JPH0357403B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明は、画像処理式測定装置に係り、特に、
テレビカメラを使用した画像処理型測定機に用い
るのに好適な、載物台上に配置した測定対象物と
関与した光を受けて、前記載物台と相対移動され
る拡大光学系により所定の測定対象部分の像を拡
大し、該測定対象部分の拡大像を評価して、測定
対象物の寸法や形状等を測定するようにした画像
処理式測定装置に関する。

【従来の技術】

近年、テレビカメラを使用した画像処理型の測
定機が研究されている。この画像処理型の測定機
において、テレビカメラ撮像面の大きさ、分割数
は限られているため、測定機として使用するに
は、測定対象物乃至その部分を対物レンズ等の拡
大光学系により拡大し、拡大像を画像処理して、
測定対象物の寸法や形状等を測定する必要があ
る。

【発明が解決しようとする問題点】

しかしがら、拡大すると視野範囲が狭くなるた
め、例えば測定対象物の離隔する２点間の寸法等
を測定する場合に、同一画面上に前記２点を同時
に表示することができなくなり、操作性が悪くな
ると同時に、光学測定機の最大長所である目で観
察できるという利点が制限されるという問題点を
有していた。 即ち、出願人が、載物台上に配置された測定対
象物に光照射する照明光学系と、前記測定対象物
と関与した光（反射光、通過光あるいは透過光）
を受けて、測定対象部分の像を拡大する拡大光学
系と、所定の測定対象部分を拡大すべく、前記載
物台と拡大光学系とを相対移動させる移動機構
と、前記拡大光学系に光電結合され、測定対象部
分の拡大像を映すモニタ装置と、該拡大像を処理
して、測定対象物の寸法や形状等を求める計測手
段とを備えた画像処理型測定機を試作研究したと
ころ、迅速な測定を可能として実効を期するため
には、重大な問題が内在していることを認識でき
た。 即ち、通常、拡大光学系と載物台を相対移動さ
せる機構は、２次元の場合、Ｘ−Ｙ方向に独立移
動できるよう形成される。従つて、載物台に測定
対象物を取付ける場合、両者の軸線を合致せしめ
ることが求められる。 しかしながら、0.1μmオーダで評価しようとす
る画像処理型測定機において、軸線を合わせた取
付けは、例え治具を準備したとしても、事実上至
難である。又、これを強制すれば、その測定準備
作業が煩雑すぎ、長時間を要し極めて作業能率が
悪いものとなつてしまう。 従つて、ある程度の位置ずれ取付けは許容せざ
るを得ないが、その程度を定量的に規定できず、
人によつても異なるので、結果として拡大像がモ
ニタ装置に傾斜映像され、所定拡大像の選択操作
に支障をきたすほか、一度に両測定エツジが映像
されない場合にあつては、一方側で慎重にエツジ
検出しても、他方側で検出誤差が発生したり、甚
しい場合には検知不能となるという事態も招来し
た。 又、拡大光学系において測定対象物の測定対象
部分が基準姿態でモニタ装置に映された後は、測
定対象部分のエツジ検出等を行つて、所定の画像
処理を行うことは、電子技術の発達から明らかな
通り容易であり、迅速且つ正確な測定を行うこと
ができるが、その前に、所定の測定対象部分を選
択して、これをモニタ装置に拡大表示するまで
の、いわゆる準備工程に多大な時間や労力を有
し、又拡大像の選択を誤る場合も多かつた。 これは、通常、数十倍の拡大率をもつてモニタ
装置に表示される拡大像が、測定対象物のいずれ
の個所に該当するのか見極めるのが困難であるた
め、操作者が、測定対象物とモニタ装置とを比較
確認しつつ、載物台と拡大光学系との相対移動作
業を行わなければならないからである。しかも、
拡大像と測定対象物との対応させた形状や模様、
更には測定点の順序等を確実に記憶しておかなけ
れば、比較確認すら行い難いので、熟練者しか操
作できないという問題もある。従つて、特にIC
パターンのように繰返し形状のある測定対象物の
場合や、載物台上に測定対象物を傾斜して取付け
た場合には更に作業困難となり、又、光透過ある
いは通過型の照明光学系を選択したときには、目
視確認が困難となるという事態も招く。更に又、
確認困難のため、操作者が機器本体に近付き過ぎ
る危険性もあつた。 このような問題点は、測定手順の各ステツプ毎
に操作者が操作する手動型だけでなく、測定手順
プログラムに基づいて前期相対移動を自動的に行
う自動型にあつても、測定手順プログラム作成上
のテーチング作業中に手動型のそれと全く同様の
手順を踏まなければならないので、問題は同じで
ある。

