KR100672166B1 - 선폭 측정 장치 - Google Patents

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KR100672166B1
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데쯔아키 후카마찌
시게노부 오쯔카
사토시 히로카와
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가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
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Abstract

피측정 대상물의 대형화에 따라, 그 질량, 정전기 등의 영향에 의해 피측정 대상물을 움직이는 것 자체가 곤란해지고, 강제적인 위치 결정 동작이 곤란해져, 위치 결정 동작 불량이 많이 발생하게 되었다. 이러한 위치 결정 동작 불량을 저감하기 위해서, 복잡한 시퀀스를 가진 위치 결정 기구와 동작 시퀀스가 장치로서 요구되어 오고 있다. 촬상한 화상에 의한 얼라인먼트 방식, 즉, 물리적으로 기판 등의 피측정 대상물을 위치 결정하지 않고 촬상한 카메라 화상으로부터 피측정 대상물(시료)의 탑재 위치를 측정하여, 관찰 위치 결정의 보정을 하는 것이다. 이를 위해, 본 발명은, 촬상 장치의 헤드부를 위치 보정하기 위한 미동 축기구와 보정 제어 수단을 구비했다.
선폭측정, 치수측정, 선폭검사, 치수검사

Description

선폭 측정 장치{LINE WIDTH MEASURING METHOD}
도 1은 본 발명의 선폭 측정 장치의 하나의 실시예의 구성을 설명하기 위한 도면이고,
도 2는 시료의 탑재 어긋남에 의해 발생하는 위치 에러와 보정을 설명하는 도면이고,
도 3은 본 발명에 의한 선폭 측정 장치의 하나의 실시예의 구성을 도시하는 블럭도이고,
도 4는 본 발명에 의한 각 축의 동작 시퀀스의 하나의 실시예를 도시하는 플로우 차트이고,
도 5는 본 발명에 의한 각 축의 동작 시퀀스의 하나의 실시예를 도시하는 플로우 차트이고,
도 6은 본 발명에 의한 각 축의 동작 시퀀스의 하나의 실시예를 도시하는 플로우 차트이고,
도 7은 본 발명에 의한 각 축의 동작 시퀀스의 하나의 실시예를 도시하는 플로우 차트이고,
도 8은 본 발명에 의한 각 축의 동작 시퀀스의 하나의 실시예를 도시하는 플 로우 차트이고,
도 9는 본 발명에 의한 각 축의 동작 시퀀스의 하나의 실시예를 도시하는 플로우 차트이고,
도 10은 본 발명에 의한 각 축의 동작 시퀀스의 하나의 실시예를 도시하는 플로우 차트이고,
도 11은 본 발명에 의한 각 축의 동작 시퀀스의 하나의 실시예를 도시하는 플로우 차트이고,
도 12는 본 발명에 의한 각 축의 동작 시퀀스의 하나의 실시예를 도시하는 플로우 차트이고,
도 13은 본 발명에 의한 각 축의 동작 시퀀스의 하나의 실시예를 도시하는 플로우 차트이고,
도 14는 본 발명에 의한 각 축의 동작 시퀀스의 하나의 실시예를 도시하는 플로우 차트이다.
도 15는 본 발명에 의한 각 축의 동작 시퀀스의 하나의 실시예를 도시하는 플로우 차트이다.
도 16은 본 발명의 동작 시퀀스의 하나의 실시예를 도시하는 플로우 차트이다.
본 발명은, 선폭 또는 치수 등을, 측정 또는 검사하는 장치에 관련하고, 특히 멀티 촬상 헤드 방식의 측정 또는 검사하는 장치에 관계한다.
선폭 측정 장치 또는 치수 측정 장치는, 기판(예컨대, LCD(Liquid Crystal Display) 기판)의 TFT(Thin Film Transistor)나 반도체 마스크의 패턴 폭이나 패턴 간격 등의 측정을 실행하는 장치이다. 선폭 측정 장치 또는 치수 측정 장치는, 예컨대, 투명 글래스 기판(시료) 상에 형성된 막 패턴에 조명을 조사하여 얻어지는 패턴상을 현미경으로 확대하여, 그 화상을 CCD(Charge Coupled Device) 카메라로 촬상하여 얻어지는 패턴상을 화상 처리하여, 치수나 형상을 측정한다. 이하, 선폭 측정 장치, 치수 측정 장치, 선폭 검사 장치 또는 치수 검사 장치를 선폭 측정 장치로 총칭한다.
최근, LCD 기판의 수요가 확대하고 있다. 이에 따라, LCD 기판의 제조 공정에서는, 디스플레이 부분(표시 사이즈)의 대형화와, 기판 1장으로 취득할 수 있는 제품수(다수개 취득)의 증가 등에 의해서, 생산 효율의 향상을 도모하고 있다. 이하, LCD 기판이란, 제조 공정중에 선폭 측정 장치에 탑재되는 피측정 대상물로서, 다수개 취득을 하기 위해 그 위에 복수의 제품(예컨대, LCD 패널)이 할당되어 있는 기판을 말한다. 따라서, 이러한 피측정 대상물에는, 검사해야 하는 동일한 형상의 막 패턴이 복수개 존재한다.
상술한 바와 같이, LCD 기판 등의 피측정 대상물이 대형화하면, 그에 따라, 피측정 대상물 상에 형성하는 막 패턴의 노광 오차(위치 어긋남)가 일반적으로 증 대하는 경향이 있다. 또한, LCD 기판의 치수(단위: mm)는, 가로 치수(X) × 세로 치수(Y)가, 예컨대, 1850 × 1500, 또는 2250 × 1950 등으로, 두께는 0.5 ～ 0.7 정도이다.
피측정 대상물 상에 형성되는 막 패턴의 위치 어긋남이 커지는 결과, 선폭 측정 장치에서는, 소정의 측정 위치를 촬상하기 위해서 XY 스테이지를 이동해도, LCD 기판 등의 피측정 대상물 상에서의 패턴 위치가 어긋나 있기 때문에, 촬상한 영상내에 화상 처리에 필요한 피측정 부분의 일부가 밀려나가는 상황이 발생해 버리는 일이 있다(예컨대, 일본 특허 공개 2004-184411호 공보 참조).
