JP3501661B2 - 液晶表示パネルの検査方法および検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばプロジェク
ションや液晶テレビジョンセット、液晶ディスプレイ等
に用いられる液晶表示パネルの生産工程において、絵素
欠陥の有無を検査したり、欠陥を修正したりするために
行われる液晶表示パネルの点灯検査に好適な液晶表示パ
ネルの検査方法及び検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、液晶表示装置は、液晶表示パネ
ルにドライバーを実装することによりモジュール化さ
れ、様々な用途に使用される。

【０００３】例えば、液晶表示装置を光源ランプや投影
レンズ等の光学系と組み合わせることにより、プロジェ
クションとして使用することができる。

【０００４】または、透過型液晶表示装置をバックライ
トと組み合わせることにより、液晶テレビジョンセット
や液晶ディスプレイ等として使用することができる。

【０００５】このような液晶表示装置を出荷する際に
は、点灯不良品の市場への流出を防止するため、通常、
パネル形態及びモジュール形態の各々の状態において点
灯検査が実施される。

【０００６】この点灯検査では、液晶表示装置の点灯状
態が規定基準を満たしているか否かを判断し、その結
果、規定基準を満たしていないものは不合格として市場
への出荷がストップされる。

【０００７】しかし、不合格品と判断された液晶表示装
置でも、不良の発生具合によっては液晶表示パネルの１
絵素毎に修正を行うことによって、上記規定基準をクリ
アできる場合がある。

【０００８】このような修正を行うためには、絵素欠陥
の正確な座標位置データが必要不可欠である。

【０００９】従来、絵素欠陥の座標位置を特定すること
は、例えば特開平９−７３０５９号公報や特開平１０−
３９２６８号公報に開示されているような絵素欠陥座標
特定装置を用いて行われ、得られた絵素欠陥座標データ
をもとにレーザー欠陥修正装置等によって欠陥が修正さ
れていた。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】最近の市場ニーズに対
応して、液晶表示パネルの高精細化が急激に進んでお
り、さらに表示欠陥を最小限に軽減することが必要不可
欠になってきている。

【００１１】現在では、絵素ピッチが２８μｍ程度まで
細かくなっており、それに伴って修正工程においても絵
素欠陥座標特定の高精度化が要求されている。

【００１２】しかし、上述したような従来の絵素欠陥座
標特定方法では、絵素欠陥指定回数に対して５割り程度
の割合で計測ミスが発生し、隣接する絵素を絵素欠陥と
判断して正常な絵素を修正してしまうという問題が発生
していた。

【００１３】本発明は、このような従来技術の課題を解
決すべくなされたものであり、計測ミスを防いで容易か
つ正確に絵素欠陥の有無を検査して正確な絵素欠陥座標
を特定することができる液晶表示パネルの検査方法およ
び検査装置を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示パネル
の検査方法は、精密ＸＹテーブル上に搭載された液晶表
示パネルの画像をスクリーン上に拡大投影させて該スク
リーン上で絵素欠陥の有無を検査し、検出されたスクリ
ーン上の絵素欠陥に光を照射して該絵素欠陥の該液晶表
示パネル上での概略座標を求め、該概略座標を基にし
て、該スクリーン上に拡大投影された仮想パネル座標に
おける絵素欠陥座標のベクトル角度および絵素欠陥座標
のベクトル長さを求め、これらの値から、該液晶表示パ
ネルを該仮想パネル座標上の仮想原点から該絵素欠陥ま
で移動させるための移動座標データを求めて、求められ
た該移動座標データに基づいて、該液晶表示パネルを搭
載した精密ＸＹテーブルを移動させ、高倍率顕微鏡の視
野内に該絵素欠陥を映して正確な絵素欠陥座標を測定し
ており、そのことにより上記目的が達成される。

