JPH11203485A - 画像測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 パートプログラムを用いた画像測定装置にお
いて、オペレータの操作負担を軽減し、効率的に画像測
定を行う。 【解決手段】 教示により作成されたパートプログラム
はパートプログラムベース１００に記憶され、パートプ
ログラムエンジン１０２がこれを読み出して実行する。
パートプログラムエンジン１０２は、パートプログラム
をイメージ処理部１０４及び命令実行処理部１０６に供
給する。イメージ処理部１０４は、パートプログラムの
内、イメージ処理（画面内のエッジ抽出を一括して実行
し、測定・データベース１０８に格納する。命令実行処
理部１０６は、エッジデータを用いて画面内の演算処理
を一括して実行する測定部位ごとに交互にエッジ抽出と
演算処理を行うのではなく、画面内の全ての測定部位に
対して一括してエッジ検出を行い、その後演算処理を実
行することで、オペレータの操作負担が軽減される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡測定装置や
非接触三次元測定機などの画像測定装置、特にプログラ
ム（パートプログラム）を用いた測定に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、マニュアル操作型の画像測定
装置やＣＮＣ（Computer Numerical Control）画像測定
装置などが知られており、ＩＣやリードフレーム、ＩＣ
パッケージの検査に用いられている。従来の画像測定装
置においては、測定対象であるリードフレーム等を測定
する場合、まず測定対象の測定すべき部分をカメラ等の
撮像手段で撮影してＣＲＴ上に表示させ、オペレータが
予めシステムに用意された測定ツールを選択し、画像内
の測定対象に対して個々にこの測定ツールを割り当てて
線幅や円の中心、半径等を測定していた。

【０００３】図１４には、従来の画像測定装置を用いた
測定のフローチャートが示されている。まず、測定対象
を測定するためのパートプログラムをスタートさせる
（Ｓ１０１）。このパートプログラムは、１つのサンプ
ルについてオペレータが測定手順をティーチング（教
示）し、測定対象の位置や形状等の情報を含んだ一連の
測定手順を記憶させて作成されたものである。次に、作
成されたパートプログラムファイルから命令を順次読み
出し（Ｓ１０２）、パートプログラムが終了していない
かどうかを確認した後（Ｓ１０３）、読み出したプログ
ラムファイル（命令）がステージ移動命令か否かを判定
する（Ｓ１０４）。ステージ移動命令とは、マニュアル
操作型の画像測定装置において、オペレータに対して操
作手段を用いてカメラなどの撮像手段とステージ上に載
置されているリードフレームやＩＣなどの測定対象との
相対的位置を所定位置まで変化させるように指示する命
令である。

【０００４】読み出した命令がステージ移動命令である
場合には、オペレータはこの指示に従って操作手段を用
いてステージを移動させ、カメラ等の撮像手段と測定対
象との相対位置が所定の位置になるように調整する（Ｓ
１０５）。

【０００５】ステージを目標位置に設定した後、あるい
はＳ１０４で読み出した命令がステージ移動命令でない
場合には、読み出したプログラムファイルがツール（測
定ツール）命令か否かを判定する（Ｓ１０６）。ここ
で、測定ツールとは、例えば線幅を測定する際のボック
ス状のツールや、円を測定する際の円ツール等であり、
これらのツールを用いてリード線や穴等のエッジを検出
するものである。読み出したパートプログラムファイル
がこのツール命令である場合には、ＣＲＴ上に表示され
ている画像内の測定対象にボックスツールや円ツールを
セットする（Ｓ１０７）。画面上に測定ツールをセット
した後、オペレータはエッジ検出を実行するための実行
命令を入力し（例えばキーボードの特定のキーを操作す
る：Ｓ１０８）、この実行命令に基づいてＳ１０７で設
定された測定ツールを用いてツール命令を実行する（Ｓ
１０９）。ツール命令実行とは、具体的には上述したよ
うに設定された測定ツールを用いて画像内のエッジを検
出するものであり、ツールを用いて画像上のエッジ点
（境界点）を幾つか検出し、検出した幾つかの点を最小
２乗法等を用いて近似し連続したエッジを検出する。