【発明の目的】

本発明は、前記従来の問題点を解消するべくな
されたもので、測定対象物の取付姿態に拘わら
ず、拡大像による測定を正確、迅速且つ容易に行
うことができる画像処理式測定装置を提供するこ
とを第１の目的とする。 本発明は、更に、測定対象物上の拡大像の位置
を容易に確認することができる画像処理式測定装
置を提供することを第２の目的とする。

【問題点を解決するための手段】

本発明は、第１図にその要旨構成を示す如く、
載物台１０上に配置された測定対象物１２に光照
射する照明光学系１４と、前記測定対象物１２と
関与した光を受けて、測定対象部分の像を拡大す
る拡大光学系１６と、所定の測定対象部分を拡大
すべく、前記載物台１０と拡大光学系１６とを相
対移動させる移動機構１８と、前記拡大光学系１
６に例えばテレビカメラ２０を用いて光電結合さ
れ、測定対象部分の拡大像を映すモニタ装置２２
と、該拡大像を例えばエツジ検出処理して、測定
対象物の寸法や形状等を求める計測手段とを備え
た画像処理式測定装置において、前記載物台１０
に対する測定対象物１２の取付角度と両者の基準
相対角度との角度差を、前記拡大光学系１６によ
る拡大像を評価して求める角度差識別手段２４
と、該角度差識別手段２４出力の角度差信号に応
じて、前記角度差を打消す反対方向に前記拡大像
を傾斜させて前記モニタ装置２２に映すための角
度補正手段２６とを設け、前記モニタ装置２２の
拡大像の姿態を常に基準姿態に傾斜補正するよう
に構成して、前記第１の目的を達成したものであ
る。 又、本発明は、前記のような画像処理式測定装
置において、第２図にその要旨構成を示す如く、
前記測定対象物１２の全体像を捉える全体光学系
２８と、該全体像を固定的に映す第２のモニタ装
置（第２図ではモニタ装置２２と共用）と、前記
載物台１０と拡大光学系１６の相対移動変位量か
ら、前記拡大像の測定対象物１２上の現在位置を
特定する現在位置特定手段３０と、前記載物台１
０に対する測定対象物１２の取付角度と両者の基
準相対角度との角度差を、前記拡大光学系１６に
よる拡大像又は全体光学系２８による全体像の少
くともいずれか一方を評価して求める角度差識別
手段２４と、該角度差識別手段２４出力の角度差
信号に応じて、前記角度差を打消す反対方向に前
記拡大像及び全体像を傾斜させて前記モニタ装置
２２に映すための角度補正手段２６とを設け、前
記拡大像の姿態を常に基準姿態に傾斜補正すると
共に、前記載物台１０と拡大光学系１６の相対移
動に伴つて変位する拡大像の現在位置を、同じく
基準姿態に傾斜補正した全体像上に重複表示させ
るように構成することにより、前記第２の目的を
達成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記拡大像の傾斜補
正角度と前記全体像の傾斜補正角度を、各々独立
に調整可能とするようにしたものである。 又、本発明の実施態様は、前記モニタ装置と第
２のモニタ装置を、表示画面を同一として形成し
たものである。

