JP2011159319A - 画像上または撮像されたオブジェクト上で動作を実行する方法、画像またはオブジェクト上で反復的な動作を実行する方法、幾何学的情報と非幾何学的情報をグラフィック図形に関連付けるステップを含む動作を制御する方法、計測プランを含む方法およびコンピュータ可読媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】オブジェクトの画像を獲得し、実行可能なパターン認識コンピュータ命令に関連付けられている第1の図形をこの画像上に配置し、オブジェクトの画像において第1の特徴部分の画像の位置を特定するために上記実行可能なパターン認識コンピュータ命令を実行し、オブジェクトの画像における第1の特徴部分の前記位置に対応する位置に第1の図形を再度配置し、位置が第1の図形の位置によって決定されて第2の実行可能なパターン認識コンピュータ命令に関連付けられている第2の図形を画像上に配置し、オブジェクトの画像において第2の特徴部分の画像の位置を特定するために第2の実行可能なパターン認識コンピュータ命令を実行し、直接的または間接的に第1の図形および第2の図形の位置に依存する動作を指定する第3の図形を画像上に配置する。
【選択図】図5
Description
ActiveXコントロール−Microsoft社開発によるActiveX技術を使用した一種のソフトウェア制御
ADO−Microsoft社製ActiveXデータオブジェクト
C3DおよびIC3D−本発明を実施するソフトウェアシステムの名称
キャリパ−エッジを位置特定するCognex社製のパターン認識ツール
Visio−Microsoft社製の作図または二次元コンピュータ援用設計プログラム
FEI図形−本発明の一実施形態でVisio Stencil(ステンシル)に表示されるカスタムマイズされた図形
GEM−(汎用設備モデル)製造工場で半導体製造設備を相互接続するための工業規格プログラミングインタフェース
Gizmo(ギズモ)−図形、ツール、および制御の組み合わせをカプセル化するオブジェクト
GUID−Microsoft社製グローバル一意識別子
HFW−水平フィールド幅
MDI−複数文書インタフェース
MUIF−FEI社製手動ユーザインタフェース。ユーザが顕微鏡パラメータを手動設定することを可能にするノブを含んでいるパネル。
PatMax−VisionProライブラリまたは他の製品の部分としてCognex社から市販されているパターン認識ツール
シーケンサー−システムが実行すべき動作の順序を制御するコントローラ
STACOMマップ−FEIのステージ位置補正/修正アプリケーション
ステンシル−事前に構成された複数図形または複数群の図形用位置ホルダ
UI 1280−荷電粒子ビームシステムの動作を制御するためのFEI社製コンピュータインタフェース
VBA−ビジュアルベーシックフォーアプリケーション−アプリケーション補足用のMicrosoft社製オブジェクト指向プログラミング言語
XML−拡張可能マークアップ言語
xP−荷電粒子ビームシステム動作制御用のFEI社製アプリケーションプログラミングインタフェース(API)
以下で説明するC3DまたはIC3Dと呼ばれる実施形態は、ユーザによる拡張を可能にする市販のソフトウェア構成要素を使用して実施される。動作に関連付けられた図形は、Visioを使用して作成されたカスタム図形である。パターン認識のような視覚動作は、Cognex社製のVisionProソフトウェアによって実行される。England、KentのActuate社のKansas、Overland ParkのFormula One Division(正式名称Tidestone Technologies)のFormula Oneスプレッドシートをデータ解析用に使用することができる。荷電粒子ビームシステムを制御するために使用されるインタフェースは、本発明の譲渡人であり、集束イオンビームシステムおよび電子顕微鏡の製造業者であるOregon、HillsboroのFEI社製xPプログラミングインタフェースであることが好ましい。様々な構成要素に対するカスタム制御および構成要素間のインタフェースはVBAおよびActiveXを使用してプログラムすることができる。
好適に記憶される。
また、データは以下のステートメントを使用してロードすることができる。
実行可能なコードをテンプレート、文書、ステンシル、またはActiveXコントロールに追加することができる。一実施形態は、ActiveXコントロールを自動化挙動の主要位置として使用する。
gedイベントは、図形がグループ化されるか、または1組の図形がグループ化解除された後で行われる。実行階層図を再描画するために有用である。BeforeShapeDeleteイベントは図形が削除される前に行われ、BeforeSelectionDeleteが複数の選択のために一度呼び出される。これらのイベントは、図形を削除し、図形の階層図を再描画するために有用である。BeforeDocumentSave/AsイベントはVisio文書が保存される直前に行われ、FEIオブジェクトデータを図形DATA1セルに保存するために有用である。