상술한 노광 오차(위치 어긋남)의 증대를 작게 하기 위해서, 혹은, 소정의 측정 위치를 촬상하기 위해서 X 또는 Y 방향으로 시료대를 이동한 경우에, 촬상한 영상내에 화상 처리에 필요한 피측정 부분의 일부가 밀려나가는 상황을 될 수 있는 한 적게 만들어야 한다. 이 때문에, 종래에는, 피측정 대상물을 시료대 상에 반송 로봇 등에 의해서 반입하고, 시료대 상에 X 방향 및 Y 방향 각각에 고정핀 등의 위치 결정용의 스토퍼를 마련하여, 일단 시료대 상에 탑재하고 나서, 스토퍼에 대하여 X 방향 및 Y 방향으로 피측정 대상물을 밀착시켜서 위치 결정 정밀도를 향상시키고 있었다. 그런 뒤에, 예컨대, 흡착 기구에 의해서 흡착하여, 피측정 대상물을 시료대에 고정하고 있었다.
또한, 확대 화상에 의해 미세한 치수를 측정하고자 하는 선폭 측정 장치에 있어서, 복수의 촬상 헤드부를 마련한 멀티 촬상 헤드에 의한 측정을 하는 경우에도, 상기와 동일하게, 피측정 대상물의 위치 어긋남을 작게 하기 위한 위치 결정 기구를 마련하여, 측정의 정밀도, 시퀀스를 손상하지 않도록 피측정 대상물의 위치 결정을, 반송 로봇 등에 의한 반입시에 실행하고 있었다.
이러한 피측정 대상물의 탑재 위치를 클램프 기구(에어 실린더 등에 의한 누름 기구)로 시료를 강제적으로 움직여, 2개의 촬상 헤드부가 촬상 시야 내에 들어가고, 또한 측정이 소정 조건내(예컨대, 클램프 재현성 범위가 30 μm 이내)가 되도록 하는 제어에서는, 선폭 측정 장치에 있어서의 피측정 대상물의 위치 결정 정밀도는, 예컨대 약 30 μm 정도의 위치 결정 재현성이 요구된다.
그러나, 피측정 대상물의 대형화에 따라, 그 질량, 정전기 등의 영향에 의해 피측정 대상물을 움직이게 하는 것 자체가 곤란해지고, 강제적인 위치 결정 동작이 곤란해져, 위치 결정 동작 불량이 많이 발생하게 되었다. 이러한 위치 결정 동작 불량을 저감하기 위해서, 복잡한 시퀀스를 가진 위치 결정 기구와 동작 시퀀스가 장치로서 요구되고 있었다(예컨대, 일본 특허 공개 2004-186681호 공보 참조).
상술 한 바와 같이, 종래 기술에서는, 피측정 대상물의 시료대로의 반입시에는, 시료대에 반입 후 일단 고정된 피측정 대상물의 고정을 약하게 하고 나서 이동시켜 위치 결정을 할 필요가 있었다. 이 때문에, 피측정 대상물이 커지면, 그 질량, 정전기 등의 영향에 의해 피측정 대상물을 움직이게 하는 것이 어려워져, 일정한 비율로 위치 결정 동작 불량이 발생한다. 이러한 위치 결정 동작 불량을 저감하기 위해서, 복잡한 시퀀스를 가진 위치 결정 기구와 동작 시퀀스가 필요했다.
본 발명의 목적은, 상기 한 바와 같은 문제를 해결하여, 피측정 대상물의 시료대로의 반입시 위치 결정 동작이 불필요한 선폭 측정 장치를 실현하는 것에 있 다. 즉, 본 발명은, 시료가 커짐으로써 발생하는 위치 결정 동작 불량을 저감하는 것을 목적으로 하는 것으로써, 카메라 화상 얼라인먼트 방식(물리적으로 기판을 위치 결정하지 않고 카메라의 화상으로부터 피측정 대상물의 탑재 위치를 결정하여 관찰 위치 결정의 보정을 하는 방식)을 제공하는 것에 있다.
또한, 본 발명의 목적은, 상기의 카메라 얼라인먼트 방식을 실현하는 데 있어서, 복수의 촬상 헤드부를 마련하여, 측정 시간이나 택 타임(tack time)의 단축을 도모하고, 또한 복잡한 시퀀스 동작을 생략할 수 있는 카메라 화상 얼라인먼트 방식을 제공하는 것에 있다.
또한, 선폭 측정 장치에 있어서, 택 타임의 단축은 필요 불가결한 기능이다. 택 타임의 단축을 위해, 종래부터, 스테이지의 이동 속도의 고속화나 화상 처리 속도의 향상을 도모해 왔다.
종래, 촬상 헤드부가 하나밖에 없는 선폭 측정 장치(여기서는, 복수의 촬상 헤드부를 가진 멀티 촬상 헤드 방식의 선폭 측정 장치에 대하여, 단일 촬상 헤드부을 가진 선폭 측정 장치를 말한다)에서는, 피측정 대상물의 소정의 측정 위치를 관찰 시야(촬상한 영상내)의 중심에 두기 위한 보정 이동을, X축 방향으로 평행 이동이나 Y축 방향으로 평행 이동 중 적어도 한 방향으로 이동시켜 실행하고 있었다. 그러나, 멀티 촬상 헤드 방식의 선폭 측정 장치의 경우에는, 종래의 X축 방향과 Y축 방향만을 사용한 XY 이동에 의한 보정에서는, 각 헤드마다 위치 어긋남 보정에 필요한 이동 방향이나 이동 보정량이 다르기 때문에(헤드간의 이동 방향이나 위치 어긋남이 일치하지 않는다) 위치 어긋남 보정이 어려웠다.
본 발명의 다른 목적은, 멀티 촬상 헤드 방식의 선폭 측정 장치에 있어서, 상기 한 바와 같은 문제를 해결하여, 각 촬상 헤드부마다 위치 어긋남 보정이 가능한 선폭 측정 장치를 제공하는 것에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 선폭 측정 장치는, 촬상한 화상에 의한 얼라인먼트 방식, 즉, 물리적으로 기판 등의 피측정 대상물을 위치 결정하지 않고서 촬상한 카메라 화상으로부터 피측정 대상물(시료)의 탑재 위치를 측정하여, 관찰 위치 결정의 보정을 하는 것이다. 이 때문에, 본 발명은, 촬상 장치의 헤드부를 위치 보정하기 위한 미동(微動) 축기구와 보정 제어 수단을 구비한 것이다.
즉, 본 발명은, 복수의 촬상 헤드부의 화상의 저장 위치를 개별적으로 보정하기 위한 수단을 가진다.