【００１５】前記光を発生する発光装置を、２つのパル
スモーターにて各別に水平軸回りと垂直軸回りとに回動
できるようになし、所定の原点への光照射位置と絵素欠
陥への光照射位置との間の該パルスモーターのパルス信
号の数に基づいて絵素欠陥の概略座標を測定することが
できる。

【００１６】

【００１７】

【００１８】本発明の液晶表示パネルの検査装置は、本
発明の液晶表示パネルの検査方法に用いられる検査装置
であって、精密ＸＹテーブルに搭載された該液晶表示パ
ネルを点灯させ、該液晶表示パネルからの画像を拡大投
影させる手段と、拡大投影された該画像を映すスクリー
ンと、該スクリーン上の絵素欠陥に光を照射する絵素欠
陥位置指示装置と、該絵素欠陥位置指示装置にて指示し
た位置と基準位置との関係に基づいて絵素欠陥の該液晶
表示パネル上での概略座標を求める手段と、該概略座標
を基に、該スクリーン上に拡大投影された該仮想パネル
座標における該絵素欠陥座標のベクトル角度および該絵
素欠陥座標のベクトル長さを求め、これらの値から、該
液晶表示パネルを該仮想パネル座標上の仮想原点から該
絵素欠陥まで移動させるための移動座標データを求め
て、求められた該移動座標データに基づいて、該液晶表
示パネルを搭載した該精密ＸＹテーブルを、高倍率顕微
鏡の視野内に該絵素欠陥が映るように移動させる移動手
段と、該高倍率顕微鏡の視野内の画像に位置合わせして
絵素欠陥の座標を求める座標手段とを具備しており、そ
のことにより上記目的が達成される。

【００１９】前記絵素欠陥位置指示装置は、前記光とし
てレーザー光線を発生する小型レーザー光線発光装置
と、該小型レーザー光線発光装置を水平軸回りと垂直軸
回りとで回動させて該小型レーザー光線発光装置の姿勢
制御を行わせる２つのθ軸パルスモーターとからなって
いてもよい。

【００２０】前記２つのθ軸パルスモーターを駆動する
ためのモーターコントローラーを備え、該モーターコン
トローラーに入力するパルス信号の数から前記小型レー
ザー光線発光装置からのレーザー光線の指示する絵素欠
陥の概略座標が測定される構成としてもよい。

【００２１】前記モーターコントローラーに入力するパ
ルス信号を手操作による移動にて発生させるマウスを備
えている構成としてもよい。

【００２２】

【００２３】以下に、本発明の作用について説明する。

【００２４】本発明にあっては、治具にセットした液晶
表示パネルの画像をスクリーン上に拡大投影させてスク
リーン上で絵素欠陥の有無を検査する。その拡大投影画
像中の絵素欠陥に、小型レーザー光線発光装置からのレ
ーザー光線等の光線を照射して重ね合わせることにより
絵素欠陥の液晶表示パネル上での概略座標を求め、その
概略座標を基にして、スクリーン上に拡大投影された仮
想パネル座標における絵素欠陥座標のベクトル角度およ
び絵素欠陥座標のベクトル長さを求める。そして、これ
らの値より液晶表示パネルを仮想パネル座標上の仮想原
点から絵素欠陥まで移動させるための移動座標データを
求めて、求められた移動座標データに基づいて、液晶表
示パネルを搭載した精密ＸＹテーブルを移動させ、高倍
率顕微鏡の視野内に該絵素欠陥を映して正確な絵素欠陥
座標を測定する。

【００２５】例えば、水平軸回りと垂直軸回りとに回動
する２つのθ軸パルスモーターにより小型レーザー光線
発光装置の姿勢制御を行わせ、基準位置から重ね合わせ
時点までにパルスモーターに入力されたパルス信号数を
カウントする。これにより、そのパルスデータをもとに
してレーザー光線の指示する絵素欠陥の概略座標が特定
される。このパルス信号は、手操作で移動可能なマウス
を用いて、パルスモーターを駆動するためのモーターコ
ントローラーに入力することができる。

