JP2888368B2 - 位置測定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、測定対象物の特徴部分の位置を測定する
位置測定装置に関する。

［従来の技術］ ステージに１つ目の測定対象物、たとえば板状のワー
クピースを載せて、このワークピースの特徴部分である
たとえばエッジ部をTVカメラを介してモニタに映し出し
て、モニタ上でこのエッジ部の位置を検出する場合があ
る。

この場合、従来ではステージに載せた測定対象物に対
して基準座標系（x,y）を設定し、移動させたステージ
の位置は、測定対象物のこの基準座標系を用いて記憶す
る。

一方、モニタに表示している測定対象物の像には、測
定範囲を定める。この測定範囲は測定開始位置と測定終
了位置により定められる。測定開始位置と測定終了位置
にそれぞれカーソルを配置する。これらのカーソルはエ
ッジ部の位置を定めるための測定範囲を表す。そしてこ
れらのカーソルがモニタ上のどの位置、つまりモニタの
どの画素位置にあるかを記憶する。そしてこれらのカー
ソルの間に在るエッジ部の位置を画素数を数えて測定す
る。

このように、移動したステージの位置は測定対象物の
基準座標系で記憶し、測定開始位置および測定終了位置
は、モニタ上の画素を用いて記憶した。つまり別々の方
式で記憶していた。

［発明が解決しようとする課題］ ところが、この方式では、１つ目の測定対象物のエッ
ジ部の位置の測定が終り、次に２つ目の同種の測定対象
物のエッジ部の検出を自動的に行うようにする場合に
は、以下の制約がある。すなわち、 （１）１つ目の測定対象物についてのステージの移動し
た位置、測定開始位置および測定終了位置を記憶してい
る時と、これら３つの位置のデータを用いて、２つ目以
後の測定対象物のエッジ部の位置を自動的に測定しよう
とする時とでは、１つ目の測定対象物の姿勢と２つ目の
測定対象物の姿勢がTVカメラに対して同じである必要が
ある。つまり２つ目の測定対象物が１つ目の測定対象物
に比べて傾いてはいけない。

（２）１つ目の測定対象物についてのステージの移動し
た位置、測定開始位置および測定終了位置を記憶してい
る時と、これら３つの位置のデータを用いて、２つ目の
測定対象物のエッジ部の位置を自動的に測定しようとす
る時とでは、TVカメラの対物レンズの倍率が同じである
必要がある。

（３）測定しながらその手順を記憶するのではなく、測
定しないでキーボード等から指定して上述の手順を記憶
させる。この場合には、測定対象物（又はTVカメラ）を
移動させたとき、TVカメラが出力した像が、表示部上で
どのように写るかを想定しながら測定範囲の指定を行う
必要がある。ステージの移動位置と、モニタ上の像に対
する測定範囲の座標（画素位置）とを管理する必要があ
る。

（４）もし１つ目と２つ目の測定対象物の姿勢が常に同
じになるようにするためには、１つ目の測定対象物に合
せて２つ目の測定対象物を回転したりあるいはTVカメラ
を回転する機構を要する。測定対象物又はTVカメラを回
転させるためには、その機構が大がかりとなり、コスト
アップにつながる。

［発明の目的］ この発明は、あらかじめ記憶した１つ目の測定対象物
の像におけるエッジ部のような特徴部分に関する情報を
用いて、２つ目の測定対象物のエッジ部のような特徴部
分を自動的に測定する場合に、２つ目の測定対象物の姿
勢や、TVカメラのような検出部の対物レンズの倍率の変
化に影響されることなく、２つ目の測定対象物の特徴部
分の位置を測定することができる位置測定装置を提供す
ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明の解決手段の一つは、測定対象物（Ｍ）の像
（Ｉ）を形成する検出部（３）と、その検出部（３）の
信号に基づき測定対象物（Ｍ）の像（Ｉ）を表示する表
示部（11）と、測定対象物（Ｍ）の像（Ｉ）を表示する
ために第１の測定対象物（Ｍ）を検出部（３）に対して
相対的に移動する駆動系と、特徴点を検出するための測
定範囲内で測定対象物（Ｍ）の特徴点検出位置（D1）を
検出する特徴点検出部（６）と、特徴点検出部（６）の
検出結果に基づき駆動系を制御する制御部（４）と、を
有し、第１の測定対象物（Ｍ）の測定に際しては、特徴
点検出部（６）は、操作者の指示に従い設定された特徴
点の検出をする測定範囲で特徴点を検出し、第１の測定
対象物（Ｍ）の測定以降の測定に際しては、前記特徴点
検出部（６）は、第１の測定対象物（Ｍ）の測定時に設
定された測定範囲及び第１の測定対象物（Ｍ）以降の測
定で既に得られた測定情報に基づき、その後の測定時に
測定範囲を自動的に設定して特徴点の検出をするように
構成したことを特徴とする位置測定装置である。