따라서, 피측정 대상물을 반입 로봇으로 선폭 측정 장치 상에 반입할 때에, 반입 로봇에 의한 위치 결정만으로 피측정 대상물을 선폭 측정 장치의 시료대에 고정하여, 시료를 움직이게 하지 않고 해결된다.
바람직하게는, 본 발명의 선폭 측정 장치는, 복수의 촬상 헤드부와 화상 처리부를 구비하여, 각각의 촬상 헤드부가 취득한 화상을 화상 처리부가 화상 처리하는 것에 의해 피측정 대상물의 소망하는 부분의 측정 또는 검사를 실행하는 선폭 측정 장치에 있어서, 복수의 촬상 헤드부의 위치를 개별적으로 보정하는 위치 보정 수단을 구비하고, 화상 처리부는 복수의 촬상 헤드부가 취득한 화상으로부터 복수의 촬상 헤드부의 위치를 검출하여, 위치 보정 수단은 검출한 위치에 근거하여 복수의 촬상 헤드부의 위치를 각각 독립적으로 보정하는 것이다.
또한 바람직하게는, 본 발명의 선폭 측정 장치는, 시료의 일부를 확대 촬영하는 수단과, 동일축 상을 개별적으로 이동 가능한 복수의 촬상 헤드부와, 시료를 촬상하는 위치를 바꾸기 위한 위치 보정 수단과, 촬상한 화상에 대하여 화상 처리를 실행하는 수단과, 위치 보정 수단을 동작시키는 제어 수단을 가지고, 시료의 위치 어긋남을 보정하는 것이다.
즉, 본 발명의 선폭 측정 장치는, 상기 카메라 화상 얼라인먼트 방식, 즉, 물리적으로 기판을 위치 결정하지 않고 카메라 화상으로부터 시료의 탑재 위치를 측정하여, 관찰 위치 결정을 보정하는 방식이며, 이 실현을 위해 각 촬상 헤드부마다 미동 축기구를 마련하여, 그것들을 독립적으로 보정하기 위한 보정 제어 기능을 구비한 것이다.
또한, 바람직하게는, 본 발명의 선폭 측정 장치는, 복수의 촬상 헤드부 각각의 미동 축기구을 이용하여, 피측정 대상물 탑재 위치의 어긋남을 보정한 후의 미동 축기구의 가동 범위 상황에 의해, 동시 측정 가능한 측정 포인트의 범위를 자동 조정하는 기능을 가지게 한 것이다.
또한 바람직하게는, 본 발명의 멀티 촬상 헤드 방식의 선폭 측정 장치는, 동일축 상을 개별로 각각 이동 가능한 촬상 헤드부에 있어서, 각각의 촬상 헤드부의, 직교하는 방향으로 이동 가능한 미동 축기구를 구비한 것이다.
본 발명은, 시료(피측정 대상물)의 일부를 확대 촬영하는 것이 가능하고, 동일축 상을 개별로 이동 가능한 복수의 촬상 헤드부로 이루어지는 촬상부를 구비하고, 촬상하는 시료의 위치를 바꾸기 위한 매니퓰레이터(조작 수단)를 가지는 선폭 측정 장치로서, 촬상한 화상에 대하여 화상 처리를 실행하는 기능을 가지고, 또한, 매니퓰레이터를 컴퓨터 프로그램에 의해 동작시키는 기능을 가지고, 이들 기능을 조합시키는 것에 의해, 시료를 촬상한 화상으로부터 선폭이나 치수 형상 등을 자동 측정할 수 있는 장치에 있어서, 시료의 탑재 위치 어긋남을 보정하기 위한, 촬상 헤드부의 이동축에 직교하는 방향의 이동 미동 기구와 이것을 제어하기 위한 기능을 촬상부에 부여한 장치이다.
또한, 시료의 탑재 어긋남을 측정하여 위치 보정하는 기능(얼라인먼트 보정 처리)을 가지고, 하나의 촬상 헤드부를 기준으로, 다른 촬상 헤드부의 위치를 이동하여, 화상 저장 위치를 보정할 수 있는 멀티 촬상 헤드 방식의 선폭 측정 장치이다.
또한, 본 발명의 멀티 촬상 헤드 방식의 선폭 측정 장치에 있어서, 미리 프로그래밍에 등록된 측정 위치의 정보와, 시료의 탑재 어긋남을 보정하기 위한 미동 기구의 가동 범위 중 탑재 어긋남을 보정하기 위해서 사용한 가동 범위의 상황을 비교하여 동시 측정 가능한 측정 위치를 매번 판별함으로써 촬상 헤드부가 위치하는 축과 직교하는 축 방향의 이동 회수를 줄여서, 택 타임의 단축을 하는 것이 가 능한 멀티 촬상 헤드 방식의 선폭 측정 장치이다.
또한 또, 본 발명의 멀티 촬상 헤드 방식의 선폭 측정 장치에 있어서, 촬상 헤드부에 마련된 미동 이동 기구가, 촬상 헤드부 간의 관찰 위치 보정을 실행하는 것이 가능한 멀티 촬상 헤드 방식의 선폭 측정 장치이다.
또한 또, 본 발명의 멀티 촬상 헤드 방식의 선폭 측정 장치에 있어서, 촬상 헤드부에 마련된 미동 이동 기구가, 측정시 화상 처리에 의해 구한 측정 대상을 관찰 시야의 중심에 두는 것을 목적으로 한 보정 이동을 실행하는 것이 가능한 멀티 촬상 헤드 방식의 선폭 측정 장치이다.
본 발명의 일 실시예를, 도 1과 도 2에 의해서 설명한다. 도 1은, 본 발명을 이용한 2헤드 방식의 LCD(Liquid Crystal Display) 선폭 측정 장치의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 1의 (a)는 장치를 위에서 본 평면도, 도 1의 (b)는 도 1의 (a)의 평면도를 화살표(A) 방향에서 본 도면, 도 1의 (c)는 도 1의 (a)의 평면도를 화살표(B) 방향에서 본 도면이다.
