JPH04125404A - 位置測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、測定対象物の特徴部分の位置を測定する位
置測定装置に関する。

［従来の技術〕 ステージに１つ目の測定対象物、たとえば板状のワーク
ピースを載せて、このワークピースの特徴部分であるた
とえばエツジ部をＴＶカメラを介してモニタに映し出し
て、モニタ」−でこのエツジ部の位置を検出する場合が
ある。

この場合、従来てはステージに載せた測定対象物に対し
て基準座標系（ｘ、ｙ）を設定し、移動させたステージ
の位置は、測定対象物のこの基準座標系を用いて記憶す
る。

一方、モニタに表示している測定対象物の像には、測定
範囲を定める。この測定範囲は測定開始位置と測定終了
位置により定められる。測定開始位置と測定終了位置に
それぞれカーソルを配置する。これらのカーソルはエツ
ジ部の位置を定めるための測定範囲を表す。

そしてこれらのカーソルがモニタ上のどの位置、つまり
モニタのどの画素位置にあるかを記憶する。そしてこれ
らのノｙ−ツルの間に在るエツジ部の位置を画素数を数
えて測定する。

このように、移動したステージの位置は測定対象物の基
準座標系で記憶し、測定開始位置および測定終了位置は
、モニタ上の画素を用いて記憶した。つまり別々の方式
で記憶していた。

［発明が解決しようとする課題］ ところが、この方式では、１つ目の測定対象物のエツジ
部の位置の測定が終り、次に２つ「１の同種の測定対象
物のエツジ部の検出を自動的に行うようにする場合には
、以下の制約がある。すなわち、 （１）　１つ目の測定対象物についてのステージの移動
した位置、測定開始位置および測定終了位置を記憶して
いる時と、これら３つの位置のデータを用いて、２つ目
量後の測定対象物のエツジ部の位置を自動的に測定しよ
うとする時とでは、１つ目の測定対象物の姿勢と２つ目
の測定対象物の姿勢がＴＶカメラに対して同じである必
要がある。つまり２つ目の測定対象物が１つ目の測定対
象物に比べて傾いてはいけない。

（２）　１つ目の測定対象物についてのステージの移動
した位置、測定開始位置および測定終了位置を記憶して
いる時と、これら３っの位置のデータを用いて、２つ目
の測定対象物のエツジ部の位置を自動的に測定しようと
する時とでは、ＴＶカメラの対物レンズの倍率が同じで
ある必要がある。

（３）　測定しながらその手順を記憶するのではなく、
測定しないでキーボード等から指定して」二連の手順を
記憶させる。この場合には、測定対象物（又は′ｒ■Ｔ
Ｖカメラ移動させたとき、ＴＶカメラが出力した像が、
表示部上でどのように写るかを想定しながら測定範囲の
指定を行う必要がある。ステージの移動位置と、モニタ
ーにの像に対する測定範囲の座標（画素位置）とを管理
する必要がある。

（４）　もし１つ１コと２つ目の測定対象物の姿勢が常
に同じになるようにするためには、１つ目の測定対象物
に合せて２つ目の測定対象物を回転したりあるいはＴＶ
カメラを回転する機構を要する。測定対象物又はＴＶカ
メうを回転させるためには、その機構が大がかりとなり
、コストアップにつながる。

［発明の目的］ この発明は、あらかじめ記憶した１つ目の測定対象物の
像におけるエツジ部のような特徴部分に関する情報を用
いて、２つ目の測定対象物のエツジ部のような特徴部分
を自動的に測定する場合に、２つ目の測定対象物の姿勢
や、］゛ＶカＶカメうな検出部の対物レンズの倍率の変
化に影響されることなく、２つ目の測定対象物の特徴部
分の位置を測定することができる位置測定装置を提供す
ることを目的とする。