【０００６】一方、読み出したプログラムファイル（命
令）がステージ移動命令でもなく、ツール命令でもない
場合、具体的には検出されたエッジデータに基づいて線
幅や円の中心、円の半径等を演算する命令である場合に
は、Ｓ１０９で抽出されたエッジデータに基づき線幅演
算や円の中心演算など実行する（Ｓ１１０）。

【０００７】以上のような測定ツール設定−エッジ抽出
−演算実行という一連のプロセスをＣＲＴ上に表示され
た画像内の１つ１つの測定対象に対して順次行い、１つ
の画像内の測定が終了した後、再びステージを移動させ
て同様の測定処理を繰り返していた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに画像内の個々の測定対象に対して測定ツールを設定
し、オペレータの操作によりエッジ検出処理を開始し、
画像内の全ての測定対象の測定が終了した後にステージ
を移動させ、さらに同様の処理を次の画面においても繰
り返すのは煩雑であり、オペレータの操作負担が大き
く、また、処理に要する時間（測定対象の検査時間）も
長くなる問題があった。

【０００９】本発明は、上記従来技術の有する課題に鑑
みなされたものであり、その目的は、ティーチングなど
により作成されたパートプログラムをより効率的に活用
し、オペレータの操作負担を軽減して従来以上に効率的
かつ短時間で測定対象の測定（検査）を完了することが
できる画像測定装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明は、測定対象を載置するステージと、こ
のステージに載置された測定対象を撮像する撮像手段
と、この撮像手段で撮像された画像を表示する表示手段
と、前記測定対象に対する前記撮像手段の撮像位置を変
化させるための位置調整用操作手段とを有するマニュア
ル操作型の画像測定装置において、測定手順をプログラ
ムとして記憶する記憶手段と、前記プログラムに従い、
測定すべき目標位置を指示する位置指示手段と、前記プ
ログラムに従い、画像内の全ての測定対象に測定用ツー
ルを割り当て、画像内の全ての測定対象のエッジを一括
して検出する第１処理手段と、検出されたエッジに基づ
いて所定の演算を一括して実行する第２処理手段とを有
することを特徴とする。

【００１１】また、第２の発明は、測定対象を載置する
ステージと、このステージに載置された測定対象を撮像
する撮像手段と、この撮像手段で撮像された画像を表示
する表示手段と、前記測定対象に対する前記撮像手段の
撮像位置を変化させるための駆動手段とを有するＣＮＣ
型の画像測定装置において、測定手順をプログラムとし
て記憶する記憶手段と、前記プログラムに従い、画像内
の全ての測定対象に測定用ツールを割り当て、画像内の
全ての測定対象のエッジを一括して検出する第１処理手
段と、検出されたエッジに基づいて所定の演算を一括し
て実行する第２処理手段とを有することを特徴とする。

【００１２】また、第３の発明は、第１、第２の発明に
おいて、処理の開始を入力する入力手段をさらに備え、
前記第１処理手段及び前記第２処理手段は、前記入力手
段により処理の開始が入力された場合に、順次処理を実
行することを特徴とする。

【００１３】また、第４の発明は、第１〜第３の発明に
おいて、前記第１処理手段は、前記プログラムの内容が
前記ステージの移動命令となるまで前記プログラムの内
容を先行して実行し、検出したエッジデータを保持する
ことを特徴とする。

【００１４】また、第５の発明は、第１〜第４の発明に
おいて、前記第１処理手段は、割り当てた前記測定用ツ
ールを前記画像内に一括表示することを特徴とする。

【００１５】また、第６の発明は、第１〜第５の発明に
おいて、前記プログラムは、教示により作成されること
を特徴とする。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づき本発明の実施
形態について、マニュアル操作型を例にとり説明する。

【００１７】図１には、本実施形態におけるマニュアル
操作型の画像測定装置の全体構成斜視図が示されてい
る。本実施形態の画像測定装置は、非接触画像計測型の
測定機本体１と、この測定機本体１のステージ移動操作
をアシストする処理を実行すると共に必要な測定データ
処理を実行するコンピュータシステム２と、測定機本体
１に対して必要な測定指令を与える指令入力部３と、こ
れら各部に安定した電力を供給する電源ユニット４を含
んで構成される。

