JP2008070238A - 基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】MM(マニュアルマクロ)検査装置で基板の表面を目視で観察するときは、AM(オートマクロ)検査装置で自動的に取得した基板の表面の画像をAM表面画像74として表示する。このとき、実際に基板上で検査者に近い領域に相当する画像が画面の下側に配置されるように画像処理を行う。さらに、AM表面画像74の下側に、同じ基板の裏面の画像をAM検査装置で取得したときの画像を上下反転させたAM裏面反転画像82を表示する。
【選択図】図8
Description
この発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、基板の向きが変った場合でも検査を効率良く、かつ精度良く実施できるようにすることを主な目的とする。
この基板検査装置は、検査者が実際にみている基板の前後左右(上下左右)と、表示されている画像の上下左右が一致するので、欠陥の位置や状態が容易に把握できるようになる。
この基板検査装置は、基板の表面と裏面を反転させたときに、これに合わせて画像を反転表示させる。例えば、基板の裏面を検査しているときに、目視で見ている配置に合わせて基板の表面の画像が表示されるので、配置を観念し易い。
この基板検査装置は、基板を観察する方向を90°変化させたときに、同じ向きからみた画像が表示されるように、画像を逆方向に回転したものを作成して表示する。
この基板検査装置は、検査者が見ている面の画像と、その反対側の面の画像とが並んで表示される。反対側の面の画像は、反転表示され、かつ検査者に近い部分が画面の下側に表示されるので、基板の表面と裏面のそれぞれの画像を対応付けて認識することができる。
この基板検査装置では、欠陥の位置や欠陥の種類の情報が並んで表示されるので、検査位置の確認等が容易になる。画像が反転表示されたときには、欠陥位置の情報も反転した座標系で配置される。欠陥位置の情報は、反転させずにそのまま表示させるので、観察者にとって確認が容易である。
この基板検査装置では、検査の状況に応じて観察者が画像を回転表示させることが可能になる。
図1に、基板検査装置を含む製造ラインの一例を示す。製造ライン1は、液晶基板のフォトリソグラフィ工程用の製造装置2と、検査装置3を組み合わせた構成を有する。
製造装置2は、カセットポート11を有し、カセットポート11には基板Wを複数(例えば、20枚)収容可能なカセット12A,12Bが2つ搭載されている。さらに、搬送装置として搬送ローダ13を有し、カセット12A,12Bから基板を1枚ずつレジストコーター/デベロッパー(C/D)15に搬送できるようになっている。C/D15は、基板Wの洗浄、レジストコート、ベークを行うレジストコーターと、レジストの現像、洗浄、ベークを行うデベロッパーとを有している。さらに、C/D15には、露光機16が連結されている。露光機16は、紫外線などを用いてマスクに形成されているパターンをレジストに転写する構成を有する。基板Wは、矩形のガラス基板が図示されているが、円板形状であっても良い。さらに、ガラス以外の材料から製造された基板であっても良い。なお、製造装置2は、フォトリソグラフィ工程用の装置に限定されない。
図2及び図3に示すように、装置本体51は、一対の基板回転機構61を有し、各基板回転機構61には回転軸62が回転自在に支持されている。これら回転軸62には、基板ホルダ63が固定されている。基板ホルダ63は、矩形の枠体64を有し、その上面に基板Wが載置される。基板ホルダ63には、複数の基板クランプ65が配置されている。基板クランプ65は、矢印で示すようにスライド自在に枠体64に設けられており、これら基板クランプ65を基板Wの側面に押し当てることで基板Wを基板ホルダ63に位置決めして保持することができる。各基板クランプ65は、基板Wの厚さを越えて延びる部分に頭部65Aを拡径させた形状を有する。このため、図4に示すように、基板ホルダ63を反転させたときでも基板Wが基板ホルダ63から脱落することはない。さらに、ホルダ63の上方には、マクロ照明装置66が設けられている。マクロ照明装置66は、光源装置と、基板Wの表面又は裏面を均一に照明する光学系とを有する。
さらに、AM画像処理装置53は、画像処理と画像表示の制御を行うAM画像表示ソフトが実行可能で、AM画像やこれに付随するデータを表示する表示部53Aを有する。
これから処理を行う基板Wが収容されたカセット12A,12Bをカセットポート11に搭載したら、搬送ローダ13が1枚の基板をカセット12Aから取り出してC/D15に搬送する。C/D15でレジスト膜が形成され、露光機16でマスクのパターンが転写される。基板Wは、再びC/D15に戻されてレジストが現像され、パターンニングが終了する。
