JPH1039268A - プロジェクション用液晶表示パネルの検査方法および検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プロジェクション用液晶表示パネルの絵素欠
陥の有無を検査し、絵素欠陥の正確な位置を特定するこ
とができるようにする。 【解決手段】 投影装置８と、この投影装置８の開口部
９に液晶表示パネル１を装着しまたは取出すためのパネ
ル装着・取出し装置２４と、投影装置８からの画像が投
影されるスクリーン１０と、スクリーン１０上に投影さ
れた画像中の絵素欠陥の位置に、レーザ光線２０を指示
させる絵素欠陥位置指示装置２５とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえばプロジェ
クション用液晶表示パネルなどを生産する工程におい
て、絵素欠陥の有無を検査すると共に絵素欠陥を修正す
るのに好適なプロジェクション用液晶表示パネルの検査
方法および検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プロジェクション用液晶表示パネル生産
工程においては、絵素欠陥が発生した場合、その絵素欠
陥を修復する作業が行われる。その際、絵素欠陥の正確
な位置情報に基づき修復作業を行うためには、正確な絵
素欠陥の位置情報が不可欠なものとなっている。

【０００３】従来、そのような絵素欠陥の位置情報を得
る方法としては、第１の目視による方法、第２の図１１
に示すような検査装置を用いる方法、などの方法が挙げ
られる。以下に、これらの検査方法について説明する。

【０００４】第１の目視による方法を説明する。図９
は、その目視による検査状態を示す図であり、検査内容
を図１０のフローチャートに従って説明する。

【０００５】まず、ステップ１（＃１）において、図９
に示すように、液晶表示パネル３１を治具３２に載せ、
液晶表示パネル３１の電極に、液晶表示パネル駆動信号
発生装置からの信号を入力する金属電極３３を接続す
る。

【０００６】次に、治具３２をバックライト３４の上に
設置し、上方あるいは斜め上方から液晶表示パネル３１
を目視で検査する（＃２）。このとき、絵素欠陥が見つ
かれば、その回りにペンで印を付ける（＃３）。この検
査を繰り返し、液晶表示パネル３１の全絵素に対して行
う。

【０００７】絵素欠陥全てに印を付け終わる（＃４）
と、＃５に進む。ここでは、バックライト３４から液晶
表示パネル３１を取り外し、液晶表示パネル３１をＸＹ
ステージおよびデジタルスケールが付属した顕微鏡に設
置する。

【０００８】次に、＃６に進み、液晶表示パネル３１の
角の絵素および印を付けた絵素欠陥を見つけ出し、その
ときのＸＹステージの位置から絵素欠陥の正確な位置情
報を計算する（＃７）。これを全ての絵素欠陥に対して
行う。

【０００９】絵素欠陥を全て見つけ終われば（＃８）、
＃９に進み、金属電極３３を取り除き、液晶表示パネル
３１を治具３２から取り外す。

【００１０】以上のようにして行う第１の目視による方
法の場合は、角の絵素から各欠陥絵素までの距離を各々
測定することによって正確な位置を求めている。

【００１１】次に、第２の図１１の検査装置を用いる方
法を説明する。この方法を、図１２のフローチャートに
従って説明する。

【００１２】まず、＃１において、液晶表示パネル４１
を治具４２に載せ、液晶表示パネル駆動用のプローブピ
ン４３を液晶表示パネル４１の電極に接続する。

【００１３】次に、＃２に進み、治具４２を液晶プロジ
ェクションと同じ光学系を用いた投影装置４５の中に設
置し、スクリーン４６に拡大投影する。これにより絵素
欠陥４７およびカーソル４４が拡大投影される。前記投
影装置４５は外部の液晶表示パネル駆動信号発生装置と
接続されており、この液晶表示パネル駆動信号発生装置
はパーソナルコンピュータから送られてきたグラフィッ
ク信号を液晶表示パネル４１に表示させ、カーソル（目
印）４４を同時に表示させる。また、カーソル４４はパ
ーソナルコンピュータに取り付けたマウスで移動させる
ことができる。マウスを１単位動かすと、カーソル４４
が液晶表示パネル４１内では１絵素分動くようにしてあ
る。