도 1에 의해서, 2헤드 방식 LCD 선폭 측정 장치의 이동축의 구성과 동작 방향을 설명한다. 101은 탑재대, 103은 피측정 대상물, 102는 피측정 대상물(103)을 탑재하는 시료대이다. 탑재대(101) 상에 시료대(102)가 고정되어, 피측정 대상물(103)은, 시료대(102) 상에 도시하지 않는 반송부에 의해서 반입 혹은 반출된다. 반송부로부터 반입된 피측정 대상물(103)은, 시료대(102)에 진공 흡착 등의 방법으로 고정된다. 예컨대, 피측정 대상물(103)은, 2헤드 방식 LCD 선폭 장치의, 도시하지 않는 흡착 기구에 의해서 흡착되어, 시료대(102)에 고정된다. 피측정 대상물 (103)은, 예컨대, 기판 등의 판 형상의 기체(基體)이며, 본 발명의 선폭 측정 장치는 판 형상의 기체에 형성 또는 도포된 막 패턴의 선폭 등을 측정 또는 검사한다. 판 형상의 기체는, 예컨대, LCD(Liquid Crystal Display) 기판)의 TFT(Thin Film Transistor)나 반도체의 마스크가 그 위에 형성되어 있는 유리기판이다.
2헤드 방식 LCD 선폭 측정 장치는, 촬상 헤드부를 2개 구비한 LCD 선폭 측정 장치이고, N헤드 방식 LCD 선폭 측정 장치는, 촬상 헤드부를 N 개 구비한 LCD 선폭 측정 장치이다(N은 2 이상의 자연수).
1은 Y축의 빔, 2는 X1축의 가이드, 3은 X2축의 가이드이다. Y축의 빔(1)은, X1축의 가이드(2) 상 및 X2축의 가이드(3)에 따라 X축으로 평행(도 1의 (a)에서는, 지면(紙面)의 좌우 방향)으로 이동한다. Y축의 빔(1)의 레일 부분(이하, Y축의 레일이라고 칭한다)은, X축에 대하여 직교하는 구성으로 되어 있다. 또한, X1축의 가이드(2) 및 X2축의 가이드(3)의 높이를 낮게 하고, Y축의 빔(1)을 문형(門型) 구조로 하여도 좋다.
4는 Y1축의 가이드, 5는 Y2축의 가이드이다. Y1축의 가이드(4) 및 Y2축의 가이드(5)는, Y축의 레일에 따라 각각 독립적으로 이동한다. 또한 이 때, Y1축의 가이드 및 Y2축의 가이드는, X축에 대하여 직교하는 방향(Y축(도 1의 (a)에서는, 지면 상하 방향)으로 이동한다.
6은 Z1축의 가이드, 7은 Z2축의 가이드이다. Z1축의 가이드(6)는 Y1축의 가이드(4)에 탑재되고, Z2축의 가이드(7)는 Y2축의 가이드(5)에 탑재된다. Z1축의 가이드(6)는, Y1축의 가이드(4)에 따라 Z축(도 1의 (b)에서는, 지면 상하 방향) 방 향으로 이동하고, 동일하게, Z2축의 가이드(7)는, Y2축의 가이드(5)에 따라 Z축 방향으로 이동한다.
8은 △X1축의 가이드, 9는 △X2축의 가이드, 10과 11은 촬상 헤드부이다. △X1축의 가이드(8)는 Z1축의 가이드(6)에 탑재되고, △X2축(9)의 가이드는 Z2축의 가이드(7)에 탑재된다.
촬상 헤드(10)는, △X1축의 가이드(8)에 탑재되고, 촬상 헤드(11)는, △X2축의 가이드(9)에 탑재되어 있다.
촬상 헤드(10)는, △X1축의 가이드(8)에 따라 X축 방향으로 이동하고, 동일하게, 촬상 헤드(11)는, △X2축의 가이드(9)에 따라 X축 방향으로 이동한다.
또한, 도 1의 실시예에서는, 촬상 헤드(10 및 11)와 각각 마주하여 동작하는 투과 조명 축 기구가 장비된다. 즉, 12는 촬상 헤드부(10)의 PY1축, 13은 촬상 헤드부(11)의 PY2축, 14는 촬상 헤드부(10)의 △PX1축, 15는 촬상 헤드부(11)의 △PX2축이다.
PY1축(12)과 PY2축(13)은, Y축의 빔(1)으로부터 매달려진 투과 조명 가이드(104)에 탑재되어, 투과 조명 가이드(104)에 따라 Z축 방향으로 동작한다.
또한, PY1축(12) 상에 △PX1축(14)이 마련되고, PY2축(13) 상에 △PX2축(15)이 마련되어 있다. △PX1축(14)에는, 투과 조명(16)이 탑재되고, △PX2축(15)에는, 투과 조명(17)이 탑재되어 있다.
투과 조명(16)은, △PX1축(14)에 따라 X축 방향으로 이동하고, 동일하게, 투과 조명(17)은, △PX2축(15)에 따라 X축 방향으로 이동한다.
투과 조명(16)의 △PX1축(14)에 따른 이동과 촬상 헤드(10)의 △X1축(8)에 따른 이동은 연동하고 있고, 예컨대, 투과 조명(16)의 조명광의 출사 중심축과, 촬상 헤드부(10)의 입사광축은, 동일한 광축(111)이다.
동일하게, 투과 조명(17)의 △PX2축(15)에 따른 이동과, 촬상 헤드부(11)의 △X2축(9)에 따른 이동은 연동하고 있고, 예컨대, 투과 조명(17)의 조명광의 출사 중심축과, 촬상 헤드부(11)의 입사광축은, 동일한 광축(112)이다.
또한, 도 1의 (b)에서, 빔(1)의 일부와 빔(1)에 부착된 PY1축(12), PY2축(13), △PX1축(14), △PX2축(15) 및 투과 조명(16, 17)과 시료대(102)는, 화살표(B)의 방향으로부터 보이는 부분과 보이지 않는 부분을 혼재시킴으로써 보기 쉬운 도면을 제시하고 있고, 정확한 측면도는 아니다. 동일하게, 도 1의 (c)도 모식적인 단면도이다.
도 2는, 본 발명이 필요로 하는 시료의 탑재 어긋남에 의해 발생하는 위치 에러와 보정을 설명하는 도면이다. 도 2의 가로축이, 선폭 측정 장치의 시료대(102) 상에서의 X축의 이동 방향을 나타내고, 세로축이, 선폭 측정 장치의 시료대(102) 상에서의 Y축의 이동 방향을 나타낸다.