【００２６】この概略座標に基づいて液晶表示パネルを
移動させることにより、高倍率顕微鏡の視野内に絵素欠
陥を正確に搬送することができる。そして、その高倍率
顕微鏡の視野内の画像を用いて、より正確な絵素欠陥座
標を求めることができる。

【００２７】上記絵素欠陥の概略座標を求める際に、ス
クリーン上に投影された画像の傾きを考慮することによ
り、さらに正確な概略座標が得られる。

【００２８】そして、高倍率顕微鏡の視野内の画像から
絵素欠陥座標位置を求める際には、精密ＸＹテーブルの
直交角に対する液晶表示パネルの傾きを考慮することに
より、さらに正確な絵素欠陥位置座標が得られる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて、図面を参照しながら説明する。

【００３０】図１は、本実施形態の液晶表示パネルの検
査装置の構成を示す図であり、図１（ａ）はその検査装
置の平面図、図１（ｂ）はその検査装置の正面図であ
る。

【００３１】この検査装置は、プロジェクション用液晶
表示パネル１の画像を拡大投影するための液晶プロジェ
クション１４と、この液晶プロジェクション１４に液晶
表示パネル１を装着し又は取出すためのパネル装着・取
出し装置と、液晶表示パネル１の画像が投影されるスク
リーン１７と、スクリーン１７上に投影された画像中の
絵素欠陥の位置に、レーザ光線を指示させる絵素欠陥位
置指示装置２５とを備えている。さらに、ＣＣＤ（電荷
結合素子）カメラ１２に拡大レンズが取り付けられ、そ
の焦点距離を液晶表示パネル１の表面に合わせた状態で
固定されている。

【００３２】上記パネル装着・取出し装置は、液晶表示
パネル１がセットされる治具２を有する。治具２は、図
２に示すように位置決めピン２６を３個有しており、液
晶表示パネル１を治具２の３カ所の位置決めピン２６に
２辺が当たるようにセットすると、自ずと位置決めされ
る。そして、治具２の上蓋２ａを閉じると、金属電極２
７がパネル電極２８に接続される。

【００３３】この治具２はテーブル３上に取り付けられ
ている。このテーブル３は、回転軸５を介してθ軸パル
スモーター６に接続されており、任意の角度に回転する
ことができる。

【００３４】これらのユニットは、スライドテーブル７
上に配置されている。このスライドテーブル７は、直動
ガイド８を介して精密ＸＹテーブル９に接続されてお
り、エアーシリンダ１０により往復運動することができ
る。また、ＸＹテーブル９には、パルスモーターが接続
されており、ＸＹ方向の任意の位置に移動することがで
きる。

【００３５】上記液晶プロジェクション１４は、液晶表
示パネル１をセットしたテーブル３が挿入できるように
側面に開口部１６が設けられている。この液晶プロジェ
クション１４内に液晶表示パネル１を挿入してランプ１
５から光を照射することにより、液晶表示パネル１に画
像が表示されて投影スクリーン１７に拡大投影される。

【００３６】上記絵素欠陥位置指示装置２５は、レーザ
ー光線２４を発光する小型レーザー光線発光装置１８を
備えている。この小型レーザー光線発光装置１８はパル
スモーター１９の回転軸に取付けられており、垂直平面
内で自由に回転することができる。このパルスモーター
１９を支持するテーブル２０はパルスモーター２２の回
転軸２１に取付けられ、水平平面内で自由に回転するこ
とができる。

【００３７】上記拡大レンズ１１及びＣＣＤカメラ１２
の上方に配置された照明用ライトガイド１３からは、液
晶プロジェクション１４のランプ１５と同等の光量の光
を局部的に液晶表示パネル１に照射することが可能であ
り、ＣＣＤカメラ１２の照明として使用される。

【００３８】上記拡大レンズ１１は、液晶プロジェクシ
ョン１４の拡大投影よりもさらに高倍率で拡大すること
が可能であり、拡大レンズ１１、ＣＣＤカメラ１２及び
照明用ライトガイド１３によって高倍率顕微鏡と同様に
機能することができる。