【００１４】次に、＃３に進み、マウスを使いカーソル
４４を自由に移動させ、絵素欠陥４７を指し示すように
することによって絵素欠陥４７の座標を特定する。これ
を全ての絵素欠陥に対して行う。

【００１５】絵素欠陥４７を見つけ終われば（＃４）、
＃５に進み、治具４２を投影装置４５から取り出し、次
に＃６に進み、プローブピン４３を取り除いた上で治具
４２から液晶表示パネル４１を取り外す。

【００１６】以上のように第２の方法は、マウスの位置
情報が絵素欠陥の位置情報に相当しているので、絵素欠
陥の正確な位置を求めることができる。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の方法に
よる場合は以下のような課題があった。

【００１８】第１の目視による方法では、バックライト
上に治具を置いて絵素欠陥の位置に印を付ける工程と、
顕微鏡により絵素欠陥を見つけ出す工程との２つの工程
を要するため、作業性が悪い。さらに、顕微鏡の視野は
狭いために、ペンによるマークを頼りに絵素欠陥を見つ
け出すにはかなりの熟練度が要求される。また、第１の
方法では、非常に明るい光を液晶表示パネルに投射する
必要があり、そのような大光量の光が当たらないと検出
できない絵素欠陥が存在する。つまり、光の程度によっ
て検査結果が違ってくる。そのためにバックライトの光
量を非常に大きくすると、液晶表示パネルを直接見て検
査する方法であるため、目にかかる負担が大きすぎ絵素
欠陥の検査は不可能である。

【００１９】一方、第２の方法では、スクリーン上でカ
ーソルにより指定すればよく、第１の目視による方法の
問題点である２工程による作業性の悪さ、顕微鏡による
絵素欠陥の発見の困難さ、および大光量による目視検査
不可能などの点が克服されている。しかし、グラフィッ
ク信号を液晶表示パネルに送りカーソルを表示させるた
めには、ソースライン電極およびゲートライン電極共に
１つ１つに個別の駆動信号を送り込むために、液晶表示
パネルの電極にプローブピンを接続する必要がある。こ
の場合、投影装置の中に治具を設置する際に治具を垂直
にする必要があるが、治具に設けた液晶表示パネル用の
位置決めピンだけでは液晶表示パネルが動き、プローブ
ピンが曲がったり折れたりする虞れがある。また、液晶
表示パネルが動かないようプローブピンの接続圧を上げ
ると、プローブピンが破損する虞れがある。その対策と
して、治具で液晶表示パネルを真空吸着する方法がある
が、治具の構造が複雑になる上に、真空ポンプなどの設
備を新たに用いなければならなくなる不都合がある。

【００２０】また、第２の方法では、プローブピンの接
続の際には高精度の位置合わせが必要とされる。プロー
ブピンの位置合わせには、ミクロン単位の精度が要求さ
れるため、高精度のＸＹステージおよびθ軸ステージ
や、拡大カメラなどが必要となり、大がかりな構成とな
る。さらに、プローブピン１本１本に個別の信号を送り
込むための配線が必要となるが、そのような信号は一般
的に雑音に弱く、表示が不安定になりやすい。そのため
配線をあまり長くできないので、前記液晶表示パネル駆
動信号発生装置などを投影装置の近くに設置しなければ
ならず、投影装置などを操作する際の作業性が悪くな
る。

