持部を下面に反転させる
際に、前記保持部に吸着保持された基板の周縁部上方に
延出して前記基板の落下を防止する突出部と、を備えた
ことを特徴とします。
【０００７】また、本発明の基板外観検査装置は、検査
対象となる基板を搬送ロボットにより基板保持部に供給
し、この基板保持装置上に載置された前記基板を外観検
査する基板外観検査装置において、前記搬送ロボットに
より供給される前記基板の裏面周縁部を吸着する吸引孔
を複数有し、基板裏面側から基板を検査可能な開口を形
成した枠状の基板保持部と、この基板保持部の開口周縁
部に沿って複数、好ましくは少なくとも３箇所に固定し
て設けられ、前記基板保持部に載置された前記基板を基
準位置に規制する固定規制部材と、前記基板保持部の開
口周縁部に前記固定規制部材側に向けて移動可能に設け
られ、前記基板保持部に載置された前記基板を前記固定
規制部材に押付ける可動規制部材と、前記基板保持部に
吸着保持された前記基板の周縁端部上方に延出して前記
基板の落下を防止する突出部と前記基板が位置決めされ
吸着保持された状態で、前記基板保持部を上面から下面
に反転させる回動機構とを備え、前記回転機構により前
記保持部を下面に反転させる際に、前記基板保持部に吸
着保持された前記基板を前記可動規制部材と前記固定規
制部材で挟持するとともに、前記突出部を前記基板の周
縁部上方に延出させて前記基板の落下を防止することを
特徴としています。
対象となる基板を搬送ロボットにより基板保持部に供給
し、この基板保持装置上に載置された前記基板を外観検
査する基板外観検査装置において、前記搬送ロボットに
より供給される前記基板の裏面周縁部を吸着する吸引孔
を複数有し、基板裏面側から基板を検査可能な開口を形
成した枠状の基板保持部と、この基板保持部の開口周縁
部に沿って複数、好ましくは少なくとも３箇所に固定し
て設けられ、前記基板保持部に載置された前記基板を基
準位置に規制する固定規制部材と、前記基板保持部の開
口周縁部に前記固定規制部材側に向けて移動可能に設け
られ、前記基板保持部に載置された前記基板を前記固定
規制部材に押付ける可動規制部材と、前記基板保持部に
吸着保持された前記基板の周縁端部上方に延出して前記
基板の落下を防止する突出部と前記基板が位置決めされ
吸着保持された状態で、前記基板保持部を上面から下面
に反転させる回動機構とを備え、前記回転機構により前
記保持部を下面に反転させる際に、前記基板保持部に吸
着保持された前記基板を前記可動規制部材と前記固定規
制部材で挟持するとともに、前記突出部を前記基板の周
縁部上方に延出させて前記基板の落下を防止することを
特徴としています。
【０００８】
【０００９】
【００１０】
【作用】本発明に係わる基板保持部材及びこれを用いた
基板外観検査装置においては、基板を保持部上に、これ
の開口部と対面するように、載置した後に、基板を保持
部に吸着させると共に、保持手段により挟持させるよう
にしている。この結果、基板の上面（表面）を例えば、
外観検査した後に、回転機構により保持部を反転させて
基板の下面（裏面）を外観検査する。このようにして、
基板を保持部材から取り外しもしくは移動させることな
く、基板の両面の外観観測をすることができる。そし
て、前記回転機構による保持部の反転のときにも、基板
は、保持部に対して吸着と挟持とにより保持されている
ので、基板の脱落、変位の恐れがない。
基板外観検査装置においては、基板を保持部上に、これ
の開口部と対面するように、載置した後に、基板を保持
部に吸着させると共に、保持手段により挟持させるよう
にしている。この結果、基板の上面（表面）を例えば、
外観検査した後に、回転機構により保持部を反転させて
基板の下面（裏面）を外観検査する。このようにして、
基板を保持部材から取り外しもしくは移動させることな
く、基板の両面の外観観測をすることができる。そし
て、前記回転機構による保持部の反転のときにも、基板
は、保持部に対して吸着と挟持とにより保持されている
ので、基板の脱落、変位の恐れがない。
【００１１】さらに、規制部材の先端部分に形成した突
出部により基板がその上面でも保持されるので、基板を
反転させた状態で何らかの原因で吸着力が弱まったとし
ても、基板の上面が突出部に係合して脱落する恐れがな
い。
出部により基板がその上面でも保持されるので、基板を
反転させた状態で何らかの原因で吸着力が弱まったとし
ても、基板の上面が突出部に係合して脱落する恐れがな
い。