［発明の要旨］ この発明は特許請求の範囲に記載の位置測定装置を要旨
としている。

［課題を解決するための手段］ 検出部３は、第１の測定対象物Ｍあるいは第２の測定対
象物Ｍを検出する。

倍率検出部７は、検出部３が第１あるいは第２の測定対
象物Ｍを検出するときの倍率を検出する。

駆動系１は第１の測定対象物Ｍを配置する。

この駆動系１は、第１．の測定対象物Ｍの特徴点検出位
置Ｄ１を含む部分を検出部３の視野Ｖに入れるために、
第１の測定対象物Ｍを検出部３に対して相対的に移動す
る。

表示部１１は、検出部３の検出した第１の測定対象物Ｍ
の特徴点検出位置Ｄ１を含む像１１あるいは第２の測定
対象物Ｍの特徴点検出位置Ｄ１を含む像Ｉを表示する。

表示位置指示部５は、表示部１１に表示される第１の測
定対象物Ｍの像Ｉにおいて測定開始位置ＳＩと測定終了
位置ＦＩを指示する。

特徴点検出部６は、測定開始位置ｓ１と測定終了位置Ｆ
１の間で第１の測定対象物Ｍの特徴点検出位置Ｄ１−を
検出する。

制御部４は、倍率検出部７から得られる検出部３の倍率
を考慮し、駆動系１に与られる第１の測定対象物Ｍの検
出部３に対する相対的な移動位置と、特徴点検出位置Ｄ
１の検出にかかわる測定情報とを、第１の測定対象物Ｍ
に定めた基準座標系（ｘ、ｙ）の座標値に変換して記憶
する。

この制御部４は、第１の測定対象物Ｍに代えて駆動系１
に配置された第２の測定対象物Ｍの特徴点検出位置Ｄ１
の測定に際して、第２の測定対象物Ｍに関して座標系（
ｘｌ１、ｙ１）を定め、第１の測定対象物Ｍの基準座標
系（ｘ、ｙ）に比較する第２の測定対象物Ｍの配置され
た姿勢を示す座標系（ｘ１、ｙ１）と、倍率検出部７か
ら得られる検出部３の倍率とを考慮して、記憶された移
動位置と、特徴点検出位置Ｄ１の検出にかかわる測定情
報とを用いて表示部１１．における第２の測定対象物Ｍ
の像Ｉにおいて特徴点検出位置ＤＪを表示する構成とな
ることを特徴とする位置測定装置。

［作　用］ 駆動系１に配置された第１．の測定対象物Ｍの姿勢と、
第２の測定対象物Ｍの姿勢とが相違していたり（第２図
−第」１図）、検出部３の倍率が第１の測定対象物Ｍと
第２の測定対象物Ｍの時とで変っている場合に（第１−
２図と第１．３図）、記憶した第１の測定対象物Ｍの像
Ｉにおける特徴点検出位置Ｄ１の検出にかかわる測定情
報と、駆動系１により与られる第１の測定対象物Ｍの検
出部３に対する相対的な移動位置と、を用いて、第２の
測定対象物Ｍの特徴点検出位置Ｄ１を測定する。

測定情報 この場合の像Ｉについて測定情報とは、たとえば次のよ
うな事項である。

■第１の測定対象物Ｍの特徴点検出位置Ｄ■この特徴点
検出位置Ｄ　ｉと測定開始位置Ｓ１の位置差（座標差）
（ｌＤｌｓｌ、１）■特徴点検出位置Ｄ１と測定終了位
置Ｆｌとの位置差（座標差）（ＩＤＩ−Ｆｉ１）■測定
開始位置Ｓ１と測定終了位置Ｆ１で表される測定範囲（
ＳＩ−Ｆ１） ［実　施　例］ 第１図に示す位置測定装置を説明する。

まず駆動系１のステージ２は、測定対象物Ｍを載ぜてＸ
方向とＹ方向およびＸ方向に移動するためのものである
。ステージ２は、Ｘ駆動部８によりＸ方向に移動可能で
、Ｙ駆動部９によりＹ方向に移動可能で、さらにＺ駆動
部１０によりＸ方向に移動可能である。

ＴＶ左カメラの受光面は下に向いている。

ＴＶ左カメラの対物レンズ２０の倍率は、対物レンズ２
０の倍率検出部７により検出可能である。この倍率は変
更できる。Ｘ駆動部８、Ｙ駆動部９、Ｚ駆動部１０は、
制御部ともいうコンピュータ４の指令により駆動される
。

コンピュータ４には１、表示位置指示部５と画像処即部
ともいう特徴点検出部６が接続されている。特徴点検出
部６にはＴＶ左カメラが接続されていて、測定対象物Ｍ
の像は、特徴点検出部６を介してモニタ１１．に映し出
されるようになっている。なお、モニタ１１はたとえば
ＣＲＴモニタである。また上記Ｘ方向、Ｙ方向、Ｘ方向
は互いに直角を成している。

