JP3853500B2 - エッジ検出方法及び画像測定装置 - Google Patents
エッジ検出方法及び画像測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3853500B2 JP3853500B2 JP00264398A JP264398A JP3853500B2 JP 3853500 B2 JP3853500 B2 JP 3853500B2 JP 00264398 A JP00264398 A JP 00264398A JP 264398 A JP264398 A JP 264398A JP 3853500 B2 JP3853500 B2 JP 3853500B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- edge
- image
- circular tool
- tool
- detected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、顕微鏡測定装置や非接触三次元測定機等の画像測定装置に関し、特に撮像手段で撮像された被測定対象の画像にエッジ検出用のツールを重ねて表示してツール内のエッジを検出しながら形状測定などの画像計測を行う際のエッジ検出方法及び画像測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の画像測定装置では、被測定対象であるワークについて形状測定等を行う際、CCDカメラ等の撮像手段で撮像されたワーク画像に重ねて測定範囲を示すエッジ検出ツールを表示させ、このツール上でワークの画像に含まれるエッジを検出している。
【0003】
図10は、このようなエッジ検出に用いられるツールの一例を示す図である。
このツール61は、例えば画像計測装置に備えられたマウス等の入力装置を介して表示手段であるCRTディスプレイの画面上の任意の位置に設定され、このツール61に沿って矢印方向に画像情報を探索することにり、エッジ点Pを検出する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このようなエッジ検出用のツールは、検出しようとするエッジに対して直交する方向に設定することが検出精度を高める上で肝要である。しかし、従来は作業者がマウスを使用してエッジと直交すると思われるだいたいの方向を指定しているので、エッジに対するツールの設定方向が作業者によってまちまちとなり、測定精度に差が生じるという問題があった。また、エッジに対してツールを精度良く直交させようとすると、ツール設定操作に手間がかかってしまうという問題がある。
【0005】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、エッジ検出のためのツール設定操作を簡単にすると共に、エッジ検出精度に作業者による差が生じないようにすることができるエッジ検出方法及び画像測定装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るエッジ検出方法は、被測定対象を撮像した画像上にエッジ検出の処理を行う範囲を示す円形ツールを表示し、この円形ツールによって指定された範囲内の画像情報を当該円形ツールの中心を通る複数の方向から探索して、それぞれの探索方向について前記画像のエッジ点を検出したのち、これら検出されたエッジ点からエッジを推定し、前記円形ツールの中心を通り、且つ前記推定されたエッジに対して直交する方向に探索して得られたエッジ点を最終的に検出されたエッジ点とすることを特徴とする。
【0007】
本発明に係る画像測定装置は、被測定対象を撮像する撮像手段と、この撮像手段で撮像された画像を表示する表示手段と、この表示手段に前記被測定対象の画像に重ねてエッジ検出の範囲を示す円形ツールを表示させると共に当該円形ツールで指示された範囲内の画像情報からエッジ点を検出して計測に必要な情報を抽出する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記円形ツール内でその中心を通り、探索方向を順次変えながら複数のエッジ点を検出し、これら検出されたエッジ点からエッジを推定し、推定されたエッジに対して直交する方向に探索して得られたエッジ点を最終的に検出されたエッジ点とするものであることを特徴とする。
【0008】
本発明に係るエッジ検出方法によれば、円形ツールを用いて検出すべきエッジの範囲を指定すると、円形ツールの中心を通る複数の方向から探索が行われて画像上の複数のエッジ点が検出され、これらエッジ点からエッジが推定されると共に、推定されたエッジと直交する方向の探索して得られたエッジ点が最終的に検出されたエッジ点として抽出される。このため、オペレータは単に検出すべき範囲を指定するだけで良く、範囲が指定されたら、指定範囲内でエッジへの最適な探索方向が求められて、高精度にエッジが求められることになる。
【0009】
この発明によれば、エッジ検出のためのツールが円形であるため、どのような形及び方向のエッジに対しても容易に適合して範囲指定が容易になり、しかも探索方向を指定しなくても良いため、指定時の操作性は格段に向上する。