파선 테두리(24)는, 이상적인 피측정 대상물의 탑재 위치로, 이 탑재 위치에서의 피측정 대상물(103)이 가지는 좌표축이, 선폭 측정 장치의 스테이지 기구의 XY축과 평행하게 되고, 또한, 기준(피측정 대상물의 원점과 선폭 측정 장치의 원점)이 일치하는 탑재 위치이다. 이러한 피측정 대상물이, 예컨대 LCD 기판인 경우, 복수의 동일한 형상의 복수의 검사 대상 제품이, 파선 테두리(24)일 때에는 그 X축에 평행하게 x개, Y축에 평행하게 y개로서, 동일한 피치에서 합계 xy개 배치되어 있다.
실선 테두리(25)는, 실제로 탑재되는 시료 위치이며, XY축 방향의 위치 어긋남(기준점의 불일치)과 회전 방향의 어긋남이 발생한다. 이들 어긋남은, 위치 보정이 필요한 측정 에러의 발생 요인이 된다. 예컨대, 같은 열에 배치되어 있던 2개의 제품 중, 촬상 헤드부(10)의 촬상 시야 내에는 측정 좌표(P1)가 포함되지만, 촬상 헤드부(11)의 촬상 시야 내에는, 같은 열에 배치되어 있는 측정 좌표(P2)가 포함되지 않는 경우가 위치 보정이 필요한 측정 에러라고 말할 수 있다. 이하, 상세하게 설명한다.
도 2는, 피측정 대상물의 탑재에 의해 발생하는 어긋남(특히 회전 방향의 어긋남)을 도시한 것으로, 24는 이상적인 피측정 대상물의 탑재 위치를 도시하는 파선 테두리, 25는 실제의 피측정 대상물의 탑재 위치를 도시하는 실선 테두리, 18은 회전 방향의 위치 편차량(θ)이다. 실제의 피측정 대상물의 탑재 위치에서는, 이상적인 피측정 대상물의 탑재 위치와, 회전 방향의 위치 어긋남을 발생하고 있다. 18은 회전 방향의 위치 편차량(θ), 19는 멀티 촬상 헤드부 중 위치 제어 상의 기준이 되는 촬상 헤드부(10)의 측정 좌표(P1)(측정 포인트)의 위치, 20은 촬상 헤드부(11)에서 실제로 측정해야 하는 측정 좌표(P2)의 위치, 21은 이상적인 피측정 대상물의 탑재 위치에서의 촬상 헤드부(11)의 측정 좌표의 위치, 22는 보정해야 할 회전 방향의 어긋남에 의해 발생하는 X축 방향의 편차량(△X), 23은 보정해야 할 회전 방향의 어긋남에 의해 발생하는 Y축 방향의 편차량(△Y), 26은 측정 좌표(P1) 와 측정 좌표(P2)의 사이의 거리(YP1-P2)이다.
또한, 회전 방향의 어긋남을 검출하기 위해서는, 예컨대, 도 2의 위치맞춤 패턴(28)을 이용하여, 미리 등록된 패턴과 촬상 헤드부(10)에서 촬상한 화상과의 매칭 처리에 의해서 패턴 인식에 의해 위치맞춤 패턴(28)의 위치 좌표를 구하고, 다음에, 촬상 헤드부(10)를 이동시켜, 동일한 패턴 인식에 의해, 위치맞춤 패턴(29)의 위치 좌표를 구하여, 이상적인 시료 탑재 위치와의 차이를 검출해 구한다.
이 편차량 △X(22) 및 편차량 △Y(23)은 이하 수학식 1 및 2에 의해서 구할 수 있다.
△X = YP1-P2 × sinθ
△Y = YP1-P2 × (1 - cosθ)
도 2에 있어서, 실선 테두리(25)와 같이 피측정 대상물(103)의 탑재 위치가 어긋나 있었을 경우, 촬상 헤드부(10)의 측정 좌표(P1)의 시료대(102) 상의 위치(19)와 촬상 헤드(11)의 측정 좌표(P2)의 시료대(102) 상의 위치(21)는, 본래 이상적인 피측정 대상물의 탑재 위치로, X축 상의 좌표가 일치해야만 하지만 실제로는 △X(22) 어긋나 있고, Y축 상에서도 △X(23) 어긋나 있다.
촬상 헤드(10)의 측정 좌표(P1)의 위치(19)를 기준으로 하면, 바른 측정 위치(20)로 촬상 헤드부(11)를 이동하기 위해서는, △X(22) 및 △Y(23)만큼 이동해야만 한다. 여기서, △X(22)만큼의 보정 이동을 실행하기 위해서는, 촬상 헤드부(10)와, 촬상 헤드부(11)를 개별적으로 이동시키기 위한 구동축이 필요해 진다. 즉, 본 발명의 △X1축(8)과 △X2축(9)이 필요해 진다.
예컨대, △X2축(9)에 의해서 촬상 헤드부(11)만을 X축 방향으로 약간 이동시키고 또한, △X1축(8)에 의해서 촬상 헤드부(10)만을 X축 방향으로 약간 이동시키는 것에 의해, 또는, 적어도 촬상 헤드부(10) 또는 촬상 헤드부(11) 중 어느 하나를 개별적으로 이동시키는 것에 의해, 촬상 헤드부(10)와 촬상 헤드부(11)의 측정 포인트를 X축 상에서 일치시키도록 보정할 수 있다.
또한, Y축 방향도, 촬상 헤드부(10) 또는 촬상 헤드부(11)의 적어도 한쪽을 Y1축의 가이드(4) 또는 Y2축의 가이드(5)에 의해서, 개별적으로, 이동시키는 것에 의해, 또한 정밀도 좋게 보정할 수 있다.
또한, 상기 실시예에서는 촬상 헤드부가 2대이지만, 2대 이상이라면 몇 대라도 좋다.
또한, 상기 실시예에서는, 투과 조명에 의한 측정 또는 검사였으나, 반사 조명에 의한 측정 또는 검사만의 선폭 측정 장치라면, 투과 조명은 불필요하고, 물론 촬상 헤드부와의 이동에 대한 연동도 불필요하다.
상기 도 1에서는, 선폭 측정 장치에 있어서, 발명에 관한 구성만을 설명했지 만, 예컨대 촬상 헤드부에는, 피측정 대상물의 소정 부분의 화상을 취득하고 화상 처리부 등에 출력하여 측정 또는 검사하는 유닛이 필요하다. 또한, 투과 조명에는 광원이 부속해야만 하고, 위치 보정 등을 위해 각각의 가이드나 축을 이동시키기 위한 기구 부분 등, 선폭 측정 장치에 있어서 필요한 구성 전부를 기재하고 있지 않다. 예컨대, 이하의 도 3에서 설명하는 것 같은 구성이 적어도 필요하다.