（Ａ）　　最初に、１一つ目の測定対象物Ｍをステージ
２に載せて、この］一つ目の測定対象物Ｍについての相
対的な移動位置、特徴点検出位置Ｄ１の検出にかかわる
測定情報を記憶す」−４ （１作を説明する。この場合第２図〜第６図および第１
図を参照する。

（Ｂ）　　次に、１つ目の測定対象物Ｍに代えて、自動
的に測定しようとする２つ目の測定対象物Ｍをステージ
２に載せて、この２つ目の測定対象物Ｍについての特徴
点検出位置ＤＩを自動的に検出する測定操作を説明する
。

この場合、第７図〜第１１図および第１図を参照する。

なお、この記憶操作および自動測定操作時には、第１図
の対物レンズ２０の倍率は、ある一定値に固定されてい
る。

（Ａ−１）　　記憶操作 （第２図のステップＬ１〜Ｌ５） まず、第２図と第４図を参照する。第４図はステージ２
に１つ目の測定対象物Ｍを載せた状態を示す平面図であ
る。

ステージ２の」二には長方形の１つ目の測定１．５ 対象物Ｍが載せである。ステージ２の移動方向のＸ方向
とＹ方向が、１つ目の測定対象物Ｍの２つの縁にそれぞ
れ平行になっている。

この測定対象物Ｍは、たとえば第４図のように所定の凹
部５０〜５２を３つ有する板状の加工物である。１つの
凹部５０には切欠部Ｃを有する。測定対象物Ｍを以下ワ
ークＭという。

［ステップＬＬ］ 第４図に示す視野Ｖは１、第１図のＴＶカメラ３の視野
であり破線で示すように長方形である。第４図では、視
野Ｖは１っＬｌのワークＭの外にある。視野Ｖの中心に
は位置読取用の基準点Ｑがある。

まず、ワークＭのあらかじめ定めである基準位置ＰＬ、
Ｐ２およびＰ３．Ｐ４がステージ２上のどこにあるかを
測定する。この測定により１．つ目のワークＭのワーク
基準座標系（ｘ、ｙ）を決定して、１つ目のワークＭの
ステージ２に置かれた姿勢を判断する。つまり、この基
準位置Ｐ１．．Ｐ２．Ｐ３．Ｐ４の位置は、第１図のＸ
駆動部８と、Ｙ駆動部９を作動して、ステージ２を水平
方向に視野■に対して相対的に移動して、順次視野■の
基準点Ｑを各基準位置ｐ　ｌ〜Ｐ４に合せる。これによ
り、Ｘ駆動部８とＹ駆動部９からの信号に基いて第１図
のコンピュータ４が基準位置Ｐ１〜Ｐ４がステージ２上
のどこにあるかを測定をする。

［ステージ２上 このように１つ目のワークＭの姿勢を測定したあとに、
切欠部Ｃの特徴点検出位置Ｄ１（測定点）を含む部分が
ＴＶカメラの視野Ｖに入るように、第５図のようにステ
ージ２を移動する。すなわち、第４図と第５図を比較す
ると、第４図のステージ２を斜め右上に動１．７ かして、第５図のように視野Ｖに特徴点検出位置Ｄ１を
入れ、この時のステージ２の移動位置は、コンピュータ
４に知らされて、移動位置の座標値をワーク基準座標系
（ｘ、ｙ）に変換して記憶する。

［ステップ１７３］ 次に、測定者は、第１図の表示位置指示部５のキーボー
ドを操作してこの視野Ｖにある１つ目のワークＭの像Ｉ
に対して、測定範囲（Ｓ　Ｉ−Ｆ　１）を指定する。こ
こではこの測定範囲とは、第６図の拡大視野ＷＶに示す
測定開始位置Ｓ１から測定終了位置Ｆ１までの範囲をい
う。

ここで、第６図と第３図の流れ図を参照してこの測定範
囲の指定などを説明する。

測定者は、キーボード形の第１図の表示位置指示部５を
操作して、測定開始位置Ｓ１をモニタの拡大視野Ｗ■に
おける所望のところに移動する。そして、測定開始位置
Ｓ１にカーソルに１をおいて測定開始位置Ｓ１を決定す
る。この測定開始位置Ｓ　Ｌが定まったら、測定終了位
置Ｆ１を測定対象物Ｍの像Ｉの適当なところに移してお
く。つまりカーソルに２を移しておく。

