JP3853658B2 - 画像測定装置及び画像測定用プログラム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、測定顕微鏡や非接触三次元測定機等の画像測定装置に関し、特に被測定対象のアライメント調整機能を備えた画像測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の三次元測定機や顕微鏡・投影機では、たとえパートプログラム等による自動測定機能が付加されていても、測定開始前においては、被測定対象(ワーク)を所定の位置にアライメントし、これによりワーク座標系と設計座標系を一致させる必要がある。
また、XY方向(水平面方向)のみでなく高さ方向(Z方向)に関しても厳しい精度が要求されるものを被測定対象とする場合には、焦点合わせ機構により高さ基準面を厳密に決定してから測定を開始する必要がある。
この作業は、モニタ画面上に表示されたワーク像に基づいてオペレータが判断してステージを移動させるなど、マニュアル的な調整を行わなければならない。
【0003】
このようなステージ移動を行う場合、従来は、例えば「XY原点にカメラを移動させて下さい」などの文字表示がなされるのみであった。このため、オペレータはどの点が原点かなのかが分かり難く、CAD図面を照合しながら原点位置を探すなどの作業を行う必要があり、アライメントには多大の労力を要していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、ステージ移動操作を簡単にして測定作業の効率を大幅に向上させることができる画像測定装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本出願の第1の発明に係る画像測定装置は、被測定対象を載置するステージと、被測定対象を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像された前記被測定対象を表示する測定表示部と、前記撮像手段を前記ステージに対し相対的に移動させる移動手段と、前記撮像手段を移動させるべき移動目標の位置を記憶する移動目標位置記憶手段と、前記被測定対象の全体像を表示するとともに前記移動目標の位置を特に強調して表示するナビゲート表示部と、前記ステージに対する前記撮像手段の位置を検出して位置情報を出力する位置検出手段と、前記移動目標記憶手段の記憶内容と前記位置検出手段の検出結果とに基づき前記移動手段を制御させる自動制御手段と、前記移動手段を手動で調整するための手動調整手段とを備えたことを特徴とする。
【0006】
この第1の発明に係る画像測定装置によれば、前記被測定対象の全体像が表示されるとともに前記移動目標の位置が特に強調表示され、移動目標記憶手段の記憶内容と位置検出手段の検出結果に基づき移動手段が自動制御手段により制御される。また、被測定対象の加工誤差等のために自動制御手段のみによっては調整しきれなかったズレを、測定表示部を見ながら手動調整手段により調整する。すなわち、移動目標への概略の移動は自動制御手段等によりなされ、最終的な微細調整は手動調整手段により行う。このとき、ナビゲート表示部により、移動目標の位置を確認することができるので、調整が非常に容易になる。
【0007】
前記第1の発明において、前記ナビゲート表示手段が前記被測定対象の全体像を表示する低倍率表示部と前記移動目標とその周辺の画像を前記低倍率表示部よりも大なる倍率で表示する中倍率表示部とからなるようにすることもできる。
また、前記第1の発明において、前記移動目標への移動命令を入力する移動命令入力部を更に備え、前記自動制御手段は、前記移動命令の入力を待って前記ナビゲート表示部に表示中の前記移動目標への移動の制御を開始するように構成することもできる。このようにすることにより、オペレータは自動制御手段により移動された位置がどの辺りなのかを確認することができ、調整作業に役立つ情報が提供される。また、前記ナビゲート表示部は、前記移動目標とその周辺を表示するものであり、かつ前記移動目標を他と区別できる表示形態で表示するようにすることもできる。