【００２１】本発明は、このような従来技術の課題を解
決すべくなされたものであり、プロジェクション用液晶
表示パネルの絵素欠陥の有無を検査し、絵素欠陥の正確
な位置を特定することができるプロジェクション用液晶
表示パネルの検査方法および検査装置を提供することを
目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】本発明のプロジェクショ
ン用液晶表示パネルの検査方法は、プロジェクション用
液晶表示パネルの絵素欠陥の有無を検査し、検出された
絵素欠陥の液晶表示パネル内での絵素座標を測定するプ
ロジェクション用液晶表示パネルの検査方法において、
該液晶表示パネルの画像をスクリーンに拡大投影させ、
該スクリーン上において該絵素欠陥の検査を行うので、
そのことにより上記目的が達成される。

【００２３】本発明のプロジェクション用液晶表示パネ
ルの検査方法において、前記スクリーン上に拡大投影さ
れた画像中の絵素欠陥に、光を照射させることにより、
絵素欠陥の座標を測定するようにしてもよい。

【００２４】本発明のプロジェクション用液晶表示パネ
ルの検査方法において、前記光を発生する発光装置を、
２つのパルスモーターにて各別に水平軸回りと垂直軸回
りとに回動できるようになし、所定の原点への光照射位
置から絵素欠陥への光照射位置とさせる間の該パルスモ
ーターのパルス信号の数に基づいて絵素欠陥の座標を測
定するようにしてもよい。

【００２５】本発明のプロジェクション用液晶表示パネ
ルの検査装置は、プロジェクション用液晶表示パネルの
絵素欠陥の有無を検査し、検出された絵素欠陥の液晶表
示パネル内での絵素座標を測定するプロジェクション用
液晶表示パネル検査装置において、該液晶表示パネルを
点灯させ、該液晶表示パネルからの画像を拡大投影させ
る手段と、拡大投影された該画像を映すスクリーンと、
該スクリーン上の絵素欠陥に光を照射させる絵素欠陥位
置指示装置と、該絵素欠陥位置指示装置にて指示した位
置と基準位置との関係に基づいて絵素欠陥の座標を測定
する手段とを具備し、そのことにより上記目的が達成さ
れる。

【００２６】本発明のプロジェクション用液晶表示パネ
ルの検査装置において、前記絵素欠陥位置指示装置は、
前記光としてレーザー光線を発生する小型レーザー光線
発光装置と、該小型レーザー光線発光装置を水平軸回り
と垂直軸回りとで回動させて該小型レーザー光線発光装
置の姿勢制御を行わせる２つのθ軸パルスモーターとか
らなる構成とするのが好ましい。また、前記２つのθ軸
パルスモーターを駆動するためのモーターコントローラ
ーを備え、該モーターコントローラーに入力するパルス
信号の数から前記小型レーザー光線発光装置からのレー
ザー光線の指示する絵素欠陥の座標を測定する構成とす
るのが好ましい。また、前記モーターコントローラーに
入力するパルス信号を手操作による移動にて発生させる
マウスを備えている構成とするのが好ましい。

【００２７】以下に本発明の作用について説明する。

【００２８】本発明にあっては、治具にセットした液晶
表示パネルを拡大投影することにより絵素欠陥を拡大表
示させ、小型レーザー光線発光装置から発光されたレー
ザー光線をマウスを操作することにより拡大表示された
絵素欠陥に重ね合わせる。そして、その時点までに小型
レーザー光線発光装置におけるレーザー光線の姿勢制御
に用いられる２ヶのθ軸パルスモーターに入力されたパ
ルス信号数をカウントすれば、絵素欠陥の正確な位置が
特定されることとなる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るプロジェクシ
ョン用液晶表示パネルの検査方法および検査装置の実施
形態について説明する。

【００３０】図１は、本実施形態のプロジェクション用
液晶表示パネルの検査装置の構成を示した図であり、図
１（ａ）はその検査装置の平面図、図１（ｂ）はその検
査装置の正面図である。この検査装置は、投影装置８
と、この投影装置８の開口部９に液晶表示パネル１を装
着しまたは取出すためのパネル装着・取出し装置２４
と、投影装置８からの画像が投影されるスクリーン１０
と、スクリーン１０上に投影された画像中の絵素欠陥の
位置に、レーザ光線を指示させる絵素欠陥位置指示装置
２５とを備える。

