JPS62130303A - 画像処理式測定方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野１ 本発明は、画像処理式測定方法及びｌ、ｌｙに係り、特
に、テレビカメラを使用した画像処理型測定前に用いる
のに好適な、代物台上に配置こした測定対象物と関与し
た光を受けて、前記載物台と相対移動される拡大光学系
により所定の測定対象部分の像を拡大し、該測定対Φ部
分の拡大像を評価して、測定対象物の寸法や形状等を測
定するにうにした画像処理式測定方法及び装置に関する
。

【従来の技術］ 近年、テレビカメラを使用した画像処理型の測、定（幾
が研究されている。この画像処理型の測定観において、
テレビカメラ躍作面の大きさ、分υ１数は限られている
ため、測定機として使用するには、測定対象物乃至その
部分を対物レンズ等の拡大光学系により拡大し、拡大像
を画像処理して、測定対象物の寸法や形状等を測定する
必要がある。

【発明が解決しようとする問題点］ しかしがら、拡大すると視野範囲が狭くなるため、例え
ば測定対象物の離隔する２点間の寸法等を測定する場合
に、同一画面上にｔＩ記２点を同時に表示することがで
きなくなり、操作性が悪くなると同時に、光学測定−の
最大長所である目で観京できるという利点が制限される
という問題点を有していた。

即ち、出願人が、載物台上に配置された測定対象物に光
照射する照明光学系と、前記測定対象物と関与した光（
反射光、通、過充あるいは透過光）を受けて、測定対象
部分の均を拡大する拡大光学系と、所定の測定対象部分
を拡大サベく、前記載物台と拡大光学系とを相対移動さ
せる移動機構と、前記拡大光学系に光電結合され、測定
対象部分の拡大像を映すモニタ装置と、該拡大像を処理
して、測定対象物の寸法や形状等を求める計測手段とを
備えた画像処Ｉ！１′！型測定鵬を試作研究したところ
、退速な測定を可能として実効をＪ！１１　するために
は、重大な間苛が内在していることをｉａできた。

即ち、拡大光学系において測定対象物の測定対象部分が
モニタ装置に映された後は、測定対象部分のエツジ検出
等を行って、所定の画像処理を行うことは、電子技術の
発達から明らかな通り容易であり、迅速且つ正確な測定
を行うことができるが、その前に、所定の測定対象部分
を選択、して、これをモニタ装置に拡大表示するまでの
、１ハわゆる準備工程に多大な時間や労力を有し、又拡
大像の選択を誤る場合も多かった。

これは、通常、故十倍の拡大率をもってモニタ装置に表
示される拡大像が、測定対象１力のいずれの個所に該当
するのか見極めるのが困ガであるため、操作者が、測定
対象物とモニタ装置とを比較確ＷＺ　シつつ、載物台と
拡大光学系との相対移動作業を行わなければならないか
らである。しかも、拡大像と測定対象物との対応させた
形状や模様、更には測定点の順序等を確実に記憶してお
かなければ、比較ｒＫＣ認すら行い難いので、熟１１者
しか操作できないという問題もある。従って、特にｔＣ
パターンのＪこうにＩ！Ａ返し形状のある測定対象物の
５９合や、載物台上に測定対象物を傾斜して取付けた場
合には更に作業困難となり、又、光透過あるいは通過型
の照明光学系を３パ択したときには、目視確認が困難ど
なるという事態も招（。更に又、賄比困同のため、操作
者が（；１！器本体に近付き過ぎる危険性もあった。

このような問題点は、測定手順の各ステップ毎に操作者
が操作する手動型だけでなく、測定手順プログラムにＶ
づいて前期相対移動を自助的に行う自動型にあっても、
測定手順プログラム作成上のテーチング作業中に千チノ
１型のそれと全く同様の手Ｉｌｌを踏まなければならな
いので、問題は同じである。

【発明の目的］ 本発明は、ＩｙＩ期従来の問題点を解消づ°るべくなさ
れたもので、拡大像による測定を迅速且つ容易に行うこ
とができる両性処理式測定方法及び装置を１．７　（ｊ
−することを第１の目的とする。