【0008】
また、前記第1の発明において、前記撮像された画像の特定の位置を測定する特定位置測定手段と、前記特定位置測定手段による特定位置と前記移動目標記憶手段に記憶された位置との差に基づき前記位置検出手段からの前記位置情報を表現する座標系を変更する座標系変更手段とを更に、備えるようにすることもできる。この場合、前記手動調整手段による調整後、前記特定位置測定手段により特定位置が測定される。ここにいう特定位置とは、重心検出、エッジ検出により求めれらる画像の中心位置、重心位置などを含む。そして、前記特定位置測定手段による特定位置と前記移動目標記憶手段に記憶された位置との差に基づき、前記座標系が変更され、これによりアライメントが完了する。
【0009】
また、前記移動目標位置記憶手段はアライメント基準点を記憶するものとする場合、前記座標系変更手段は、複数の前記アライメント基準点のうち最初に測定した前記アライメント基準点を仮の原点とするように前記変更を行った後、他のアライメント基準点を測定し、この結果に基づいて前記座標の原点及び座標軸の方向を変更するようにしてもよい。
【0010】
さらに、前記被測定対象の高さを測定する高さ測定手段と、前記高さ測定手段の測定結果に基づき前記被測定対象の傾きを演算する傾き演算手段とを備え、前記座標系変更手段はこの傾き演算手段の演算結果に基づいて前記変更を行うようにしてもよい。
【0011】
本発明に係る第2の画像測定用プログラムは、被測定対象を載置するステージと、前記被測定対象を撮像する撮像手段と、該撮像手段で撮像された前記被測定対象の画像を表示する表示手段と、前記撮像手段を移動させるべき移動目標の位置を記憶する移動目標位置記憶手段と、前記撮像手段を前記ステージに対し相対的に移動させる移動手段と、前記ステージに対する前記撮像手段の位置を検出して位置情報を出力する位置検出手段とを備えた画像測定装置に画像測定を実行させるための画像測定用プログラムにおいて、
前記撮像手段を移動させるべき移動目標の位置のデータを取得する移動目標位置データ取得ステップと、
前記被測定対象の全体像を表示するとともに、前記移動目標の位置を特に強調して表示する表示ステップと、
前記位置検出手段に位置検出を行わせる位置検出ステップと、
前記前記移動目標の位置データと前記位置検出ステップの検出結果とに基づき前記移動手段を制御させる制御ステップと、
前記移動手段を手動で調整させる手動調整ステップとを実行させるように構成されたことを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施例について説明する。図1は、本発明の実施の形態に係る画像測定システムの全体構成を示す斜視図である。
[全体構成]
このシステムは、非接触型の画像測定機1と、この画像測定機1を駆動制御すると共に、必要なデータ処理を実行するコンピュータシステム2と、計測結果をプリントアウトするプリンタ3とにより構成されている。
【0013】
画像測定機1は、次のように構成されている。即ち、架台11上には、被測定対象(以下、ワークと呼ぶ)12を載置する測定テーブル13が装着されており、この測定テーブル13は、図示しないY軸駆動機構によってY軸方向に駆動される。架台11の両側縁中央部には上方に延びる支持アーム14,15が固定されており、この支持アーム14、15の両上端部を連結するようにX軸ガイド16が固定されている。このX軸ガイド16には、撮像ユニット17が支持されている。撮像ユニット17は、図示しないX軸駆動機構によってX軸ガイド16に沿って駆動される。撮像ユニット17の下端部には、CCDカメラ18が測定テーブル13と対向するように装着されている。また、撮像ユニット17の内部には、図示しない照明装置及びフォーカシング機構の他、CCDカメラ18のZ軸方向の位置を移動させるZ軸駆動機構が内蔵されている。また、撮像ユニット17およびステージ13には、図1において図示を略すX軸エンコーダ42A、Y軸エンコーダ42B、Z軸エンコーダ42Cが配置され、XYZ3軸方向の移動量を検出できるようになっている。
【0014】