【００３１】パネル装着・取出し装置２４は、液晶表示
パネル１がセットされる治具２を有する。治具２は、図
２に示すように位置決めピン２１を３個有し、液晶表示
パネル１は治具２の３カ所の位置決めピン２１に２辺が
当たるようにセットすると、自ずと位置決めされる。治
具２の上蓋２ａを閉じると、金属電極２２がパネル電極
２３に接続される。

【００３２】この治具２は、パルスモーター４にて駆動
される回転軸３の端部に取付けられ、水平軸回りの任意
の角度に液晶表示パネル１を回転させることができる。
前記回転軸３はテーブル５に正逆方向に回動可能に支持
されている。テーブル５は１軸ステージ６上に設置され
ており、パルスモーター７により１軸ステージ６上を水
平方向に自由に移動される。

【００３３】投影装置８は側面に開口部９が設けられて
おり、この開口部９には治具２が挿入されるようになっ
ている。具体的には、パルスモーター４により液晶表示
パネル１の表面を水平方向に向け、パルスモーター７に
よりテーブル５を開口部９に接近させていき、最終的に
開口部９に液晶表示パネル１をセットする。投影装置８
は、液晶プロジェクションと同様に液晶表示パネル１に
画像を形成させてその画像を投影できるようになってお
り、液晶表示パネル１に表示される画像は投影装置８に
よって拡大されてスクリーン１０に投影される。

【００３４】絵素欠陥位置指示装置２５は、レーザー光
線２０を発光する小型レーザー光線発光装置１１を備
え、小型レーザー光線発光装置１１はパルスモーター１
２の回転軸に取付けられており、垂直平面内で自由に回
転することができる。このパルスモーター１２を支持す
るテーブル１３はパルスモーター１５の回転軸１４に取
付けられ、水平平面内で自由に回転することができる。

【００３５】図３は、本実施形態のプロジェクション用
液晶表示パネルの検査装置を制御する制御系のブロック
図である。この制御系は、投影装置８にセットされた液
晶表示パネル１に表示用信号を与える信号発生装置１７
と、この信号発生装置１７に命令を送るパーソナルコン
ピューター１６と、このパーソナルコンピューター１６
からの信号によりパルスモーター４、７、１２および１
５を駆動させるモーターコントローラー１８と、パーソ
ナルコンピューター１６およびモーターコントローラー
１８を介してパルスモーター１２および１５を駆動させ
るマウス１９とを備える。

【００３６】パーソナルコンピューター１６から信号発
生装置１７に命令を送ることにより、信号発生装置１７
につながっている液晶表示パネル１を点灯させたり、点
灯状態を変えたりすることができる。このため、絵素欠
陥の有る箇所では、他の絵素部分とは異なる表示状態と
なる。また、モーターコントローラー１８は４軸のパル
スモーター４、７、１２および１５の制御ができるもの
であり、１軸をテーブル５の水平移動用、１軸を治具２
の回転用、残り２軸を小型レーザー光線発光装置１１の
姿勢制御に用いる。モーターコントローラー１８はパー
ソナルコンピューター１６からの信号により各軸のパル
スモーターを駆動させることができる。パーソナルコン
ピューター１６に接続されているマウス１９は、これを
動かすことにより小型レーザー光線発光装置１１の姿勢
制御用のパルスモーター１２および１５を駆動させるこ
とができる。

【００３７】図４は、絵素欠陥位置装置２５を示す斜視
図である。

【００３８】マウス１９を水平面上で左右に動かすと、
パルスモーター１５により小型レーザー光線発光装置１
１は水平面上で回転し、レーザー光線２０はスクリーン
１０上で左右に動く。マウス１９を上下に動かすと、パ
ルスモーター１２により小型レーザー光線発光装置１１
は垂直平面上で回転し、レーザー光線２０は上下に動
く。