도 3은, 선폭 측정 장치의 대략 구성을 도시하는 블럭도이다.
도 3에 있어서, 508은 관찰용 컬러 카메라 유닛, 측정 카메라 유닛, 전동 리볼버 유닛 및 레이져 오토포커스 유닛 등으로 이루어지는 촬상 헤드부, 509는 시료대, 510은 위치 보정부, 512는 제진대(除振台), 513은 조명용 전원, 514는 컬러 모니터, 515는 측정용 모니터, 516은 측정 결과 표시용 모니터, 517은 비디오 프린터, 518은 화상 처리 PC(Personal Computer), 519는 제어 PC, 520은 스테이지 제어부, 521은 투과 조명용 전원, 522는 투과 조명 헤드부이다. 또한, 501은, 촬상 헤드부(508), 시료대 (509), 위치 보정부(510), 제진대(512), 조명용 전원(513), 스테이지 제어부(520), 투과 조명용 전원(521), 투과 조명 헤드부(522)로 구성되어 있는 측정부이다.
도 3에 있어서, 촬상 헤드부(508)의 관찰용 컬러 카메라로 찍혀진 화상은 컬러 모니터(514)에 표시되고, 측정 카메라로 찍혀진 화상은 측정용 모니터(515)에 표시된다.
측정 장치는 외부 호스트(HOST) 또는 제어 PC(519)의 지령에 의해 측정을 개시한다. 측정은, 미리 설정된 레시피에 근거하여, 자동 또는 메뉴얼 동작으로 개 시되어, 측정 결과는 측정 결과 표시용 모니터(516)에 표시되고, 또한 측정 결과는 예컨대 제어 PC(519) 내의 HD(Hard Disk) 등의 자기 디스크의 소정 영역에 기록된다. 또한, 그들의 측정 결과 데이터는, 외부 호스트의 요구에 의해 외부 호스트에 배신된다.
또한, 제진대(512)에 의해서, 외부의 진동이 시료대(509)에 전달되지 않도록 하고 있다.
화상 처리 PC(518)는, 촬상 헤드부(508)로부터 입력된 화상을 해석하고, 피측정 대상물(103) 중에 미리 설정된 소정의 패턴을 인식하여 그 위치 좌표를 취득하여, 보정량을 구한다.
구한 보정량의 정보를 제어 PC(519)로 출력하고, 제어 PC(519)는, 스테이지 제어부(520)를 보정량의 정보에 근거하여 제어 지시 신호를 한다. 스테이지 제어부(520)는, 입력된 제어 지시 신호에 대응하는 제어 신호를 위치 보정부(510)에 부여하여, 위치 보정을 실행한다.
이렇게 하여 위치 보정을 실행하면서, 측정 또는 검사를 실행한다.
또한, LCD 기판의 치수(단위: mm)는, 가로(X)×세로(Y)가, 예컨대 1850×1500 또는 2250 × 1950 등이고, 두께는 0.5~0.7 정도이다. 예컨대, 피측정 대상물을 시료대 상에 반송 로봇 등에 의해서 반입했을 때의 위치 편차량을 ±5~10 mm 정도라고 예측한 경우, 보정량의 최대를 ±10 mm로 설정한다. 즉, △X1축의 가이드(8)와 △X2축의 가이드(9)의 스트로크를 ±10 mm로 설정하면 된다.
또한, Y축 방향의 어긋남의 보정은, 상술한 바와 같이, Y1축의 가이드(4) 또 는 Y2축의 가이드(5)에서 실행해도 좋다.
또한 또, X축 방향, Y 방향 및 회전(θ) 방향으로 미세 조정할 수 있는 매니퓰레이터를 이용하여, 제어 PC(519)에 의해서 보정하는 것이라도 좋다.
이상과 같이, 본 발명에 의하면, 종래의 클램프 기구(에어 실린더 등에 의한 누름 기구)를 이용하여 기계적으로 피측정 대상물의 탑재 위치를 강제적으로 움직이게 하는 방식에서 문제가 되었던, 피측정 대상물의 대형화, 정전기 등의 영향에 의해, 실제로 시료를 움직이게 할 수 없다고 하는 문제점을 해결할 수 있다. 또한, 탑재 위치의 어긋남을 화상 인식으로 측정하여 보정하는 방법을 이용한 경우에 있어서도, 멀티 촬상 헤드화에 의해 발생하는 헤드간의 위치 어긋남으로 효율 좋게, 측정을 실시할 수 없는 문제(본래, X축 방향의 좌표가 동일한 2개의 점을 예컨대 2대의 촬상 헤드부에서 측정하는 경우, 한번의 X축 방향의 위치 결정 동작으로 동시에 화상을 저장하여 처리를 실행하는 것이 효율적이고, 이것이 멀티 촬상 헤드화의 목적이다. 그러나, 시료의 탑재 위치 어긋남에 회전 성분이 포함됨으로써, △X 만큼의 위치 어긋남이 발생하여, 대형 시료에서는 특히, 실질적으로 한번의 X 방향 위치 결정 동작으로는 검출 처리를 실행할 수 없다)를, △X축 기구를 마련하고, 이 기구를 △X 분의 위치 보정용으로서 제어함으로써 해결한다.
도 4~도 15는, 본 발명에 있어서의 각 축의 동작 시퀀스의 일 실시예를 도시하는 플로우 차트이다.
본 발명의 일 실시예의 위치 결정 동작의 플로우 차트는, 크게 나눠 4개의 처리 시퀀스(순서)로 되어있다. 즉, 처리 전체를 담당하는 주(主)시퀀스부, 주시 퀀스부로부터의 지시에 의해서 촬상 헤드부(10)가 촬상한 화상을 해석하는 제 1 화상 해석 시퀀스부, 주시퀀스부로부터의 지시에 의해서 촬상 헤드부(11)가 촬상한 화상을 해석하는 제 2 화상 해석 시퀀스부, 주시퀀스부로부터의 지시에 의해서, 선폭 측정 장치의 측정부(501)(도 3에 도시하는 구성으로 말하면, 촬상 헤드부(508), 시료대(509), 위치 보정부(510), 제진대(512), 조명용 전원(513), 스테이지 제어부(520), 투과 조명용 전원(521) 및 투과 조명 헤드부(522)로 이루어진다)를 제어하는 스테이지 시퀀스부로 이루어져 있다.