本発明の別の解決手段は、上記特徴点検出部は、第１
の測定対象物（Ｍ）の測定で得られた測定情報に基づき
基準ワーク座標系を想定し、第１の測定対象物（Ｍ）の
測定以降の測定で得られた測定情報に基づきワーク座標
系を想定し、その後の測定範囲は、基準ワーク座標系と
ワーク座標系の関係及び第１の測定対象物（Ｍ）の測定
時に設定された測定範囲に基づき、自動的に設定するよ
うに構成したことを特徴とする請求項１記載の位置測定
装置である。

本発明のさらに別の解決手段は、上記検出部は、測定
対象物の像の倍率を変更するように構成されており、上
記特徴点検出部は、第１の測定対象物（Ｍ）の測定で得
られた測定情報に基づき基準ワーク座標系を想定し、第
１の測定対象物（Ｍ）の測定以降の測定で得られた測定
情報に基づきワーク座標系を想定し、その後の測定範囲
は、前記検出部の倍率、基準ワーク座標系とワーク座標
系の関係及び第１の測定対象物（Ｍ）の測定時に設定さ
れた測定範囲に基づき、自動的に設定するように構成し
たことを特徴とする請求項１記載の位置測定装置であ
る。

［発明の実施の態様］ 検出部３は、第１の測定対象物Ｍあるいは第２の測定
対象物Ｍを検出する。

倍率検出部７は、検出部３が第１あるいは第２の測定
対象物Ｍを検出するときの倍率を検出する。

駆動系１は第１の測定対象物Ｍを配置する。この駆動
系１は、第１の測定対象物Ｍの特徴点検出位置D1を含む
部分を検出部３の視野Ｖに入れるために、第１の測定対
象物Ｍを検出部３に対して相対的に移動する。

表示部11は、検出部３の検出した第１の測定対象物Ｍ
の特徴点検出位置D1を含む像Ｉ、あるいは第２の測定対
象物Ｍの特徴点検出位置D1を含む像Ｉを表示する。

表示位置指示部５は、表示部11に表示される第１の測
定対象物Ｍの像Ｉにおいて測定開始位置SIと測定終了位
置FIを指示する。

特徴点検出部６は、測定開始位置S1と測定終了位置F1
の間で第１の測定対象物Ｍの特徴点検出位置D1を検出す
る。

制御部４は、倍率検出部７から得られる検出部３の倍
率を考慮し、駆動系１に与えられる第１の測定対象物Ｍ
の検出部３に対する相対的な移動位置と、特徴点検出位
置D1の検出にかかわる測定情報とを、第１の測定対象物
Ｍに定めた基準座標系（x,y）の座標値に変換して記憶
する。

この制御部４は、第１の測定対象物Ｍに代えて駆動系
１に配置された第２の測定対象物Ｍの特徴点検出位置D1
の測定に際して、第２の測定対象物Ｍに関して座標系
（x₁，y₁）を定め、第１の測定対象物Ｍの基準座標系
（x,y）に比較する第２の測定対象物Ｍの配置された姿
勢を示す座標系（x₁，y₁）と、倍率検出部７から得られ
る検出部３の倍率とを考慮して、記憶された移動位置
と、特徴点検出位置D1の検出にかかわる測定情報とを用
いて表示部11における第２の測定対象物Ｍの像Ｉにおい
て特徴点検出位置D1を表示する構成となることを特徴と
する位置測定装置。

［作用］ 駆動系１に配置された第１の測定対象物Ｍの姿勢と、
第２の測定対象物Ｍの姿勢とが相違していたり（第２図
−第11図）、検出部３の倍率が第１の測定対象物Ｍと第
２の測定対象物Ｍの時とで変っている場合に（第12図と
第13図）、記憶した第１の測定対象物Ｍの像Ｉにおける
特徴点検出位置D1の検出にかかわる測定情報と、駆動系
１により与えられる第１の測定対象物Ｍの検出部３に対
する相対的な移動位置と、を用いて、第２の測定対象物
Ｍの特徴点検出位置D1を測定する。

測定情報 この場合の像Ｉについて測定情報とは、たとえば次の
ような事項である。

第１の測定対象物Ｍの特徴点検出位置D1 この特徴点検出位置D1と測定開始位置S1の位置差（座
標差）（|D1−S1|） 特徴点検出位置D1と測定終了位置FIとの位置差（座標
差）（|D1−F1|） 測定開始位置S1と測定終了位置F1で表される測定範囲
（SI−FI） ［実施例］ 第１図に示す位置測定装置を説明する。

まず駆動系１のステージ２は、測定対象物Ｍを載せて
Ｘ方向とＹ方向およびＺ方向に移動するためのものであ
る。ステージ２は、Ｘ駆動部８によりＸ方向に移動可能
で、Ｙ駆動部９によりＹ方向に移動可能で、さらにＺ駆
動部10によりＺ方向に移動可能である。

TVカメラ３の受光面は下に向いている。TVカメラ３の
対物レンズ20の倍率は、対物レンズ20の倍率検出部７に
より検出可能である。この倍率は変更できる。Ｘ駆動部
８、Ｙ駆動部９、Ｚ駆動部10は、制御部ともいうコンピ
ュータ４の指令により駆動される。

コンピュータ４には、表示位置指示部５と画像処理部
ともいう特徴点検出部６が接続されている。特徴点検出
部６にはTVカメラ３が接続されていて、測定対象物Ｍの
像は、特徴点検出部６を介してモニタ11に映し出される
ようになっている。なお、モニタ11はたとえばCRTモニ
タである。また上記Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向は互いに直
角を成している。

（Ａ）最初に、１つ目の測定対象物Ｍをステージ２に載
せて、この１つ目の測定対象物Ｍについての相対的な移
動位置、特徴点検出位置D1の検出にかかわる測定情報を
記憶する操作を説明する。この場合第２図〜第６図およ
び第１図を参照する。

（Ｂ）次に、１つ目の測定対象物Ｍに代えて、自動的に
測定しようとする２つ目の測定対象物Ｍをステージ２に
載せて、この２つ目の測定対象物Ｍについての特徴点検
出位置DIを自動的に検出する測定操作を説明する。この
場合、第７図〜第11図および第１図を参照する。

なお、この記憶操作および自動測定操作時には、第１
図の対物レンズ20の倍率は、ある一定値に固定されてい
る。

（Ａ−１）記憶操作 （第２図のステップL1〜L5） まず、第２図と第４図を参照する。第４図はステージ
２に１つ目の測定対象物Ｍを載せた状態を示す平面図で
ある。

ステージ２の上には長方形の１つ目の測定対象物Ｍが
載せてある。ステージ２の移動方向のＸ方向とＹ方向
が、１つ目の測定対象物Ｍの２つの縁にそれぞれ平行に
なっている。

この測定対象物Ｍは、たとえば第４図のように所定の
凹部50〜52を３つ有する板状の加工物である。１つの凹
部50には切欠部Ｃを有する。測定対象物Ｍを以下ワーク
Ｍという。

［ステップL1］ 第４図に示す視野Ｖは、第１図のTVカメラ３の視野で
あり破線で示すように長方形である。第４図では、視野
Ｖは１つ目のワークＭの外にある。視野Ｖの中心には位
置読取用の基準点Ｑがある。

