JP5938503B1 - 測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 測定対象物を載置する載置部と、
前記載置部に載置された前記測定対象物の測定基準位置を含む領域を観察するアライメント顕微鏡と、
前記アライメント顕微鏡によって観察された前記測定基準位置を含む領域の画像を撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像された画像の画像データから前記測定基準位置を検出する検出部と、
前記検出部により検出された前記測定基準位置に基づいて基準座標系を作成する基準座標作成部と、
前記基準座標作成部により作成された前記基準座標系における前記測定対象物の所定の測定位置を指定する指定部と、
前記指定部により指定された前記測定対象物の前記所定の測定位置の表面粗さ、及び表面形状の少なくとも一方を測定する測定部と、
前記測定基準位置、前記基準座標系及び前記基準座標系における前記測定対象物の前記所定の測定位置を記憶する記憶部と、
前記載置部に再度前記測定対象物が載置された場合において、前記アライメント顕微鏡の前記撮像部により撮像された画像の画像データから、前記記憶部に記憶されている前記測定基準位置を検出し、前記測定基準位置を用いて前記記憶部に記憶されている前記基準座標系を設定する基準座標系設定部と、を備え、
前記測定部は、前記記憶部に記憶されている前記基準座標系における前記測定対象物の前記所定の測定位置の表面粗さ及び表面形状の少なくとも一方を再測定することを特徴とする測定装置。 - 前記基準座標系における前記測定対象物の前記所定の測定位置に対応する機械座標系における前記所定の測定位置の位置座標の直上に前記測定部の位置を移動させる移動部を備え、
前記測定部は、前記機械座標系により表された前記測定対象物の前記所定の測定位置の表面粗さ、及び表面形状の少なくとも一方を測定することを特徴とする請求項1記載の測定装置。 - 前記指定部は、前記基準座標系における前記所定の測定位置の位置座標を数値入力する数値入力部を備えることを特徴とする請求項1または2記載の測定装置。
- 前記基準座標作成部は、複数の前記測定基準位置を基準とする前記基準座標系を作成することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の測定装置。
- 前記測定部は、白色干渉顕微鏡方式、共焦点顕微鏡方式、または触針方式の何れかの方式により前記表面粗さ、及び前記表面形状の少なくとも一方の測定を行うことを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の測定装置。
- 上部に前記撮像部が配置され、下部に前記アライメント顕微鏡または前記測定部が配置される鏡筒部と、
前記鏡筒部の下部に前記アライメント顕微鏡または前記測定部の何れかが配置されるように前記アライメント顕微鏡及び前記測定部の位置を切り替える切換機構と
を備える特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の測定装置。 - 上部に第1撮像部が配置され、下部に前記アライメント顕微鏡が配置された第1鏡筒部と、
上部に第2撮像部が配置され、下部に前記測定部が配置された第2鏡筒部と
を備えることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の測定装置。
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Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS616707U (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-16 | 株式会社 小坂研究所 | 微細形状測定器 |
JPS6361925A (ja) * | 1986-09-02 | 1988-03-18 | Tokyo Optical Co Ltd | 干渉縞解析方法及びそのための装置 |
JPH05264250A (ja) * | 1992-03-18 | 1993-10-12 | Kosaka Kenkyusho:Kk | 表面形状の光学的測定装置 |
JPH08313248A (ja) * | 1995-05-22 | 1996-11-29 | Kosaka Kenkyusho:Kk | 触針式表面粗さ測定器及び測定方法 |
JPH08313217A (ja) * | 1995-05-22 | 1996-11-29 | Mitsutoyo Corp | 非接触画像計測システム |
JP2003202208A (ja) * | 2002-01-07 | 2003-07-18 | Mitsutoyo Corp | 画像測定装置及び画像測定用プログラム |
JP2014168031A (ja) * | 2013-01-30 | 2014-09-11 | Canon Inc | リソグラフィ装置、リソグラフィ方法及び物品製造方法 |
US20150055139A1 (en) * | 2011-09-08 | 2015-02-26 | Zygo Corporation | In situ calibration of interferometers |
JP2015105931A (ja) * | 2013-12-03 | 2015-06-08 | 新東エスプレシジョン株式会社 | 測定機 |
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---|---|---|---|---|
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS616707U (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-16 | 株式会社 小坂研究所 | 微細形状測定器 |
JPS6361925A (ja) * | 1986-09-02 | 1988-03-18 | Tokyo Optical Co Ltd | 干渉縞解析方法及びそのための装置 |
JPH05264250A (ja) * | 1992-03-18 | 1993-10-12 | Kosaka Kenkyusho:Kk | 表面形状の光学的測定装置 |
JPH08313248A (ja) * | 1995-05-22 | 1996-11-29 | Kosaka Kenkyusho:Kk | 触針式表面粗さ測定器及び測定方法 |
JPH08313217A (ja) * | 1995-05-22 | 1996-11-29 | Mitsutoyo Corp | 非接触画像計測システム |
JP2003202208A (ja) * | 2002-01-07 | 2003-07-18 | Mitsutoyo Corp | 画像測定装置及び画像測定用プログラム |
US20150055139A1 (en) * | 2011-09-08 | 2015-02-26 | Zygo Corporation | In situ calibration of interferometers |
JP2014168031A (ja) * | 2013-01-30 | 2014-09-11 | Canon Inc | リソグラフィ装置、リソグラフィ方法及び物品製造方法 |
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