コンピュータシステム2は、コンピュータ本体21、キーボード22、ジョイスティックボックス(以下、J/Sと呼ぶ)23、マウス24及びCRT画面25を備えて構成されている。
[コンピュータ21の構成]
コンピュータ本体21は、例えば図2に示すように構成されている。即ち、CCDカメラ18から入力される画像情報は、インタフェース(以下、I/Fと呼ぶ)31を介して画像メモリ32に格納される。
【0015】
また、ワーク12のCADデータは、図示しないCADシステムにより作成され、I/F33を介してCPU35に入力され、CPU35でビットマップの画像情報に展開された後、画像メモリ32に格納される。CADデータは、一旦ハードディスクドライブ(以下、HDDと呼ぶ)38に格納され、このHDD38から出力されたCADデータは、同様にCPU35でビットマップの画像情報に展開された後、画像メモリ32に格納される。画像メモリ32に格納された画像情報は、表示制御部36を介して後述するようにCRT画面25に表示される。
【0016】
また、撮像ユニット17及びステージ13の移動量を検出するために画像測定機1に設置されたX軸エンコーダ42A,Y軸エンコーダ42B、Z軸エンコーダ42Cからの出力は、I/F42A´、42B´、42C´、CPU35を介して表示制御部36へ送られXYZ座標値がCRT25に表示される。
一方、キーボード22、J/S23、及びマウス24から入力されるコード情報及び位置情報は、I/F34を介してCPU35に入力される。CPU35は、ROM37に格納されたマイクロプログラム及びHDD38からI/F39を介してRAM40に格納された測定実行プログラム、測定結果表示プログラム等に従って、測定実行処理及び測定結果の表示処理等を実行する。CPU35は、測定実行処理によって、I/F41を介して画像測定機1を制御する。
【0017】
HDD38は、各種プログラムを格納する他、ステージを移動させる目標位置のデータを、被測定対象の種類に応じて記憶する。ここにいう目標位置とは、アライメント調整の際のアライメント基準位置や、パートプログラムに測定位置として記憶された位置などをいう。この目標位置データは測定実行プログラムが実行される際に適宜読み出され、この読出し値及びとエンコーダ42A−42Cの出力に応じた駆動信号がI/F43を介してXYZ駆動機構(不図示)に送信され、XYZ駆動機構が制御され、目標位置への移動がなされる。また、HDD38には、エンコーダ42A−Cからの検出信号をCADデータに基づく座標系に沿った形式の座標系データとして提供するための基準座標系設定用ファイルPCSが記憶され、適宜読み出される。このファイルの内容については後述する。RAM40は、各種プログラムを格納する他、各種処理のワーク領域を提供する。
【0018】
[表示画面例]
図3は、この画像測定装置の測定時のCRT25の表示画面を示す図である。表示画面は、ビデオウインドウ51、ナビゲートウインドウ52Aと52B、カウンタウインドウ53、ファンクションウインドウ54、照明・ステージウインドウ55から構成されている。
ビデオウインドウ51には、CCDカメラ16で撮像される画像が表示される。ナビゲートウインドウ52は、HDD38に記憶されたCADデータを表示する部分であり、一部分を拡大表示するナビゲートウインドウ52Aと、ワーク12の全体像、若しくはそれに準じたより広い範囲を表示するナビゲートウインドウ52Bとを備えている。これにより、オペレータは、これから測定しようとする部分や、現在ビデオウインドウに移っている部分が、ワーク12のどの位置にあるのかを把握することができる。
【0019】
ナビゲートウインドウ52Aは、ワーク12上の位置のうち、特に移動目標となる位置を拡大して表示するウインドウである。その拡大倍率は、ビデオウインドウ51におけるそれよりも低くナビゲートウインドウ52Bのそれよりも高くされ、これにより移動目標となる位置がワーク12全体におけるどの部分なのかが分かるようになっている。移動目標となる位置は、例えばアライメントを実行する場合のアライメント基準位置となるピンP1(以下、アライメントピンP1というように表現する)などである。また、移動目標となるアライメントピンP1の位置が他のピンと区別するために黒塗りで表示されるとともに、ウインドウ右上に「測定箇所:アライメントピンP1」というような名称の表示がなされる。