本発明は、又、前記第１の目的が簡単な構成で且つ小型
に達成されたｉｉ！ｊｉａ処理式測定装Ｖを１♀供する
ことを第２の目的とする。

【問題点を解決するための手段］ 本発明は、載物台上に配置した測定対象物と関与した光
を受けて、前記載物台と相対移動される拡大光学系によ
り所定の測定対象部分の像を拡大し、該測定対象部分の
拡大像を評価して、測定対象物の寸法や形状等を測定す
るようにしたｉｉ！ｉｉ作処理式副処理式測定方法、前
記拡大光学系と別個に設けた全体光学系で測定対象物の
全体像を静止的に表示させておぎ、前記載物台と拡大光
学系の相対移動変位量を検出して前記拡大像の測定対象
物上の位ηを特定し、該拡大像の現在位置を前記全体像
上に重？！表示し、このｍ段表示した拡大代の全体像に
対する位置を指標として測定を行うようにして、前記第
１の目的を達成したものである。

又、本発明の実ＦＭ態様は、前記全体光学系を縮小倍率
としたものである。

又、本発明は、第１図にその要旨（Ｒ成を示寸如く、載
物台１０上に配置された測定対象物１２に光電ＥＦＪ　
する照明光学系１４と、前記測定対象物１２と関与した
光を受けて、測定対象部分の像を拡大する拡大光学系１
６と、所定の測定対象部分を拡大すべく、前記載物台１
０と拡大光学系１６とを相対移動させる移動は構１８と
、前記拡大光学系１６に例えばテレビカメラ２０を用い
て光電結合され、測定対象部分の拡大像を映すモニタ装
置２２と、該拡大像を例えばエツジ検出処理して、測定
対象物の寸法や形状等を求める計測手段とを備えた画＆
処理式測定装４において、前記測定対象物１２の全体像
を捉える全体光学系２４と、該全体像を固定的に映を第
２のモニタ装置ｉ！ｆ　２６と、前記載物台１０と拡大
光学系１６の相対移動変位Ｍから、前記拡大像の測定対
象物上の現在位−を特定する現在位で特定手段２８とを
設け、拡大像の現在位Ｖを前記第２のモニタ装置２６に
映された全体像上に重複表示して、載物台１ｏと拡大光
学系１６の相対移動に伴って変位する拡大像の位置をｍ
ｇできるように構成して、同じ（前記第１の目的を達成
したものである。

又、本発明は、前記のような画像処理式測定方法におい
て、第２図にその要旨（ｎ成を示す如く、前記測定対象
物１２の全体像を捉える全体光学系２４と、前記載物台
１０と拡大光学系１６の相対移動変位垣から、前記拡大
像の測定対象物上の現在位置を特定する現在位置特定手
段２８とを設け、前記モニタ装ｖ２２の画面の一部分に
前記全体（多を固定的に表示すると共に、前記載物台１
０と拡大光学系１６の相対移動に伴って変位Ｊる拡大像
の現在位置を全体像上にｆｆ！複表示させるように、前
記全体光学系１６と現在位費特定手段２８を前記モニタ
装置２２に接続することにより、前記第２の目的を達成
したものである。

【作用］ 本発明は、前記のＪ：うな画像処理式測定方法において
、拡大光学系と別個に設けた全体光学系で測定対象物の
全体像を静止的に表示させておぎ、載物台と拡大光学系
の一相対移動変位債を検出して拡大像の測定対象物上の
位置を特定し、該拡大傳の現在位置を前記全体係上に重
？！２表示するようにしている。従って、この重複表示
した拡大（ｑ！の全体像に対する位置を指標として、拡
大像による測定を迅速且つ容易に行うことができる。

又、前記全体光学系を縮小倍率とした場合には、全体像
の表示面積を小として、全体像上の拡大像の位置を迅速
に知ることができる。

本発明は、又、前記のような画像処理式測定装置におい
て、測定対象物の全体像を捉える全体光学系と、該全体
像を固定的に映す第２のモニタ装置と、載物台と拡大光
学系の相対移動変位量から、拡大像の測定対象物上の現
在位置を特定する現在位置特定手段を設け、拡大像の現
在位置を前記第２のモニタ装置に映された全体像上に１
複表示するようにしている。従って、載物台と拡大光学
系の相対移動に伴って変位する拡大像の位置を確認する
ことができ、拡大像による測定を迅速且つ容易に行うこ
とができる。

本発明は、又、前記のような画像処理式測定装７におい
て、測定対象物の全体＆を１ヱえる全体光学系と、載物
台と拡大光学系の相対移動変位量がら、拡大像の測定対
象物上の現在位置を特定する現在位置特定手段とを設け
、前記拡大像を映寸モニタ装置の両面の一部分に前記全
体像を固定的に表示すると共に、前記載物台と拡大光学
系の相対移動に伴って変位でる拡大像の現在位置を全体
１′！Ｎ上に干？！！表示させるように、前記全体光学
系と現在位同特定手段を前記モニタ装置に接続するよう
にしている。従って、拡大像及び載物台と拡大光学系の
相対移動に伴って変位する拡大像の位置を、単一のモニ
タ装置で確認する（―とができ、比較的簡ｔｌｔ月つ小
型の構成で、拡大像ににる測定を迅速且つ容易に行うこ
とができる。

【実施例］ 以下図面を参照して、本発明が採用された画像処理型測
定礪の実施例を詳細に説明する。

本発明の第１実施例は、第３図に示す如く、載物台であ
るＸ−Ｙテーブル４０、該Ｘ−Ｙテーブル４０＠Ｘ−Ｙ
方向に移動自在に支持する、ｍす面に測定対象物を搬入
用するｌζめの１肴人出口４２Ａが形成されたテーブル
架台４２、照明光学系、拡大光学系、全体光学系、テレ
ビカメラ等が内蔵されに、Ｚ＠力方向８動自在な測定ヘ
ッド４４、該測定ヘッド４４をＸ−Ｙテーブル４０上で
支持する支持アーム４６ｖ？を有し、前記Ｘ−Ｙテーブ
ル４０の位置を制御するための駆８　ｉｌ制御系、前記
Ｘ−Ｙテーブル４０の位置を検出するための直Ｉｉｌ型
変位検出器を含む位置検出系、前記照明光学系を制御す
るための照明制御系、前記拡大光学系や全体光学系のレ
ンズを制御するためのレンズ制御系、前記テレビカメラ
で得られた画像を処理するためのビデオ処Ｉ！［！系、
前記テレビカメラの焦点を自動的に調節するためのオー
トフォーカス系等が内蔵された測定台３８と、前記テレ
ビカメラで捉えられた拡大像及び全体像を映すモニタ装
置４８と、ハードデスクやフロッピーデスク及び中央処
理二１ニットを含むコンピュータ５０と、該フンピユー
タ５ｏに必要な指令を与えｌこりあるいは前記Ｘ−Ｙテ
ーブル４０を操作したりするためのジョイスティック５
２、操作ｆ１５４及びデジタイザ５６と、測定対象物の
全体像の輪郭等を必要に応じて描くためのプロッタ５８
とから主に（ｔり成されている。

前記測定ヘッド４４の内部では、第４図に詳細に示した
如く、少くとも１本の拡大光学系６０及び全体光学系６
２が軸６４．　Ａ　Ｉ！Ｕりに回動可能とされたレボル
バ６４上に固定され、例えばベルト６６を介して光学糸
切ｊ９！モータ６８により該レボルバ６４の位置を切換
えることによって、拡大光学系６０と全体光学系６２が
切換え可能とされ、単一のテレビカメラ７０の受光部７
０Ａに像が入力するようにされている。図において、７
２は、光軸の位置決めを行うためのクリック、７４は、
どの光学系が使用されているかを検出するための光学系
検出センサである。

以下第１実施例の作用を説明する。

まず、Ｘ−Ｙテーブル４０上に測定対τ！物をセットす
る。次いで、Ｘ−Ｙテーブル４０の位置を大略調整した
後、光学系切換モータ６８を駆動して全体光学系６２を
テレビカメラ７０の前面に挿入し、測定対象物の全体像
を捉えて、モニタ装置４８の画面の一部分、例えば第５
図に示す如く左上部に固定的に表示する。この全体像の
表示は、以後測定が終了するまで保持してｄ３＜。

次いで、光学系ＶＪ挟モモ−クロを駆動してレボルバ６
４を回転させ、所定ｆ８率の拡大光学系６０をテレビカ
メラ７０の前面に挿入する。拡大光学系６０によって捉
えられた拡大像は、第５図に示したり１１り、モニタ’
ａ　ｖ１４８の例えば左下部に表示される。

Ｘ−Ｙテーブル４０の位置、即ち拡大光学系６０の測定
対象物に対する位Ｕは、例えばテーブル架台４２に内蔵
された直線型変位検出器で検出されており、これによっ
て検出された拡大光学系６０とＸ−Ｙテーブル４０の位
叡関係が、前記全体像上に例えば輝点の現在位置マーク
で■視表示さ１゛する。

従って測定名は、望む目標値に向けて、全体θ上に表示
された現在位賃マークを近付けよう、ジョイスデイツク
５２、デジタイザ５６又はライトペン（図示省略）等を
用いてＸ−Ｙテーブル４０を駆動ヅる。

第５図に示した如く、測定すべきエツジ線Ｇ−Ｇを含む
所望拡大作がモニタ装置４８に表示された段階で、操作
者が操作卓５４のボタン、例えばデジタイプ５６で第６
図の矢印Ａ４Ｂに示す如く、エツジ検出系路の位置と方
向を定め、エツジ検出ボタンをオンとすると、エツジ点
！−１でエツジ位置（両面中心からの長さし１）が自動
的に検出される。

次いで、Ｘ−Ｙテーブル４０を移動さじ、第６図に示す
如く、反対側のエツジ線Ｊ　−Ｊを含む所望拡大像をモ
ニタ装置４８に表示する。次いで、第５図とは逆に、矢
印Ｃ−４Ｄの如くエツジ検出系路の位置ど方向を定め、
エツジ点にの位置（両面中心からの長さし２）を求める
。

このようにしてエツジ点Ｈ−に間の寸法を、（寸法Ｌ１
＋寸法Ｌ２＋変位検出器′ｒ−検出したテーブル移動ｍ
）で求めることができる。なＪ５、この場合には、モニ
タ装置４８上でエツジ線Ｇ−ＧとＪ−Ｊが同一線上に位
置付けされたと仮定している。

ここで測定精度は、テレビカメラ７０の分解（１ピを分
割Ｆ［Ｗ　５００ビクセルＸｌ−１５００ビクセル（受
光面の大きさを１０Ｘ１０門とする）、拡大光学系６０
の倍率を５０倍とした時、テレビカメラ７０からの出力
信号は、横方向について、１１５０ｘ１０１５００−１
／２５００／ピクセルとなる。従って、開窓対象の横幅
が１１４１３であるとすると、０．４μｍ／ピクセルの
分解能で拡大＆を評価でさることになる。この場合、前
記変位検出器の出力信号の分Ｗ？能は０．４μｍ以上と
する。

これは、第７図に示す如（、エツジｔＬＡＧ　−ＧとＪ
−Ｊを同時に映した揚台には、エツジＩＩＧ−Ｇ〜Ｊ−
Ｊｍに入るビクセル数Ｘ０．４ｔｔｍ　＄Ｇ−Ｇ〜Ｊ−
Ｊ間寸法となる。

処理データは記憶され、必要に応じてメツセージとして
、前出第５図に示した如くモニタ装置４８の右半分に出
力される。

なお円の径や仮想中心位置、Ｉ：Ｊ配、角度等も、それ
ぞれ同様の手順でエツジを検出して同様に測定すること
ができる。この拡大像に対するエツジ検出方向、検出点
数、拡大寸べさ゛測定対客物の位置等は、各ステップ毎
に決められた測定プログラムとして記憶されている。

なお前記全体光学系６２で捕えられた全体像は、輪郭の
みを抽出し、スケッチ図として、プリンタやブロック５
８へ出力することができ、従来の手書に比べて正確で速
やかにトレース図が作成できる。又、トレース図形上に
測定結果を記入することも可能となる。更に、全体像上
に、第８図に示す如く、座標軸や測定点（円の中心Ｃ１
や直線の交点■１、Ｉ　２　Ｗ　）を名称付きで重ねて
表示することもできる。この場合には、測定手順の把握
や図面どの対比が容易となるので、？！２唯なデータ処
理を行う場合に便利である。

この第１実施例においては、拡大光学系６０と全体光学
系６２を、倍率の異なる複数重のレンズ系を設けて切換
λ可能に構成しているので、各光学系の５設計が容易で
ある。

又、この第１実施例においては、テレビカメラ７０を共
用としているので、装置を安１１１′ｉに構、成するこ
とができる。なおテレビカメラ７０を拡大光学系６０と
全体光学系６２のそれぞれに設けることも可能である。

更に、この第１実施例においては、オートフオ−カス磯
横を用み込んでいるので、両法が鮮明となり測定精麿が
高い。なお、オートフォーカス機構を省略することも可
能である。

次に本発明の第２実施例を詳細に説明する。

この第２実施例は、第９図にポリ如く、全体光学系をズ
ームレンズ８０で構成すると共に、移動ボックス８２を
図の右方向に移動させｌζ時に、測定用レンズ８４即ち
拡大レンズとなるようにして拡大光学系を形成したちの
である。

第９因において、８６はミラー、８８は、ギヤ９０を介
してズームレンズ８０のズーミングを行うためのズーム
用モータ、９２はズーム位置を検出するためのセンサ、
９４及び９６は、それぞれＶレール上に支持された移動
板及び固定板、９８は、移動ボックス８２を光学系切換
モータ６８によって駆動するためのラックである。

前記測定用レンズ８４は、例えばレボルバ（図示省略）
等により、拡大率の異なるものに切換えあるいは、着脱
により交換可能とされている。

他の点については前記第１実施例と同様であるので説明
は省略する。

この第２実施例においては、第９図に示した状態で測定
用レンズ８４及びズームレンズ８０を介してテレビカメ
ラ７０に入力される像によって、全体像の表示が行われ
る。なお、ズームレンズ８０の拡大率は、ズーム用モー
タ８８で変えられる。

一方、拡大像を観察する際には、光学系切換えモータ６
８によりラック９８を介して移動ボックス８２の全体を
図の右方向に移動する。すると、光路中からズームレン
ズ８０が外されて測定用レンズ８４による拡大光学系と
なる。

この第２実施例においては、光学系を切換えるための癲
構が測定ヘッド４４内に完全に収容されているので、破
損の恐れが少ない。又、全体光学系にズームレンズ８０
を用いているので、測定対象物の大きさに合わせて任彦
の縮小倍率をｊハ択することが容易にできる。

なお前記実施例においては、いずれも、拡大光学系と全
体光学系が独立とされていたが、第１−０図に示す第３
実旅例の如く、例えば単一のズームレンズ８０を用いて
、光学系を光軸方向に変位可能なレンズ系で形成し、該
レンズ系の位置を調整することで、例えば拡大率１倍（
ｎ−３０，２０，４０等）の拡大光学系と縮小率１／ｎ
倍の全体光学系を共用することも可能である。この場合
には、測定ヘッドを小型化することが可能である。

又、前記実施例においては、いずれも、光学系の現在位
置のみを輝点て表示するようにしていたが、予め記憶し
ておいた測定プログラムに従って、移動すべき次の目標
位置も合わせてマーク表示又は接近！￥度によって点滅
表示することも可能である。更に、現在位置が目標位置
と一致した時に、計測準備完了信号を出力することも可
ｒ＋シである。

これらの場合には、操作者が測定点の順序を熟知してい
なくでも、正確な測定が迅速に行える。

なお、前記実施例においては、いずれも、Ｘ−Ｙテーブ
ル４０を用いて載物台をＸ−Ｙ方向に移ｖノシ、測定ヘ
ッド４４を用いて光学系を２＠方向に移動するように構
成していたが、載物台と光学系を相対移動させる（ａ成
は、これに限定されず、例えば、載物台を固定し、光学
系のみをＸＹｚ方向に移動するように構成することもで
きる。

又、前記実施例においては、いずれも、本発明が２次元
測定し１に用いられていたが、本発明の適用範囲はこれ
に限定されず、オートフォーカス綴溝を利用して３次元
測定機としたり、あるいは顕微鏡等にも同様に適用でき
ることが明らかである。

【発明の効果］ 以上説明した通り、本発明によれば、測定対免たる拡大
像の位置を測定対争物の全体像とのｒｙ１１系において
表示することができ、従って、迅速且つ確実な測定が可
能となるという優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、本発明に係る画像処理式測定装置
の基本的な構成の例を示すブロック線図、第３図は、本
発明が採用された画像処理型測定（幾の第１実施例の全
体構成を示す斜視図、第４図は、前記第１実施例の測定
ヘッドの構成を示す断面図、第５図は、前記第１実施例
におけるモニタ装置の表示例を示す線図、第６図及び第
７図は、前記第１実旅例におけるモニタ装置の拡大像の
表示例を示す線図、第８図は、同じ（全体像の表示例を
示す線図、第９図は、本発明の第２実施例における測定
ヘッドの構成を示す断面図、第１０図は、同じく第３実
施例における光学系の基本的なイ１４成を示す線図であ
る。 １０・・・載物台、 １２・・・測定対τ！物、 １４・・・照明光学系、 １６．６０・・・拡大光学系、 １８・・・移動機構、 ２０．７０・・・テレビカメラ、 ２２．２６．４８・・・モニタ装置、 ２４．６２・・・全体光学系、 ２８・・・現在位置特定手段、 ３８・・・測定台、 ／ＩＯ・・・Ｘ−Ｙテーブル、 ４４・・・測定ヘッド、 ５０・・・コンピュータ。 ６４・・・レボルバ、 ６８・・・光学系切換モーフ、 ８０・・・ズームレンズ、 ８２・・・移動ボックス、 ８４・・・測定用レンズ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）載物台上に配置した測定対象物と関与した光を受
   けて、前記載物台と相対移動される拡大光学系により所
   定の測定対象部分の像を拡大し、該測定対象部分の拡大
   像を評価して、測定対象物の寸法や形状等を測定するよ
   うにした画像処理式測定方法において、 前記拡大光学系と別個に設けた全体光学系で測定対象物
   の全体像を静止的に表示させておき、前記載物台と拡大
   光学系の相対移動変位量を検出して前記拡大像の測定対
   象物上の位置を特定し、該拡大像の現在位置を前記全体
   像上に重複表示し、 この重複表示した拡大像の全体像に対する位置を指標と
   して測定を行うことを特徴とする画像処理式測定方法。
2. （２）前記全体光学系を縮小倍率とした特許請求の範囲
   第１項記載の画像処理式測定方法。
3. （３）載物台上に配置された測定対象物に光照射する照
   明光学系と、前記測定対象物関与した光を受けて、測定
   対象部分の像を拡大する拡大光学系と、所定の測定対象
   部分を拡大すべく、前記載物台と拡大光学系とを相対移
   動させる移動機構と、前記拡大光学系に光電結合され、
   測定対象部分の拡大像を映すモニタ装置と、該拡大像を
   処理して、測定対象物の寸法や形状等を求める計測手段
   とを備えた画像処理式測定装置において、 前記測定対象物の全体像を捉える全体光学系と、該全体
   像を固定的に映す第２のモニタ装置と、前記載物台と拡
   大光学系の相対移動変位量から、前記拡大像の測定対象
   物上の現在位置を特定する現在位置特定手段とを設け、 拡大像の現在位置を前記第２のモニタ装置に映された全
   体像上に重複表示して、載物台と拡大光学系の相対移動
   に伴って変位する拡大像の位置を確認できるように構成
   したことを特徴とする画像処理式測定装置。
4. （４）載物台上に配置された測定対象物に光照射する照
   明光学系と、前記測定対象物と関与した光を受けて、測
   定対象部分の像を拡大する拡大光学系と、所定の測定対
   象部分を拡大すべく、前記載物台と拡大光学系とを測定
   移動させる移動機構と、前記拡大光学系に光電結合され
   、測定対象部分の拡大像を映すモニタ装置と、該拡大像
   を処理して、測定対象物の寸法や形状等を求める計測手
   段とを備えた画像処理式測定装置において、 前記測定対象物の全体像を捉える全体光学系と、前記載
   物台と拡大光学系の相対移動変位量から、前記拡大像の
   測定対象物上の現在位置を特定する現在位置特定手段と
   を設け、 前記モニタ装置の画面の一部分に前記全体像を固定的に
   表示すると共に、前記載物台と拡大光学系の相対移動に
   伴って変位する拡大像の現在位置を全体像上に重複表示
   させるように、前記全体光学系と現在位置特定手段を前
   記モニタ装置に接続したことを特徴とする画像処理式測
   定装置。