【作用】

本発明は、前記のような画像処理式測定装置に
おいて、載物台に対する測定対象物の取付角度と
両者の基準相対角度との角度差を、拡大光学系に
よる拡大像を評価して求める角度差識別手段と、
該角度差識別手段出力の角度差信号に応じて、前
記角度差を打消す反対方向に前記拡大像を傾斜さ
せてモニタ装置に映すための角度補正手段とを設
け、前記モニタ装置の拡大像の姿態を常に基準姿
態に傾斜補正するように構成している。従つて、
測定対象物の取付姿態に拘わらず、拡大像を水平
姿態、垂直姿態等の所定の基準姿態で映し出すこ
とができ、拡大像による測定を正確、迅速且つ容
易に行うことができる。 本発明は、又、前記のような画像処理式測定装
置において、測定対象物の全体像を捉える全体光
学系と、該全体像を固定的に映す第２のモニタ装
置と、載物台と拡大光学系の相対移動変位量か
ら、拡大像の測定対象物上の現在位置を特定する
現在位置特定手段と、前記載物台に対する測定対
象物の取付角度と両者の基準相対角度との角度差
を、前記拡大光学系による拡大像又は全体光学系
による全体像の少くともいずれか一方を評価して
求める角度差識別手段と、該角度差識別手段出力
の角度差信号に応じて、前記角度差を打消す反対
方向に前記拡大像及び全体像を傾斜させてモニタ
装置に映すための角度補正手段とを設け、前記拡
大像の姿態を常に基準姿態に傾斜補正すると共
に、前記載物台と拡大光学系の相対移動に伴つて
変位する拡大像の現在位置を、同じく基準姿態に
傾斜補正した全体像上に重複表示させるように構
成している。従つて、拡大像及び全体像を基準姿
態で映し出すことができるだけでなく、載物台と
拡大光学系の相対移動に伴つて変位する拡大像の
位置を確認することができ、拡大像による測定を
迅速且つ容易に行うことができる。 又、前記拡大像の傾斜補正角度と前記全体像の
傾斜補正角度を、各々独立に調整可能とした場合
には、拡大像と全体像の基準姿態が異なる場合に
も容易に対応できる。 又、前記モニタ装置と第２のモニタ装置を、表
示画面を同一として形成した場合には、装置の構
成が比較的単純となり、小型化できる。