또한, 도 3에서 도시하면, 주시퀀스부는 제어용 PC(519) 내에서 처리되고, 제 1 화상 해석 시퀀스부와 제 2 화상 해석 시퀀스부는 제어용 PC(519)로부터의 지시를 받아 화상 처리 PC(518)에 의해 처리된다. 또한, 측정부(501)의 동작은, 제어용 PC(519)로부터의 지시를 받아 스테이지 제어부(520)에서 처리된다.
도 4, 도 7 및 도 12는, 본 발명의 위치 결정 동작의 시퀀스의 중심 처리 동작을 도시하는 플로우 차트로 제어용 PC(519)에서의 주 처리 동작 시퀀스를 도시한다. 또한, 도 5 내지 도 6, 도 8 내지 도 11 및 도 13 내지 도 15는, 도 4, 도 7, 및 도 12의 주 처리 동작 시퀀스로부터의 지령에 근거하여, 각 헤드마다의 화상 처리, 선폭 측정 장치의 스테이지부 각각의 제어를 실행하여, 결과 정보를 주 처리 동작 시퀀스로 되돌리는 처리 동작 시퀀스를 도시하는 플로우 차트를 도시한다.
예컨대, 도 5, 도 8, 및 도 13은, 촬상 헤드부(10)가 찍은 화상(Image1)을 처리하는 화상 1 처리 동작 시퀀스의 플로우 차트를 도시하고, 도 5, 도 9, 및 도 14는, 촬상 헤드부(11)가 찍은 화상(Image2)을 처리하는 화상 2 처리 동작 시퀀스 의 플로우 차트를 도시한다. 또한, 도 6, 도 10, 도 11 및 도 15는, 측정부(501)의 구성부에 대하여, 주처리 동작 시퀀스로부터의 지령을 받아 처리하는 측정부 처리 시퀀스를 도시한다.
도 4에 있어서의 인터록 신호(interlock signal)란, 비상 정지 명령으로서, 예컨대, 장치를 설치하고 있는 실내에 작업자 등이 들어갈 경우에, 도어가 열린 것을 검지하여 발생한다. 또한, 작업자가 장치의 정지 버튼을 누른 경우 등이다. 이 인터록 시그널이 입력된 경우, 인터록 유무 판정 처리를 실행하고, 인터록 시그널의 입력이 있으면, 에러 처리로서, 장치의 동작을 정지한다. 이 인터록 시그널의 입력과 인터록 유무 판정 처리는, 편의상 도 4의 이 시퀀스로서 도시했지만, 주 처리 동작 시퀀스 중 어떤 시퀀스 중이라도 인터록 시그널이 입력된 경우에 처리 동작이 실행된다.
또한, 도 5의 영상 PC HDD에는, 촬상 헤드부가 촬상한 화상이 저장되어 있고, 주 처리 동작 시퀀스로부터의 어드레스 등의 지정에 의해서 소망하는 화상이 저장되어, 화상 1 또는 화상 2 처리 동작 시퀀스에서 사용된다. 또한, 그 처리 결과가 저장된다.
또한, 도 6의 보정 테이블에는, 바르게 정렬한 정도 등, 장치의 기계적 오차를 보정하기 위한 보정 데이터가 저장되어 있고, 위치 좌표 등의 보정에 사용된다.
또한, 도 8 내지 도 11과 도 13 내지 도 15의 순차 중 레이저 오토 포커스 처리(Laser AF)나 측정 오토 포커스 처리(측정 AF)는, 도 3에는 도시하고 있지 않지만, 주지 기술을 이용한다(예컨대, 일본 특허 공개 제2005-98970호 공보, 일본 특허 공개 평성 제7-17013호 공보 참조).
다음에, 도 16과 도 2에 의해서, 본 발명의 시료(피측정 대상물)의 탑재시의 회전 방향으로의 어긋남에 대한 촬상 헤드부 위치 보정 처리의 하나의 실시예를 설명한다. 도 16은, 본 발명의 동작 시퀀스의 하나의 실시예를 도시하는 플로우 차트이다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 이상적인 탑재 위치(파선 테두리(24))와 비교하여 알 수 있듯이, 시료대(102) 상에 탑재된 피측정 대상물(실선 테두리(25))이 회전 방향으로 어긋난 경우의 위치 보정의 처리 동작을 설명한다.
우선, 도 2에 있어서, 보정해야 할 회전 방향의 어긋남에 의해 발생하는 X 방향의 편차량 △X과 Y 방향의 편차량 △Y은, 전술한 바 있는 수학식 1 및 2에 의해서 산출된다.
이 산출한 편차량 △X(22)와 편차량 △Y(23)를 이용하여, 도 16에 도시하는 시퀀스에 의해서 위치 보정을 실행한다.
도 16에 있어서, 측정 위치 좌표 데이터(301)가 도 4의 Main PC HDD로부터 출력되고, 얼라인먼트 보정량 데이터(302)가 도 3의 화상 처리 PC(518)는, 촬상 헤드부(508)로부터 입력된 화상을 해석하여, 피측정 대상물(103) 중에 미리 설정된 소정의 패턴을 인식하여 그 위치 좌표를 취득하여 구해진다.
이들 데이터로부터, X축의 이동량(X1+XAL_offset), Y1축의 이동량(Y1+YAL_offset), Y2축의 이동량(Y2+YAL_offset+YAL_angle), 및 △X2축의 이동량(X2-X1+YAL_offset+YAL_angle)이 제어용 PC(519)로부터 스테이지 제어부(520)에 송출되어, 각 축이 이동한다(스테이지 이동(303)).
이에 의해서, 촬상 헤드부(10과 11)의 시야 범위 내에 각각의 측정 포인트(P1과 P2)가 투영된다.
다음에, 화상 처리 PC(518)에서 촬상 헤드부(10)가 취득한 화상(1)의 일부와 미리 등록되어 있는 패턴과의 패턴 매칭 위치 검출 처리를 실행하여(검출 처리(304)), 측정 대상을 시야 범위의 중심으로 이동시키기 위한 보정량을 산출하고, Y1축의 이동량과 △X1축의 이동량을 제어용 PC(519)를 거쳐서 스테이지 제어부(520)에 송출한다(처리(305)).