測定開始位置Ｓ１のカーソルに１を矢印への方向に直線
状に移動する。この移動により、例えば測定対象物Ｍの
特徴点検出位置Ｄ１を検出する。この特徴点検出位置Ｄ
１は一応予定した測定終了位ｆｆＦ１に至るまでに検出
する。特徴点検出位置Ｄ１を第１図の特徴点検出部６が
検出すると、表示位置指示部５によりマークＭ　１を特
徴点検出位置Ｄ１に配置する。

［ステップＬ４］ 次に第１図の対物レンズ２０の倍率が何倍かを検出部７
によりコンピュータ４に伝える。

１．９ ［ステップＬ５］ モニタ１１における測定した測定範囲の測定開始位置Ｓ
１、測定終了位置Ｆ１を特徴点検出位置Ｄ１を用いて定
める。すなわち、特徴点検出位置Ｄ　１と測定開始位置
Ｓ１との座標差を表すようにモニタ１１の視野Ｖの画素
数を数えることにより、視野Ｖにおける測定開始位置Ｓ
１を求めてワーク基準座標系（ｘ。

ｙ）に変換する。一方、求めた座標差を特徴点検出位置
Ｄ１に加えることにより測定終了位置Ｆ　］、を求めて
ワーク基準座標系（ｘ、ｙ）に変換する。

つまり、特徴点検出位置Ｄ１の検出にかかわる測定情報
である、測定範囲、測定開始位置Ｓ１、測定終了位置Ｆ
１、特徴点検出位置Ｄ１、さらに好ましくは、特徴点検
出位置Ｄ１と測定開始位置Ｓ１．の位置差（ＩＤＩ−８
Ｉｔ）や、特徴点検出位置Ｄ１と測定終了位置Ｆ１の位
置差（ＩＤＩ−Ｆｌ　１）をもモニタ１１の画素数から
ワーク基準座標系（ｘｌｙ）に変換するのである。この
際ステージ２の移動位置、対物レンズ２０の倍率を考慮
に入れる。つまり、たとえば対物レンズの倍率が大きい
ときは、数えた画素数を所定の値で割り画素数を圧縮す
る。ステージ２の移動位置を考慮するということは、視
野Ｖに特徴点検出位置Ｄ１を入れるために移動した位置
を考慮することである。

以上のことにより、測定情報として、ステージ２（測定
対象物Ｍ）の移動位置、測定範囲（Ｓｌ−Ｆ１）、測定
開始位置Ｓ１、測定終了位置Ｆ１、特徴点検出位置Ｄ１
、位置差（座標差）がワーク基準座標系（ｘ、ｙ）に変
換されてコンピュータ４に記憶される。

このあと、必要に応じて、第４図の凹部５１の特徴点検
出位置Ｄ２や凹部５２の特徴点検出位置Ｄ３なども同様
に求める。このようにして、基準となる１つ目のワーク
Ｗの記憶操作を終る。

（Ａ、−２）　　実際の自動測定操作 （第７図のステップＱ１〜Ｑ６） 第７図〜第１０図を参照する。

前述の１つ目のワークＭをステージ２から取り除いて、
別の同様の２つ目のワークＭをたとえば第８図のように
載せる。このときこの２つ目のワークＭの姿勢は、第４
図のワークＭの姿勢とは明らかに異なって置かれている
。つまり２つ目のワークＭはステージ２に対して傾けて
載せられている。

［ステップＱ１］ 第８図に示すように２つ目のワークＭの基準位置Ｐ１〜
Ｐ４をステップＬ１と同様にして視野■の基準点Ｑを合
せて測定する。この決定する。

第８図のような場合には、ワーク座標系（ｘｌ１、ｙ１
）は第４図のワーク基準座標系（ｘ、ｙ）に比べて傾い
た姿勢になっている。

なお第４図のワーク基準座標系（ｘ、ｙ）はステージ座
標系（ｘ、ｙ）と平行であるものとする。

［ステップＱ２］ ［ステップＬ２］であらかじめ記憶しておいたステージ
２もしくは測定対象物Ｍの移動位置の座標値を、ステー
ジ座標系（ｘ、ｙ）に変換する。その座標にステージ２
を移動する。このステージ２の移動により、第９図のよ
うに切欠部Ｃの特徴点検出位置Ｄ１を含む部分が視野■
の基準点Ｑに位置する。