ページの縮尺は、画像のミクロン当たりピクセルに従って設定される。Visioは、所与の図形の角度をそのページの別の図形またはそのページ自体の角度に変換するために使用することができるANGLETOLOCコマンドも提供する。
以下のコードは、画像ピクセルをVisionProから中心に置かれたミクロンに変換する。
‘Skew by PI,Offset by Image Width/2 and Height/2 to align Vx Coords to xP Coords was 96/25.4
t.SetScalingAspectRotationSkewTranslation ImagePixelsPerNanometer,1,0,PI,_
IDBTool.OutputImage.Width/2,IDBTool.OutputImage.Height/2
以下のコードは、縮尺をピクセルからナノメートルに変換する。
IDBTool.OutputImage.SelectedSpaceName=“nm”
画像ツールは、画像データをVisionPro画像データベースオブジェクトまたは決定されたいかなるオブジェクトにでもロードすることを担当する。
・オブジェクトの位置、識別、および分類を含めた天体望遠鏡の自動誘導
・特徴部分の位置、識別、および分類を含めた光学顕微鏡の自動操縦
・DNAマイクロアレイスポットの自動識別および定量
・移動機械車両、ロボット、またはプローブの画像ベースによるナビゲーション
・画像ベースのコンピュータ数値制御(CNC)機械ツール制御および自動制御
・リソグラフィーマスク不良点識別および補修、または不良点除去
・3−Dナノファブリケーションおよび3−D検査
・半導体不良点識別、精密切断および分類
・薄膜コーティング解析
・自動制御および手動画像注釈
・製造ライン光学検査および処分(廃棄)
を含む。
203、204 PatMax図形
205 原点
206 キャリパ図形
208 エッジ
210 接続点
216 寸法線
300 画面
302 走査電子顕微鏡画像
304 主要ウィンドウ
306 図形ステンシル
308 画像ウィンドウ
310 レシピウィンドウ
320 Visioツールバー
322 Visioメニューバー
Claims (26)
- 画像上または撮像されたオブジェクト上で動作を実行する方法において、
オブジェクトの画像を獲得するステップと、
前記画像上に第1の図形を配置するステップであって、前記第1の図形が実行可能なパターン認識コンピュータ命令に関連付けられているステップと、
前記オブジェクトの画像において第1の特徴部分の画像を位置特定するために前記実行可能なパターン認識コンピュータ命令を実行するステップと、
前記第1の図形を、前記オブジェクトの画像における前記第1の特徴部分の前記位置に対応する位置に再度配置するステップと、
前記画像上に第2の図形を配置するステップであって、前記第2の図形の位置は前記第1の図形の位置によって決定され、前記第2の図形が第2の実行可能なパターン認識コンピュータ命令に関連付けられるステップと、
前記オブジェクトの画像において第2の特徴部分の画像を位置特定するために前記第2の実行可能なパターン認識コンピュータ命令を実行するステップと、
前記画像上に第3の図形を配置するステップであって、その結果が直接的または間接的に前記第1の図形および前記第2の図形の前記位置に依存する動作を前記第3の図形が指定するステップと
を含む方法。 - 前記画像上に第3の図形を配置するステップが、前記第1の図形と前記第2の図形の間を接続する前記第3の図形を前記画像上に配置するステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記画像上に第3の図形を配置するステップが、前記第1の図形と前記第2の図形の間の距離を測定するコンピュータ命令に関連付けられた前記第3の図形を前記画像上に配置するステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記画像上に第3の図形を配置するステップが、その結果が間接的に前記第1の図形と前記第2の図形の前記位置に依存する動作を、その位置が最終的に前記第1および第2の図形の前記位置に依存する1つまたは複数の中間図形によって指定する前記第3の図形を前記画像上に配置するステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記画像に1つまたは複数の追加の図形を配置するステップであって、前記1つまたは複数の追加の図形の位置が前記第1の図形と前記第2の図形の前記位置に依存し、前記第3の図形によって指定された前記動作の前記結果が前記1つまたは複数の追加の図形の前記位置に依存するステップをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 前記第3の図形によって指定された前記動作がミクロ機械加工動作を含む請求項1に記載の方法。