【００１８】測定機本体１は、架台１１上にリードフレ
ームやＩＣ等の測定対象１２を載置するステージ１３が
装着されており、このステージ１３はＸ軸駆動ツマミ１
４、Ｙ軸駆動ツマミ１５及び微動ツマミ１６に対する手
動操作によってＸ軸方向及びＹ軸方向に駆動されるよう
になっている。架台１１の後端部には上方に伸びるフレ
ーム１７が固定されており、このフレーム１７にＣＣＤ
カメラユニット１８が支持されている。ＣＣＤカメラユ
ニット１８は、Ｚ軸駆動ツマミ１９によってフレーム１
７に形成されたガイドレールに沿ってＺ軸方向に移動可
能になっている。ＣＣＤカメラユニット１８の内部には
ステージ１３を上部から撮影するようにＣＣＤカメラ２
０が取り付けられている。また、ＣＣＤカメラ２０の下
端には、測定対象１２に照明光を照射するためのリング
状の照明装置２１が備えられている。

【００１９】コンピュータシステム２は、コンピュータ
本体３１、キーボード３２、マウス３３及びＣＲＴ３４
を備えて構成されている。

【００２０】図２には、本実施形態における画像測定装
置の構成ブロック図が示されている。ＣＣＤカメラ２０
で撮像された測定対象１２の画像信号は、Ａ／Ｄ変換部
３５でデジタル画像データに変換され、多値画像メモリ
３６に格納される。多値画像メモリ３６に格納されたデ
ジタル画像データは、表示制御部３７の動作によってＣ
ＲＴ３４上に表示される。ＣＰＵ３８は、オペレータの
指令又はプログラムメモリ３９に格納されたカートプロ
グラムに従ってステージ移動のためのアシスト処理等の
各種処理を実行する。ワークメモリ４０は、ステージ移
動操作時の測定目標位置を記憶する他、ＣＰＵ３８の各
種処理のための作業領域を提供する。

【００２１】また、ステージ１３に対するＣＣＤカメラ
１６のＸ、Ｙ、Ｚ軸方向位置をそれぞれ検出するための
Ｘ軸エンコーダ４１、Ｙ軸エンコーダ４２及びＺ軸エン
コーダ４３が設けられ、これらエンコーダ４１、４２、
４３からの出力はＣＰＵ３８に供給される。ＣＰＵ３８
は、供給された各軸位置の情報とワークメモリ４０に記
憶された目標位置とに基づいて、ステージ移動アシスト
のための各種の表示制御を実行する。さらに、照明制御
部４４は、ＣＰＵ３８で生成された指令値に基づいてア
ナログ量の指令電圧を生成し、照明装置２１に供給す
る。

【００２２】図３には、測定時における画像測定装置の
ＣＲＴ３４に表示される表示画面が示されている。表示
画面は、カラービデオウインドウ５１、グラフィックス
ウインドウ５２、カウンタウインドウ５３、ファンクシ
ョンウインドウ５４、照明・ステージウインドウ５５及
び測定ウインドウ５６から構成されている。

【００２３】カラービデオウインドウ５１には、ＣＣＤ
カメラ１６で撮像されたカラー画像（測定対象の一部拡
大）が表示される。グラフィックスウインドウ５２に
は、ＣＣＤカメラ１６で撮像されるステージの仮想的な
イメージが表示され、１つの表示形態としてはＣＣＤカ
メラ１６の撮像範囲より広い範囲のイメージが表示され
る。カウンターウインドウ５３には、オペレータに対し
てステージ移動量を指示するためのガイダンスウインド
ウ５３ａ及び現在のＣＣＤカメラ１６の撮像範囲の中心
位置と目標位置との差分値を示すカウンタ５３ｂが表示
される。

【００２４】カウンタ５３ｂはＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸各軸の
差分値が表示され、カウンタ５３ｂの全ての値が０とな
ることにより、ＣＣＤカメラ１６の現在位置が目標位置
に一致することになる。

【００２５】一方、ガイダンスウインドウ５３ａは、上
述したようにオペレータに対してステージ移動を促すた
めのメッセージを表示するウインドウであり、図におい
てはその一例として、「カウンタが（０、０、０）にな
る位置までステージを移動して下さい。」なるメッセー
ジが表示されている。このメッセージを見たオペレータ
は、カウンタ５３ｂの値を見ながらＸ軸駆動ツマミ１
４、Ｙ軸駆動ツマミ１５及び微動ツマミ１６を手動操作
し、さらにＺ軸駆動ツマミ１９を操作することによって
ステージを目標位置に移動させることができる。