【００３９】図５は、投影装置８にて形成される画像が
スクリーン１０上に拡大投影されている様子を示す図で
ある。点Ａは小型レーザー光線発光装置１１の回転中心
を示し、点Ｂは小型レーザー光線発光装置１１から発せ
られたレーザー光線２０とスクリーン１０の平面とのな
す角度が垂直になる点を示す。ここで、この点Ｂをパル
スモーター１５、１２の原点とし、パルスモーター１
５、１２に入力されたパルス数をそれぞれｐｘ０、ｐｙ
０とする。また、原点からパルスモーター１５を動かし
たときのレーザー光線２０の軌跡をＸ軸方向、パルスモ
ーター１２を動かしたときのレーザー光線２０の軌跡を
Ｙ軸方向とする。

【００４０】このとき、レーザー光線２０がスクリーン
１０上の任意の点Ｄを指し示したときのパルスモーター
１５、１２に入力されたパルス数をそれぞれｐｘｄ、ｐ
ｙｄとし、１パルス当たりのパルスモーター回転角をｒ
とすると、パルスモーター１５の回転角θｄ、パルスモ
ーター１２の回転角ψｄは、下記１式、２式で与えられ
る。

【００４１】θｄ＝（ｐｘｄ−ｐｘ０）・ｒ …（１） ψｄ＝（ｐｙｄ−ｐｙ０）・ｒ …（２） さらに、スクリーン１０上のＸＹ平面における点Ｄの座
標（ｘｄ，ｙｄ）は、点Ａと点Ｂとの間の距離をＬとす
ると、下記３式、４式のようになる。

【００４２】ｘｄ＝Ｌ・ｔａｎ（θｄ） …（３） ｙｄ＝Ｌ・ｔａｎ（ψｄ）／ｃｏｓ（θｄ） …（４） 図６は、本発明のプロジェクション用液晶表示パネルの
検査方法における処理手順を示したフローチャートであ
る。以下、このフローチャートに従って本発明の処理手
順を説明する。

【００４３】まず、液晶表示パネル１を治具２にセット
し、金属電極２２をパネル電極２３に接続する（＃
１）。

【００４４】次に、治具２を投影装置８の開口部９に挿
入するために、パルスモーター４によって治具２を９０
度回転させる（＃２）。

【００４５】その後、図７に示されるようにパルスモー
ター７によりテーブル５を前進させ治具２を投影装置８
内に挿入する。すると液晶表示パネル１に表示されてい
る映像がスクリーン１０に拡大投影される（＃３）。

【００４６】次に、小型レーザー光線発光装置１１のキ
ャリブレーションを行う（＃４）。図５に示すように、
まず、レーザー光線２０とスクリーン１０とのなす角度
が垂直になるように、マウス１９を使い小型レーザー光
線発光装置１１を動かす。その点を原点とし、パルスモ
ーター１５、１２に入力されたパルス数をパーソナルコ
ンピューター１６に記憶させる。次に、拡大投影された
映像の４ヶのコーナーＣ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４にレーザ
ー光線２０が当たるようにマウス１９を使い小型レーザ
ー光線発光装置１１を動かし、そのときのパルスモータ
ー１５、１２に入力されたパルス数をパーソナルコンピ
ューター１６に記憶させる。そして、各点での入力パル
ス数から、前述の１式〜４式に基づいて各コーナーの座
標を算出する。尚、治具２にセットされる液晶表示パネ
ル１が代わっても、投影位置はほとんど変化がないた
め、このキャリブレーション操作は検査開始時に１回行
えば十分である。

【００４７】次に、スクリーン１０に拡大投影された映
像の中から絵素欠陥に相当する点Ｄをレーザー光線２０
が指し示すようマウス１９を使い小型レーザー光線発光
装置１１を動かし、そのときのパルスモーター１５、１
２に入力されたパルス数をパーソナルコンピューター１
６に記憶させる（＃５）。この入力パルス数から前述の
１式〜４式に基づいて絵素欠陥点の座標を算出する。