동일하게, 화상 처리 PC(518)에서 촬상 헤드부(11)가 취득한 화상(2)의 일부와 미리 등록되어 있는 패턴의 패턴 매칭 위치 검출 처리를 실행하여(검출 처리(306)), 측정 대상을 시야 범위의 중심으로 이동시키기 위한 보정량을 산출하고, Y2축의 이동량과 △X2축의 이동량을 제어용 PC(519)를 거쳐서 스테이지 제어부(520)에 송출한다(처리(307)).
스테이지 제어부(520)는, 상기의 이동 지시를 받아, X축에 고정된 그대로, Y1축, △X1축, Y2축, 및 △X2축을 이동시켜, 그 후, 각각의 촬상 헤드부(10과 11)에 의해서 화상을 취득하여, 선폭 측정 처리(309와 310)를 실행한다.
현재의 측정 포인트(P1, P2)를 중심으로 한 시야 범위내에서의 선폭 측정 처리를 종료하면, 다음 측정 포인트의 측정 위치 좌표 데이터(301)를 도 4의 Main PC HDD로부터 출력하여, 다음 측정 포인트로 이동한다. 즉, 도 16의 동작을 되풀이한 다.
이상과 같이 하여, 복수의 촬상 헤드부를 측정 포인트로 이동시키는 경우에, 피측정 대상물이 시료대에 탑재되었을 때의 회전을 보정하기 위해서, 복수의 촬상 헤드부의 이동에 필요한 축의 수 및 순서를 최소한으로 할 수 있기 때문에 택 타임을 단축할 수 있다.
또한, 상기 실시예에서는, 측정 포인트의 이동때마다, △X2축의 위치 보정을 실행하고 있지만, 하나의 피측정 대상물 상의 다수개 취득 제품의 각각의 제작 위치 정밀도가 좋으면, 한번 △X2축의 위치 보정을 실행하면, 측정 포인트의 이동때마다 △X2축의 위치 보정을 실행하지 않아도 된다.
본 발명에 의하면, 피측정 대상물의 시료대로의 반입시 위치 결정 동작을 실행하지 않기 때문에, 종래의 피측정 대상물의, 시료대로의 반입시 위치 결정 동작인 클램프 기구(에어 실린더 등에 의한 누름 기구)를 이용하여, 기계적으로 시료의 탑재 위치를 강제적으로 움직이게 하는 방식을 사용할 필요가 없다. 따라서, 피측정 대상물의 대형화나, 정전기 등의 영향에 의해, 실제로 시료를 움직이게 할 수 없는 결점을 해소할 수 있다.
또한 본 발명에 의하면, 복수의 촬상 헤드부 각각의 미동 축기구를 이용하여, 피측정 대상물 탑재 위치의 경사를 보정한 후의 미동 축기구의 가동 범위의 상황에 의해, 동시 측정 가능한 측정 포인트의 범위를 자동 조정하는 기능이 있기 때 문에, 멀티 촬상 헤드화에 의해서 얻어지는 택 단축의 효과를 또한 늘릴 수 있다.
또한 본 발명에 의하면, 동일축 상을 개별로 이동 가능한 멀티 촬상 헤드 방식이기 때문에, 각각의 촬상 헤드부가 직교하는 방향의 이동 기능을 미동 축기구가 구비하는 것에 의해, 피측정 대상물의 소망하는 측정 부분 각각을 관찰 시야의 중심에 각각 두기(위치 어긋남 보정을 함) 위한 이동 처리를 단순화할 수 있어, 측정 택을 단축할 수 있다. 즉, 화상 처리 후에 요구되는 피측정 대상물을 관찰 시야 중심에 두는 보정 이동 거리에 대하여, 종래 축의 이동으로 대응하면, 촬상 헤드부간에 이동 방향이 달라서 동시 측정을 실행할 수 없는 경우가 있는 것에 대해, 본 발명에 의하면, 미동 축기구를 가지는 것에 의해 동시 측정이 항상 가능해진다.

Claims (3)

  1. 복수의 촬상 헤드부와 화상 처리부를 포함하고,
    상기 촬상 헤드부가 취득한 화상을 상기 화상 처리부가 화상 처리하는 것에 의해 피측정 대상물의 소망하는 부분의 측정 또는 검사를 실행하는 선폭 측정 장치에 있어서,
    상기 복수의 촬상 헤드부의 위치를 개별적으로 보정하는 위치 보정 수단을 더 포함하되,
    상기 화상 처리부는, 상기 복수의 촬상 헤드부가 취득한 화상으로부터, 상기 복수의 촬상 헤드부의 위치를 검출하고,
    상기 위치 보정 수단은, 상기 검출한 위치에 근거하여, 상기 복수의 촬상 헤드부의 위치를 개별적으로 보정하는
    선폭 측정 장치.
  2. 시료의 일부를 확대 촬영하는 수단과,
    동일축 상을 개별적으로 이동할 수 있는 복수의 촬상 헤드부와,
    촬상하는 시료의 위치를 바꾸기 위한 위치 보정 수단과,
    상기 촬상한 화상에 대하여 화상 처리를 실행하는 수단과,
    상기 위치 보정 수단을 동작시키는 제어 수단을 포함하고,
    상기 시료의 위치 어긋남을 보정하는
    선폭 측정 장치.
  3. 시료의 일부를 확대 촬상할 수 있고, 각각 독립적으로 이동할 수 있는 복수의 촬상 헤드부와,
    상기 시료의 위치를 바꾸기 위한 조작 수단을 포함하는 선폭 측정 장치에 있어서,
    촬상한 화상에 대하여 화상 처리를 실행하는 기능과, 상기 조작 수단을 컴퓨터 프로그램에 의해 동작시키는 제어 수단에 의해 상기 촬상한 화상으로부터 상기 시료의 치수를 측정하고,
    시료의 탑재 위치 어긋남을 보정하기 위한 촬상 헤드부의 이동축에 직교하는 방향의 이동 미동 기구와,
    상기 이동 미동 기구를 제어하는 미동 기구 제어 수단과,
    시료의 탑재 어긋남을 측정 및 보정하는 위치 보정 수단을 더 포함하여,
    하나의 촬상 헤드부를 기준으로, 다른 촬상 헤드부의 위치를 이동하여 화상 저장 위치를 보정하는
    선폭 측정 장치.
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