【0010】
また、本発明に係る画像測定装置によれば、制御手段が、円形ツール内でその中心を通り、探索方向を順次変えながら複数のエッジ点を検出し、これら検出されたエッジ点からエッジを推定し、推定されたエッジに対して直交する探索方向の探索で得られたエッジ点を検出されたエッジ点とする。このため、作業者によって検出点がばらつくことがなく、常に高い精度でエッジを検出することができ、測定精度も向上させることができる。
【0011】
円形ツールは、例えば画像表示ウィンドウの中央部に固定的に配置され、被測定対象の画像上のエッジ検出すべき位置を画像表示ウィンドウの中央部に移動させることによりエッジ検出が行われる。
【0012】
また、制御手段は、例えば撮像手段で撮像された画像を表示するための画像表示ウィンドウを表示手段に表示させると共に円形ツールを画像表示ウィンドウの中央部に固定的に表示させ、被測定対象の画像上のエッジ検出すべき位置が画像表示ウィンドウの中央部に移動されたことによりエッジ検出を行うものである。
【0013】
このような構成とすると、被測定対象の測定したい箇所を中央に移動させるという操作だけで、必要な部分のエッジ点が検出されて、測定効率が更に向上する。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の好ましい実施の形態について説明する。
図1は、この発明の一実施例に係るマニュアル操作型の画像測定装置の全体構成を示す斜視図である。
この装置は、非接触画像計測型の測定機本体1と、この測定機本体1のステージ移動操作をアシストする処理を実行すると共に必要な測定データ処理を実行するコンピュータシステム2と、測定機本体1に対して必要な測定指令を与える指令入力部3と、これら各部に安定した電力を供給する電源ユニット4とにより構成されている。
【0015】
測定機本体1は、次のように構成されている。即ち、架台11上には、被測定対象であるワーク12を載置する測定テーブル13が装着されており、この測定テーブル13は、X軸駆動つまみ14、Y軸駆動つまみ15及び微動つまみ16に対する手動操作によってX軸方向及びY軸方向に駆動されるようになっている。架台11の後端部には上方に延びるフレーム17が固定されており、このフレーム17にCCDカメラユニット18が支持されている。CCDカメラユニット18は、Z軸駆動つまみ19によってフレーム17に形成されたガイドレールに沿ってZ軸方向に移動可能になっている。CCDカメラユニット18の内部には、測定テーブル13を上部から臨むようにCCDカメラ20が取り付けられている。CCDカメラ20の下端には、ワーク12に照明光を照射するためのリング状の照明装置21が備えられている。
【0016】
コンピュータシステム2は、コンピュータ本体31、キーボード32、マウス33及びCRTディスプレイ34を備えて構成されている。
コンピュータ本体31を中心とするこのシステムは、例えば図2に示すように構成されている。即ち、CCDカメラ20で捉えたワーク12の画像信号は、AD変換部35で多値画像データに変換され、多値画像メモリ36に格納される。多値画像メモリ36に格納された多値画像データは、表示制御部37の動作によってCRTディスプレイ34に表示される。CPU38は、オペレータの指令又はプログラムメモリ39に格納されたプログラムに従ってエッジ検出処理等の各種の処理を実行する。ワークメモリ40は、CPU38の各種処理のための作業領域を提供する。
【0017】
また、測定テーブル13に対するCCDカメラ16のX,Y,Z軸方向位置(以下、これをステージ位置と呼ぶ)をそれぞれ検出するためのX軸エンコーダ41、Y軸エンコーダ42及びZ軸エンコーダ43が設けられ、これらエンコーダ41〜43からの出力はCPU38に取り込まれる。CPU38は、取り込まれた各軸位置の情報と多値画像メモリ36に格納された多値画像データとで、各画素の位置座標を算出する。更に、照明制御部44は、CPU35で生成された指令値に基づいてアナログ量の指令電圧を生成し照明装置21に印加する。
【0018】
次に、このように構成された画像測定装置におけるエッジ検出動作について説明する。
図3は、この画像測定装置の測定時のCRTディスプレイ34の表示画面を示す図である。
表示画面には、CCDカメラ16で撮像されたカラー画像が表示されるビデオウィンドウ51が設けられており、このビデオウィンドウ51内にワーク画像52が表示される。ビデオウィンドウ51の中央部には、ワーク画像52の任意のエッジを検出するための探索方向及び探索長さを示す矢印からなる探索ツール53を内部に含む円形ツール54が固定的に表示される。この円形ツール54は、エッジ検出処理の範囲を明確にするものである。また、この例では、円形ツール54の中心、即ちビデオウィンドウ51の中心を示す中心線55,56が更に表示されている。
【0019】
図4は、この探索ツール53及び円形ツール54を用いてワーク画像52のエッジを検出するためのフローチャート、図5は同じくエッジ検出処理を説明するための図である。