【００２６】また、本実施形態においては、ＣＣＤカメ
ラ１６とステージとの相対位置を目標位置に設定するた
めの他の表示方法も用いられている。すなわち、ビデオ
ウインドウ５１には、その中心部に交点を持つ互いに直
交するＸ（水平）軸線６１及びＹ（垂直）軸線６２が表
示され、これらの交点に測定部位を配置することによ
り、測定位置の位置決めが容易になされるようになって
いる。これらＸ軸線６１及びＹ軸線６２の各両端には、
内向き矢印が形成されており、これら矢印を含めたＸ軸
線６１及びＹ軸線６２がビデオウインドウ５１の垂直及
び水平方向の中央部を示す印となる。さらに、Ｘ軸線６
１及びＹ軸線６２とそれぞれ平行に位置合わせ用水平線
６３及び位置合わせ用Ｙ軸線６４が重ねて表示されてお
り、これらの位置合わせ用の各軸線６３、６４は、現在
のステージ位置と目標位置とのすれ量を示すことにな
る。従って、オペレータは、カウンタ５３ｂの値が０に
なるように調整してもよく、あるいはこれらの各軸線６
３、６４がＸ軸線６１及びＹ軸線６２に一致するように
ステージ位置を調整することもできる。

【００２７】なお、カウンタ５３ｂの値が０になった
時、あるいは軸線６３、６４がＸ軸線６１及びＹ軸線６
２と一致した時には、これらの表示色を変化させること
によりオペレータに目標位置に到達したことを視認させ
ることも可能である。

【００２８】ファンクションウインドウ５４には、各種
測定処理（エッジ検出）及び測定値を算出（演算処理）
するためのマイクロプログラムを起動するアイコンが配
置されており、測定ツールもこのファンクションウイン
ドウ５４内に配置されている。測定ツールには、上述し
たボックスツールや円ツールが含まれる。

【００２９】照明・ステージウインドウ５５は、照明装
置１７やステージに関する各種設定操作のためのウイン
ドウであり、測定ウインドウ５６は、ファンクションウ
インドウ５４で選択された測定マイクロプログラムに沿
った測定操作を行うためのウインドウである。

【００３０】図４には、本実施形態におけるコンピュー
タシステム２のソフトウエア構造が模式的に示されてい
る。オペレータがティーチング（教示）により作成した
パートプログラムはパートプログラムデータベース１０
０に格納されており、検査時にはこのパートプログラム
が読み出されて順次マクロ・パートプログラムエンジン
（図ではマクロ・パートプロと略記されている）１０２
に供給される。マクロ・パートプログラムエンジン１０
２は、読み出したパートプログラムをイメージ処理部１
０４と命令実行処理部１０６に供給する。本実施形態に
おける特徴の１つは、このようにパートプログラムを実
行する実行部がイメージ処理部１０４と、命令実行処理
部１０６に分離されている点であり、イメージ処理部１
０４ではパートプログラム内のイメージ処理（具体的に
は被測定対象の測定部位に測定ツールを設定し、エッジ
を一括抽出する）のみを実行して処理結果を測定・デー
タベース１０８に格納する。また、命令実行処理部１０
６では、測定・データベース１０８に格納されているエ
ッジデータを読み出し、所定の演算処理（線幅測定や円
の中心座標測定、円の半径測定、心円度）のみを実行す
る。なお、ハードウエアとの対応においては、パートプ
ログラムデータベース１００はプログラムメモリ３９で
あり、マクロ・パートプログラムエンジン１０２、イメ
ージ処理部１０４、命令実行処理部１０６はＣＰＵ３
８、測定・データベース１０８はワークメモリ４０に対
応する。

