JPH04301547A - 表面検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、表面検査装置及びその
方法に係わり、さらに詳しくは、大型液晶ディスプレイ
等を検査ステ−ジに載置して顕微鏡で拡大して、電極パ
タ−ンの損傷、ピンホ−ルの有無を検査する装置及びそ
の方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイの電極パタ−ンの形成
にはフォトリソグラフィ技術が利用されており、露光、
エッチング、洗浄の工程を繰り返すことにより、電極パ
タ−ンをガラス基板上に形成する。所期する電極パタ−
ンが正確に形成されているか、ピンホ−ル等の欠陥が無
いかどうかは、顕微鏡を使用して拡大検査している。こ
の顕微鏡検査においては、観察ステ−ジに搭載した基板
の所望部位を手動又は自動により顕微鏡の観察視野に案
内し、テレビカメラでこれを撮影しモニタに表示して行
う。近年、液晶ディスプレイはワ−プロのディスプレイ
やテレビモニタとしても使用され、大型液晶ディスプレ
イが製造され始めている。現在、大型液晶ディスプレイ
用として、製造ラインでは３００×３００、６５０×６
５０（ｍｍ）の基板のものが製造されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記のような大型基板
の検査に、従来のような装置の機構をそのまま使用する
とすれば、Ｘ−Ｙステ−ジ機構の大型化は避けられず、
それに伴い巨大な検査装置とならざるを得ない。また、
このような大型化したＸ−Ｙステ−ジ機構の移動精度を
維持するには、高精度の部品加工が必要であると共に、
誤差を補正するための複雑な処理が必要となり、装置の
高価格化は避けられない。

【０００４】本発明は上記欠点に鑑み案出されたもので
、本発明の目的は被検物の大きさに比較してより小さい
移動で被検物表面の全体を検査できる表面検査装置を提
供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のような特徴を有している。 （１）　　顕微鏡光学系を有する観察光学系と、該観察
光学系により得られる像の方向を回転させる像方向回転
手段と、被検物を載置する載置台と、該載置台を所定角
度回転させる回転機構と、前記載置台をＸ−Ｙ方向に移
動するＸ−Ｙ移動機構と、前記載置台を回転させる回転
機構の回転と前記像方向回転手段による像回転とを連動
させる機構を有することを特徴としている。

【０００６】（２）　　（１）の回転機構の所定角度と
は１８０度であり、被検物を２分割して検査することを
特徴としている。

【０００７】（３）　　（１）の回転機構の所定角度と
は９０度、１８０度、２７０度であり、被検物を４分割
して検査することを特徴としている。

【０００８】（４）　　（１）の像方向回転手段とは顕
微鏡光学系中に配置されたイメ−ジロ−テ−タであるこ
とを特徴としている。

【０００９】（５）　　（１）の載置台を回転させる回
転機構は、載置台と共にＸ−Ｙ移動機構によりＸ−Ｙ方
向に移動する構造となっていることを特徴としている。

【００１０】（６）　　（１）の表面検査装置の載置台
をＸ−Ｙ方向に移動するＸ−Ｙ移動機構の制御デ−タは
載置台及び像の回転角と同期して変換することを特徴と
している。

【００１１】（７）　　被検物が載置された載置台をＸ
−Ｙ方向に移動して、被検物の表面を検査する方法にお
いて、被検物の検査領域を複数に分割する過程と、分割
された一つの領域の検査が終了したときは前記載置台を
所定量回転させる過程と、該載置台の回転に連動して観
察像を回転させる過程と、からなることを特徴としてい
る。

【００１２】

【実施例】図１は本発明の１実施例の要部の配置を示す
要部配置図である。１は被検物であるガラス基板であり
、フォトリソグラフィ技術により電極パタ−ンが形成さ
れている。２はガラス基板１を載置する載置台で、ガラ
ス基板１は載置台２に真空吸着されている。３は載置台
２を軸回りに回転させるとともに、上下（Ｚ軸）方向に
駆動する駆動機構を収納する筐体である。筐体３内の駆
動機構は、載置台２を軸回りに回転するためのステッピ
ングモ−タ４等の駆動機構と、その駆動機構全体を上下
（Ｚ軸）方向に駆動する駆動機構とからなる。載置台２
の回転位置はステッピングモ−タ４の制御デ−タにより
得られるが、別個に検出器を設けて検出しても良い。

【００１３】５は案内軸であり、案内軸５には送りねじ
が形成されており、Ｘ軸駆動用サ−ボモ−タ６により案
内軸５が回転して、載置台２及び筐体３をＸ方向に案内
する。このＸ方向に駆動する機構全体は、Ｙ軸駆動用サ
−ボモ−タ７によりＹ方向に移動可能になっている。Ｘ
方向、Ｙ方向の各位置は、サ−ボモ−タ６、７の各回転
を検出する位置検出器８、９により検出される。

【００１４】１０は顕微鏡光学系を含む顕微鏡部である
。１１は顕微鏡のマウントに嵌合可能なアダプタであり
、アダプタ１１を介してイメ−ジロ−テ−タ１２は顕微
鏡光学系と同軸にされる。アダプタ１１を介してイメ−
ジロ−テ−タ１２を取り付けるので、アダプタ１１の種
類を選択するだけで、市販の顕微鏡にもイメ−ジロ−テ
−タ１２を自由に挿入できる。イメ−ジロ−テ−タ１２
は、顕微鏡像を９０度、１８０度、２７０度回転するよ
う制御される。イメ−ジロ−テ−タ１２を回転するステ
ッピングモ−タ１３は、マイクロコンピュ−タにより載
置台２を軸回りに回転する駆動機構の動作と関連制御さ
れる。なお、顕微鏡像を回転すること自体は画像処理技
術によっても可能であるが、処理時間のロス等を考慮す
れば光学的に像を回転することが望ましい。１４は顕微
鏡の像を撮影するテレビカメラであり、、撮影像はテレ
ビモニタ１５に表示される。