まず、オペレータがX軸駆動つまみ14、Y軸駆動つまみ15及び微動つまみ16、又はマウス33等を操作して、ワーク画像52のエッジ検出したい位置(x0,y0)を円形ツール54内に収まるように移動させることにより、エッジ検出すべき位置及び範囲を指定する(S1)。次に、探索ツール53の傾きθの初期値を0にして(S2)、指定位置(x0,y0)を通り、長さh、傾きθの探索ツール53を生成し(S3)、探索ツール53に沿ってエッジを検出する(S4)。次にθをΔθだけ回転させて(S5)、θがπを超えない範囲で同様の処理を繰り返す(S6)。
【0020】
これにより、図5(a)に示すように、ツール53が指定位置(x0,y0)を中心として傾き0〜πの範囲で回転され、同図(b)に示すように、各傾き(探索方向)におけるエッジ点列P1,P2,…,Pnが検出される。
ここで、ワーク画像52のエッジに対してツール53が緩やかに交差する場合には、図6(a)に示すように、エッジ付近での輝度値の変化も緩やかになり、ワーク画像52のエッジに対してツール53がほぼ直角に近い角度で交差する場合には、図6(b)に示すように、エッジ付近での輝度値の変化は急峻になる。このような輝度値が変化する位置、具体的には輝度値があるしきい値Vthを横切る位置をエッジ点と認定するが、この場合、エッジ点の検出精度は、ツール53の向きがエッジに対して直角であるほど上がる。
【0021】
そこで、求めたエッジ点列P1,P2,…,Pnから最小二乗法等を用いてエッジを示す曲線f(x,y)を推定する(S7)。このように複数のエッジ点からエッジを推定するのは、エッジの連続性を確認することにより、エッジとノイズとを判別可能だからである。従って、エッジ曲線の推定に当たっては、不連続な点はノイズとして除くようにしても良い。そして、求められた曲線f(x,y)と直交し、且つ(x0,y0)を通るツール57を新たに生成する(S8)。そして、このツール57を用いて最終的なエッジ点Pを求める(S9)。
【0022】
以上の処理を実行することにより、位置指定操作が容易になるうえ、エッジ検出精度が作業者によってばらつくことなく向上する。
なお、顕微鏡や投影機等の測定の場合、レチクルやエッジセンサによって測定ワークを視野内の中央部に移動させて測定を行うことが多い。この画像測定機によれば、このような操作を実現することができる。即ち、ワーク画像52の測定したい部位がビデオウィンドウ51の中央部の円形ツール54内に収まるようにワークを移動させ、図示しないエッジ検出用の指示ボタン等を押す操作だけで、何らツールを設定するという操作を行わずに、エッジが検出され、更に必要な他の測定を行うことができる。このため、測定時の操作性が格段に向上する。
【0023】
なお、上記実施例では手動操作型の画像測定装置に本発明を適用したが、例えばCNC(Computer Numerical Control)画像測定装置に本発明を適用すると、更に操作性は向上する。
図7は、CNC画像測定装置の要部のブロック図である。
図2に示した手動操作型に比べて、テーブル及び光学系を駆動するためのX軸駆動系45、Y軸駆動系46及びZ軸駆動系47が設けられ、これらがキーボード32及びマウス33からインタフェース48を介してCPUに入力された移動指示に基づいてステージをX,Y,Z軸方向にそれぞれ駆動するように構成されている。
【0024】
このような装置において、図8に示すように、ワーク画像52の測定したい部位をマウスのポインタ58等で指示してクリック操作すると、そのクリックした部位がビデオウィンドウ51の中央部に移動するようにCPU38がX,Y駆動系45,46を駆動制御する。これにより、ワーク画像52の位置が52′の位置に移動する。これにより円形ツール54内に収容されたエッジの向きはステージ移動前のエッジの向きとは大幅に異なった向きとなるが、エッジ検出を指示すると、上述したように最適な方向でのエッジ検出動作が実行されるので、不都合は全くなくなる。
このように、画面をクリックすることによるステージ中央移動機能と本発明のエッジ検出機能とを併用した場合、更に操作性が向上する。
【0025】
なお、以上の処理では、複数のエッジ点から推定されたエッジ曲線に基づいて、最適な探索方向を再度算出して新たなツール57を生成し、このツール57上で最終的なエッジ点Pを検出したが、複数のエッジ点のうちから、推定されたエッジに対して最も直交関係に近い方向からの探索で求められたエッジ点を最終的なエッジ点として選択するようにしても良い。この場合、最後の探索処理を行わないため、処理が簡便になるという利点がある。
【0026】
また、円形ツール54の位置や直径等はワークやその測定方法等に合わせて任意に可変できることが望ましい。
例えば、上記実施例では、円形ツールは54は、ビデオウィンドウ51の中心に固定したが、図9に示すように、マウスのポインタ58のクリック・アンド・ドラッグ操作により、円形ツール54を画像ウィンドウ51に対して任意の位置に移動させるようにすると、ステージ移動操作を伴わずに、表示画面を固定したまま、必要な複数箇所のエッジを簡単な操作で検出することが可能になる。
【0027】
また、円形ツールを座標系の特定位置に貼り付ける場合、円形ツールは、ワーク座標系の指定された位置に貼り付けても良いし、画像ウィンドウ座標系の指定された位置に貼り付けても良い。