【００３９】図３は、本実施形態の液晶表示パネルの検
査装置を制御するための制御系のブロック図である。

【００４０】この制御系は、液晶プロジェクション１４
にセットされた液晶表示パネル１に表示用信号を与える
信号発生装置３２と、この信号発生装置３２に命令を送
るパーソナルコンピューター３１と、このパーソナルコ
ンピューター３１からの信号により精密ＸＹテーブル
９、パルスモーター６、１９及び２２を駆動させるモー
ターコントローラー３３と、パーソナルコンピューター
３１及びモーターコントローラー３３を介してパルスモ
ーター１９及び２２を駆動させるマウス３４とを備え
る。

【００４１】パーソナルコンピューター３１から信号発
生装置３２に命令を送ることにより、信号発生装置３２
につながっている液晶表示パネル１を点灯させたり、点
灯状態を変化させたりすることができる。このため、絵
素欠陥の有る箇所では、他の絵素部分とは異なる表示状
態となる。

【００４２】モーターコントローラー３３は２軸の精密
ＺＹテーブル９と、３軸のパルスモーター６、１９及び
２２の制御ができるものであり、２軸を精密ＸＹテーブ
ル９の水平移動用、１軸を治具２の回転用、残り２軸を
小型レーザー光線発光装置１８の姿勢制御に用いる。こ
のモーターコントローラー３３は、パーソナルコンピュ
ーター３１からの信号により各軸のパルスモーターを駆
動させることができる。

【００４３】パーソナルコンピューター３１に接続され
ているマウス３４は、これを手操作で移動させることに
より小型レーザー光線発光装置１８の姿勢制御用のパル
スモーター１８及び２２を駆動させることができる。

【００４４】図４は、絵素欠陥位置指示装置２５を示す
斜視図である。

【００４５】マウス３４を水平面上で左右に動かすと、
パルスモーター２２により小型レーザー光線発光装置１
８は水平面上で回転し、レーザ一光線２４がスクリーン
１７上で左右に動く。

【００４６】マウス３４を上下に動かすと、パルスモー
ター１９により小型レーザー光線発光装置１８は垂直平
面上で回転し、レーザー光線２４がスクリーン１７上で
上下に動く。

【００４７】以下に、本実施形態の液晶表示パネルの検
査方法における処理手順について説明する。

【００４８】まず、液晶表示パネル１を治具２にセット
し、金属電極２７をパネル電極２８に接続する。

【００４９】次に、治具２を液晶プロジェクション１４
の開口部１６に挿入するために、パルスモーター６によ
って治具２を９０度回転させる。

【００５０】その後、図５に示すようにエアーシリンダ
１０によりスライドテーブル７を前進させて、治具２を
液晶プロジェクション１４内に挿入する。

【００５１】スクリーン１７には、液晶プロジェクショ
ン１４内のランプ１５からの投影光により、液晶表示パ
ネル１に表示されている映像が拡大投影される。

【００５２】図６に示すように、このスクリーン１７上
の投影画像２９に絵素欠陥３０が発見された場合、小型
レーザー光線発光装置１８から発光されるレーザ光線２
４が欠陥絵素に重なるように図３のマウス３４を操作し
て指示する。

【００５３】このとき、レーザ光線２４で指示された位
置の座標は、パルスモーター１９、２２に入力されたパ
ルス数に基づいて算出され、パーソナルコンピューター
３１内のメモリーにスクリーン上絵素欠陥座標として記
憶される。なお、絵素欠陥が複数発見された場合には、
このマウス３４による操作を繰り返して行う。

