JP2010187024A - 欠陥レビュー装置および電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料を保持する試料ステージと、前記試料に電子線を照射する電子光学系を有するカラムと、前記電子線の照射により前記試料から発生した信号に基づいて第一および第二の画像を取得する画像取得部と、前記第一の画像から予め指定された種類の欠陥の有無を判定する画像演算部とを有し、前記画像演算部によって当該欠陥があると判定された場合、前記電子光学系は、前記第一の画像を取得したときの電子線と試料面のなす角度とは異なる角度で前記試料に電子線を照射し、前記画像取得部は、前記試料から発生した信号に基づいて第二の画像を取得する。
【選択図】図2
Description
まず図1により、ウェハの製造ラインでの各装置とその接続構成の一具体例について説明する。なお、同図において、1はデータ管理サーバ、2は半導体の製造装置、3は検査装置、4はレビュー装置、5は解析装置、6はレビュー・解析装置、7はネットワークである。製造ラインは、同図のように、半導体ウェハの製造装置2や検査装置3、レビュー装置4、解析装置5、レビュー・解析装置6がデータ管理サーバ1とネットワーク7によって相互に接続された構成をなしている。
2…半導体の製造装置
3…検査装置
4…レビュー装置
5…解析装置
6…レビュー・解析装置
7…ネットワーク
8…走査型電子顕微鏡の第一カラム
9…第一カラムの電子源
10…第一カラムのコンデンサレンズ
11…第一カラムのコンデンサレンズ
12…第一カラムの偏向走査用コイル
13…第一カラムの対物レンズ
14…第一カラムの対物レンズ
15…第一カラムの検出器
16…走査型電子顕微鏡の第二カラム
17…第二カラムの電子源
18…第二カラムのコンデンサレンズ
19…第二カラムのコンデンサレンズ
20…第二カラムの偏向走査用コイル
21…第二カラムの対物レンズ
22…第二カラムの対物レンズ
23…第二カラムの検出器
24…XYθステージ
25…記憶装置
26…モニタ
27…入力装置
28…全体制御部
29…画像演算部
30…A/D変換部
31…電子光学系制御部
32…ステージ制御部
33…欠陥データ解析演算部
34…元素分析検出器
35…元素分析検出器
36…元素分析制御部
37…固有識別子表示領域
38…分類識別子表示領域
39…撮像位置マップ表示領域
40…画像表示形態表示領域
41…機能表示領域
42…画像表示領域
43…元素分析表示領域
44…自動検出処理条件設定領域
45…ウェハマップ表示領域
Claims (14)
- 試料を保持する試料ステージと、
前記試料に電子線を照射する電子光学系を有するカラムと、
前記電子線の照射により前記試料から発生した信号に基づいて第一および第二の画像を取得する画像取得部と、
前記第一の画像から予め指定された種類の欠陥の有無を判定する画像演算部とを有し、
前記画像演算部によって当該欠陥があると判定された場合、前記電子光学系は、前記第一の画像を取得したときの電子線と試料面のなす角度とは異なる角度で前記試料に電子線を照射し、前記画像取得部は、前記試料から発生した信号に基づいて第二の画像を取得することを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 請求項1に記載の欠陥レビュー装置において、
前記予め指定された種類ははがれモードであることを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 請求項1に記載の欠陥レビュー装置において、さらに、
前記カラムの前記試料面に対する角度を可変にする機構を有することを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 請求項1に記載の欠陥レビュー装置において、
前記試料ステージは、傾斜機構を有することを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 請求項1に記載の欠陥レビュー装置において、
前記電子光学系は、前記電子線を前記試料の法線方向に対して斜めから入射するように偏向する偏向制御機構を有することを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 請求項1に記載の欠陥レビュー装置において、
前記試料面の法線方向に対して電子線を照射する第一の電子光学系と、当該第一の電子光学系が設置された角度とは異なる角度で電子線を照射する第二の電子光学系とを有し、
前記画像取得部は、前記第二の電子光学系の出力信号に基づいて前記第二の画像を取得することを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 請求項1に記載の欠陥レビュー装置において、
前記試料ステージは、回転方向に移動制御可能であることを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 請求項1に記載の欠陥レビュー装置において、さらに、
前記電子線と前記試料面とのなす角を設定可能な入力部を有することを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 請求項1に記載の欠陥レビュー装置において、
前記画像取得部は、前記試料における観察対象とする範囲を設定可能であることを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 試料を保持して移動する試料ステージと、
前記試料の外周部を観察可能な光学顕微鏡と、
前記光学顕微鏡の観察結果から前記外周部における欠陥の有無を判定する演算部と、
前記演算部によって判定された欠陥の位置に電子線を照射して観察する電子顕微鏡とを有し、
前記電子線は前記試料面に対して傾斜した方向から試料に入射することを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 請求項10に記載の欠陥レビュー装置において、
前記演算部は、前記光学顕微鏡の観察結果から予め指定された種類の欠陥の有無を判定し、
前記演算部によって前記外周部において前記種類の欠陥があると判定された場合、前記電子顕微鏡を用いて観察を行うことを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 試料を保持して移動する試料ステージと、
前記試料に電子線を照射する電子光学系と、
前記電子線の照射により前記試料から発生した信号に基づいて画像を取得する画像取得部と、
前記画像から予め指定された種類の欠陥の有無を判定する画像演算部とを有し、
前記画像演算部により当該欠陥があると判定された場合、前記電子光学系は、前記電子線を前記試料面に対して傾斜して入射させ、前記画像取得部は、前記欠陥が存在する位置の画像を再度取得することを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 試料を保持して回転移動することが可能な試料ステージと、
前記試料の外周部に対して電子線を走査することが可能な電子光学系と、
前記電子線の走査を制御する制御部と、
前記電子線の走査により前記試料から発生した信号を検出する検出器と、
前記検出器からの信号に基づいて画像を取得する画像取得部と、
前記画像を表示する表示部を有し、
前記制御部は、前記試料ステージの回転角度に応じて前記走査の方向または撮像領域を回転させることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項13に記載の電子顕微鏡において、さらに、
前記電子線を前記試料面の法線方向とは異なる角度から入射させる機構を有することを特徴とする電子顕微鏡。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014067863A (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-17 | Tokyo Electron Ltd | 基板のベベル部の検査方法及び記録媒体 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6197509A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-16 | Hitachi Ltd | 検査装置 |
JPH0261952A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-01 | Sharp Corp | 電子線走査型顕微鏡 |
JP2000260376A (ja) * | 1999-03-08 | 2000-09-22 | Jeol Ltd | 欠陥検査装置 |
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2010
- 2010-05-18 JP JP2010114228A patent/JP5190087B2/ja active Active
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