JP2005172695A - 非接触式3次元形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ワークの画像をCCDカメラで撮影したワーク画像12´をCRT25上に表示させ、レーザプローブによる測定経路MLをオペレータにマウス24を用いて描画させる。描画された測定経路ML上の測定点での反射率を、ワーク画像12´の画素濃度から推定し、この反射率に基づいて、レーザプローブの出力レーザ光の光量を決定する。
【選択図】図5
Description
このような問題に鑑みて、投影する測定光の光量を、ワーク表面の反射率に応じて変化させるようにした測定装置が、特許文献2により提案されている。この文献に開示の測定装置では、ワークを一定の光量の測定光で1度走査し、次の走査の際には、1走査前の各走査位置における受光光量に基づき、測定光であるレーザの出力を変化させている。これにより、ワークの反射率が場所によって異なる場合にも受光部での受光光量レベルをほぼ一定にすることができ、これにより高精度な測定結果を得ることができる。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、受光部での受光光量を常に適正に保って高精度な測定を実行することができると共に、短い測定時間で測定を完了することが可能な非接触式3次元測定装置を提供することを目的とする。
前記ワーク上の測定点に測定光を投影してその反射光を受光して前記測定点までの距離を変位量として検出する非接触式変位計と、前記撮像手段により撮像された前記ワークの画像に基づき前記測定点における前記測定光の光量を制御する光量制御手段とを備えたことを特徴とする。
この発明において、前記非接触式変位計を測定3次元空間内で前記ワークに対し相対的に移動させる移動手段と、前記非接触式変位計を移動させる移動経路を決定する移動経路決定手段とを更に備えるようにすることができる。また、前記光量制御手段は、前記測定点に対応する前記ワークの画像の画素濃度を抽出し、この画素濃度に基づいて前記測定光の光量を制御するようにすることができる。
図1は、この発明の実施の形態に係る非接触式3次元測定装置の全体構成を示す斜視図である。この装置は、非接触画像測定機能と非接触変位測定機能とを備えた3次元測定機1と、この3次元測定機1を駆動制御すると共に、必要なデータ処理を実行するコンピュータシステム2とにより構成されている。
また、レーザプローブ35中の半導体レーザ51から放射されるレーザ光の光量を制御する光量制御部51aは、CPU81からの制御信号に基づき制御を実行する。
はじめに、CCDカメラ34により、ワーク12の画像を撮像し、多値画像メモリ82にこの画像をワーク画像データ12´として格納させる。次に、図5(a)に示すように、この多値画像メモリ82に格納されたワーク画像データ12´をCRT25上に表示させると共に、多数の測定点を結ぶ測定経路MLを、オペレータに描画させる。測定経路MLの描画は、例えばマウス24等を操作することにより実行することができる。
Claims (3)
- ワークを撮像する撮像手段と、
前記ワーク上の測定点に測定光を投影してその反射光を受光して前記測定点までの距離を変位量として検出する非接触式変位計と、
前記撮像手段により撮像された前記ワークの画像に基づき前記測定点における前記測定光の光量を制御する光量制御手段と
を備えたことを特徴とする非接触式3次元形状測定装置。 - 前記非接触式変位計を測定3次元空間内で前記ワークに対し相対的に移動させる移動手段と、
前記非接触式変位計を移動させる移動経路を決定する移動経路決定手段と
を更に備えたことを特徴とする請求項1記載の非接触式3次元形状測定装置。 - 前記光量制御手段は、前記測定点に対応する前記ワークの画像の画素濃度を抽出し、この画素濃度に基づいて前記測定光の光量を制御する請求項1又は2記載の非接触式3次元形状測定装置。
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JP2012122893A (ja) * | 2010-12-09 | 2012-06-28 | Mitsutoyo Corp | 形状測定システム及び形状測定方法 |
CN111896539A (zh) * | 2019-05-06 | 2020-11-06 | 迪密机电(杭州)有限公司 | 一种高精度工件质量检测设备及其检测方法 |
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