【００５４】このメモリーに保存されたスクリーン上絵
素欠陥座標をもとにして、液晶表示パネル１の欠陥絵素
座標を算出する。

【００５５】図７（ａ）に示すように、メモリーに保存
されたスクリーン上絵素欠陥座標のＸ値、Ｙ値を各々ｃ
ｘ、ｃｙとすると、図８に示す絵素欠陥３０から１隅の
絵素３６までの概略距離ＫＸ、ＫＹは、図７（ｂ）に示
すように、下記式（１）、（２）により求めることがで
きる。

【００５６】 ＫＸ＝ｇｘ×（ｃｘ／ｆｘ） ・・・（１） ＫＹ＝ｇｙ×（ｃｙ／ｆｙ） ・・・（２） ｃｘ、ｃｙ：メモリーに保存されたスクリーン上絵素欠
陥座標データ ｆｘ、ｆｙ：パーソナルコンピュータ３１内のメモリー
上でのパネル座標エリアサイズ ｇｘ、ｇｙ：絵素エリアの最大幅 その後、図５に示したスライドテーブル７を、治具２を
９０度回転させて図１に示したもとの位置に戻す。

【００５７】次に、図１に示した精密ＸＹテーブル９を
用いて、図９に示すように、液晶表示パネル１の１隅の
絵素３６が拡大レンズ１１の視野内に映るように液晶表
示パネル１を移動させる。

【００５８】この状態でＣＣＤカメラ１２に入力された
画像は、モニター３５に映し出される。

【００５９】続いて、図９に示すように、モニター３５
上に表示された十字カーソル３７を１隅の絵素３６の中
心を指示するようにマウス３４で移動させて、モニター
３５の中央３８から十字カーソル３７で指示した絵素３
６までの距離ｍｘ１、ｍｙ１を求める。

【００６０】このとき、図８の精密ＸＹテーブル９の原
点３９からの１隅の絵素３６（パネル原点）までの座
標Ｘ１、Ｙ１は、下記式（３）、（４）により求めるこ
とができる。

【００６１】Ｘ１＝ｍｘ１／ｎ＋ｏｘ ・・・（３） Ｙ１＝ｍｙ１／ｎ＋ｏｙ ・・・（４） ｍｘ１、ｍｙ１：モニター３５の中央３８から十字カー
ソル３７で指示した位置までの距離 ｏｘ、ｏｙ：精密ＸＹテーブル９の原点位置からのＸＹ
軸の移動量 ｎ：モニター３５に表示されている映像の拡大倍率 同様にして、反対側の１隅の絵素４０（パネル原点）
までの座標Ｘ２、Ｙ２を求める。

【００６２】これらの結果から、図９に示す仮想座標に
対する液晶表示パネル１の傾きＡθは、下記式（５）に
より求めることができる。

【００６３】 Ａθ＝ｔａｎ^-1｛（Ｙ２−Ｙ１）／（Ｘ２−Ｘ１）｝ ・・・（５） 以上により、液晶表示パネル１が図９に示す仮想座標に
対してどのような位置関係（水平位置、垂直位置、傾き
方向）で配置されているかが求められる。

【００６４】ここで、上記スクリーン上絵素欠陥座標か
ら求めた絵素欠陥３０から１隅の絵素３６までの概略距
離ＫＸ、ＫＹに対して、液晶表示パネルの傾きデータを
考慮して計算を行うことにより、液晶表示パネルの絵素
欠陥の概略座標をより正確に求めることができる。

【００６５】しかし、絵素欠陥位置指示装置（レーザー
ポインター）２５を用いて求めたスクリーン上絵素欠陥
座標は、スクリーン上に拡大投影された仮想のパネル座
標に変換して計算されるため、パネル傾き角度を考慮し
たとしても、精密ＸＹテーブル９を用いて移動させた液
晶表示パネルの傾きを考慮する場合とは異なる。よっ
て、上記スクリーン上絵素欠陥座標をそのまま液晶表示
パネルの絵素欠陥座標の計算に用いることはできない。

【００６６】上記スクリーン上絵素欠陥座標をそのまま
液晶表示パネルの絵素欠陥座標の計算に使用すると、絵
素欠陥に隣接する絵素の座標を算出してしまうおそれが
あるからである。