まず、ワークＭのあらかじめ定めてある基準位置P1,P
2およびP3,P4がステージ２上のどこにあるかを測定す
る。この測定により１つ目のワークＭのワーク基準座標
系（x,y）を決定して、１つ目のワークＭのステージ２
に置かれた姿勢を判断する。つまり、この基準位置P1,P
2,P3,P4の位置は、第１図のＸ駆動部８と、Ｙ駆動部９
を作動して、ステージ２を水平方向に視野Ｖに対して相
対的に移動して、順次視野Ｖの基準点Ｑを各基準位置P1
〜P4に合せる。これにより、Ｘ駆動部８とＹ駆動部９か
らの信号に基いて第１図のコンピュータ４が基準位置P1
〜P4がステージ２上のどこにあるかを測定をする。

［ステップL2］ このように１つ目のワークＭの姿勢を測定したあと
に、切欠部Ｃの特徴点検出位置D1（測定点）を含む部分
がTVカメラの視野Ｖに入るように、第５図のようにステ
ージ２を移動する。すなわち、第４図と第５図を比較す
ると、第４図のステージ２を斜め右上に動かして、第５
図のように視野Ｖに特徴点検出位置D1を入れ、この時の
ステージ２の移動位置は、コンピュータ４に知らされ
て、移動位置の座標値をワーク基準座標系（x,y）に変
換して記憶する。

［ステップL3］ 次に、測定者は、第１図の表示位置指示部５のキーボ
ードを操作してこの視野Ｖにある１つ目のワークＭの像
Ｉに対して、測定範囲（SI−FI）を指定する。ここでは
この測定範囲とは、第６図の拡大視野WVに示す測定開始
位置S1から測定終了位置F1までの範囲をいう。

ここで、第６図と第３図の流れ図を参照してこの測定
範囲の指定などを説明する。

測定者は、キーボード形の第１図の表示位置指示部５
を操作して、測定開始位置S1をモニタの拡大視野WVにお
ける所望のところに移動する。そして、測定開始位置S1
にカーソルK1をおいて測定開始位置S1を決定する。この
測定開始位置S1が定まったら、測定終了位置F1を測定対
象物Ｍの像Ｉの適当なところに移しておく。つまりカー
ソルK2を移しておく。

測定開始位置S1のカーソルK1を矢印Ａの方向に直線状
に移動する。この移動により、例えば測定対象物Ｍの特
徴点検出位置D1を検出する。この特徴点検出位置D1は一
応予定した測定終了位置F1に至るまでに検出する。特徴
点検出位置D1を第１図の特徴点検出部６が検出すると、
表示位置指示部５によりマークM1を特徴点検出位置D1に
配置する。

［ステップL4］ 次に第１図の対物レンズ20の倍率が何倍かを検出部７
によりコンピュータ４に伝える。

［ステップL5］ モニタ11における測定した測定範囲の測定開始位置S
1、測定終了位置F1を特徴点検出位置D1を用いて定め
る。すなわち、特徴点検出位置D1と測定開始位置S1との
座標差を表すようにモニタ11の視野Ｖの画素数を数える
ことにより、視野Ｖにおける測定開始位置S1を求めてワ
ーク基準座標系（x,y）に変換する。一方、求めた座標
差を特徴点検出位置D1に加えることにより測定終了位置
F1を求めてワーク基準座標系（x,y）に変換する。

つまり、特徴点検出位置D1の検出にかかわる測定情報
である、測定範囲、測定開始位置S1、測定終了位置F1、
特徴点検出位置D1、さらに好ましくは、特徴点検出位置
D1と測定開始位置S1の位置差（|D1−SI|）や、特徴点検
出位置D1と測定終了位置F1の位置差（|D1−F1|）をもモ
ニタ11の画素数からワーク基準座標系（ｘ、ｙ）に変換
するのである。この際ステージ２の移動位置、対物レン
ズ20の倍率を考慮に入れる。つまり、たとえば対物レン
ズの倍率が大きいときは、数えた画素数を所定の値で割
り画素数を圧縮する。ステージ２の移動位置を考慮する
ということは、視野Ｖに特徴点検出位置D1を入れるため
に移動した位置を考慮することである。

以上のことにより、測定情報として、ステージ２（測
定対象物Ｍ）の移動位置、測定範囲（S1−F1）、測定開
始位置S1、測定終了位置F1、特徴点検出位置D1、位置差
（座標差）がワーク基準座標系（ｘ、ｙ）に変換されて
コンピュータ４に記憶される。

このあと、必要に応じて、第４図の凹部51の特徴点検
出位置D2や凹部52の特徴点検出位置D3なども同様に求め
る。このようにして、基準となる１つ目のワークＷの記
憶操作を終る。

（Ａ−２）実際の自動測定操作 （第７図のステップQ1〜Q6） 第７図〜第10図を参照する。

前述の１つ目のワークＭをステージ２から取り除い
て、別の同様の２つ目のワークＭをたとえば第８図のよ
うに載せる。このときこの２つ目のワークＭの姿勢は、
第４図のワークＭの姿勢とは明らかに異なって置かれて
いる。つまり２つ目のワークＭはステージ２に対して傾
けて載せられている。

［ステップQ1］ 第８図に示すように２つ目のワークＭの基準位置P1〜
P4をステップL1と同様にして視野Ｖの基準点Ｑを合せて
測定する。この測定により、ワーク座標系（x₁，y₁）を
決定する。

第８図のような場合には、ワーク座標系（x₁，y₁）は
第４図のワーク基準座標系（x,y）に比べて傾いた姿勢
になっている。なお第４図のワーク基準座標系（x,y）
はステージ座標系（X,Y）と平行であるものとする。

［ステップQ2］ ［ステップL2］であらかじめ記憶しておいたステージ
２もしくは測定対象物Ｍの移動位置の座標値を、ステー
ジ座標系（X,Y）に変換する。その座標にステージ２を
移動する。このステージ２の移動により、第９図のよう
に切欠部Ｃの特徴点検出位置D1を含む部分が視野Ｖの基
準点Ｑに位置する。

［ステップQ3］ ［ステップL5］であらかじめ記憶しておいた特徴点検
出位置D1の検出にかかわる測定情報のうちのたとえば測
定範囲（S1−F1）と特徴点検出位置D1、位置差（座標
差）（|D1−S1|）または（|D1−F1|）を、ステージ座標
系（X,Y）に変換する。これにより測定範囲S1−F1が拡
大視野WV中に与えられる。ただしこの時は傾いたワーク
Ｍの姿勢に対応して測定範囲S1−F1が配置されておら
ず、第10図の拡大視野WVの破線で示すように測定範囲は
水平となっている。さらに、記憶しておいた特徴点検出
位置D1と座標差（位置差）を用いて、 （特徴点検出位置D1−座標差）を測定開始位置S1とし、 （特徴点検出位置D1＋座標差）を測定終了位置F1とす
る。

［ステップQ4］ 第１図の対物レンズ20の倍率が何倍かを検出部７によ
りコンピュータ４に伝える。この例では倍率は前述の記
憶時（ステップL4）と同じになっている。

［ステップQ5］ 測定範囲を示すステップQ3で求めた測定開始位置S1と
測定終了位置F1を、傾いたワーク座標系（x₁，y₁）、ス
テージ２の移動位置、対物レンズ20の倍率を考慮して
（倍率は変えていない）、視野Ｖ上の画素位置に変換す
る。これにより第10図と第11図に示すように測定範囲
（S1−F1）が像Ｉの傾きに対応する、あるいは合うよう
に配置される。そしてこの測定開始位置S1と測定終了位
置F1の間で特徴点検出位置D1を検出する。

［ステップQ6］ この特徴点検出位置D1を第11図のようにワーク座標系
（x₁，y₁）の座標値に変換して第１図のモニタ11に表示
する。この測定を必要に応じて各凹部51,52について行
うことにより自動測定作業を終る。

（Ｂ）（Ａ）の記憶及び測定操作例では、対物レンズ
20の倍率を変えていない。

第13図で示す自動測定操作例では、対物レンズ20の倍
率を第12図で示す記憶操作時の倍率に比べて大きくして
いる。そして第12図に示す１つ目のワークＭの姿勢と第
13図に示す２つ目のワークＭのステージ２に置かれた姿
勢は全く同じであるとする。

ここで、第12図の１つ目のワークＭの姿勢は、第６図
の１つ目のワークＭの姿勢が同じであり、同じ倍率の対
物レンズ20で拡大されている。つまり第12図のワークＭ
と第６図のワークＭの測定条件は同じである。このため
同じ符号（たとえばS1,F1…）を付してその説明を省略
する。

第13図のモニタの拡大視野WVでは、その２つ目の測定
対象物Ｍを第12図に比べて高倍率の対物レンズ20で拡大
した状態を示している。この場合も第７図の流れ図のス
テップQ4,Q5で示すようにすでに説明した手順で特に対
物レンズの倍率を考慮することにより、第12図の特徴点
検出位置D1に対応する第13図の特徴点検出位置D4を検出
できる。

なお、第13図の拡大視野WVにおける測定開始位置S3、
終了位置F3は、第６図の測定開始位置S1、終了位置F1に
それぞれ対応している。測定開始位置S3にはカーソルK7
が、測定終了位置F3にはカーソルK8が配置され、特徴点
検出位置D4にはマークM4が配置されている。

なお、対物レンズの倍率を変え、しかも１つ目のワー
クＭと２つ目のワークＭの姿勢が変っている場合にも第
７図のステップQ1〜Q6に示すように２つ目のワークＭの
特徴点検出位置を自動測定できる。

自動測定中に、ステージ移動位置やモニタ上の測定開
始位置や測定終了位置をワーク座標系に変換補正してい
るため、測定対象物の置かれた姿勢や対物レンズの倍率
が記憶時と異なっていても、正確に測定できる。つま
り、測定対象物に対して、記憶時と同じ方向に同じ測定
範囲で特徴点位置の検出が可能となり、より正確な自動
測定が実現できる。

ところでこの発明は上述の実施例に限定されない。た
とえば、 測定開始位置と測定終了位置間の直線上のデータから
特徴点を検出する場合に限らない。たとえばエリア指定
（長方形、円、扇形形状での範囲指定）された中で特徴
点や特徴形状を測定する場合にも応用できる。またすで
にのべたように測定開始位置と測定終了位置の両方を測
定対象物のワーク基準座標系で記憶することもできる。

測定開始位置又は測定終了位置のいずか一方の位置
は、他方の位置から同じ座標系での相対位置として記憶
することもできる。

すでにのべたように測定開始位置S1と測定終了位置F1
の組合せで記憶せず、特徴点検出位置D1と測定開始位置
S1の組合せで記憶することもできる。

モニタに特徴点検出位置D1の座標表示をX₁＝…，Y₁＝
…と表示し、特徴点検出位置と測定開始位置との座標差
（位置差）をx₀＝…，y₀＝…と表示する。これらは、測
定対象物のワーク基準座標系での値で表示する。（X₁，
Y₁）は測定者が測定したい位置そのものの座標を示す。
（x₀，y₀）は、検出範囲であり、特徴点検出位置を検出
する場合のサーチ量とサーチ方向を示す。このような表
示形式にすると測定者が見やすい。

［発明の効果］ 以上説明したように、請求項１の発明によれば、表示
部（モニタ）上の測定対象物の像に対する特徴点検出位
置の検出にかかわる測定情報は、モニタの画素数を用い
て表すのではなく、最終的に測定対象物の基準座標系
（ｘ、ｙ）での座標差で扱う。モニタ上の測定対象物の
像に対して、あらかじめ測定範囲を記憶したものを自動
測定する場合に、測定しようとする他の測定対象物の姿
勢の倍率の変化に影響されずに正確に測定を再現するこ
とができる。このため測定率を上げることができる。

請求項２の発明によれば、測定対象物を検出する際の
倍率を考慮することにより、第１と第２の測定対象物を
倍率を変えて測定した場合でも正確に第２の測定対象物
の測定を再現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の位置測定装置の実施例を示す図、第
２図は１つ目の測定対象物の測定情報を記憶する操作の
流れ図、第３図は測定範囲で特徴点検出位置を測定する
操作を示す流れ図、第４図〜第６図は１つ目の測定対象
物の測定情報などの記憶操作を説明する図、第７図は２
つ目の測定対象物の特徴点検出位置を自動的に測定する
操作を示す流れ図、第８図〜第11図は自動的に測定する
操作を説明する図、第12図は１つ目の測定対象物の測定
情報を記憶する操作を示す図、第13図は対物レンズの倍
率を変えた場合に２つ目の測定対象物の特徴点検出位置
を自動的に測定する操作を示す図である。 Ｍ……測定対象物（ワーク） Ｃ……切欠部 D1……特徴点検出位置 S1……測定開始位置 F1……測定終了位置 S1−F1……測定範囲 Ｖ……TVカメラの視野 WV……拡大視野 Ｋ……カーソル １……駆動系 ２……ステージ ３……TVカメラ（検出部） ４……コンピュータ（制御部） ５……表示位置指示部 ６……特徴点検出部（画像処理部） ７……対物レンズの倍率検出部 ８……Ｘ駆動部 ９……Ｙ駆動部 10……Ｚ駆動部 11……モニタ 20……対物レンズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石井 孝明 東京都板橋区蓮沼町75番１号 株式会社 トプコン内 (56)参考文献 特開 昭61−167804（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−122107（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−124668（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01B 11/00

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】測定対象物（Ｍ）の像（Ｉ）を形成する検
   出部（３）と、 その検出部（３）の信号に基づき測定対象物（Ｍ）の像
   （Ｉ）を表示する表示部（11）と、 測定対象物（Ｍ）の像（Ｉ）を表示するために第１の測
   定対象物（Ｍ）を検出部（３）に対して相対的に移動す
   る駆動系と、 特徴点を検出するための測定範囲内で測定対象物（Ｍ）
   の特徴点検出位置（D1）を検出する特徴点検出部（６）
   と、 特徴点検出部（６）の検出結果に基づき駆動系を制御す
   る制御部（４）と、を有し、 第１の測定対象物（Ｍ）の測定に際しては、 特徴点検出部（６）は、操作者の指示に従い設定された
   特徴点の検出をする測定範囲で特徴点を検出し、 第１の測定対象物（Ｍ）の測定以降の測定に際しては、 前記特徴点検出部（６）は、第１の測定対象物（Ｍ）の
   測定時に設定された測定範囲及び第１の測定対象物
   （Ｍ）以降の測定で既に得られた測定情報に基づき、そ
   の後の測定時に測定範囲を自動的に設定して特徴点の検
   出をするように構成したことを特徴とする位置測定装
   置。
2. 【請求項２】上記特徴点検出部は、第１の測定対象物
   （Ｍ）の測定で得られた測定情報に基づき基準ワーク座
   標系を想定し、第１の測定対象物（Ｍ）の測定以降の測
   定で得られた測定情報に基づきワーク座標系を想定し、
   その後の測定範囲は、基準ワーク座標系とワーク座標系
   の関係及び第１の測定対象物（Ｍ）の測定時に設定され
   た測定範囲に基づき、自動的に設定するように構成した
   ことを特徴とする請求項１記載の位置測定装置。
3. 【請求項３】上記検出部は、測定対象物の像の倍率を変
   更するように構成されており、 上記特徴点検出部は、第１の測定対象物（Ｍ）の測定で
   得られた測定情報に基づき基準座標系を想定し、第１の
   測定対象物（Ｍ）の測定以降の測定で得られた測定情報
   に基づきワーク座標系を想定し、その後の測定範囲は、
   前記検出部の倍率、基準ワーク座標系とワーク座標系の
   関係及び第１の測定対象物（Ｍ）の測定時に設定された
   測定範囲に基づき、自動的に設定するように構成したこ
   とを特徴とする請求項１記載の位置測定装置。