【0020】
ナビゲートウインドウ52Bには、ワーク12の全体像が表示される。例えば、アライメント基準位置としてアライメントピンP1−4が設定されている場合には、その位置に該当する位置が他のピンと区別するために黒塗りで表示される。
カウンタウインドウ53には、X軸エンコーダ42A、Y軸エンコーダ42B、Z軸エンコーダ42Cからの出力が、前述の基準座標系設定用ファイルPCSにより設定されたプログラムに基づき演算されるCCDカメラ16の撮像範囲の中心座標(X,Y,Z)が表示される。
ファンクションウインドウ54には、各種測定処理及び測定値算出するためのマイクロプログラムを起動するアイコンが配置されている。
【0021】
照明・ステージウインドウ55は、照明装置17やステージに関する各種設定操作のためのウインドウである。測定ウインドウ56は、測定手順を実行、進行させるためのアイコン群を表示するウインドウであり、移動目標への移動を指示する「移動」アイコン、ビデオウインドウ51のレチクル中心に表示された画像の測定を指示する「測定」アイコン、測定済の移動目標の測定手順に戻るための「前へ」アイコン、次の移動目標の測定手順に移る場合の「次へ」アイコンなどを含んでいる。
【0022】
なお、本実施の形態においては、ワーク12を図4に示すような、水平方向(XY方向)の位置だけでなく、高さ方向(Z方向)の寸法も厳密な寸法精度が要求される複数のピン61であるとする。4つの角にあるピンが、アライメント基準点としてのアライメントピンP1−P4であるとする。
【0023】
次に、本実施の形態の画像測定システムにおけるワーク12(複数のピン61)のアライメント調整を図5に示すフローチャートを用いて説明する。
本実施の形態のアライメント調整ステップは、図5(a)に示すように、仮原点設定(S1)、高さ基準面設定(S2)、原点決定及び座標系の調整(S3)の3つのステップからなり、このアライメント調整ステップの完了後測定ステップに移行するようにされている。測定ステップでの実行内容は従来の画像測定機と同一であるので、説明は省略する。
【0024】
S1−3のそれぞれの効果を図6に基づいて説明する。図6中、同図(a)はCADデータに基づく設計座標系Cdとワーク12の設計データ12´との関係を示し、同図(b)はアライメント調整前のワーク座標系Cwとワーク12の位置関係を示している。ワーク12を設置する際は、設置冶具等を使用することによりこの設計データの位置に合致するようにされるが、実際には、同図(b)に示すように設計座標系Cdで想定される位置(12´の位置)とは若干ズレた位置に配置されることになる。また、ステージ13自体の傾きやワーク12の製造誤差などにより、設計データ12´よりも多少傾いて配置されることが生じ得る。また、加工誤差等により傾きが生じることもある。
【0025】
このようなズレや傾きを修正するため、S1において1つのアライメント基準位置を測定し、この測定した点をワーク座標系の仮の原点(以下、仮原点という)として設定する(図6(c))。図4に示すような複数のピン61を測定する場合には、格子上に配列されたピン61の4角のピンP1−P4をアライメント基準位置として設定し、そのうちの1つを測定して仮原点とすることができる。そして、S2において高さ基準面を測定し、この高さ基準面にあわせて座標系を変換する(図6(d))。すなわち、アライメント基準位置と同様にHDD38に設定された複数の高さ基準位置を測定し、その結果から高さ基準面を算出する。
さらに、アライメントピンP1−P4を測定して設計座標系との誤差に基づき、誤差が最小になるように座標系を更に合わせ込む。これにより、図6(e)に示すように、図(a)に示す設計座標系と合致した、すなわち、ワーク12の設置誤差の影響が除かれた座標系Cw´を得る。これにより、アライメントが完了する。
【0026】
仮原点の設定(S1)の詳細な手順を図5(b)に示す。