【００６７】このため、レーザーポインター２５を用い
て求めたスクリーン上絵素欠陥座標に対してパネル傾き
を考慮するには、精密ＸＹテーブルの直交角に対するパ
ネル傾き角度Ａθをそのまま用いるのではなく、スクリ
ーン上に拡大投影された画像の傾きを考慮する必要があ
る。よって、下記式（６）、（７）により、図１０に示
す仮想パネル座標での絵素欠陥座標ベクトルＬθ、及び
絵素欠陥座標のベクトル長さＬＸＹを求める必要があ
る。

【００６８】 Ｌθ＝ｔａｎ^-1（ＫＹ／ＫＸ） ・・・（６） ＬＸＹ＝（ＫＸ²＋ＫＹ²）^1/2 ・・・（７） Ｌθ：レーザーポインター２５を用いて求めた仮想パネ
ル座標での絵素欠陥座標のベクトル角度 ＬＸＹ：レーザーポインター２５を用いて求めた仮想パ
ネル座標での絵素欠陥座標のベクトル長さ この仮想パネル座標における絵素欠陥座標ベクトル角度
Ｌθとベクトル長さＬＸＹに基づいて、精密ＸＹテーブ
ル９を仮想原点３９から絵素欠陥３０まで移動させるた
めの移動座標データＤＸ、ＤＹを求める（図１０参
照）。この移動座標データＤＸ、ＤＹは、下記式
（８）、（９）のようにして求めることができる。

【００６９】 ＤＸ＝Ｘ１−｛ｃｏｓ（Ｌθ−Ａθ）×ＬＸＹ×絵素ピッチＸ｝ ・・・（８ ） ＤＹ＝Ｙ１−｛ｓｉｎ（Ｌθ−Ａθ）×ＬＸＹ×絵素ピッチＹ｝ ・・・（９ ） 絵素ピッチＸ、Ｙ：液晶表示パネルにおける絵素と絵素
との間隔 上記式（８）、（９）により求めた移動座標データＤ
Ｘ、ＤＹに基づいて、絵素欠陥３０が拡大レンズ１１の
視野内に映るように液晶表示パネル１を精密ＸＹテーブ
ル９で移動し、ライトガイド１３から光を照射すること
により、図１１に示すようにモニター３５に絵素欠陥３
０が表示される。

【００７０】ここで、算出された絶対パルス座標系のデ
ータＤＸ、ＤＹは、下記式（１０）、（１１）のように
して、図１０に示す相対パルス座標系のデータＥＸ、Ｅ
Ｙに変換される。

【００７１】ＥＸ＝（Ｘ１−ＤＸ） ・・・（１０） ＥＹ＝（Ｙ１−ＤＹ） ・・・（１１） つまり、先に求めたＸ１、Ｙ１から絶対パルス座標系の
データＤＸ、ＤＹを減算することにより、絵素３６（パ
ネル原点）からの概略欠陥絵素座標である相対座標系
データＥＸ、ＥＹを算出することができる。

【００７２】次に、図１１に示すように、モニター３５
上に表示された十字カーソル３７を絵素欠陥３０の中心
を指示するようにマウス３４で移動させて、モニター３
５の中央３８から十字カーソル３７で指示した絵素欠陥
３６までの距離ｍｘ２、ｍｙ２を求める。

【００７３】これにより、上記概略座標データＥＸ、Ｅ
Ｙをもとに下記式（１２）、（１３）のように補正し
て、正確な欠陥絵素座標ＦＸ、ＦＹを求めることができ
る。

【００７４】 ＦＸ＝ＥＸ−（ｍｘ２／ｎ） ・・・（１２） ＦＹ＝ＥＹ−（ｍｙ２／ｎ） ・・・（１３） ｍｘ２、ｍｙ２：モニター３５の中央３８から十字カー
ソル３７で指示した絵素までの距離 ｎ：モニター３５に表示されている映像の拡大倍率 このようにして算出された欠陥絵素の位置座標データＦ
Ｘ、ＦＹにパネル傾き角度Ａθを考慮して、下記式（１
４）、（１５）のように、より正確な絵素欠陥３０の位
置座標ＢＸ、ＢＹが求められる。