【００３１】以下、具体的な測定例に基づき本実施形態
におけるパートプログラムの実行処理について説明す
る。

【００３２】図５には、測定対象であるＩＣの１部分及
びこの部分を撮像するための３つのＣＲＴ上画面（画面
１、画面２、画面３）並びに各画面において存在する測
定対象に対して設定される測定ツールが模式的に示され
ている。図中、実線が測定対象であるリード線や装着穴
であり、一点鎖線は割り当てられる測定ツールを示して
いる。ＩＣの１部分の各測定部位の正確な位置はティー
チング（教示）により与えられており、イメージ処理部
１０４はこれらの位置に測定ツールを一括して割り当
て、画面上に表示する。具体的には、リード線７０に対
して２つのボックスツール１１０を割り当てて表示し、
素子装着用穴７２には円ツール１１２を割り当てる。な
お、穴７３は画面１、画面２、画面３にわたるような大
きなものであり、これに対応した円ツール１１４も、３
つの画面にわたって設定される。もちろん、これら３つ
の画面はＣＲＴ３４上に同時に表示されることはなく、
順次表示されるものである。従って、円ツール１１３も
各画面においては完全な円ではなく、その円の一部とし
て表示される。なお、この円ツール１１３についてはさ
らに後述する。

【００３３】図６には、このような３つの画面（画面
１、画面２、画面３）におけるパートプログラムの一例
が示されている。まず、画面１においては測定開始後リ
ード線７０の線幅を測定すべく線測定が行われる。線測
定は、まずリード線７０の両端のエッジを検出すること
により行われ、ボックスツールを割り当て（ツール命
令）、そのエッジを検出して結果を出力する（演算命
令）。パートプログラムとしては、リード線の両端のエ
ッジを検出するために２つの線測定処理が必要となる。
次に、画面１内においては素子装着用穴７２が存在する
ため、この穴の中心や半径などを計測すべく円測定が必
要となる。したがって、パートプログラムには、円ツー
ル設定及び結果出力命令が存在する。さらに、画面１に
は素子装着用穴７３の一部も存在するため、これを測定
するための円測定処理も必要となる。そこで、画面１内
のパートプログラムとしては、まず穴７３の一部を測定
すべく円ツールの一部であるシンプルツールを複数設定
する。

【００３４】図７には、シンプルツールの一例が示され
ており、円の中心方向から外側に向かう放射状の矢印ツ
ール１１３ａである。このシンプルツール上のエッジを
検出することで、円ツールと同様に穴のエッジを検出す
る。

【００３５】また、画面２におけるパートプログラム
は、まず画面１から画面２に移行するためのステージ移
動命令から始まり、次に穴７３を測定すべくシンプルツ
ールを割り当てる処理（ツール命令）が必要となる。こ
のシンプルツールは、画面１におけるシンプルツールと
同様に図７に示す矢印１１３ａを画面２内に存在する穴
７３に割り当てるものである。

【００３６】また、画面３におけるパートプログラム
は、まず画面２から画面３に移行するためのステージ移
動命令から始まり、画面３内に存在する穴７３に円ツー
ルの一部であるシンプルツールを割り当てる処理（ツー
ル命令）が必要となる。測定ツールの割り当てが終了し
た後、円ツール１１３による処理、すなわちシンプルツ
ールによって検出されたエッジを用いて演算処理を行
い、その結果を出力して終了する。

【００３７】以下、本実施形態においてイメージ処理部
１０４と命令実行処理部１０６がこのようなパートプロ
グラムを実行する際の具体的処理内容について説明す
る。

【００３８】図８及び図９には、画面１におけるイメー
ジ処理部１０４及び命令実行処理部１０６の処理が示さ
れている。イメージ処理部１０４は、測定開始後、まず
パートプログラムの中で次のステージ移動命令までイメ
ージ処理に関係する全ての命令を先読みする。具体的に
は、処理ポインタを測定開始から次のステージ移動命令
まで移動させ、この間のボックスツール命令や円ツール
命令、シンプルツール命令を読み込んで画面１内に存在
する測定対象に対してイメージ処理（ツールによるエッ
ジ検出）を実行する。ボックスツールでは、リード線７
０の両端のエッジが検出され、また円ツールでは穴７２
のエッジが検出される。さらに、複数のシンプルツール
では、画面１内に存在する穴７３のエッジが検出され
る。これらのエッジデータは、測定・データベース１０
８内に順次格納される。

