JP5577508B2 - 画像測定装置及びその駆動制御方法 - Google Patents
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Description
2 コンピュータシステム
3 プリンタ
11 架台
12 ワーク(被測定対象)
13 測定テーブル(ステージ)
14,15 支持アーム
16 X軸ガイド
17 撮像ユニット
18 CCDカメラ(撮像手段)
21 コンピュータ本体
22 キーボード
23 ジョイスティックボックス
24 マウス
25 CRT
Claims (5)
- 被測定対象を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段で撮像された撮像視野範囲内の前記被測定対象の画像を表示する表示手段と、
前記撮像視野範囲内の前記被測定対象のエッジを複数のエッジ検出ツールによって検出する検出手段と、
相対的に移動可能な前記被測定対象及び前記撮像手段の移動を制御する制御手段と、
前記撮像視野範囲内に表示された前記被測定対象の画像の撮像視野範囲外の方向を指示する指示手段とを備え、
前記制御手段は、前記指示手段によって指示された方向の前記被測定対象の画像が前記撮像視野範囲内に表示されるように、前記指示された方向に前記エッジを検出するまでの間、前記被測定対象及び前記撮像手段を相対的に移動させ、前記検出手段によって前記エッジが検出された場合に、前記被測定対象及び前記撮像手段の相対的な移動を停止させる
ことを特徴とする画像測定装置。 - 前記検出手段は、前記複数のエッジ検出ツールのサンプリング間隔が所定値以上となるように設定されている
ことを特徴とする請求項1記載の画像測定装置。 - 前記制御手段は、前記複数のエッジ検出ツールのうち少なくとも2つについて前記エッジが検出された場合に、前記被測定対象及び前記撮像手段の相対的な移動を停止させる
ことを特徴とする請求項1記載の画像測定装置。 - 前記制御手段は、前記指示された方向に前記撮像視野範囲単位で前記被測定対象及び前記撮像手段を相対的に移動させる
ことを特徴とする請求項1記載の画像測定装置。 - 相対的に移動可能な被測定対象とこの被測定対象を撮像する撮像手段との駆動を制御手段によって制御する画像測定装置の駆動制御方法であって、
前記撮像手段によって前記被測定対象を撮像し、
表示手段によって撮像された撮像視野範囲内の前記被測定対象の画像を表示し、
指示手段によって指示された方向の前記被測定対象の画像が前記撮像視野範囲内に表示されるように、前記指示された方向に前記被測定対象のエッジを検出するまでの間、前記被測定対象及び前記撮像手段を相対的に移動させ、
表示された前記撮像視野範囲内の前記エッジを複数のエッジ検出ツールによって検出し、
前記エッジが検出された場合に、前記制御手段によって前記被測定対象及び前記撮像手段の相対的な移動を停止する
ことを特徴とする画像測定装置の駆動制御方法。
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Family Applications (1)
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