［ステップＱ３］ ［ステップＬ５］であらかじめ記憶しておいた特徴点検
出位置Ｄ１の検出にかかわる測定情報のうちのたとえば
測定範囲（ＳＬ−Ｆ１）と特徴点検出位置Ｄ１、位置差
（座標差）（ｌ　Ｄｉ−８１１）または（ＩＤＩ−Ｆｉ
ｔ）を、ステージ座標系（ｘ、ｙ）に変換する。

これにより測定範囲３ｌ−Ｆｌが拡大視野ＷＶ中に与え
られる。ただしこの時は傾いたワークＭの姿勢に対応し
て測定範囲Ｓ　１−　Ｆ　１゜が配置されておらず、第
１０図の拡大視野ＷＶの破線で示すように測定範囲は水
平となっている。さらに、記憶しておいた特徴点検出位
置Ｄ１と座標差（位置差）を用いて、（特徴点検出位置
Ｄ　］、−座標差）を測定開始位置Ｓ１とし、 （特徴点検出位置Ｄ　］、十座標差）を測定終了位置Ｆ
１とする。

［ステップＱ４］ 第１図の対物レンズ２０の倍率が何倍かを検出部７によ
りコンピュータ４に伝える。この例では倍率は前述の記
憶時 と同じになっている。

［ステップＱ５］ 測定範囲を示すステップＱ３で求めた測定開始位置Ｓ１
と測定終了位置Ｆ　１．を、傾いたワーク座標系（ｘ１
、ｙ１）、ステージ２の移動位置、対物レンズ２０の倍
率を考慮して（倍率は変えていない）、視野Ｖ上の画素
位置に変換する。これにより第１０図と第１１図に示す
ように測定範囲（ＳＬ−Ｆ１）が像■の傾きに対応する
、あるいは合うように配置される。そしてこの測定開始
位置Ｓ１と測定終了位置Ｆ１の間で特徴点検出位置Ｄ１
を検出する。

［ステップＱ６］ この特徴点検出位置Ｄ１を第１１図のようにワーク座標
系（Ｘｌ１、ｙ１）の座標値に変換して第１図のモニタ
ー１に表示する。この（ステップＬ４） 測定を必要に応じて各凹部５１．５２について行うこと
により自動測定作業を終る。

（Ｂ）　　　（Ａ）の記憶及び測定操作例では、対物レ
ンズ２０の倍率を変えていない。

第１３図で示す自動測定操作例では、対物レンズ２０の
倍率を第１２図で示す記憶操作時の倍率に比べて大きく
している。そして第１２図に示す１つ目のワークＭの姿
勢と第１３図に示す２つ目のワークＭのステージ２に置
かれた姿勢は全く同じであるとする。

ここで、第１２図の１つ目のワークＭの姿勢は、第６図
の１つ目のワークＭの姿勢が同じであり、同じ倍率の対
物レンズ２０で拡大されている。つまり第１２図のワー
クＭと第６図のワークＭの測定条件は同じである。この
ため同じ符号（たとえば８１．Ｆｌ・・・）を付してそ
の説明を省略する。

第１３図のモニタの拡大視野ＷＶでは、その２つ目の測
定対象物Ｍを第１２図に比べて高倍率の対物レンズ２０
で拡大した状態を示している。この場合も第７図の流れ
図のステップＱ４．Ｑ５で示すようにすでに説明した手
順で特に対物レンズの倍率を考慮することにより、第１
，２図の特徴点検出位置Ｄ１に対応する第１３図の特徴
点検出位置Ｄ４を検出できる。

なお、第１３図の拡大視野Ｗｖにおける測定開始位置Ｓ
３、終了位置Ｆ３は、第６図の測定開始位置Ｓ１、終了
位置Ｆ１にそれぞれ対応している。測定開始位置Ｓ３に
はカーソルに７が、測定終了位置Ｆ３にはカーソルに８
が配置され、特徴点検出位置Ｄ４にはマークＭ４が配置
されている。

なお、対物レンズの倍率を変え、しかも１つＬｌのワー
クＭと２つ目のワークＭの姿勢が変っている場合にも第
７図のステップＱ１〜Ｑ６に示すように２つ目のワーク
Ｍの特徴点検出位置を自動測定できる。