【実施例】

以下図面を参照して、本発明が採用された画像
処理型測定機の実施例を詳細に説明する。 本発明の第１実施例は、第３図に示す如く、載
物台であるＸ−Ｙテーブル４０、該Ｘ−Ｙテーブ
ル４０をＸ−Ｙ方向に移動自在に支持する、側面
に測定対象物を搬入出するための搬入出口４２Ａ
が形成されたテーブル架台４２、照明光学系、拡
大光学系、全体光学系、テレビカメラ等が内蔵さ
れた、Ｚ軸方向に移動自在な測定ヘツド４４、該
測定ヘツド４４をＸ−Ｙテーブル４０上で支持す
る支持アーム４６等を有し、前記Ｘ−Ｙテーブル
４０の位置を制御するための駆動制御系、前記Ｘ
−Ｙテーブル４０の位置を検出するための直線型
変位検出器を含む位置検出系、前記照明光学系を
制御するための照明制御系、前記拡大光学系や全
体光学系のレンズを制御するためのレンズ制御
系、前記テレビカメラで得られた画像を処理する
ための、本発明による角度差識別回路と傾斜補正
回路を含むビデオ処理系、前記テレビカメラの焦
点を自動的に調節するためのオートフオーカス系
等が内蔵された測定台３８と、前記テレビカメラ
で捉えられ、傾斜補正された拡大像及び全体映を
映すモニタ装置４８と、ハードデスクやフロツピ
ーデスク及び中央処理ユニツトを含むコンピユー
タ５０と、該コンピユータ５０に必要な指令を与
えたりあるいは前記Ｘ−Ｙテーブル４０を操作し
たりするためのジヨイステイツク５２、操作卓５
４及びデジタタイザ５６と、測定対象物の全体像
の輪郭等を必要に応じて描くためのプロツタ５８
とから主に構成されている。 前記測定ヘツド４４の内部では、第４図に詳細
に示した如く、少くとも１本の拡大光学系６０及
び全体光学系６２が軸６４Ａ廻りに回動可能とさ
れたレボルバ６４上に固定され、例えばベルト６
６を介して光学系切換モータ６８により該レボル
バ６４の位置を切換えることによつて、拡大光学
系６０と全体光学系６２が切換え可能とされ、単
一のテレビカメラ７０の受光部７０Ａに像が入力
するようにされている。図において、７２は、光
軸の位置決めを行うためのクリツク、７４は、ど
の光学系が使用されているかを検出するための光
学系検出センサである。 以下第１実施例の作用を説明する。 まず、Ｘ−Ｙテーブル４０上に測定対象物をセ
ツトする。次いで、Ｘ−Ｙテーブル４０の位置を
大略調整した後、光学系切換モータ６８を駆動し
て全体光学系６２をテレビカメラ７０の前面に挿
入し、測定対象物の全体像を捉えて、傾斜補正を
行つた後、モニタ装置４８の画面の一部分、例え
ば第５図に示す如く左上部に固定的に表示する。
この全体像の表示は、以後測定が終了するまで保
持しておく。 次いで、光学系切換モータ６８を駆動してレボ
ルバ６４を回転させ、所定倍率の拡大光学系６０
をテレビカメラ７０の前面に挿入する。拡大光学
系６０によつて捉えられ、傾斜補正された拡大像
は、第５図に示した如く、モニタ装置４８の例え
ば左下部に表示される。 Ｘ−Ｙテーブル４０の位置、即ち拡大光学系６
０の測定対象物に対する位置は、例えばテーブル
架台４２に内蔵された直線型変位検出器で検出さ
れており、これによつて検出された拡大光学系６
０とＸ−Ｙテーブル４０の位置関係が、前記全体
像上に例えば輝点の現在位置マークで重複表示さ
れる。 従つて測定者は、望む目標値に向けて、全体像
上に表示された現在位置マークを近付けよう、ジ
ヨイステイツク５２、デジタイザ５６又はライト
ペン（図示省略）等を用いてＸ−Ｙテーブル４０
を駆動する。 第５図に示した如く、測定すべきエツジ線Ｇ−
Ｇを含む所望拡大像がモニタ装置４８に表示され
た段階で、操作者が操作卓５４のボタン、例えば
デジタイザ５６で第５図の矢印Ａ→Ｂに示す如
く、エツジ検出系路の位置と方向を定め、エツジ
検出ボタンをオンとすると、エツジ点Ｈでエツジ
位置（画面中心からの長さL₁）が自動的に検出
される。 次いで、Ｘ−Ｙテーブル４０を移動させ、第６
図に示す如く、反対側のエツジ線Ｊ−Ｊを含む所
望拡大像をモニタ装置４８に表示する。次いで、
第５図とは逆に、矢印Ｃ→Ｄの如くエツジ検出系
路の位置と方向を定め、エツジ点Ｋの位置（画面
中心からの長さL₂）を求める。 このようにしてエツジ点Ｈ−Ｋ間の寸法を、
（寸法L1＋寸法L2＋変位検出器で検出したテーブ
ル移動量）で求めることができる。なお、この場
合には、モニタ装置４８上でエツジ線Ｇ−ＧとＪ
−Ｊが同一線上に位置付けされたと仮定してい
る。 ここで測定精度は、テレビカメラ７０の分解能
をW500ピクセル×H500ピクセル（受光面の大き
さを10×10mmとする）、拡大光学系６０の倍率を
50倍とした時、テレビカメラ７０からの出力信号
は、横方向について、1/50×10/500＝1/2500／ピ
クセルとなる。従つて、測定対象の像を、
0.4μm／ピクセルの分解能で評価できることにな
る。この場合、前記変位検出器の出力信号の分解
能は0.4μm以上とする。これは、第７図に示す如
く、エツジ線Ｇ−ＧとＪ−Ｊを同時に映した場合