【００３９】画面１内において全てのイメージ処理（画
面１内における全ての測定対象に対して測定ツールを割
り当て、そのエッジを検出）が終了した後、図９に示さ
れるように命令実行処理部１０６がこれらのエッジデー
タを用いて所定の演算を行う。具体的には、命令実行処
理部１０６は処理ポインタを穴７３の測定に相当する円
測定処理まで移動させ、リード線７０の測定及び穴７２
の測定を一括して行う。すなわち、測定・データベース
１０８に記憶されているリード線７０のエッジデータを
順次読み出してリード線７０の線幅を演算し、また穴７
２のエッジデータを順次読み出してその中心座標と半径
（さらには真円度）を演算して出力する。穴７３に関し
ては、画面１内のエッジデータだけではその結果を出力
することができないので、処理ポインタを停止させてお
き、演算処理は未だ実行しない。

【００４０】一方、オペレータは、パートプログラムの
ステージ移動命令によりガイダンスウインドウ５３ａ内
にステージ移動を指示するメッセージが表示されるため
（図３参照）、これに従って次の画面２を表示させるた
めの目標位置までステージを移動させる。このステージ
移動は、上述したようにカウンタウインドウ５３ｂの値
が（０、０、０）となる位置まで移動させればよい。

【００４１】ステージ移動が完了し、ＣＲＴ３４上に画
面２が表示された場合、イメージ処理部１０４及び命令
実行処理部１０６はこの画面２における処理に移行す
る。

【００４２】図１０には、画面２における処理内容が示
されている。イメージ処理部１０４は、次のステージ移
動命令までパートプログラム内のイメージ処理に関する
命令を全て先読みし、画面２内の測定対象に対してイメ
ージ処理を実行する。具体的には、パートプログラム内
にシンプルツール命令が存在するため、このシンプルツ
ールを当てはめ、エッジを検出する。検出されたエッジ
データは、図５に示されるように穴７３のうち画面２内
に存在する部分のエッジである。検出されたエッジデー
タは、同様にして測定・データベース１０８内に順次格
納される。

【００４３】一方、命令実行処理部１０６の処理ポイン
タは円測定で停止しており、この画面２においては他の
処理を行わない。その理由は、上述したように穴７３に
関しては画面２におけるイメージ処理（エッジ検出）の
後でも全てのデータがそろっておらず、円の中心座標や
半径等を演算することができないからである。

【００４４】画面２内の処理が終了した後、オペレータ
が再びガイダンスウインドウ５３ａの指示に従ってステ
ージを移動させ、ＣＲＴ３４上に画面３が表示される
と、イメージ処理部１０４及び命令実行処理部１０６は
この画面３内における処理に移行する。

【００４５】図１１及び図１２には、画面３内における
イメージ処理部１０４及び命令実行処理部１０６の処理
内容が示されている。まず、イメージ処理部１０４は、
パートプログラムの最後までイメージ処理に関係する全
ての命令を先読みして実行する。具体的には、画面３内
の穴７３にシンプルツールを割り当て、そのエッジを検
出して測定・データベース１０８に順次格納する。

【００４６】一方、命令実行処理部１０６は、図１０に
示されるようにイメージ処理部１０４での処理が終了し
た後、処理ポインタをパートプログラムの最後まで移動
させ、測定・データベース１０８に格納されているエッ
ジデータを用いて所定の演算を実行し、その結果を出力
する。具体的には、シンプルツールにより抽出された穴
７３のエッジデータ（画面１、画面２、画面３全ての画
面におけるエッジデータ）を用いて穴７３の中心座標や
半径さらには真円度等を演算して出力する。

【００４７】図１３には、以上述べた処理がオペレータ
の操作を含めてフローチャートとして示されている。ま
ず、パートプログラムをスタートさせると（Ｓ２０
１）、パートプログラムファイルから命令を読み出し
（Ｓ２０２）、パートプログラムが終了したか否かを確
認した後（Ｓ２０３）、読み出したプログラムファイル
がステージ移動命令か否かを判定する（Ｓ２０４）。ス
テージ移動命令でない場合には、読み出したプログラム
ファイルが測定ツール命令か否かを判定する（Ｓ２０
５）。測定ツール命令である場合には、次のステージ移
動命令がくるまで全てのツール命令を読み出して記憶し
（Ｓ２０６）、ツール命令でない場合、すなわち演算命
令である場合には、次のステージ移動命令がくるまで全
ての演算命令を読み出して記憶する（Ｓ２０７）。

【００４８】一方、読み出したプログラムファイルがス
テージ移動命令である場合（Ｓ２０４でＹＥＳ）には、
オペレータはガイダンスウインドウ５３ａに表示された
メッセージに従ってステージを移動させる。ステージの
移動が完了した後、キーボード３２やマウス３３を用い
てエッジ検出実行を入力する（Ｓ２０８）。このオペレ
ータからの入力があると、Ｓ２０６で記憶した全てのツ
ール命令をその画面内の測定対象に対して一括実行して
エッジを検出し、検出したエッジデータを保持する（Ｓ
２０９）。そして、次にＳ２０７で記憶した演算命令を
一括して実行し、線幅や円の中心等を算出する（Ｓ２１
０）。以上の処理をパートプログラムが終了するまで繰
り返し実行する。

【００４９】図１４に示された従来の処理フローチャー
ト及び図１３に示された本実施形態のフローチャートを
比較すれば、本実施形態においてはオペレータの操作が
格段に減少していることが明らかであろう。

【００５０】このように、本実施形態においてはステー
ジ移動命令が読み出されるまで、すなわち１つの画面内
において測定ツールによるエッジ検出処理及び検出エッ
ジデータを用いた演算処理を順次一括して実行するもの
であり、従来のようにオペレータは画面内に存在する測
定対象毎にエッジ検出操作と演算操作を繰り返す必要が
なく、単にステージ移動後の実行入力のみで済むことに
なり、操作負担が著しく軽減される。

【００５１】さらに、本実施形態においては、イメージ
処理（エッジ抽出処理）と命令実行処理（所定の演算処
理）をお互いに分離させ、これらをそれぞれ一括して処
理するため、従来のように測定部位ごとにエッジ検出
し、演算を行う場合に比べ、効率的に測定を行うことが
できる。

【００５２】なお、本実施形態においてはマニュアル操
作型の画像測定装置を例に取り説明したが、ＣＮＣ型の
画像測定装置でも同様に適用することができる。ただ
し、ＣＮＣ型の画像測定装置では、ステージは駆動機構
により自動的に移動されるため、ガイダンスウインドウ
５３ａ等は不要となる。

【００５３】図１５には、このようなＣＮＣ型の画像測
定装置の全体構成斜視図が示されており、図１６にはそ
の構成ブロック図が示されている。図１及び図２に示さ
れたマニュアル操作型の画像測定装置と異なる点は、ス
テージがモータ等により駆動される点であり、Ｘ軸駆動
系４４、Ｙ軸駆動系４５、Ｚ軸駆動系４６に対してＣＰ
Ｕ３５が制御信号を供給することで、ＣＣＤカメラ１６
とステージの相対位置を目標位置に自動調整することが
できる。

【００５４】なお、ＣＰＵ３５は、パートプログラムに
したがってＣＣＤカメラ１６とステージの相対位置を目
標位置に自動調整することもできるが、ガイダンスウイ
ンドウ５３ａにメッセージを表示させてオペレータにス
テージ移動を促し、キーボード２２やマウス２３からの
指令をインターフェースＩ／Ｆ３４を介して入力し、こ
の指令に基づいてＸ軸駆動系４４、Ｙ軸駆動系４５、Ｚ
軸駆動系４６に制御信号を出力してもよい。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によればエ
ッジ検出処理と演算処理を分離し、１つの画面内でそれ
ぞれの処理を順次一括して実行するため、オペレータの
操作負担が軽減されると共に、効率的に測定対象の画像
測定を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施形態のマニュアル操作型画像測
定装置の斜視図である。