自動測定中に、ステージ移動位置やモニタ上の測定開始
位置や測定終了位置をワーク座標系に変換補正している
ため、測定対象物の置かれた姿勢や対物レンズの倍率が
記憶時と異なっていても、正確に測定できる。つまり、
測定対象物に対して、記憶時と同じ方向に同じ測定範囲
で特徴点位置の検出が可能となり、より正確な自動測定
が実現できる。

ところでこの発明は上述の実施例に限定されない。たと
えば、 測定開始位置と測定終了位置間の直線上のデータから特
徴点を検出する場合に限らない。

たとえばエリア指定（長方形、円、扇形形状での範囲指
定）された中で特徴点や特徴形状を測定する場合にも応
用できる。またすでにのべたように測定開始位置と測定
終了位置の両方を測定対象物のワーク基準座標系で記憶
することもできる。

測定開始位置又は測定終了位置のいずれが一方の位置は
、他方の位置から同じ座標系での相対位置として記憶す
ることもできる。

すでにのべたように測定開始位置Ｓ１と測定終了位置Ｆ
１の組合せで記憶せず、特徴点検出位置Ｄ１と測定開始
位置Ｓ１の組合せで記憶することもできる。

モニタに特徴点検出位置Ｄ１の座標表示をＸ１＝・・・
、Ｙ１＝・・・と表示し、特徴点検出位置と測定開始位
置との座標差（位置差）をＸＯ−・・・、ｙＯ＝・・・
と表示する。これらは、測定対象物のワーク基準座標系
での値で表示する。（Ｘ、Ｙ１）は測定者が測定したい
位■ 置そのものの座標を示す。（ｘ、ｙｏ）は、検出範囲で
あり、特徴点検出位置を検出する場合のサーチ量とサー
チ方向を示す。このような表示形式にすると測定者が見
やすい。

［発明の効果］ 以」二説明したように、請求項１の発明によれば、表示
部（モニタ）」二の測定対象物の像に対する特徴点検出
位置の検出にかかわる測定情報は、モニタの画素数を用
いて表すのではなく、最終的に測定対象物の基準座標系
（ｘ、ｙ）での座標差で扱う。モニタ上の測定対象物の
像に対して、あらかじめ測定範囲を記憶したものを自動
測定する場合に、測定しようとする他の測定対象物の姿
勢の倍率の変化に影響されずに正確に測定を再現するこ
とができる。このため測定率を上げることができる。

