JP2012138316A - マイクロスケール管理機能を備えた荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マイクロスケール上のセルの配置に対応したマップを作成し、当該マップ上に各セルの使用状態を表示する。装置ユーザは、実際に使用するマイクロスケール上のセルをマップ上に示されるセルから選択する。表示の際には、単純に使用回数を文字表示するのではなく、マップ上のセルを使用状態に応じて色分けして表示する。また、マイクロスケールの使用状態を適当なカテゴリに分類し、分類したカテゴリ毎に色分け表示する。
【選択図】 図1
Description
参照ボタン305は、セルの管理ファイルを読み込むボタンを示す。
(1)マイクロスケールの測長結果と格子パターンピッチの仕様値とを比較して損傷状態を判別する方法。
(2)SEM画像を構成するラインプロファイルを比較して損傷状態を判別する方法。
(3)1セルへの電子線照射積算時間を管理する方法。
3min00sec×1.0×1.0+1min00sec=4min00sec として得られる。
同様に、セルアドレス(0,2)に対する重み付け電子線照射累計時間は、
3min00sec×1.5×1.2+1min00sec=6.4min=6min24sec として得られる。
2 アノード
3 コンデンサレンズ
4 一次電子線
5 偏向器
6 対物レンズ
7 二次電子
8 試料
9 試料ステージ
10 ステージ制御部
11 二次電子検出器
12 増幅器
13 画像記憶部
14 測長処理部
15 制御部
16 コンピュータ
17 表示部
18 マイクロスケール
19 偏向制御部
20 マウス
21 キーボード
22 データベース(DB)
23 専用操作パネル
24 電子光学鏡筒
25 縦方向ラインパターン領域
26 横方向ラインパターン領域
27 ラインパターン
28 損傷セル画像
29 測長後のコンタミネーション画像
30 ライン波形および測長値
31 標準プロファイル
32 規則性のないライン波形
33 セル使用状態ALL表示メニュー
34 損傷セル数値管理
35 白(未使用)
36 青(1回目使用)
37 緑(2回目使用)
38 黄(3回目使用)
39 橙(4回目使用)
40 赤(5回目使用)
41 画像合成用テンプレート
42 使用済みエリア
43 カラー表示
Claims (9)
- 試料ステージ上に載置された試料に対して一次電子線を走査することにより、当該試料の電子顕微鏡画像を撮像する走査電子顕微鏡と、
前記試料ステージ上に載置された、寸法校正用の凹凸パターンが形成されたセル部を複数備える寸法校正用部材と、
前記電子顕微鏡画像が表示されるディスプレイと、
前記セル部への前記一次電子線の走査回数を管理する情報処理手段とを備え、
前記ディスプレイ上に、
前記寸法校正用部材上における前記複数のセルの配置を示すセルマップと、当該複数のセル各々への前記一次電子線の走査回数を視覚的に示す情報とを含むGUI画面が表示されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記セルマップ上のセルが、前記一次電子線の走査回数に応じた異なる色で表示されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2に記載の荷電粒子線装置において、
前記セルマップ上のセルが、前記一次電子線の走査回数に応じて、未走査セル,走査回数が既定値未満のセル,走査回数が既定値以上のセルの3種に区分されて、色分け表示されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記GUI画面上に、前記一次電子線の走査回数が既定値以上のセルの数、あるいは前記寸法校正用部材上に形成されたセルの総数に対する前記走査回数が規定値以上のセル数との比が表示されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記GUI画面上に、
前記寸法校正用部材上における複数のセルのうちの1のセルの走査電子顕微鏡画像と、
当該1のセル上での一次電子線の走査回数が既定値を越える領域を示す視覚情報とが表示されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記走査電子顕微鏡は、前記ディスプレイ上に表示されるGUI画面上で指定されたセルの走査電子顕微鏡画像を取得し、
前記情報処理手段は、前記セルの走査電子顕微鏡画像に基づき当該セル内の凹凸パターンの寸法を計算し、当該計算した値が仕様値から外れる場合には、仕様値から外れていることを示す情報を前記ディスプレイ上に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記情報処理手段は、
前記各セルに対する前記一次電子線の累計照射時間を記憶し、当該累計照射時間が規定値から外れる場合には、既定値から外れていることを示す情報を前記ディスプレイ上に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記走査電子顕微鏡は、前記セルマップ上で指定されたセルが視野領域内に入るように視野移動を実行することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記走査電子顕微鏡は、前記寸法校正用部材の撮像時に視野移動を行う場合、前記一次電子線をブランキングすることを特徴とする荷電粒子線装置。
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