【００１２】
【００１３】
【実施例】以下に、添付図面を参照して、本発明の一実
施例に係わる基板外観検査装置を説明する。尚、この実
施例において、保持アーム（保持部材）以外は前記特開
平５−１０９８４９号公報に開示されたものと実質的に
同じなので、以下に保持アームについてのみ説明する。
施例に係わる基板外観検査装置を説明する。尚、この実
施例において、保持アーム（保持部材）以外は前記特開
平５−１０９８４９号公報に開示されたものと実質的に
同じなので、以下に保持アームについてのみ説明する。
【００１４】平板状の保持アーム３は、図１の（ａ）に
示すように、基板２を保持する矩形状の保持部３ａと、
この保持部３ａの一端側から延出し、保持部３ａを図示
しない回動機構に接続するための接続部３ｂとを有す
る。この回動機構は、保持部３ａを図示の一点鎖線で示
す中心軸を中心として矢印ａで示すように垂直面に沿っ
て回動させる機能と、接続部３ｂの基部を通り、前記中
心線と直交して水平に延びる回動軸を中心として矢印ｂ
で示すように垂直面に沿って回動させる機能とを有す
る。また、この保持アーム３は、図示しない搬送ロボッ
トの移動アームにより基板の受渡しを果たすときに移動
アームが挿入される凹所３ｃを他端側上面に有する。こ
の保持アーム３は、前記一点鎖線で示す中心軸に沿っ
て、図示しない駆動機構により移動され得る。
示すように、基板２を保持する矩形状の保持部３ａと、
この保持部３ａの一端側から延出し、保持部３ａを図示
しない回動機構に接続するための接続部３ｂとを有す
る。この回動機構は、保持部３ａを図示の一点鎖線で示
す中心軸を中心として矢印ａで示すように垂直面に沿っ
て回動させる機能と、接続部３ｂの基部を通り、前記中
心線と直交して水平に延びる回動軸を中心として矢印ｂ
で示すように垂直面に沿って回動させる機能とを有す
る。また、この保持アーム３は、図示しない搬送ロボッ
トの移動アームにより基板の受渡しを果たすときに移動
アームが挿入される凹所３ｃを他端側上面に有する。こ
の保持アーム３は、前記一点鎖線で示す中心軸に沿っ
て、図示しない駆動機構により移動され得る。
【００１５】前記保持部３ａの中心には、上面から下面
へと貫通した矩形の開口４が形成されており、この結
果、保持部３ａは矩形の枠状となっている。この開口４
は、保持する基板よりも、好ましくは、僅かに小さいデ
ィメンションを有し、この開口４の周縁部上に基板２の
周縁部が載置されて、開口４が基板により閉塞されてい
る。
へと貫通した矩形の開口４が形成されており、この結
果、保持部３ａは矩形の枠状となっている。この開口４
は、保持する基板よりも、好ましくは、僅かに小さいデ
ィメンションを有し、この開口４の周縁部上に基板２の
周縁部が載置されて、開口４が基板により閉塞されてい
る。
【００１６】前記保持部３ａの開口周縁部には、これに
沿って複数の吸着機構（保持手段）５が配置されてい
る。この実施例では、これら吸着機構５は、基板２の各
辺に対して２つづつ、合計８つが互いに所定間隔を有し
て設けられているが、このような数に限定されることは
ない。例えば、基板が大型化並びに重量化するのに従っ
て多くすることが望ましい。これら吸着機構５は、保持
部３ａの上面に形成された吸引孔よりなり、図示しない
真空ポンプに、保持アームに設けられた吸引通路を介し
て接続されている。このような構成並びに配置の吸着機
構５では、真空ポンプにより吸引通路を真空にすること
により、吸引孔の所で、基板２の裏面の周縁部を吸着し
て、基板２を保持することができる。
沿って複数の吸着機構（保持手段）５が配置されてい
る。この実施例では、これら吸着機構５は、基板２の各
辺に対して２つづつ、合計８つが互いに所定間隔を有し
て設けられているが、このような数に限定されることは
ない。例えば、基板が大型化並びに重量化するのに従っ
て多くすることが望ましい。これら吸着機構５は、保持
部３ａの上面に形成された吸引孔よりなり、図示しない
真空ポンプに、保持アームに設けられた吸引通路を介し
て接続されている。このような構成並びに配置の吸着機
構５では、真空ポンプにより吸引通路を真空にすること
により、吸引孔の所で、基板２の裏面の周縁部を吸着し
て、基板２を保持することができる。
【００１７】さらに、この実施例の保持アーム３は、基
板２を挟持して位置決め並びに保持するための規制手段
を具備する。この規制手段は、可動規制部材６ａ，７
ａ，８ａと固定規制部材６ｂ，７ｂ，８ｂ，８ｂとによ