搬送ローダ13は、パターンニング後の基板WをC/D15から取り出してAM検査装置21に搬送する。AM検査装置21では、基板表面の画像を自動で取得し、AM制御コンピュータ42で欠陥抽出と、欠陥の種類の情報の作成を行う。AM検査装置21で作成した基板表面の画像のデータ(原画像データ)と、欠陥の位置及び種類の情報(欠陥データ)は、ネットワーク35を介してサーバコンピュータ36に送信される。サーバコンピュータ36は、これらの情報を基板Wの情報と関連付けて記憶装置37に記憶する。
これに加えて、AM表面画像74には、AM検査装置21で抽出した欠陥の位置と範囲を示す表示76,77,78が重ねて表示されており、これら表示76〜78と欠陥番号のラベル79とが関連付けて表示されている。例えば、左上のパネルに相当する画像には、細長い領域の表示76と「01」のラベル79が表示されている。これは、AM検査装置21で欠陥番号「01」の欠陥が細長い領域として抽出されたことを示している。なお、表示76〜78は、欠陥データに含まれる欠陥の座標をAM表面画像74上の座標に変換することで表示の制御が行われている。
このとき、MM制御コンピュータ52は、基板ホルダ63に反転指令を出したことをAM画像処理装置53に通知する。AM画像処理装置53は、AM表面画像74の上下を反転させたAM表面反転画像を作成し、AM表面反転画像を含むウィンドウを画面表示する。このときの画面表示例を図7に示す。AM表面反転画像80は、前記したAM表面画像74に対して上下が反転した画像になっている。画像80上に重ねて表示される欠陥の位置及び範囲を示す表示76〜78の位置が反転した位置に表示され、その各々に欠陥番号のラベル79が対応して表示されている。ラベル79の位置は画像の反転に応じて代わるが、数字は反転表示されない。また、状態表示72は、裏面検査中であることを示す文字表示に変更される。その他の表示に変化はない。
この実施の形態は、製造ラインの主な構成は、第一の実施の形態と同じで、AM検査装置21が基板Wの表面だけでなく裏面の画像も取得可能になっている。さらに、AM画像処理装置53が裏面の画像にも対応可能であることを特徴とする。
AM検査装置21で基板Wを反転させる手段としては、装置本体41に基板Wを反転させる機構(不図示)を設けても良いし、搬送ローダ13で基板Wを反転させても良い。基板Wの画像及び欠陥の情報は、表面側と裏面側のそれぞれに対応付けてサーバコンピュータ36の記憶装置37に保存される。したがって、記憶装置37は、表面の原画像データと欠陥データ、裏面の原画像データと欠陥データのそれぞれが基板Wの情報で検索可能に格納される。
裏面欠陥情報83は、欠陥番号と、欠陥の名称とが関連付けて配列表示されており、前記したAM裏面反転画像82の表示と組み合わせて使用される。例えば、欠陥番号「01」が「キズ」になっているので、AM裏面反転画像82の表示84がキズによる欠陥であることがわかる。
AM表面反転画像80が用いられているのは、第一の実施の形態で同様に基板Wを反転させたことに起因にするものである。また、これら画像80,85の配置に合わせて裏面欠陥情報83が上側に、表面欠陥情報75が下側に表示されている。
この実施の形態は、製造ラインの主な構成は、第一の実施の形態と同じで、MM検査装置が基板の向きを90°回転させて検査できるように構成されていることを主な特徴とする。
図10に示すように、MM検査装置31の装置本体91は、一対の基板回転機構61に回転自在に指示された基板ホルダ92を有する。基板ホルダ92は矩形の枠本体93に複数の基板クランプ94,95が配設されている。基板クランプ94,95は、手前側の検査者からみて基板Wを横長に配置するときに使用する第一の基板クランプ94と、手前側の検査者からみて基板Wを縦長に配置するときに使用する第二の基板クランプ95とを有する。各基板クランプ94,95は、第一の実施の形態と同様にスライド自在に枠本体93に取り付けられており、基板Wの側面に押し付けられて基板Wを位置決め保持する。さらに、基板Wの表面から突出する頭部(図3に示す頭部65Aと同様の形状)が拡径されているので、基板Wを傾斜、反転させたときでも基板ホルダ92から基板Wが脱落することはない。
AM裏面反転画像103は、AM検査装置21で撮像した裏面の画像であって、実際の基板Wの配置に合わせて縦長に、かつ上下を反転させて表示されている。すなわち、AM裏面反転画像103の下側が検査者にとって手前側に、上側が検査者にとって奥側に対応する。AM裏面反転画像103の左右と基板Wの左右は一致している。さらに、欠陥の表示84がオーバレイされている。欠陥の表示84は、基板Wの向きに合わせて変更してあるが、欠陥番号の数字の向きは変わっていない。
また、AM検査装置21が裏面の画像を取得していない場合には、AM表面画像74とAM表面反転画像80の切り替えと、これら画像74,80を90°回転させる処理のみが実施される。
検査位置変更ボタン104の操作で画面表示を切り替えることができるので操作が容易である。
この他にも、検査者が第一の検査位置P1から第二の検査位置に移動するタイミングを検査開始からの時間として予めAM画像処理装置53に設定しおくと、操作をしなくても画像の縦横を自動的に切り替えることができる。さらに、MM検査装置31に検査者の位置を自動的に検出するセンサを設けた場合には、自動的に画像の切り替えを実施することが可能になる。これらの場合であっても、検査位置変更ボタン104及び選択画面110を設けると、さらに検査が容易になる。
例えば、基板Wが略垂直に支持されたときには、基板Wが検査者と略平行になる。この場合にAM画像処理装置53は、AM表面画像やAM裏面画像を、検査者からみて基板Wの下側に相当する部分が画面上で下側になるように表示し、検査者からみて基板Wの上側に相当する部分が画面上で上側になるように表示する。AM表面反転画像やAM裏面反転画像についても、同様に表示を制御する。基板Wが略垂直に配置された場合でも、前記と同様の効果が得られる。
基板Wの表面と裏面を反転させるときは、実際に反転したことを示す信号をMM制御コンピュータ52が受け取ってからAM画像処理装置53に画像を切り替えを指令しても良い。また、AM画像処理装置53に画像の判定を支持するボタンを設け、検査者の操作によって画像を反転させても良い。
ボタンの操作は、画面がタッチパネル式である場合には直接行えるが、キーボードやマウス、ハードウェア上のボタンで操作しても良い。
同じ基板Wに対するAM検査において、撮像条件などを異ならせて複数枚の画像を取得した場合には、これら複数の画像を並んで表示したり、切り替え可能に表示したりしても良い。
表面欠陥情報75や、裏面欠陥情報83は、各画像74,80,82,85,102,103に重ねて表示しても良いし、必要に応じて表示されるようにしても良い。いずれの場合において、画像が反転や回転させられた場合であっても文字情報や数字の向きは変化しないように表示される。
AM検査装置21とMM検査装置31で1つの基板検査装置を構成しても良い。サーバコンピュータ36を有さずに、AM制御コンピュータ42とMM制御コンピュータ52、AM画像処理装置53の間で前記した各種データを通信することもできる。MM制御コンピュータ52とAM画像処理装置53は一台のコンピュータにして良い。この場合に、MM制御コンピュータ52の表示部と、AM画像処理装置53の表示部53Aは1つに集約しても良いが、各画像を大きく表示した方が検査者が確認し易いので表示部は別々に設けることが好ましい。
53 AM画像処理装置
53A 表示部
63 基板ホルダ
74,102 AM表面画像
80 AM表面反転画像
82,103 AM裏面反転画像
85 AM裏面画像
104 検査位置変更ボタン切り替え選択部)
110 選択画面(切り替え選択部)
Claims (6)
- 基板の外観を目視で検査するために用いられる基板検査装置であって、
基板を保持する基板ホルダと、
同じ基板について予め撮像しておいた画像を表示する表示部と、
前記基板ホルダに保持されている基板と検査者の配置に合わせて、予め撮像しておいた前記画像を回転又は反転させ、検査者からみて基板の手前側に相当する部分を下側に表示させると共に、検査者からみて基板の奥側に相当する部分を上側に表示させ、又は検査者からみて基板の下側に相当する部分を下側に表示させると共に、検査者からみて基板の上側に相当する部分を上側に表示させる画像処理装置と、
を有することを特徴とする基板検査装置。 - 前記画像処理装置は、前記基板ホルダが反転した場合に前記画像の上下を反転表示させることを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記画像処理装置は、基板に対する検査者の位置が90°回転した場合に前記画像を逆方向に90°回転表示させることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基板検査装置。
- 前記画像処理装置は、同じ基板について予め撮像しておいた前記画像として、基板の表面画像と裏面画像を有し、前記基板ホルダ上の基板の表面が検査者に向けられているときには、前記表面画像と、前記裏面画像を上下反転させた裏面反転画像とを表示させ、前記基板ホルダ上の基板の裏面が検査者に向けられているときには、前記裏面画像と、前記表面画像を上下反転させた表面反転画像とを表示させることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の基板検査装置。
- 前記画像処理装置は、同じ基板について予め撮像しておいた前記画像と共に、予め抽出した欠陥位置と欠陥の種類の情報を前記表示部に表示させ、欠陥位置の情報は前記画像に重ねて表示すると共に前記画像の反転又は回転に応じて反転又は回転して表示させ、欠陥の種類の情報は前記画像の反転又は回転にかかわらずに一定の向きに表示させることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の基板検査装置。
- 前記画像を回転表示させる際に基板に対する検査者の位置を選択可能な切り替え選択部を有することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の基板検査装置。
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