【００１５】以上の構成の装置の動作を次に説明する。 図示しない搬送機構により載置台２に搬送されたガラス
基板１は、載置台２に真空吸着され、固定される。図２
は顕微鏡光学系とガラス基板の位置関係を説明する図で
あり、ガラス基板の表面は４分割して各領域（図上Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄで示す）ごとに順次検査される。検査開始時
の顕微鏡光学系はＡ領域のほぼ中心を観察するように位
置合わせされている。

【００１６】案内軸５、サ−ボモ−タ６、７等で構成さ
れるＸ−Ｙ軸駆動機構を駆動して、ガラス基板１と顕微
鏡光学系を相対的に移動させる。ガラス基板１上のパタ
−ン像は一定の間隔で規則正しく並んでいるので、所定
のステップ間隔でＸ−Ｙ軸駆動機構の駆動を制御し、Ａ
領域での欠陥の有無を検査する。Ａ領域での欠陥検査に
要するＸ−Ｙ方向の移動量は、ガラス基板１の各方向で
の長さをｘ、ｙとすると、各ｘ／２、ｙ／２である。

【００１７】Ａ領域の検査が終了すると、載置台２を軸
回りに回転するためのステッピングモ−タ４等からなる
駆動機構が働き、載置台２をｃｃｗ方向に９０度回転し
、Ｂ領域を顕微鏡の観察領域内に置く。Ａ領域の観察時
にパタ−ン像が正立像として観察されるように光学設計
されているので、載置台２を回転させてＢ領域を観察領
域に置いたときのパタ−ン像はｃｃｗ方向に９０度回転
している。ステッピングモ−タ１３によりイメ−ジロ−
テ−タ１２をｃｗ方向に９０／２度回転することにより
、パタ−ン像はＡ領域を観察したときと同様な状態で観
察できる。また、Ａ領域でのパタ−ン検査と全く同様に
Ｂ領域での検査を行うために、Ａ領域における駆動デ−
タを９０度軸回転させた変換デ−タを、Ｘ−Ｙ軸駆動機
構の駆動デ−タとして使用する。

【００１８】同様に、Ｂ領域が観察領域にある状態から
、さらに載置台２をｃｃｗ方向に９０度回転すると、Ｃ
領域が顕微鏡の観察領域に置かれ、イメ−ジロ−テ−タ
７をｃｗ方向にさらに９０／２度回転する。座標変換さ
れた駆動デ−タに基づいてＸ−Ｙ軸駆動機構を制御して
検査を行う。Ｄ領域の検査はＣ領域のときに比較して、
さらに載置台２をｃｃｗ方向に９０度、イメ−ジロ−テ
−タ７をｃｗ方向に９０／２度回転する。

【００１９】

【発明の効果】本発明の表面検査装置及びその方法によ
れば、被検物の大きさに比較してより小さい移動で被検
物表面の全体を検査でき、装置の大型化を抑制すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】１実施例の要部の配置を示す要部配置図である
。

【図２】顕微鏡光学系とガラス基板の位置関係を説明す
る説明図である。

【符号の説明】

１　　ガラス基板 ２　　載置台 ３　　筐体 ４，１３　　ステッピングモ−タ ５　　案内軸 ６，７　　サ−ボモ−タ ８，９　　位置検出器 １０　　顕微鏡部 １１　　アダプタ １２　　イメ−ジロ−テ−タ １４　　テレビカメラ １５　　テレビモニタ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　顕微鏡光学系を有する観察光学系と、
   該観察光学系により得られる像の方向を回転させる像方
   向回転手段と、被検物を載置する載置台と、該載置台を
   所定角度回転させる回転機構と、前記載置台をＸ−Ｙ方
   向に移動するＸ−Ｙ移動機構と、前記載置台を回転させ
   る回転機構の回転と前記像方向回転手段による像回転と
   を連動させる機構とを有することを特徴とする表面検査
   装置。
2. 【請求項２】　　請求項１の回転機構の所定角度とは１
   ８０度であり、被検物を２分割して検査することを特徴
   とする表面検査装置。
3. 【請求項３】　　請求項１の回転機構の所定角度とは９
   ０度、１８０度、２７０度であり、被検物を４分割して
   検査することを特徴とする表面検査装置。
4. 【請求項４】　　請求項１の像方向回転手段とは顕微鏡
   光学系中に配置されたイメ−ジロ−テ−タであることを
   特徴とする表面検査装置。
5. 【請求項５】　　請求項１の載置台を回転させる回転機
   構は、載置台と共にＸ−Ｙ移動機構によりＸ−Ｙ方向に
   移動する構造となっていることを特徴とする表面検査装
   置。
6. 【請求項６】　　請求項１の表面検査装置の載置台をＸ
   −Ｙ方向に移動するＸ−Ｙ移動機構の制御デ−タを載置
   台及び像の回転角と同期して変換することを特徴とする
   表面検査装置。
7. 【請求項７】　　被検物が載置された載置台をＸ−Ｙ方
   向に移動して、被検物の表面を検査する方法において、
   被検物の検査領域を複数に分割する過程と、分割された
   一つの領域の検査が終了したときは前記載置台を所定量
   回転させる過程と、該載置台の回転に連動して観察像を
   回転させる過程と、からなることを特徴とする表面検査
   方法。