- 前記第3の図形によって指定された前記動作が測定動作を含む請求項1に記載の方法。
- 前記第2の特徴部分を位置特定するために前記第2の図形に関連付けられた実行可能なパターン認識コンピュータ命令を実行するステップが、前記第1の図形に関連付けられた実行可能なパターン認識コンピュータ命令を実行することによって位置特定される構造のエッジを位置特定するステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記画像上に前記第2の図形を配置するステップが、前記画像上に追加の図形を配置するための固定点を含めて前記第2の図形を配置するステップを含む請求項8に記載の方法。
- 前記追加の図形または前記第3の図形の少なくとも1つが、前記オブジェクトの画像内で位置特定された特徴部分間の距離または角度を決定するための関連付けられたコンピュータ命令を含む請求項9に記載の方法。
- 画像上に第1の図形を配置するステップと前記画像上に第2の図形を配置するステップとが、前記画像上に複合図形を配置するステップを含む請求項1に記載の方法。
- 請求項1の方法を実行するための命令を有するコンピュータ可読媒体。
- 画像またはオブジェクト上で反復的な動作を実行する方法において、
画像を獲得するステップと、
オブジェクトの画像内で前記オブジェクトの特徴部分の画像を認識するよう調整することができる、関連付けられたパターン認識動作を有する第1の図形を提供するステップと、
認識されるべき特徴部分の画像上に前記第1の図形を配置することによって前記特徴部分の画像を認識するよう前記第1の図形を調整するステップと、
認識されるべき前記特徴部分に対して少なくとも1つの点を定義し、認識されるべき前記特徴部分および前記点の位置に関する範囲を有する動作を定義する少なくとも1つの追加の図形を提供するステップと、
前記画像内での前記特徴部分と類似の特徴部分の追加の発生を位置特定するために前記第1の図形に関連付けられた前記パターン認識動作を実行するステップと、
前記特徴部分に関連する少なくとも1つの点を定義し、各位置特定された追加の特徴部分の前記画像内での発生毎に前記動作を実行するために前記少なくとも1つの追加の図形に関連付けられた動作を実行するステップと
を含む方法。 - 認識されるべき前記特徴部分に対して少なくとも1つの点を定義し、前記特徴部分および前記点の位置に関する範囲を有する動作を定義する少なくとも1つの追加の図形を提供するステップが、前記画像内で、前記特徴部分の寸法を定義し、測定する点を指定する図形を提供するステップを含む請求項13に記載の方法。
- 前記測定された寸法が解析用スプレッドシートに記憶される請求項14に記載の方法。
- 第1の図形を提供するステップがそれぞれが異なる機能に関連付けられた規定の図形の一群から図形を選択するステップを含む請求項13に記載の方法。
- 前記1つまたは複数の追加の図形を組み合わせるステップと、前記組み合わせを将来使用するためにステンシルに記憶するステップとをさらに含む請求項16に記載の方法。
- 幾何学的情報と非幾何学的情報をグラフィック図形に関連付けるステップを含む動作を制御する方法において、前記幾何学的情報が動作に対する領域を指定し、前記非幾何学的情報が前記動作に関する制御パラメータを指定する方法。
- 前記図形を複製するステップが前記非幾何学的情報も複製する請求項18に記載の方法。
- 複合動作を実行するために図形を組み合わせることができる請求項18に記載の方法。
- 組み合わされた図形を新しい図形として保存することができる請求項20に記載の方法。
- 順序または動作を指定するために図形をページ上で編成することができる請求項18に記載の方法。
- 動作の順序に影響を与える親子関係が図形間に存在する請求項18に記載の方法。
- 前記子図形を前記親の動作の結果として変更することができる請求項18に記載の方法。
- 前記親図形がパターンを位置特定し、次いで前記子図形が前記位置特定されたパターンに適応する請求項18に記載の方法。
- 計測プランを含む方法において、
群を構成するステンシルに図形を提供するステップであって、各図形は関連付けられた動作を含み、各動作は動作を実行する実行可能なコンピュータ命令を含んでおり、前記関連付けられた動作の少なくとも1つが画像の一部上でパターン認識を実行する命令を含み、前記関連付けられた動作の少なくとも1つが画像の一部上での測定を実行する命令を含むステップと、
前記ステンシルからオブジェクトの画像上に図形を配置するステップであって、前記図形および前記画像が同様に拡大縮小され、前記画像上の前記図形の前記位置が前記関連付けられた動作の範囲を制御するステップと、
前記画像上の前記図形を複合図形に組み合わせるステップであって、前記複合図形は前記図形に関連付けられた動作を組み合わせるステップと、
前記複合図形を追加の測定に使用可能とすべきステンシルに配置するステップと
を含む方法。
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