【００４８】次に、スクリーン１０上のＸＹ平面上の絵
素欠陥座標が求まると、拡大投影画面内での相対位置を
求める（＃６）。そのためにまず座標変換を行う。図８
に示されるように座標変換は拡大投影画面の各辺がＸ
軸、Ｙ軸に平行になるように行う。ＸＹ平面上での絵素
欠陥Ｄの座標を（ｄｘ，ｄｙ）、コーナーＣｉ（ｉ＝１
〜３）の座標を（ｃｘｉ，ｃｙｉ）とすると、座標変換
後の絵素欠陥Ｄ′の座標（ｄｘ′，ｄｙ′）は次の手順
で算出することができる。

【００４９】絵素欠陥Ｄを通り、辺Ｃ１Ｃ３に平行な直
線を引き、辺Ｃ１Ｃ２と交わる点のＸ座標を求める。絵
素欠陥Ｄを通り、辺Ｃ１Ｃ３に平行な直線の方程式は、
下記５式であり、 （ｙ−ｄｙ）（ｃｘ３−ｃｘ１）＝（ｘ−ｄｘ）（ｃｙ３−ｃｙ１）…（５） 辺Ｃ１Ｃ２の方程式は、下記６式である。

【００５０】 （ｙ−ｃｙ１）（ｃｘ２−ｃｘ１）＝（ｘ−ｃｘ１）（ｃｙ２−ｃｙ１） …（６） よって、その交点のＸ座標は、下記７式となる。これを
Ｄ′のＸ座標とする。

【００５１】 ｘ＝｛（ｄｙ−ｃｙ１）・ａ２・ａ３＋ｃｘ１・ａ３・ｂ２−ｄｘ・ａ２・ｂ３ ｝／（ａ３・ｂ２−ａ２・ｂ３） …（７） 但し、ａ２＝ｃｘ２−ｃｘ１ ａ３＝ｃｘ３−ｃｘ１ ｂ２＝ｃｙ２−ｃｙ１ ｂ３＝ｃｙ３−ｃｙ１ 次に、絵素欠陥Ｄを通り、辺Ｃ１Ｃ２に平行な直線を引
き、辺Ｃ１Ｃ３と交わる点のＹ座標を求める。上と同様
にして、下記８式、９式の２直線 （ｙ−ｄｙ）（ｃｘ２−ｃｘ１）＝（ｘ−ｄｘ）（ｃｙ２−ｃｙｌ）…（８） （ｙ−ｃｙ１）（ｃｘ３−ｃｘ１）＝（ｘ−ｃｘ１）（ｃｙ３−ｃｙ１）…（９ ） の交点は、下記１０式である。

【００５２】 ｙ＝｛（ｄｘ−ｃｘ１）・ｂ２・ｂ３＋ｃｙ１・ａ３・ｂ２−ｄｙ・ａ２・ｂ３ ｝／（ａ３・ｂ２−ａ２・ｂ３） …（１０） これをＤ′のＹ座標とする。すなわち、ｄｘ′は下記１
１式、ｄｙ′は下記１２式のようになる。

【００５３】 ｄｘ′＝｛（ｄｙ−ｃｙ１）・ａ２・ａ３＋ｃｘ１・ａ３・ｂ２−ｄｘ・ａ２・ ｂ３｝／（ａ３・ｂ２−ａ２・ｂ３） …（１１） ｄｙ′＝｛（ｄｘ−ｃｘ１）・ｂ２・ｂ３＋ｃｙ１・ａ３・ｂ２−ｄｙ・ａ２・ ｂ３｝／（ａ３・ｂ２−ａ２・ｂ３） …（１２） 同様に座標変換後のコーナーＣｉ’の座標（ｃｘｉ′、
ｃｙｉ′）は、以下の１３式〜１８式のようになる。