には、エツジ線Ｇ−Ｇ〜Ｊ−Ｊ間に入るピクセル
数×0.4μmがＧ−Ｇ〜Ｊ−Ｊ間寸法となる。 処理データは記憶され、必要に応じてメツセー
ジとして、前出第５図に示した如くモニタ装置４
８の右半分に出力される。 なお円の径や仮想中心位置、勾配、角度等も、
それぞれ同様の手順でエツジを検出して同様に測
定することができる。この拡大像に対するエツジ
検出方向、検出点数、拡大すべき測定対象物の位
置等は、各ステツプ毎に決められた測定プログラ
ムとして記憶されている。 なお前記全体光学系６２で捕えられた全体像
は、輪郭のみを抽出し、ケツチ図として、プリン
タやプロツタ５８へ出力することができ、従来の
手書に比べて正確で速やかにトレース図が作成で
きる。又、トレース図形上に測定結果を記入する
ことも可能となる。更に、全体像上に、第８図に
示す如く、座標軸や測定点（円の中心C₁や直線
の交点I₁，I₂等）を名称付きで重ねて表示するこ
ともできる。この場合には、測定手順の把握や図
面との対比が容易となるので、複雑なデータ処理
を行う場合に便利である。 この第１実施例においては、拡大光学系６０と
全体光学系６２を、倍率の異なる複数組のレンズ
系を設けて切換え可能に構成しているので、各光
学系の設計が容易である。 又、この第１実施例においては、テレビカメラ
７０を共用としているので、装置を安価に構成す
ることができる。なおテレビカメラ７０を拡大光
学系６０と全体光学系６２のそれぞれに設けるこ
とも可能である。 更に、この第１実施例においては、オートフオ
ーカス機構を組み込んでいるので、画像が鮮明と
なり測定精度が高い。なお、オートフオーカス機
構を省略することも可能である。 次に本発明の第２実施例を詳細に説明する。 この第２実施例は、第９図に示す如く、全体光
学系をズームレンズ８０で構成すると共に、移動
ボツクス８２を図の右方向に移動させた時に、測
定用レンズ８４即ち拡大レンズとなるようにして
拡大光学系を形成したものである。 第９図において、８６はミラー、８８は、ギヤ
９０を介してズームレンズ８０のズーミングを行
うためのズーム用モータ、９２はズーム位置を検
出するためのセンサ、９４及び９６は、それぞれ
Ｖレール上に支持された移動板及び固定板、９８
は、移動ボツクス８２を光学系切換モータ６８に
よつて駆動するためのラツクである。 前記測定用レンズ８４は、例えばレボルバ（図
示省略）等により、拡大率の異なるものに切換え
あるいは、着脱により交換可能とされている。 他の点については前記第１実施例と同様である
ので説明は省略する。 この第２実施例においては、第９図に示した状
態で測定用レンズ８４及びズームレンズ８０を介
してテレビカメラ７０に入力される像によつて、
全体像の表示が行われる。なお、ズームレンズ８
０の拡大率は、ズーム用モータ８８で変えられ
る。 一方、拡大像を観察する際には、光学系切換え
モータ６８によりラツク９８を介して移動ボツク
ス８２の全体を図の右方向に移動する。すると、
光路中からズームレンズ８０が外されて測定用レ
ンズ８４による拡大光学系となる。 この第２実施例においては、光学系を切換える
ための機構が測定ヘツド４４内に完全に収容され
ているので、破損の恐れが少ない。又、全体光学
系にズームレンズ８０を用いているので、測定対
象物の大きさに合わせて任意の縮小倍率を選択す
ることが容易にできる。 なお前記実施例においては、いずれも、拡大光
学系と全体光学系が独立とされていたが、第１０
図に示す第３実施例の如く、例えば単一のズーム
レンズ８０を用いて、光学系を光軸方向に変位可
能なレンズ系で形成し、該レンズ系の位置を調整
することで、例えば拡大率ｎ倍（ｎ＝30，20，40
等）の拡大光学系と縮小率１／ｎ倍の全体光学系
を共用することも可能である。この場合には、測
定ヘツドを小型化することが可能である。又、全
体光学系を省略することも可能である。 又、前記実施例においては、いずれも、光学系
の現在位置のみを輝点で表示するようにしていた
が、予め記憶しておいた測定プログラムに従つ
て、移動すべき次の目標位置も合わせてマーク表
示又は接近程度によつて点滅表示することも可能
である。更に、現在位置が目標位置と一致した時
に、計測準備完了信号を出力することも可能であ
る。これらの場合には、操作者が測定点の順序を
熟知していなくても、正確な測定が迅速に行え
る。 なお、前記実施例においては、いずれも、Ｘ−
Ｙテーブル４０を用いて載物台をＸ−Ｙ方向に移
動し、測定ヘツド４４を用いて光学系をＺ軸方向
に移動するように構成していたが、載物台と光学
系を相対移動させる構成は、これに限定されず、
例えば、載物台を固定し、光学系のみをXYZ方
向に移動するように構成することもできる。 又、前記実施例においては、いずれも、本発明
が２次元測定機に用いられていたが、本発明の適
用範囲はこれに限定されず、オートフオーカス機
構を利用して３次元測定機としたり、あるいは顕
微鏡等にも同様に適用できることが明らかであ
る。