り構成され、組みをなす可動規制部材と固定規制部材
（６ａと６ｂ、７ａと７ｂ、及び８ａと８ｂ，８ｂ）と
で基板２を水平方向に位置決めし挟持することにより基
板２を保持可能となっている。
板２を挟持して位置決め並びに保持するための規制手段
を具備する。この規制手段は、可動規制部材６ａ，７
ａ，８ａと固定規制部材６ｂ，７ｂ，８ｂ，８ｂとによ
り構成され、組みをなす可動規制部材と固定規制部材
（６ａと６ｂ、７ａと７ｂ、及び８ａと８ｂ，８ｂ）と
で基板２を水平方向に位置決めし挟持することにより基
板２を保持可能となっている。
【００１８】前記固定規制部材６ｂ，７ｂ，８ｂ，８ｂ
は保持部３ａの上面に固定された円柱ピンにより夫々構
成されている。また、可動規制部材６ａ，７ａ，８ａ
は、前記固定規制部材６ｂ，７ｂ，８ｂ，８ｂと、基板
２を挟んで対向するようにして、保持部３ａの上面に形
成された長孔９から夫々突出されている。これら長孔９
は、基板の長辺に対向するものは、基板の短辺と平行に
延出し、また、基板の短辺に対向するものは基板２の長
辺と平行に延出し、夫々の延出端は開口４の近くで終端
している。
は保持部３ａの上面に固定された円柱ピンにより夫々構
成されている。また、可動規制部材６ａ，７ａ，８ａ
は、前記固定規制部材６ｂ，７ｂ，８ｂ，８ｂと、基板
２を挟んで対向するようにして、保持部３ａの上面に形
成された長孔９から夫々突出されている。これら長孔９
は、基板の長辺に対向するものは、基板の短辺と平行に
延出し、また、基板の短辺に対向するものは基板２の長
辺と平行に延出し、夫々の延出端は開口４の近くで終端
している。
【００１９】前記可動規制部材６ａ，７ａ，８ａは、図
中矢印Ａ方向に、夫々長孔９に沿って移動可能に設けら
れたピンの形態をしている。また、これら可動規制部材
を自動的に移動可能に設定するために、例えば、この部
材の基端部にクランクアームの一端が接続され、この他
端にはエアシリンダーのピストンが接続されている。こ
の場合には、エアシリンダーへのエアの供給により、可
動部材はクランクアームを介して移動される。
中矢印Ａ方向に、夫々長孔９に沿って移動可能に設けら
れたピンの形態をしている。また、これら可動規制部材
を自動的に移動可能に設定するために、例えば、この部
材の基端部にクランクアームの一端が接続され、この他
端にはエアシリンダーのピストンが接続されている。こ
の場合には、エアシリンダーへのエアの供給により、可
動部材はクランクアームを介して移動される。
【００２０】前記規制部材は、金属ピンのような堅い部
材で形成し、これを直接基板の端面に当接させるように
しても、またピンの基板との当接部にゴムなどのクッシ
ョン材を取着しておいても、また、適度の合成と柔軟性
を有するゴムなどの部材で形成しても良い。
材で形成し、これを直接基板の端面に当接させるように
しても、またピンの基板との当接部にゴムなどのクッシ
ョン材を取着しておいても、また、適度の合成と柔軟性
を有するゴムなどの部材で形成しても良い。
【００２１】次に、保持アームと、キャリアとの間に配
置された搬送ロボットの一例を以下に説明する。この搬
送ロボットは、保持アームと、キャリアとの間を直線的
に移動可能に装置本体に装着された基部を有する。この
基部上には、水平面に沿って回動つ直線移動可能である
と共に上下方向に移動可能な細長い矩形薄板からなる搬
送アームが設けられている。また、この搬送アームの一
端側上面には基板２を上面に吸着可能な真空吸着手段が
形成されている。このような構成の搬送ロボットにおい
ては、以下のようにして保持アームとキヤリアとの間の
基板の授受を果たす。まず、キヤリア内に搬送アームの
一端側を挿入して、この上に基板２を吸着し、保持させ
る。そして、基部を保持アーム３の方に移動させてると
共に、搬送アームを１８０°回動させて、この上に保持
した基板を保持アーム３に対面させる。この状態で基板
が保持アーム上に来るように、搬送アームの一端側を保
持アーム３上に移動させる。そして、搬送アームを下方
に移動させることにより、基板を保持アーム上に載置さ
せ、最後に、搬送アームを保持アーム３の凹所３ｃを介
して後退させて保持アームより引き抜く。このようにし
て、検査前の基板をキャリアから保持アーム３上に搬送
することができ、また逆の動作により、検査済みの基板
を保持アームよりキヤリアに搬送することができる。
置された搬送ロボットの一例を以下に説明する。この搬
送ロボットは、保持アームと、キャリアとの間を直線的
に移動可能に装置本体に装着された基部を有する。この
基部上には、水平面に沿って回動つ直線移動可能である
と共に上下方向に移動可能な細長い矩形薄板からなる搬
送アームが設けられている。また、この搬送アームの一
端側上面には基板２を上面に吸着可能な真空吸着手段が
形成されている。このような構成の搬送ロボットにおい
ては、以下のようにして保持アームとキヤリアとの間の
基板の授受を果たす。まず、キヤリア内に搬送アームの
一端側を挿入して、この上に基板２を吸着し、保持させ
る。そして、基部を保持アーム３の方に移動させてると
共に、搬送アームを１８０°回動させて、この上に保持
した基板を保持アーム３に対面させる。この状態で基板
が保持アーム上に来るように、搬送アームの一端側を保
持アーム３上に移動させる。そして、搬送アームを下方
に移動させることにより、基板を保持アーム上に載置さ
せ、最後に、搬送アームを保持アーム３の凹所３ｃを介
して後退させて保持アームより引き抜く。このようにし
て、検査前の基板をキャリアから保持アーム３上に搬送
することができ、また逆の動作により、検査済みの基板
を保持アームよりキヤリアに搬送することができる。
【００２２】次に、上記構成の装置を使用して、基板の
外観を検査する操作を説明する。まず、保持アーム３
を、可動規制部材６ａ，７ａ，８ａが開口４から離れた
状態（反Ａ方向の状態）で、凹所３ｃが前方にある状態
で静止させる。そして、前述したような搬送ロボットに
より検査前の基板２を保持アーム３上に載置させる。こ
のとき、基板２が、開口４を閉塞し、規制部材間に位置
するようにして載置されるように、保持アーム３と搬送
ロボットとは粗位置合わせされている。次に、可動規制
部材６ａ，７ａ，８ａを前進させて、基板２を固定規制
部材６ｂ，７ｂ，８ｂ，８ｂに押し付けて、基板２を微
位置合わせする。、この状態で、図示しない真空ポンプ
を駆動させて、吸着機構５を動作させ、基板２を保持部
３ａ上に吸着保持する。この保持された状態において
は、基板２は、後で、装置として形成されたときに動作
領域となる有効領域以外の部分、即ち、周縁部が、保持
部３ａ上に位置し、有効領域は、開口部上に位置してい
る。この保持状態で、保持アーム３を互いに直交する前
記中心軸と回動軸との２軸を中心として最低限度回動さ
せ、上方より光を照射して、基板２の上面を目視検査す
る。この検査の後、保持アームを中心軸を中心として１
８０°回動させて、基板２の裏面を上に向け、同様に目
視検査する。この後、保持アーム２を移動させて、両面
の外観の検査を終了した、基板を前記キャリアもしくは
別のキャリアに搬送する。
外観を検査する操作を説明する。まず、保持アーム３
を、可動規制部材６ａ，７ａ，８ａが開口４から離れた
状態（反Ａ方向の状態）で、凹所３ｃが前方にある状態
で静止させる。そして、前述したような搬送ロボットに
より検査前の基板２を保持アーム３上に載置させる。こ
のとき、基板２が、開口４を閉塞し、規制部材間に位置
するようにして載置されるように、保持アーム３と搬送
ロボットとは粗位置合わせされている。次に、可動規制
部材６ａ，７ａ，８ａを前進させて、基板２を固定規制
部材６ｂ，７ｂ，８ｂ，８ｂに押し付けて、基板２を微
位置合わせする。、この状態で、図示しない真空ポンプ
を駆動させて、吸着機構５を動作させ、基板２を保持部
３ａ上に吸着保持する。この保持された状態において
は、基板２は、後で、装置として形成されたときに動作
領域となる有効領域以外の部分、即ち、周縁部が、保持
部３ａ上に位置し、有効領域は、開口部上に位置してい
る。この保持状態で、保持アーム３を互いに直交する前
記中心軸と回動軸との２軸を中心として最低限度回動さ
せ、上方より光を照射して、基板２の上面を目視検査す
る。この検査の後、保持アームを中心軸を中心として１
８０°回動させて、基板２の裏面を上に向け、同様に目
視検査する。この後、保持アーム２を移動させて、両面
の外観の検査を終了した、基板を前記キャリアもしくは
別のキャリアに搬送する。
【００２３】上記構成の基板外観検査装置においては、
基板は、保持アームの保持部上に可動規制部材と固定規
制部材との間で挟持されて位置決めがされると共に保持
されており、さらに吸着機構によっても保持されている
ので、保持能力が優れ、基板の裏面の検査のために、保
持アームを１８０°回動させても、これから基板が脱落
するようなことがない。また、裏面の検査においては、
基板の有効領域は、保持部に形成された開口より露出し
ているので、この検査に保持部が邪魔となるようなこと
がない。
基板は、保持アームの保持部上に可動規制部材と固定規
制部材との間で挟持されて位置決めがされると共に保持
されており、さらに吸着機構によっても保持されている
ので、保持能力が優れ、基板の裏面の検査のために、保
持アームを１８０°回動させても、これから基板が脱落
するようなことがない。また、裏面の検査においては、
基板の有効領域は、保持部に形成された開口より露出し
ているので、この検査に保持部が邪魔となるようなこと
がない。
【００２４】前記実施例では、可動規制部材を円柱状の
ピンにより構成したが、基板の脱落により確実に防止す
るためには、可動規制部材の先端部分に、基板の周縁部
上方に延出した水平突出部を設けることが望ましい。こ
のような突出部は、例えば、故障等で、規制部材の挟持
力や吸着機構の吸着力が弱くなっている状態で、基板２
が１８０°回転された状態でも、基板の上面と係合し
て、基板が保持アームから脱落することを防止できる。
このためには、基板の隣り合う２辺に対応した規制部材
に水平突出部を設けておくことが好ましい。尚、ここで
突出部とは、必ずしも水平に延出している必要はなく、
基板が回動されたときに、この基板の周縁部の面と係合
するように延出していれば良い。また、この突出部の基
板と当接する部分を、傾斜させると共に弾性体などで形
成し、保持アームの保持部との間で基板を弾性的に挟持
させるようにしても良い。
ピンにより構成したが、基板の脱落により確実に防止す
るためには、可動規制部材の先端部分に、基板の周縁部
上方に延出した水平突出部を設けることが望ましい。こ
のような突出部は、例えば、故障等で、規制部材の挟持
力や吸着機構の吸着力が弱くなっている状態で、基板２
が１８０°回転された状態でも、基板の上面と係合し
て、基板が保持アームから脱落することを防止できる。
このためには、基板の隣り合う２辺に対応した規制部材
に水平突出部を設けておくことが好ましい。尚、ここで
突出部とは、必ずしも水平に延出している必要はなく、
基板が回動されたときに、この基板の周縁部の面と係合
するように延出していれば良い。また、この突出部の基
板と当接する部分を、傾斜させると共に弾性体などで形
成し、保持アームの保持部との間で基板を弾性的に挟持
させるようにしても良い。
【００２５】尚、上記実施例で、規制部材を自動的に移
動させる場合には、例えば、基板が保持アーム上に載置
されたことを検出する検出手段を保持アームもしくはそ
の周辺に設けておき、この検出手段からの信号により、
保持アームに設けられたエアシリンダにエアを供給し
て、可動規制部材を移動させることにより達成される。
また、この検出信号により、少し時間を遅らせて吸着手
段の真空ポンプを制御するようにしても良い。
動させる場合には、例えば、基板が保持アーム上に載置
されたことを検出する検出手段を保持アームもしくはそ
の周辺に設けておき、この検出手段からの信号により、
保持アームに設けられたエアシリンダにエアを供給し
て、可動規制部材を移動させることにより達成される。
また、この検出信号により、少し時間を遅らせて吸着手
段の真空ポンプを制御するようにしても良い。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、大型で重量のある、例
えばLCDガラス基板のような基板でも確実に保持するこ
とができ、また、裏面を観察するために、基板を１８０
°回動させても、基板が脱落する恐れがない。
えばLCDガラス基板のような基板でも確実に保持するこ
とができ、また、裏面を観察するために、基板を１８０
°回動させても、基板が脱落する恐れがない。
【図１】本発明の一実施例に係わる基板外観検査装置に
使用されている保持アームを示す斜視図である。
使用されている保持アームを示す斜視図である。
２…基板、３…保持アーム（保持部材）、４…開口、５
…吸着機構（保持手段）、６ａ，７ａ，８ａ…可動規制
部材、６ｂ，７ｂ，８ｂ，８ｂ…固定規制部材。
…吸着機構（保持手段）、６ａ，７ａ，８ａ…可動規制
部材、６ｂ，７ｂ，８ｂ，８ｂ…固定規制部材。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平１−100508（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−136233（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−212691（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−109849（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−315948（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−101119（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−226214（ＪＰ，Ａ)
実開 平５−15132（ＪＰ，Ｕ)
実開 平５−64760（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 21/84 - 21/958
H01L 21/68
B65G 49/00 - 49/08
Claims (6)
- 【請求項１】 表裏面が検査対象となる基板の裏面周縁
部の全周に沿って吸着する吸引孔を複数有し、基板裏面
側から基板を検査可能な開口を形成した枠状の保持部
と、 この保持部の開口周縁部に沿って少なくとも複数箇所に
固定して設けられ、前記保持部に載置された前記基板を
基準位置に規制する固定規制部材と、 前記保持部の開口周縁部に前記固定規制部材側に向けて
移動可能に設けられ、前記保持部に載置された前記基板
を前記固定規制部材に押付ける可動規制部材と、 前記基板が位置決めされ吸着保持された状態で、前記保
持部を上面から下面に反転させる回動機構と、前記回転
機構により前記保持部を下面に反転させる際に、前記保
持部に吸着保持された基板の周縁部上方に延出して前記
基板の落下を防止する突出部と、を備えたことを特徴と
する基板保持装置。 - 【請求項２】 前記吸引孔は、前記固定規制部材及び前
記可動規制部材の近傍に設けられることを特徴とする請
求項１記載の基板保持部材。 - 【請求項３】 前記突出部は、前記固定規制部材又は前
記可動規制部材の各基板当接面を先端に向けて基板側に
突出するように傾斜させて形成したことを特徴とする請
求項１記載の基板保持装置。 - 【請求項４】 前記突出部は、前記基板と当接する部分
を弾性体で形成し、前記保持部との間で前記基板を弾性
的に挟持することを特徴とする請求項１記載の基板保持
装置。 - 【請求項５】 前記固定規制部材は、少なくとも３箇所
に固定して設けられていることを特徴とする請求項１な
いし４のいずれか１記載の基板保持装置。 - 【請求項６】 検査対象となる基板を搬送ロボットによ
り基板保持部に供給し、この基板保持装置上に載置され
た前記基板を外観検査する基板外観検査装置において、 前記搬送ロボットにより供給される前記基板の裏面周縁
部を吸着する吸引孔を複数有し、基板裏面側から基板を
検査可能な開口を形成した枠状の基板保持部と、 この基板保持部の開口周縁部に沿って複数３箇所に固定
して設けられ、前記基板保持部に載置された前記基板を
基準位置に規制する固定規制部材と、 前記基板保持部の開口周縁部に前記固定規制部材側に向
けて移動可能に設けられ、前記基板保持部に載置された
前記基板を前記固定規制部材に押付ける可動規制部材
と、 前記基板保持部に吸着保持された前記基板の周縁端部上
方に延出して前記基板の落下を防止する突出部と 前記基板が位置決めされ吸着保持された状態で、前記基
板保持部を上面から下面に反転させる回動機構とを備
え、 前記回転機構により前記保持部を下面に反転させる際
に、前記基板保持部に吸着保持された前記基板を前記可
動規制部材と前記固定規制部材で挟持するとともに、前
記突出部を前記基板の周縁部上方に延出させて前記基板
の落下を防止することを特徴とする基板外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09871294A JP3414491B2 (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | 基板保持部材及びこれを用いた基板外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09871294A JP3414491B2 (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | 基板保持部材及びこれを用いた基板外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07306153A JPH07306153A (ja) | 1995-11-21 |