【００５４】ｃｘ１′＝ｃｘ１ …（１３） ｃｙ１′＝ｃｙ１ …（１４） ｃｘ２′＝ｃｘ２ …（１５） ｃｙ２′＝ｃｙ１ …（１６） ｃｘ３′＝ｃｘ１ …（１７） ｃｙ３′＝ｃｙ３ …（１８） このあと、絵素欠陥の液晶表示パネル１内での相対位置
を計算する。液晶表示パネル１の絵素部分の左上角から
絵素欠陥Ｄまでの距離をＸ軸方向、Ｙ軸方向それぞれｍ
ｘ、ｍｙとし、液晶表示パネル１の絵素部分のＸ軸方
向、Ｙ軸方向の長さをｇｘ、ｇｙとすると、下記１９
式、２０式で求められる。

【００５５】 ｍｘ＝ｇｘ・（ｄｘ′−ｃｘ１′）／（ｃｘ２′−ｃｘ１′） …（１９） ｍｙ＝ｇｙ・（ｄｙ′−ｃｙ１′）／（ｃｙ３′−ｃｙ１′） …（２０） そして、１９式、２０式で求まった絵素欠陥位置情報は
パーソナルコンピューター１６内に記憶される。

【００５６】次に、絵素欠陥全ての指示が終了すると
（＃７）、パルスモーター７により治具２が後退し、投
影装置８から抜き出される（＃８）。そして、パルスモ
ーター４により治具２を−９０度回転させて水平状態に
戻す（＃９）。最後に、治具２から液晶表示パネル１を
取り出し（＃１０）、次の工程へ進む。

【００５７】なお、本発明のプロジェクション用液晶表
示パネルの検査方法による検査対象となり得る液晶表示
パネルとしては、透過型のものに限らず、反射型のもの
も含む。

【００５８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、プロジェクション用液晶表示パネルを投影装置に挿
入しスクリーンに拡大投影し、マウスを使い小型レーザ
ー光線発光装置を動かし、スクリーンに投影された絵素
欠陥を小型レーザー光線発光装置から発せられるレーザ
ー光線が指し示すようになったときの小型レーザー光線
発光装置の姿勢制御用パルスモーターへの入力パルス数
から絵素欠陥の位置を求めることができるようになった
ため、従来のように、目視で検査したり、拡大投影しカ
ーソルで絵素欠陥を指し示す方法に比べ容易に検査する
ことが可能になり、プロジェクション用液晶表示パネル
の検査工程の作業性が向上するといった効果が期待でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施形態のプロジェクション用液晶表示パネ
ルの検査装置の構成を示した図であり、（ａ）はその検
査装置の平面図、（ｂ）はその検査装置の正面図であ
る。

【図２】本実施形態のプロジェクション用液晶表示パネ
ルの検査装置に備わった治具を示す斜視図である。

【図３】本実施形態のプロジェクション用液晶表示パネ
ルの検査装置を制御する制御系のブロック図である。

【図４】本実施形態のプロジェクション用液晶表示パネ
ルの検査装置に備わった絵素欠陥位置装置を示す斜視図
である。

【図５】本実施形態のプロジェクション用液晶表示パネ
ルの検査装置に備わったスクリーンに拡大投影された映
像と絵素欠陥位置指示装置との関係を示した図である。

【図６】本発明のプロジェクション用液晶表示パネルの
検査方法における処理手順を示したフローチャートであ
る。

【図７】（ａ）は本実施形態のプロジェクション用液晶
表示パネルの検査装置に備わったパネル装着・取出し装
置の動作内容を示す平面図、（ｂ）は（ａ）の正面図で
ある。

