JP4578538B2 - 非接触三次元測定方法 - Google Patents
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Description
また、ワーク座標系と機械座標系とは、同様に両者の位置関係が判ることで必要十分であり、オフセット、回転とも0にする必要はないが、少なくとも回転だけは0(すなわち座標軸方向が一致)としていた方が、CCDカメラ34等の駆動を簡易化することができるため、この実施の形態では、冶具等を利用して両者が一致するようにする。すなわち、ワーク座標系と機械座標系とが一致していれば、測定ルートがX軸又はY軸と平行である場合、撮像ユニット17のXY駆動機構の駆動も、X軸駆動機構又はY軸駆動機構の単独の駆動とすることができ、このため、測定ルートに沿った駆動を迅速に実行することができる。
続いて、図7(c)に示すように、点P1を再びマウス24で指定し、点P1とP2を結ぶ直線をX軸に指定することにより、ワーク座標系の設定が完了する。
これにより、点P1のワーク座標系に基づく座標値と、指定された点P1´のCADデータ座標系に基づく座標値との差(ΔX、ΔY)に基づき、ワーク座標系が(−ΔX、−ΔY)だけ移動される。すなわち、ワーク座標系がCADデータ座標系と一致するように再設定される。
測定ルートの生成(S4)は、図9に示すように、CADデータをあるX軸(又はY軸)に水平な直線102上で検索して、中心位置のY座標(又はX座標)が、この直線のY座標(又はX座標)を中心とした許容範囲内にあるバンプ101の位置情報を抽出し、抽出結果としての位置情報からバンプ101を辿るルートを測定ルートとして生成する。このようにすることにより、X軸又はY軸に平行な測定ルートを自動生成することができる。ここでの許容範囲は、バンプ101の直径等を考慮して決定する。測定ルートとしての線は、どのような形状に生成してもよいが、演算の容易化、三次元測定機1の駆動の迅速化等の観点から、X軸、Y軸に沿った直線として生成するのが好適である。生成した測定ルートは、パートプログラムの一部を校正する測定ルート情報ファイルとして、プログラム記憶部83に保存される(S5)。この実施の形態では、バンプ101の位置情報がCADデータに基いて抽出され、この位置情報から測定ルートが生成されるので、バンプ101が定ピッチに配置されているか、不定ピッチに配置されているかに拘わらず測定ルートを生成することができる。
Claims (4)
- ワークの形状データから前記ワーク上の特定の測定要素の位置を示す位置情報を抽出し、この位置情報から前記特定の測定要素を巡り前記特定の測定要素を測定するための測定ルートを生成するステップと、
前記測定ルートに沿って非接触変位計を移動させてその検出信号を取得し前記特定の測定要素を含む前記ワークの形状を測定するステップと、
前記測定ルートに沿った前記特定の測定要素の位置を示す位置情報を前記形状データに基づいて取得するステップと、
前記非接触変位計の前記検出信号から前記特定の測定要素の部分の検出信号のみを前記位置情報に基づいて抽出するステップと、
前記抽出された検出信号に基づいて前記ワークの性状データを生成し出力するステップと
を備えたことを特徴とする非接触三次元測定方法。 - 前記測定ルートを生成するステップは、前記ワークの設計データに基づいて前記測定ルートを生成する請求項1に記載の非接触三次元測定方法。
- 前記ワークの位置を示すワーク座標系を前記設計データの座標系に一致させるステップを更に備えた請求項2に記載の非接触三次元測定方法。
- 前記測定ルートを生成するステップは、撮像された前記ワークの画像を用いて前記測定ルートを生成する請求項1に記載の非接触三次元測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008123661A JP4578538B2 (ja) | 2008-05-09 | 2008-05-09 | 非接触三次元測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003094983A Division JP4138555B2 (ja) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | 非接触三次元測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008209420A JP2008209420A (ja) | 2008-09-11 |
JP4578538B2 true JP4578538B2 (ja) | 2010-11-10 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008123661A Expired - Fee Related JP4578538B2 (ja) | 2008-05-09 | 2008-05-09 | 非接触三次元測定方法 |
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---|---|
JP (1) | JP4578538B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6161262B2 (ja) | 2012-11-19 | 2017-07-12 | 株式会社ミツトヨ | 画像測定機のled照明方法及び装置 |
JP6124570B2 (ja) * | 2012-11-30 | 2017-05-10 | 株式会社ミツトヨ | Xyz直交測定装置 |
JP7000037B2 (ja) | 2017-05-12 | 2022-01-19 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機および三次元測定方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63285615A (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-22 | Nikon Corp | 3次元測定機のオフラインティ−チング装置 |
JPH02118412A (ja) * | 1988-10-28 | 1990-05-02 | Anritsu Corp | 形状測定方法 |
JPH02124408A (ja) * | 1988-07-18 | 1990-05-11 | Anritsu Corp | 形状測定装置 |
JPH09178462A (ja) * | 1995-12-26 | 1997-07-11 | Nikon Corp | 多次元座標測定機 |
JPH11183146A (ja) * | 1997-12-19 | 1999-07-09 | Nikon Corp | ティーチングデータ作成方法及び測定装置 |
JP2000346624A (ja) * | 1999-06-09 | 2000-12-15 | Mitsutoyo Corp | アイコン生成方法、測定装置および記憶媒体 |
JP2000346638A (ja) * | 1999-06-09 | 2000-12-15 | Mitsutoyo Corp | 測定手順ファイル生成方法、測定装置および記憶媒体 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63285615A (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-22 | Nikon Corp | 3次元測定機のオフラインティ−チング装置 |
JPH02124408A (ja) * | 1988-07-18 | 1990-05-11 | Anritsu Corp | 形状測定装置 |
JPH02118412A (ja) * | 1988-10-28 | 1990-05-02 | Anritsu Corp | 形状測定方法 |
JPH09178462A (ja) * | 1995-12-26 | 1997-07-11 | Nikon Corp | 多次元座標測定機 |
JPH11183146A (ja) * | 1997-12-19 | 1999-07-09 | Nikon Corp | ティーチングデータ作成方法及び測定装置 |
JP2000346624A (ja) * | 1999-06-09 | 2000-12-15 | Mitsutoyo Corp | アイコン生成方法、測定装置および記憶媒体 |
JP2000346638A (ja) * | 1999-06-09 | 2000-12-15 | Mitsutoyo Corp | 測定手順ファイル生成方法、測定装置および記憶媒体 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008209420A (ja) | 2008-09-11 |
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