請求項２の発明によれば、測定対象物を検出する際の倍
率を考慮することにより、第１と第２の測定対象物を倍
率を変えて測定した場合でも正確に第２の測定対象物の
測定を再現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の位置測定装置の実施例を示す図、第
２図は１つ目の測定対象物の測定情報を記憶する操作の
流れ図、第３図は測定範囲で特徴点検出位置を測定する
操作を示す流れ図、第４図〜第６図は１つ目の測定対象
物の測定情報などの記憶操作を説明する図、第７図は２
つ目の測定対象物の特徴点検出位置を自動的に測定する
操作を示す流れ図、第８図〜第１１図は自動的に測定す
る操作を説明する図、第１２図は１つ目の測定対象物の
測定情報を記憶する操作を示す図、第１３図は対物レン
ズの倍率を変えた場合に２つ目の測定対象物の特徴点検
出位置を自動的に測定する操作を示す図である。 Ｍ・・・・・・・・・・・・・・・測定対象物（ワーク
）Ｃ・・・・・・・・・・・・・・・＝切欠部Ｄｌ・・
・・・・・・・・・・特徴点検出位置Ｓ１・・・・・・
・・・・・・測定開始位置Ｆ１・・・・・・・・・・・
・測定終了位置８ｌ−Ｆｌ・・・測定範囲 ■・・・・・・・・・・・・・・・ＴＶカメラの視野Ｗ
ｖ・・・・・・・・・・・・拡大視野Ｋ・・・・・・・
・・・・・・・・カーソルト・・・・・・・・・・・・
・・駆動系２・・・・・・・・・・・・・・・ステージ
３・・・・・・・・・・・・・・・ＴＶカメラ（検出部
）４・・・・・・・・・・・・・・・コンピュータ（制
御部）５・・・・・・・・・・・・・・・表示位置指示
部６・・・・・・・・・・・・・・・特徴点検出部（画
像処理部）７・・・・・・・・・・・・・・・対物レン
ズの倍率検出部８・・・・・・・・・・・・・・・Ｘ駆
動部９・・・・・・・・・・・・・・・Ｙ駆動部１０・
・・・・・・・・・・・Ｚ駆動部１１・・・・・・・・
・・・・モニタ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、第１の測定対象物（Ｍ）を検出部（３）でとらえて
   表示部（１１）にその像（Ｉ）を表示するために第１の
   測定対象物（Ｍ）を検出部（３）に対して相対的に所定
   の移動位置に移動し、像（Ｉ）に測定開始位置（Ｓ１）
   と測定終了位置（Ｆ１）を指示して第１の測定対象物（
   Ｍ）の特徴点検出位置（Ｄ１）を検出して、第１の測定
   対象物（Ｍ）の移動位置と、特徴点検出位置（Ｄ１）の
   検出にかかわる測定情報を記憶し、この記憶ずみの第１
   の測定対象物（Ｍ）の移動位置と、特徴点検出位置（Ｄ
   １）の検出にかかわる測定情報とを用いて、第２の測定
   対象物（Ｍ）の特徴点検出位置（ＤＩ）を測定する位置
   測定装置であり、 （ａ）第１の測定対象物（Ｍ）あるいは第 ２の測定対象物（Ｍ）を検出するための検出部（３）と
   、 （ｂ）第１の測定対象物（Ｍ）を配置して、第１の測定
   対象物（Ｍ）の特徴点検出位置 （Ｄ１）を含む部分を検出部（３）の視野 （Ｖ）に入れるために、第１の測定対象物 （Ｍ）を検出部（３）に対して相対的に移動する駆動系
   （１）と、 （ｃ）検出部（３）の検出した第１の測定 対象物（Ｍ）の特徴点検出位置（Ｄ１）を含む像（Ｉ）
   あるいは第２の測定対象物（Ｍ）の特徴点検出位置（Ｄ
   １）を含む像（Ｉ）を表示するための表示部（１１）と
   、 （ｄ）表示部（１１）に表示される第１の 測定対象物（Ｍ）の像（Ｉ）に対して、測定開始位置（
   Ｓ１）と測定終了位置（Ｆ１）を指示する表示位置指示
   部（５）と、 （ｅ）測定開始位置（Ｓ１）と測定終了位 置（Ｆ１）の間で、第１の測定対象物（Ｍ）の特徴点検
   出位置（Ｄ１）を検出するための特徴点検出部（６）と
   、 （ｆ）駆動系（１）により与られる第１の 測定対象物（Ｍ）の検出部（３）に対する相対的な移動
   位置と、特徴点検出位置（Ｄ１）の検出にかかわる測定
   情報を第１の測定対象物（Ｍ）に関して定めた基準座標
   系（ｘ、ｙ）の座標値に変換して記憶する制御部（４）
   とを備え、 （ｇ）この制御部（４）は、第１の測定対 象物（Ｍ）に代えて駆動系（１）に配置された第２の測
   定対象物（Ｍ）の特徴点検出位置（Ｄ１）の測定に際し
   て、第２の測定対象物（Ｍ）に関して、座標系（ｘ＿１
   、ｙ＿１）を定め、第１の測定対象物（Ｍ）の基準座標
   系 （ｘ、ｙ）に比較して第２の測定対象物（Ｍ）の配置さ
   れた姿勢を示す座標系（ｘ＿１、ｙ＿１）と、記憶され
   た移動位置と、特徴点検出位置（Ｄ１）の検出にかかわ
   る測定情報とを用いて表示部（１１）における第２の測
   定対象物（Ｍ）の像（Ｉ）において特徴点検出位置 （Ｄ１）を表示する構成となることを特徴とする位置測
   定装置。 ２、請求項第１項の位置測定装置において、検出部（３
   ）が第１又は第２の測定対象物 （Ｍ）を検出するときの倍率を検出する倍率検出部（４
   ）を備え、 上記制御部は、該倍率検出部（４）で得ら れる検出部（３）の倍率を考慮し、測定情報を第１の測
   定対象物（Ｍ）に関して定めた座標系（ｘ、ｙ）の座標
   地に変化して記憶するように構成され、 上記表示部（１１）は、該倍率検出部（４）で得られる
   検出部（３）の倍率を考慮し、第２の測定対象物（Ｍ）
   の像（Ｉ）において特徴点検出位置を表示するように構
   成されていることを特徴とする位置測定装置。