まず、ナビゲートウインドウ52Bにピン61の全体像をグラフィック表示する(S1−1)。前述のように、移動目標となるアライメント基準位置としてのアライメントピンP1−4は他のピンと区別するために黒塗りで表示されている。次に、仮座標系を設定する(S1−2)。この設定は、基準座標系設定用ファイルPCSをHDD38から読み込むことにより行う。この基準座標系設定用ファイルPCSは、測定テーブル13と撮像ユニット17の移動により変化するエンコーダ42A−42Cの出力値を、直交座標系表現(図6の座標系Cw等)に変換するためのファイルである。
【0027】
このファイルの読み込みの際の標準設定は、測定テーブル13と撮像ユニット17の可動範囲の中心を原点とし、XYZ駆動系による駆動方向をそれぞれX軸、Y軸、Z軸とした座標系とされている。この基準座標系設定用ファイルPCSは、後にS1、S2での仮原点の設定、高さ基準面の設定がされるときに書き換えられ、さらにステップ3で座標系が最終的に決定されたときにさらに書き換えられる。なお、測定の終了後リセット動作がなされると、基準座標系設定用ファイルは元通りの標準設定に戻される。
【0028】
仮座標系の設定が終わると、次にナビゲートウインドウ52AにアライメントピンP1付近のグラフィック画像が中倍率で表示される(S1−3)。画面の表示は、図7の(a)のような状態となる。すなわち、ナビゲートウインドウ52Aでは、アライメントピンP1に該当する部分の画像は黒塗り表示されるとともに、ウインドウ52Aの右上には、この黒塗り部分の名称が「測定箇所:アライメントピンP1」のように表示される。ビデオウインドウ51の表示は、CCDカメラ18が初期位置から動いていないため、アライメントピンP1の位置とは無関係な位置が映し出されている。
【0029】
オペレータはこのナビゲートウインドウ52Aの表示を見て移動目標の位置等を確認し、「移動」アイコンをマウス24でクリックする(S1−4)。
【0030】
「移動」アイコンがクリックされると、CPU35は移動目標としてのアライメントピンP1の座標値と、現在のCCDカメラ18の中心座標とを比較して駆動信号をXYZ駆動機構に向けて出力する。これにより、CCDカメラ18は、Z方向の最上点に上昇後、XY方向に駆動され、アライメントピンP1付近に移動する(S1−5)。
【0031】
すなわち、図7(b)に示すように、ビデオウインドウ51にはアライメントピンP1の画像が映し出されるが、大抵の場合、アライメントピンP1はビデオウインドウ51の中心に一致せず、或る程度ビデオウインドウ51のレチクル中心から外れた位置となる。これは、ワーク12を設置する際の設置誤差(水平方向のずれ、傾き)や、ワーク12自体の設計データからの誤差などによるものである。
【0032】
CRT25の画面上には、アライメントピンP1が画面中心に来るようにジョイスティック23による調整を行うよう促す表示がなされる。オペレータは、この位置のずれをビデオウインドウ52を見ながらアライメントピンP1がレチクル中心に一致するようにジョイスティック23を操作し、CRT25の表示画面を図7(c)に示すような状態にする(S1−6)。一致させることができたら、マウス24により「測定」アイコンをクリックする(S1−7)。「測定」アイコンがクリックされると、その位置において、CCDカメラ18のオートフォーカス機能により、アライメントピンP1の高さ測定が実行されるとともに、アライメントピンP1の画像の重心位置が検出され、この重心位置が原点位置となるよう、基準座標設定ファイルPCSが書き換えられる(S1−8)。
【0033】
すなわち、座標原点が測定テーブル13と撮像ユニット17の可動範囲中心から、「測定」アイコンがクリックされた時点でのCCD18の中心座標位置へ移動し、この位置が仮原点とされる。
【0034】
仮原点が設定されると、次に高さ基準面の測定に移行する(S2)。すなわち、ワーク12の傾きを検出し、この傾きの方向及び量に合致するようにワーク座標系Cwを調整するため、複数(3点以上。以下の説明では6点とする)の高さ基準位置を測定し、これによりワーク12の傾きを測定する。