【発明の効果】

以上説明した通り、本発明によれば、測定対象
物の取付姿態に拘わらず、拡大像や全体像を所定
の基準姿態で映し出すことができ、従つて、迅速
且つ確実な測定が可能となるという優れた効果を
有する。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、本発明に係る画像処理式
測定装置の基本的な構成の例を示すブロツク線
図、第３図は、本発明が採用された画像処理型測
定機の第１実施例の全体構成を示す斜視図、第４
図は、前記第１実施例の測定ヘツドの構成を示す
断面図、第５図は、前記第１実施例におけるモニ
タ装置の表示例を示す線図、第６図及び第７図
は、前記第１実施例におけるモニタ装置の拡大像
の表示例を示す線図、第８図は、同じく全体像の
表示例を示す線図、第９図は、本発明の第２実施
例における測定ヘツドの構成を示す断面図、第１
０図は、同じく第３実施例における光学系の基本
的な構成を示す線図である。 １０……載物台、１２……測定対象物、１４…
…照明光学系、１６，６０……拡大光学系、１８
……移動機構、２０，７０……テレビカメラ、２
２，４８……モニタ装置、２４……角度差識別手
段、２６……角度補正手段、２８……全体光学
系、３０……現在位置特定手段、３８……測定
台、４０……Ｘ−Ｙテーブル、４４……測定ヘツ
ド、５０……コンピユータ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 載物台上に配置された測定対象物に光照射す
   る照明光学系と、前記測定対象物と関与した光を
   受けて、測定対象部分の像を拡大する拡大光学系
   と、所定の測定対象部分を拡大すべく、前記載物
   台と拡大光学系とを相対移動させる移動機構と、
   前記拡大光学系に光電結合され、測定対象部分の
   拡大像を映すモニタ装置と、該拡大像を処理し
   て、測定対象物の寸法や形状等を求める計測手段
   とを備えた画像処理式測定装置において、 前記載物台に対する測定対象物の取付角度と両
   者の基準相対角度との角度差を、前記拡大光学系
   による拡大像を評価して求める角度差識別手段
   と、 該角度差識別手段出力の角度差信号に応じて、
   前記角度差を打消す反対方向に前記拡大像を傾斜
   させて前記モニタ装置に映すための角度補正手段
   とを設け、 前記モニタ装置の拡大像の姿態を常に基準姿態
   に傾斜補正するように構成したことを特徴とする
   画像処理式測定装置。 ２ 載物台上に配置された測定対象物に光照射す
   る照明光学系と、前記測定対象物と関与した光を
   受けて、測定対象部分の像を拡大する拡大光学系
   と、所定の測定対象部分を拡大すべく、前記載物
   台と拡大光学系とを測定移動させる移動機構と、
   前記拡大光学系に光電結合され、測定対象部分の
   拡大像を映すモニタ装置と、該拡大像を処理し
   て、測定対象物の寸法や形状等を求める計測手段
   とを備えた画像処理式測定装置において、 前記測定対象物の全体像を捉える全体光学系
   と、 該全体像を固定的に映す第２のモニタ装置と、 前記載物台と拡大光学系の相対移動変位量か
   ら、前記拡大像の測定対象物上の現在位置を特定
   する現在位置特定手段と、 前記載物台に対する測定対象物の取付角度と両
   者の基準相対角度との角度差を、前記拡大光学系
   による拡大像又は全体光学系による全体像の少く
   ともいずれか一方を評価して求める角度差識別手
   段と、 該角度差識別手段出力の角度差信号に応じて、
   前記角度差を打消す反対方向に前記拡大像及び全
   体像を傾斜させて前記モニタ装置に映すための角
   度補正手段とを設け、 前記拡大像の姿態を常に基準姿態に傾斜補正す
   ると共に、前記載物台と拡大光学系の相対移動に
   伴つて変位する拡大像の現在位置を、同じく基準
   姿態に傾斜補正した全体像上に重複表示させるよ
   うに構成したことを特徴とする画像処理式測定装
   置。 ３ 前記拡大像の傾斜補正角度と前記全体像の傾
   斜補正角度が、各々独立に調整可能とされている
   特許請求の範囲第２項記載の画像処理式測定装
   置。 ４ 前記モニタ装置と第２のモニタ装置が、表示
   画面を同一として形成されている特許請求の範囲
   第２項記載の画像処理式測定装置。