ワーク座標系に貼り付ける場合には、ツールはワークの常に決められた部位に位置することになるので、例えばパートプログラムによって同種ワークの繰り返し測定を行う場合に有効である。
【0028】
また、画像ウィンドウ座標系に貼り付ける場合には、ツールとワークの相対位置を自由に変えられるので、例えば同一ワークの複数箇所を測定する場合等に有効である。画像ウィンドウの中心にツールを固定する場合などに使用される。
【0029】
【発明の効果】
以上述べたようにこの発明によれば、エッジ検出の範囲を指定するだけで指定範囲内のエッジに対して最適な探索方向が求められ、常に高い精度でエッジを検出することができ、測定精度も向上させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例に係るマニュアル型画像測定装置の斜視図である。
【図2】 同装置におけるコンピュータシステム及びその周辺の構成を示すブロック図である。
【図3】 同装置におけるCRTディスプレイの表示画面の一部を示す図である。
【図4】 同装置におけるエッジ検出動作を示すフローチャートである。
【図5】 同エッジ検出動作を説明するための図である。
【図6】 同エッジに対するツールの角度とエッジ位置検出のための信号との関係を示す図である。
【図7】 本発明の他の実施例に係るCNC型画像測定装置のブロック図である。
【図8】 同実施例におけるビデオウィンドウを示す図である。
【図9】 本発明の他の実施例に係るビデオウィンドウを示す図である。
【図10】 従来のエッジ検出用のツールを示す図である。
【符号の説明】
1…測定機本体、2…コンピュータシステム、3…指令入力部、4…電源ユニット、11…架台、12…ワーク、13…測定テーブル、14…X軸駆動つまみ、15…Y軸駆動つまみ、16…微動つまみ、17…フレーム、18…CCDカメラユニット、19…Z軸駆動つまみ、20…CCDカメラ、21…照明装置、31…コンピュータ本体、32…キーボード、33…マウス、34…CRTディスプレイ、35…AD変換部、36…多値画像メモリ、37…表示制御部、38…CPU、39…プログラムメモリ、40…ワークメモリ、41…X軸エンコーダ、42…Y軸エンコーダ、43…Z軸エンコーダ、44…照明制御部。
Claims (4)
- 被測定対象を撮像した画像上にエッジ検出の処理を行う範囲を示す円形ツールを表示し、
この円形ツールによって指定された範囲内の画像情報を当該円形ツールの中心を通る複数の方向から探索して、それぞれの探索方向について前記画像のエッジ点を検出したのち、
これら検出されたエッジ点からエッジを推定し、
前記円形ツールの中心を通り、且つ前記推定されたエッジに対して直交する方向に探索して得られたエッジ点を最終的に検出されたエッジ点とする
ことを特徴とするエッジ検出方法。 - 前記円形ツールは、画像表示ウィンドウの中央部に固定的に配置され、
前記被測定対象の画像上のエッジ検出すべき位置を前記画像表示ウィンドウの中央部に移動させることによりエッジ検出を行う
ようにしたことを特徴とする請求項1記載のエッジ検出方法。 - 被測定対象を撮像する撮像手段と、
この撮像手段で撮像された画像を表示する表示手段と、
この表示手段に前記被測定対象の画像に重ねてエッジ検出の範囲を示す円形ツールを表示させると共に当該円形ツールで指示された範囲内の画像情報からエッジ点を検出して計測に必要な情報を抽出する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記円形ツール内でその中心を通り、探索方向を順次変えながら複数のエッジ点を検出し、これら検出されたエッジ点からエッジを推定し、推定されたエッジに対して直交する方向に探索して得られたエッジ点を最終的に検出されたエッジ点とする
ものであることを特徴とする画像測定装置。 - 前記制御手段は、前記撮像手段で撮像された画像を表示するための画像表示ウィンドウを前記表示手段に表示させると共に前記円形ツールを前記画像表示ウィンドウの中央部に固定的に表示させ、
前記被測定対象の画像上のエッジ検出すべき位置が前記画像表示ウィンドウの中央部に移動されたことによりエッジ検出を行うものである
ことを特徴とする請求項3記載の画像測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00264398A JP3853500B2 (ja) | 1998-01-08 | 1998-01-08 | エッジ検出方法及び画像測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00264398A JP3853500B2 (ja) | 1998-01-08 | 1998-01-08 | エッジ検出方法及び画像測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11201724A JPH11201724A (ja) | 1999-07-30 |
JP3853500B2 true JP3853500B2 (ja) | 2006-12-06 |
Family
ID=11535058