この高さ基準面の測定の具体的な手順を、図8に示すフローチャートを用いて説明する。
【0035】
仮原点の設定完了後、測定ウインドウ56の「次へ」アイコンをクリックすると、高さ基準面の測定に移行する。ナビゲートウインドウ52Aの右上に「測定箇所:高さ基準位置H1」との表示がなさるとともに、ナビゲートウインドウ52Aには、高さ基準位置H1に該当する画像がグラフィック表示される(S2−1)。ステップ1におけるアライメントピンP1と同様、ナビゲートウインドウ52A及び52Bにおいては、高さ基準位置H1−H6は他の点と区別するために黒塗りで表示される。
【0036】
測定ウインドウ56の「移動」アイコンがクリックされると(S2−2)、CPU35は移動目標としての高さ基準位置のXY座標値と、現在のCCDカメラ18が存する位置のXY座標とを比較して駆動信号をXYZ駆動機構に向けて出力する。Z方向に関しては、CCDカメラ18は可動範囲の最上位置に移動する。これにより、CCDカメラ18が高さ基準位置1付近に移動される(S2-3)。ステップ1の場合と同様、大抵の場合、S3−5のCCDカメラの動作だけでは、高さ基準位置1はビデオウインドウ51の中心に一致せず、或る程度ビデオウインドウ51のレチクル中心とはずれた位置への移動となる。
【0037】
オペレータは、この位置のずれをビデオウインドウ52を見ながら高さ基準位置H1がレチクル中心に一致するようにジョイスティック23を操作する(S2−4)。一致させることができたら、マウス24により「測定」アイコンをクリックする(S2-5)。「測定」アイコンがクリックされると、その位置においてCCDカメラのオートフォーカス機能により高さ測定が実行される(S2−6)。
同様にして、高さ基準位置H2〜H6の測定も実行する。この際、高さ基準位置H2〜H6への移動の際には、高さ基準位置1でのオートフォーカスの結果に基づいてZ方向の移動をすることにより、より迅速な移動動作を行うことができる。
【0038】
全ての高さ基準位置の測定が終了すると(S2−7)、この高さ基準位置H1−6の測定結果に基づき、これらの測定結果に最も適合する面を最小二乗法に基づき演算し、この演算結果を高さ基準面とする(S2−8)。この高さ基準面に基づき、基準座標系設定ファイルPCSが書き換えられる。
【0039】
高さ基準面の測定が完了すると、次に原点の決定及び座標系の決定が行われる(S3)。このS3では、S1で仮原点位置として測定したアライメントピンP1の位置データはそのまま使用し、残りのアライメントピンP2−4を測定して、この結果に基づき座標系の原点位置及び座標軸の方向の決定を行う。このS3の具体的な手順を図9に基づき説明する。
【0040】
まず、ナビゲートウインドウ52Aに、アライメントピンP2付近のグラフィック画像が中倍率で表示される(S3−1)。アライメントピンP2に該当する部分の画像は黒塗り表示されるとともに、ウインドウ52Aの右上には、この黒塗り部分の名称が「測定箇所:アライメントピンP2」のように表示される。オペレータはこの表示を見て移動目標の位置等を確認し、「移動」アイコンをマウス24でクリックする(S3−2)。
【0041】
「移動」アイコンがクリックされると、CPU35は移動目標としてのアライメントピンP2の座標値と、現在のCCDカメラ18の中心座標とを比較して駆動信号をXYZ駆動機構に向けて出力する。これにより、CCDカメラ18がアライメントピンP2付近に移動される(S3−3)。S1の場合と同様、大抵の場合、アライメントピンP2はビデオウインドウ51の中心に一致せず、或る程度ビデオウインドウ51のレチクル中心とはずれた位置への移動となる。
【0042】
オペレータは、この位置のずれをビデオウインドウ52を見ながらアライメントピンP2がレチクル中心に一致するようにジョイスティック23を操作する(S3−4)。一致させることができたら、マウス24により「測定」アイコンをクリックする(S3−5)。
「測定」アイコンがクリックされると、その位置においてCCDカメラ18のオートフォーカス機能による高さ測定が実行されるとともに、画像の重心位置が検出され、XY方向の位置測定がなされる(S3−6)。
【0043】
同様にして、アライメントピンP3,P4も測定する。
こうして全てのアライメントピンP1−4のXYZ方向のデータが得られると(S3−7)、この重心位置と設計座標系に基づく設計値との間の誤差が最小になるように、XY原点と座標軸方向を決定する(S3−8)。誤差が最小となる位置は、いわゆる最小二乗法により求めることができる。
以上のようにして、座標系の調整が完了する。以後、公知の画像測定機と同様の手法により、ワーク12の測定を実行する。
【0044】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、上記実施の形態では、移動目標を特に示すためにナビゲートウインドウ52Aを設けたが、ワーク12の全体像を示すナビゲートウインドウ52Bのみを残してナビゲートウインドウ52Aは省略するとともに、ウインドウ52Bにおいて、次の測定点を目立つ形(例えば図10に示すように矢印
で示すなど)で表示するようにしてもよい。
【0045】
【発明の効果】
以上述べたようにこの発明によれば、ワークのアライメント調整を簡単に行うことができ、測定の効率を大幅に向上させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本実施の形態の画像測定機の外観を示す図である。
【図2】 コンピュータ2の構成を示す図である。
【図3】 CRT25の画面表示の例を示す。
【図4】 被測定対象としての複数のピン61を説明したものである。
【図5】 本実施の形態のアライメント調整の手順を示すフローチャートである。
【図6】 CRTの画面表示の例を示す。
【図7】 図5のフローチャートに示す手順を実施した場合の効果を説明するための概念図である。
【図8】 本実施の形態のアライメント調整の手順を示すフローチャートである。
【図9】 本実施の形態のアライメント調整の手順を示すフローチャートである。
【図10】 本実施の形態の変形例を示す。
【符号の説明】
1・・・画像測定機、2・・・コンピュータシステム、3・・・プリンタ3、11・・・架台12・・・ワーク、13・・・測定テーブル、17・・・撮像ユニット、18・・・CCDカメラ、23・・・ジョイスティックボックス、24・・・マウス、25・・・CRT、31、33、34、43・・・インタフェース、32・・・画像メモリ32、35・・・CPU、36・・・表示制御部、37・・・RAM、38・・・ハードディスクドライブ、40・・・ROM、42・・・エンコーダ、51・・・ビデオウインドウ、52・・・ナビゲートウインドウ、53・・・カウンタウインドウ、54・・・ファンクションウインドウ、55・・・照明・ステージウインドウ
Claims (16)
- 被測定対象を載置するステージと、
被測定対象を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段で撮像された前記被測定対象を表示する測定表示部と、
前記撮像手段を前記ステージに対し相対的に移動させる移動手段と、
前記撮像手段を移動させるべき移動目標の位置を記憶する移動目標位置記憶手段と、
前記被測定対象の全体像を表示するとともに前記移動目標の位置を特に強調して表示するナビゲート表示部と、
前記ステージに対する前記撮像手段の位置を検出して位置情報を出力する位置検出手段と、
前記移動目標記憶手段の記憶内容と前記位置検出手段の検出結果とに基づき前記移動手段を制御させる自動制御手段と、
前記移動手段を手動で調整するための手動調整手段とを備えたことを特徴とする画像測定装置。 - 前記ナビゲート表示部は、前記被測定対象の全体像を表示する低倍率表示部と前記移動目標とその周辺の画像を前記低倍率表示部よりも大なる倍率で表示する中倍率表示部とからなる請求項1に記載の画像測定装置。
- 前記移動目標への移動命令を入力する移動命令入力部を備え、前記自動制御手段は、前記移動命令の入力を待って前記ナビゲート表示部に表示中の前記移動目標への移動の制御を開始するように構成された請求項1に記載の画像測定装置。