【図２】 本発明の実施形態のマニュアル操作型画像測
定装置の構成ブロック図である。

【図３】 本発明の実施形態のマニュアル操作型画像測
定装置のＣＲＴ表示例を示す説明図である。

【図４】 本発明の実施形態のソフトウエア構造を示す
説明図である。

【図５】 本発明の実施形態における測定対象及び測定
ツール並びに複数の画面との関係を示す説明図である。

【図６】 図５に示された測定例のパートプログラム説
明図である。

【図７】 図６におけるシンプルツール説明図である。

【図８】 イメージ処理部と命令実行処理部の処理内容
を示す説明図（その１）である。

【図９】 イメージ処理部と命令実行処理部の処理内容
を示す説明図（その２）である。

【図１０】 イメージ処理部と命令実行処理部の処理内
容を示す説明図（その３）である。

【図１１】 イメージ処理部と命令実行処理部の処理内
容を示す説明図（その４）である。

【図１２】 イメージ処理部と命令実行処理部の処理内
容を示す説明図（その５）である。

【図１３】 本発明の実施形態の処理フローチャートで
ある。

【図１４】 従来技術の処理フローチャートである。

【図１５】 本発明の実施形態におけるＣＮＣ型画像測
定装置の斜視図である。

【図１６】 本発明の実施形態におけるＣＮＣ型画像測
定装置の構成ブロック図である。

【符号の説明】

１ 測定機本体、２ コンピュータシステム、３ 指令
入力部、４ 電源ユニット、１１ 架台、１２ 測定対
象、１３ ステージ、２０ ＣＣＤカメラ、３１ コン
ピュータ本体、３２ キーボード、３３ マウス、３４
ＣＲＴ、３６価値画像メモリ、３７ 表示制御部、３
８ ＣＰＵ、３９ プログラムメモリ、４０ ワークメ
モリ、５１ カラービデオウインドウ、５２ グラフィ
ックスウインドウ、５３ カウンタウインドウ、５３ａ
ガイダンスウインドウ、５４ファンクションウインド
ウ、７０ リード線、７２，７３ 素子装着用穴、１０
０ パートプログラムデータベース、１０２ マクロ・
パートプログラムエンジン（マクロ・パートプロエンジ
ン）、１０４ イメージ処理部、１０６ 命令実行処理
部、１０８ 測定・データベース、１１０ ボックスツ
ール、１１２，１１３ 円ツール、１１３ａ シンプル
ツール。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定対象を載置するステージと、 このステージに載置された測定対象を撮像する撮像手段
   と、 この撮像手段で撮像された画像を表示する表示手段と、 前記測定対象に対する前記撮像手段の撮像位置を変化さ
   せるための位置調整用操作手段と、 を有する画像測定装置において、 測定手順をプログラムとして記憶する記憶手段と、 前記プログラムに従い、測定すべき目標位置を指示する
   位置指示手段と、 前記プログラムに従い、画像内の全ての測定対象に測定
   用ツールを割り当て、画像内の全ての測定対象のエッジ
   を一括して検出する第１処理手段と、 検出されたエッジに基づいて所定の演算を一括して実行
   する第２処理手段と、 を有することを特徴とする画像測定装置。
2. 【請求項２】 測定対象を載置するステージと、 このステージに載置された測定対象を撮像する撮像手段
   と、 この撮像手段で撮像された画像を表示する表示手段と、 前記測定対象に対する前記撮像手段の撮像位置を変化さ
   せるための駆動手段と、 を有する画像測定装置において、 測定手順をプログラムとして記憶する記憶手段と、 前記プログラムに従い、画像内の全ての測定対象に測定
   用ツールを割り当て、画像内の全ての測定対象のエッジ
   を一括して検出する第１処理手段と、 検出されたエッジに基づいて所定の演算を一括して実行
   する第２処理手段と、 を有することを特徴とする画像測定装置。
3. 【請求項３】 処理の開始を入力する入力手段をさらに
   備え、 前記第１処理手段及び前記第２処理手段は、前記入力手
   段により処理の開始が入力された場合に、順次処理を実
   行することを特徴とする請求項１、２のいずれかに記載
   の画像測定装置。
4. 【請求項４】 前記第１処理手段は、前記プログラムの
   内容が前記ステージの移動命令となるまで前記プログラ
   ムの内容を先行して実行し、検出したエッジデータを保
   持することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載
   の画像測定装置。
5. 【請求項５】 前記第１処理手段は、割り当てた前記測
   定用ツールを前記画像内に一括表示することを特徴とす
   る請求項１〜４のいずれかに記載の画像測定装置。
6. 【請求項６】 前記プログラムは、教示により作成され
   ることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の画
   像測定装置。