【図８】本発明のプロジェクション用液晶表示パネルの
検査方法における座標変換の概念図である。

【図９】従来の技術の説明図であり、第１の目視による
方法により絵素欠陥位置情報を得る場合の装置構成を示
す模式図である。

【図１０】図９の装置により絵素欠陥位置情報を得る場
合のフローチャートである。

【図１１】従来の技術の説明図であり、第２の方法によ
り絵素欠陥位置情報を得る場合の装置構成を示す模式図
である。

【図１２】図１１の装置により絵素欠陥位置情報を得る
場合のフローチャートである。

【符号の説明】 １ 液晶表示パネル ２ 治具 ２ａ 上蓋 ４、７、１２、１５ パルスモーター ３、１４ 回転軸 ５、１３ テーブル ６ １軸ステージ ８ 投影装置 ９ 開口部 １０ スクリーン １１ 小型レーザー光線発光装置 １７ 信号発生装置 １６ パーソナルコンピューター １８ モーターコントローラー １９ マウス ２０ レーザー光線 ２１ 位置決めピン ２２ 金属電極 ２３ パネル電極 ２４ パネル装着・取出し装置 ２５ 絵素欠陥位置指示装置

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プロジェクション用液晶表示パネルの絵
   素欠陥の有無を検査し、検出された絵素欠陥の液晶表示
   パネル内での絵素座標を測定するプロジェクション用液
   晶表示パネルの検査方法において、 該液晶表示パネルの画像をスクリーンに拡大投影させ、
   該スクリーン上において該絵素欠陥の検査を行うプロジ
   ェクション用液晶表示パネルの検査方法。
2. 【請求項２】 前記スクリーン上に拡大投影された画像
   中の絵素欠陥に、光を照射させることにより、絵素欠陥
   の座標を測定する請求項１に記載のプロジェクション用
   液晶表示パネルの検査方法。
3. 【請求項３】 前記光を発生する発光装置を、２つのパ
   ルスモーターにて各別に水平軸回りと垂直軸回りとに回
   動できるようになし、所定の原点への光照射位置から絵
   素欠陥への光照射位置とさせる間の該パルスモーターの
   パルス信号の数に基づいて絵素欠陥の座標を測定する請
   求項２に記載のプロジェクション用液晶表示パネルの検
   査方法。
4. 【請求項４】 プロジェクション用液晶表示パネルの絵
   素欠陥の有無を検査し、検出された絵素欠陥の液晶表示
   パネル内での絵素座標を測定するプロジェクション用液
   晶表示パネル検査装置において、 該液晶表示パネルを点灯させ、該液晶表示パネルからの
   画像を拡大投影させる手段と、 拡大投影された該画像を映すスクリーンと、 該スクリーン上の絵素欠陥に光を照射させる絵素欠陥位
   置指示装置と、 該絵素欠陥位置指示装置にて指示した位置と基準位置と
   の関係に基づいて絵素欠陥の座標を測定する手段とを具
   備するプロジェクション用液晶表示パネルの検査装置。
5. 【請求項５】 前記絵素欠陥位置指示装置は、前記光と
   してレーザー光線を発生する小型レーザー光線発光装置
   と、該小型レーザー光線発光装置を水平軸回りと垂直軸
   回りとで回動させて該小型レーザー光線発光装置の姿勢
   制御を行わせる２つのθ軸パルスモーターとからなる請
   求項４に記載のプロジェクション用液晶表示パネルの検
   査装置。
6. 【請求項６】 前記２つのθ軸パルスモーターを駆動す
   るためのモーターコントローラーを備え、該モーターコ
   ントローラーに入力するパルス信号の数から前記小型レ
   ーザー光線発光装置からのレーザー光線の指示する絵素
   欠陥の座標を測定する請求項５に記載のプロジェクショ
   ン用液晶表示パネルの検査装置。
7. 【請求項７】 前記モーターコントローラーに入力する
   パルス信号を手操作による移動にて発生させるマウスを
   備えている請求項６に記載のプロジェクション用液晶表
   示パネルの検査装置。