【００７５】 ＢＸ＝ＦＸ×ｃｏｓ（Ａθ）−ＦＹ×ｓｉｎ（Ａθ） ・・・（１４） ＢＹ＝ＦＸ×ｓｉｎ（Ａθ）＋ＦＹ×ｃｏｓ（Ａθ） ・・・（１５） このようにして、絵素欠陥３０の位置座標をパーソナル
コンピューター３１により算出し、記録する。

【００７６】最後に、液晶表示パネル１を治具２から取
り外し、次の工程に進む。

【００７７】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明による場合
には、液晶表示パネルの画像をスクリーン上に拡大投影
し、光線を絵素欠陥に重ね合わせることによりスクリー
ン上での絵素欠陥の概略座標を測定することができる。
その概略座標に基づいて液晶表示パネルを高倍率顕微鏡
の視野内に移動することにより、絵素欠陥位置の正確な
座標を求めることができる。さらに、これらの座標デー
タに対して液晶表示パネルの傾きを考慮することによ
り、より正確な欠陥絵素位置の座標を求めることができ
る。

【００７８】従って、今後ますます小型化、高精細化が
進むと予想されるプロジェクション用の液晶表示パネル
において、微細な絵素ピッチにも対応することができ、
計測ミスを防いで確実に欠陥の修復を行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態の液晶表示パネルの検査装置の構成を
示す図であり、（ａ）はその検査装置の平面図、（ｂ）
はその検査装置の正面図である。

【図２】実施形態の液晶表示パネルの検査装置に備わっ
た治具を示す斜視図である。

【図３】実施形態の液晶表示パネルの検査装置を制御す
る制御系のブロック図である。

【図４】実施形態の液晶表示パネルの検査装置に備わっ
た絵素欠陥位置指示装置を示す斜視図である。

【図５】（ａ）は実施形態の液晶表示パネルの検査装置
に備わったパネル装着・取出し装置の動作内容を示す平
面図、（ｂ）は（ａ）の正面図である。

【図６】実施形態の液晶表示パネルの検査装置に備わっ
たスクリーンに液晶表示パネルの表示部を拡大投影した
状態を示す平面図である。

【図７】実施形態の液晶表示パネルの検査方法におい
て、（ａ）はパーソナルコンピュータメモリ上の欠陥絵
素座標を示す概略図であり、（ｂ）はパネル上の欠陥絵
素座標を示す概略図である。

【図８】実施形態の液晶表示パネルの検査方法における
座標データを説明するための概念図である。

【図９】実施形態の液晶表示パネルの検査装置に備わっ
たモニターの表示を説明するための平面図である。

【図１０】実施形態の液晶表示パネルの検査方法におけ
る座標データを説明するための概念図である。

【図１１】実施形態の液晶表示パネルの検査装置に備わ
ったモニターの表示を説明するための平面図である。

【符号の説明】

１ 液晶表示パネル ２ 治具 ２ａ 上蓋 ３、２０ テーブル ５、２１ 回転軸 ６、１９、２２ θ軸パルスモーター ７ スライドテーブル ８ 直動ガイド ９ 精密ＸＹテーブル １０ エアーシリンダ １１ 拡大レンズ １２ ＣＣＤカメラ １３ 照明用ライトガイド １４ 液晶プロジェクション １５ ランプ １６ 開口部 １７ スクリーン １８ 小型レーザー光線発光装置 ２４ レーザー光線 ２５ 絵素欠陥位置指示装置 ２６ 位置決めピン ２７ 金属電極 ２８ パネル電極 ２９ 投影映像 ３０ 絵素欠陥 ３１ パーソナルコンピューター ３２ 信号発生装置 ３３ モーターコントローラー ３４ マウス ３５ モニター ３６ パネル原点 ３７ 十字カーソル ３８ モニター中央 ３９ 精密ＸＹテーブルの原点 ４０ パネル原点