- 前記ナビゲート表示部は、前記移動目標を他と区別できる表示形態で表示するようにされた請求項1に記載の画像測定装置。
- 前記移動目標位置記憶手段はアライメント基準点を記憶するものである請求項1に記載の画像測定装置。
- 前記撮像された画像の特定の位置を測定する特定位置測定手段と、
前記特定位置測定手段による特定位置と前記移動目標記憶手段に記憶された位置との差に基づき前記位置検出手段からの前記位置情報を表現する座標系を変更する座標系変更手段とを備えた請求項1に記載の画像測定装置。 - 前記座標系変更手段は、複数の前記アライメント基準点のうち最初に測定した前記アライメント基準点を仮の原点とするように前記変更を行った後、他のアライメント基準点を測定し、この結果に基づいて前記座標の原点及び座標軸の方向を変更する請求項6に記載の画像測定装置。
- 前記被測定対象の高さを測定する高さ測定手段と、前記高さ測定手段の測定結果に基づき前記被測定対象の傾きを演算する傾き演算手段とを備え、前記座標系変更手段はこの傾き演算手段の演算結果に基づいて前記変更を行う請求項6に記載の画像測定装置。
- 被測定対象を載置するステージと、前記被測定対象を撮像する撮像手段と、該撮像手段で撮像された前記被測定対象の画像を表示する表示手段と、前記撮像手段を移動させるべき移動目標の位置を記憶する移動目標位置記憶手段と、前記撮像手段を前記ステージに対し相対的に移動させる移動手段と、前記ステージに対する前記撮像手段の位置を検出して位置情報を出力する位置検出手段とを備えた画像測定装置に画像測定を実行させるための画像測定用プログラムにおいて、
前記撮像手段を移動させるべき移動目標の位置のデータを取得する移動目標位置データ取得ステップと、
前記被測定対象の全体像を表示するとともに、前記移動目標の位置を特に強調して表示する表示ステップと、
前記位置検出手段に位置検出を行わせる位置検出ステップと、
前記前記移動目標の位置データと前記位置検出ステップの検出結果とに基づき前記移動手段を制御させる制御ステップと、
前記移動手段を手動で調整させる手動調整ステップとを実行させるように構成されたことを特徴とする画像測定用プログラム。 - 前記表示ステップは、前記移動目標とその周辺の画像を別個に拡大表示する請求項9に記載の画像測定用プログラム。
- 前記移動目標への移動命令を入力する移動命令入力ステップとを実行させるように構成され、前記制御ステップは、前記移動命令の入力を待って前記表示ステップで表示された前記移動目標への移動の制御を開始するようにされた請求項9に記載の画像測定用プログラム。
- 前記表示ステップは、前記移動目標を他と区別できる表示形態で表示するようにされた請求項9に記載の画像測定用プログラム。
- 前記移動目標位置データ取得ステップではアライメント基準点の位置データを取得するようにされた請求項9に記載の画像測定用プログラム。
- 前記撮像された画像の特定の位置を測定する特定位置測定手段と、
前記手動調整ステップによる手動調整後に前記特定位置測定手段による測定を指示する測定指示ステップと、
前記特定位置測定手段による特定位置と前記移動目標位置データ取得ステップで取得された位置との差に基づき前記位置検出ステップでの位置検出結果を表現する座標系を変更する座標系変更ステップとを備えた請求項9に記載の画像測定用プログラム。 - 前記座標系変更ステップは、複数の前記アライメント基準点のうち最初に測定した前記アライメント基準点を仮の原点として設定した後、他のアライメント基準点を測定し、この結果に基づいて原点及び座標軸の方向を変更する請求項14に記載の画像測定用プログラム。
- 前記被測定対象の高さを測定する高さ測定ステップと、前記高さ測定ステップの測定結果に基づき前記被測定対象の傾きを演算する傾き演算ステップとを更に実行させるように構成され、前記座標系変更ステップはこの傾き演算ステップの演算結果に基づいて前記座標系を変更する請求項14に記載の画像測定用プログラム。
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