| JP3414491B2 true JP3414491B2 (ja) | 2003-06-09 |
Family
ID=14227134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09871294A Expired - Fee Related JP3414491B2 (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | 基板保持部材及びこれを用いた基板外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3414491B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| JP2006170733A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Sharp Corp | 基板位置決め保持方法及び装置 |
| JP4522889B2 (ja) * | 2005-03-03 | 2010-08-11 | 大日本印刷株式会社 | シリコンウエハ載置用冶具および微細構造体の表面形状検出方法 |
| JP2008070238A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| JP2008078304A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Olympus Corp | 基板保持機構およびそれを用いた基板検査装置 |
| JP2008101959A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Hioki Ee Corp | 基板治具ボードおよびこれを組み込んだ基板検査用治具ユニット |
| KR101397124B1 (ko) * | 2007-02-28 | 2014-05-19 | 주성엔지니어링(주) | 기판지지프레임 및 이를 포함하는 기판처리장치, 이를이용한 기판의 로딩 및 언로딩 방법 |
| JP4976922B2 (ja) * | 2007-05-29 | 2012-07-18 | 株式会社オーク製作所 | 基板搬送装置 |
| JP2009026859A (ja) * | 2007-07-18 | 2009-02-05 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| JP2008116470A (ja) * | 2007-12-25 | 2008-05-22 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| US9939386B2 (en) * | 2012-04-12 | 2018-04-10 | KLA—Tencor Corporation | Systems and methods for sample inspection and review |
| JP7154687B2 (ja) * | 2018-06-19 | 2022-10-18 | 株式会社ディスコ | テープ拡張装置 |
| CN109342459A (zh) * | 2018-11-14 | 2019-02-15 | 大连崇达电路有限公司 | 高精密印制线路板外观质量检测装置用承载单元 |
| JP2023095568A (ja) * | 2021-12-24 | 2023-07-06 | トヨタ自動車株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
-
1994
- 1994-05-12 JP JP09871294A patent/JP3414491B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH07306153A (ja) | 1995-11-21 |
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