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 精密ＸＹテーブル上に搭載された液晶表
   示パネルの画像をスクリーン上に拡大投影させて該スク
   リーン上で絵素欠陥の有無を検査し、検出された該スク
   リーン上の絵素欠陥に光を照射して該絵素欠陥の該液晶
   表示パネル上での概略座標を求め、該概略座標を基にし
   て、該スクリーン上に拡大投影された仮想パネル座標に
   おける絵素欠陥座標のベクトル角度および絵素欠陥座標
   のベクトル長さを求め、これらの値から、該液晶表示パ
   ネルを該仮想パネル座標上の仮想原点から該絵素欠陥ま
   で移動させるための移動座標データを求めて、求められ
   た該移動座標データに基づいて、該液晶表示パネルを搭
   載した精密ＸＹテーブルを移動させ、高倍率顕微鏡の視
   野内に該絵素欠陥を映して正確な絵素欠陥座標を測定す
   る液晶表示パネルの検査方法。
2. 【請求項２】 前記光を発生する発光装置を、２つのパ
   ルスモーターにて各別に水平軸回りと垂直軸回りとに回
   動できるようになし、所定の原点への光照射位置と絵素
   欠陥への光照射位置との間の該パルスモーターのパルス
   信号の数に基づいて絵素欠陥の概略座標を測定する請求
   項１に記載の液晶表示パネルの検査方法。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の液晶表示パネ
   ルの検査方法に用いられる検査装置であって、精密ＸＹテーブルに搭載された 該液晶表示パネルを点灯
   させ、該液晶表示パネルからの画像を拡大投影させる手
   段と、 拡大投影された該画像を映すスクリーンと、 該スクリーン上の絵素欠陥に光を照射する絵素欠陥位置
   指示装置と、 該絵素欠陥位置指示装置にて指示した位置と基準位置と
   の関係に基づいて絵素欠陥の該液晶表示パネル上での概
   略座標を求める手段と該概略座標を基に、該スクリーン上に拡大投影された仮
   想パネル座標における絵素欠陥座標のベクトル角度およ
   び絵素欠陥座標のベクトル長さを求め、これらの値か
   ら、該液晶表示パネルを該仮想パネル座標上の仮想原点
   から該絵素欠陥まで移動させるための移動座標データを
   求めて、求められた該移動座標データに基づいて、該液
   晶表示パネルを搭載した該精密ＸＹテーブルを、高倍率
   顕微鏡の視 野内に該絵素欠陥が映るように移動させる移
   動手段と、 該高倍率顕微鏡の視野内の画像に位置合わせして該絵素
   欠陥の座標を求める座標手段と、 を具備する液晶表示パネルの検査装置。
4. 【請求項４】 前記絵素欠陥位置指示装置は、前記光と
   してレーザー光線を発生する小型レーザー光線発光装置
   と、該小型レーザー光線発光装置を水平軸回りと垂直軸
   回りとで回動させて該小型レーザー光線発光装置の姿勢
   制御を行わせる２つのθ軸パルスモーターとからなる請
   求項３に記載の液晶表示パネルの検査装置。
5. 【請求項５】 前記２つのθ軸パルスモーターを駆動す
   るためのモーターコントローラーを備え、該モーターコ
   ントローラーに入力するパルス信号の数から前記小型レ
   ーザー光線発光装置からのレーザー光線の指示する絵素
   欠陥の概略座標が測定される請求項４に記載の液晶表示
   パネルの検査装置。
6. 【請求項６】 前記モーターコントローラーに入力する
   パルス信号を手操作による移動にて発生させるマウスを
   備えている請求項５に記載の液晶表示パネルの検査装
   置。