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP00264398A Expired - Fee Related JP3853500B2 (ja) | 1998-01-08 | 1998-01-08 | エッジ検出方法及び画像測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3853500B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7003161B2 (en) * | 2001-11-16 | 2006-02-21 | Mitutoyo Corporation | Systems and methods for boundary detection in images |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3286041B2 (ja) * | 1993-10-05 | 2002-05-27 | 株式会社ミツトヨ | 非接触画像計測システム |
JPH07210687A (ja) * | 1994-01-18 | 1995-08-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 形状検出装置 |
JP3508368B2 (ja) * | 1996-01-23 | 2004-03-22 | 株式会社ニコン | 画像測定機 |
-
1998
- 1998-01-08 JP JP00264398A patent/JP3853500B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11201724A (ja) | 1999-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3608920B2 (ja) | 非接触画像計測システム | |
JP3853620B2 (ja) | 画像測定装置用パートプログラム生成装置及びプログラム | |
JP2006337274A (ja) | 画像測定システム及び方法 | |
JP3887807B2 (ja) | 画像計測装置 | |
JPH07103735A (ja) | 非接触画像計測システム | |
JP3672970B2 (ja) | 非接触画像計測システム | |
JP3853500B2 (ja) | エッジ検出方法及び画像測定装置 | |
JP2708032B2 (ja) | ロボット教示装置 | |
JP3595014B2 (ja) | エッジ検出方法及びこれを用いた非接触画像計測システム | |
JP2978808B2 (ja) | 画像測定装置 | |
JP3673076B2 (ja) | 画像機器のフォーカス調整装置 | |
JPH09146633A (ja) | ロボットの誘導方法および誘導システム | |
JP2004294311A (ja) | 画像測定装置 | |
JP2937918B2 (ja) | 画像測定装置 | |
JPH09259289A (ja) | エッジ姿勢認識式の測定方法および装置 | |
JP4401126B2 (ja) | 寸法測定装置の所定部位登録方法 | |
JP3650205B2 (ja) | 非接触画像計測システム及びエッジ追跡測定方法 | |
JP3205183B2 (ja) | ティーチング装置 | |
JPH11203485A (ja) | 画像測定装置 | |
JP3595015B2 (ja) | 画像の重心位置検出方法 | |
JP3922942B2 (ja) | 画像測定装置、画像測定方法及び画像測定用プログラム | |
JP5577508B2 (ja) | 画像測定装置及びその駆動制御方法 | |
JP2000009459A (ja) | 画像測定装置 | |
JP2004239761A (ja) | 画像測定装置及びエッジ追跡測定プログラム生成用プログラム | |
JP2001091453A (ja) | 顕微分光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041028 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060713 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060815 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060906 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120915 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120915 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150915 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |