JP3427236B2 - ズーム光学系の倍率の測定法と手段 - Google Patents
ズーム光学系の倍率の測定法と手段Info
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学計測系、特に光学的
に寸法を計測する度量衡の分野で用いられる種類のズー
ムレンズ系に関するものである。更に詳細には、本発明
は上記した種類のズームレンズ系を測定するための新規
な方法と手段に関するものであって、レンズ系の選択ま
たは特定した倍率または視野（ＦＯＶ）が外部の参照源
によって系を再測定することなしに、繰返して正確に復
帰される。
に寸法を計測する度量衡の分野で用いられる種類のズー
ムレンズ系に関するものである。更に詳細には、本発明
は上記した種類のズームレンズ系を測定するための新規
な方法と手段に関するものであって、レンズ系の選択ま
たは特定した倍率または視野（ＦＯＶ）が外部の参照源
によって系を再測定することなしに、繰返して正確に復
帰される。
【０００２】
【従来の技術】ズームレンズを度量衡用に使用するこの
種の既知の光学系の欠点の一つは、製作品を光学的に計
測する過程で、先に使用した特定の倍率または視野に復
帰させるためにレンズを繰返し正確にリセットすること
の難しさにある。この欠点は、計測機器のズームレンズ
が機械的な仕組みによって調節されていることによるも
のである。即ち、レンズの倍率測定が、例えばズーム機
構のメカニズムのバックラッシュや機器の耐用年数内の
機械部品の摩耗、ズーム機構を駆動する電子・機械系に
起因する位置決めの誤り、あるいは系のガラスと金属部
品への温度影響によって狂ってしまうことになる。
種の既知の光学系の欠点の一つは、製作品を光学的に計
測する過程で、先に使用した特定の倍率または視野に復
帰させるためにレンズを繰返し正確にリセットすること
の難しさにある。この欠点は、計測機器のズームレンズ
が機械的な仕組みによって調節されていることによるも
のである。即ち、レンズの倍率測定が、例えばズーム機
構のメカニズムのバックラッシュや機器の耐用年数内の
機械部品の摩耗、ズーム機構を駆動する電子・機械系に
起因する位置決めの誤り、あるいは系のガラスと金属部
品への温度影響によって狂ってしまうことになる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで、製作品を正確
に計測するためには、倍率が正確に再設定・再現し得る
ことが肝要である。
に計測するためには、倍率が正確に再設定・再現し得る
ことが肝要である。
【０００４】例えば、本出願人は、この種の光学計測系
を「ＳＭＡＲＴ ＳＣＯＰＥ」という商標で販売してき
た。これは、製作品の像をビデオカメラに投影するため
にズームレンズを用いるもので、像はビデオカメラによ
ってマイクロプロセッサーを介してモニターに投影され
る。製作品の計測を記録するために、作業者は製作品の
ホルダーを横方向に移動させ、製作品の像をモニター上
の定められたスケールに対して同様に横方向に移動させ
て、モニター画面上のスケールによって像を計測する。
次の製作品が来ると、作業者は再び「ＳＭＡＲＴ ＳＣ
ＯＰＥ」機器の一部であるマウスまたは操作杆によって
ズーム機構をこの新しい製作品がモニター上に適切な焦
点で現れるように改めて再び操作し、この後でこの新し
い製作品を上記したように操作して計測をする。
を「ＳＭＡＲＴ ＳＣＯＰＥ」という商標で販売してき
た。これは、製作品の像をビデオカメラに投影するため
にズームレンズを用いるもので、像はビデオカメラによ
ってマイクロプロセッサーを介してモニターに投影され
る。製作品の計測を記録するために、作業者は製作品の
ホルダーを横方向に移動させ、製作品の像をモニター上
の定められたスケールに対して同様に横方向に移動させ
て、モニター画面上のスケールによって像を計測する。
次の製作品が来ると、作業者は再び「ＳＭＡＲＴ ＳＣ
ＯＰＥ」機器の一部であるマウスまたは操作杆によって
ズーム機構をこの新しい製作品がモニター上に適切な焦
点で現れるように改めて再び操作し、この後でこの新し
い製作品を上記したように操作して計測をする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】モニター上の製作品の像
の観察にひたすらに頼ることなく、先に使った倍率を正
確に再現できれば、製作品自体をいちいち移動させてそ
の像をモニター上のスケールに対して計測操作すること
なしに機器の操作だけで製作品の計測ができることにな
る。
の観察にひたすらに頼ることなく、先に使った倍率を正
確に再現できれば、製作品自体をいちいち移動させてそ
の像をモニター上のスケールに対して計測操作すること
なしに機器の操作だけで製作品の計測ができることにな
る。
【０００６】従って、この発明の一つの目的は、確定し
た寸法のものの光学的な像を選択された倍率下で投影し
記録する装置を光学計測系に設け、ズームレンズを既に
記録されている倍率に再度調節したい時には、この確定
した寸法のものの光学的な像を使って正確に倍率を再現
できるようにし、上記した今までの欠陥を除くことにあ
る。
た寸法のものの光学的な像を選択された倍率下で投影し
記録する装置を光学計測系に設け、ズームレンズを既に
記録されている倍率に再度調節したい時には、この確定
した寸法のものの光学的な像を使って正確に倍率を再現
できるようにし、上記した今までの欠陥を除くことにあ
る。
【０００７】この発明の他の目的は、所定の選択する倍
率に設定されたズームレンズに照合用またはレチクル像
を投影し、この光学的な像を電子的に記録・保管し、こ
れを後日に当該倍率に再設定する時に使えるようにし
て、これまでのズームレンズ系の上述した如き欠陥を省
いた新規な方法を提供することにある。
率に設定されたズームレンズに照合用またはレチクル像
を投影し、この光学的な像を電子的に記録・保管し、こ
れを後日に当該倍率に再設定する時に使えるようにし
て、これまでのズームレンズ系の上述した如き欠陥を省
いた新規な方法を提供することにある。
【０００８】この発明のその他の目的は、添付図面を参
照し、以下の明細書の記述と特許請求の範囲から明らか
にされる通りである。更に詳しくこの発明を説明する。
照し、以下の明細書の記述と特許請求の範囲から明らか
にされる通りである。更に詳しくこの発明を説明する。
【０００９】通常の計測用光学システム、例えばこの特
許出願人が商標「ＳＭＡＲＴ ＳＣＯＰＥ」の名で販売
している種類のものに、この発明では機器の両端の中間
にあるようにビームスプリッターが設けられ、このビー
ムスプリッターは機器のズームレンズの中心軸を横切る
ように約４５°傾斜させる。測定器が機器の一側に設け
られ、このビームスプリッター上にズームレンズの軸と
直角な光軸に沿ってレチクル像を投影する。上記「ＳＭ
ＡＲＴ ＳＣＯＰＥ」機器の一部をなすビデオカメラは
マイクロプロセッサーを介して像をモニターへ供給し、
作業者がズームレンズの焦点が合わされた製作品をこの
モニターにより観察できる。マイクロプロセッサーはこ
の発明の目的ではないが、ズームレンズの機械的な焦点
合せのための制御に用いることもできる。
許出願人が商標「ＳＭＡＲＴ ＳＣＯＰＥ」の名で販売
している種類のものに、この発明では機器の両端の中間
にあるようにビームスプリッターが設けられ、このビー
ムスプリッターは機器のズームレンズの中心軸を横切る
ように約４５°傾斜させる。測定器が機器の一側に設け
られ、このビームスプリッター上にズームレンズの軸と
直角な光軸に沿ってレチクル像を投影する。上記「ＳＭ
ＡＲＴ ＳＣＯＰＥ」機器の一部をなすビデオカメラは
マイクロプロセッサーを介して像をモニターへ供給し、
作業者がズームレンズの焦点が合わされた製作品をこの
モニターにより観察できる。マイクロプロセッサーはこ
の発明の目的ではないが、ズームレンズの機械的な焦点
合せのための制御に用いることもできる。
【００１０】ズームレンズの所定の倍率を測定するため
に、まず作業者は既知の方法で「ＳＭＡＲＴ ＳＣＯＰ
Ｅ」機器を操作して製作品等上にズームレンズの焦点を
合せる。作業者は光学系の焦点を製作品上に合せた後、
ズームレンズ自体の倍率を希望する倍率及び視野になる
ように調節する。この後で、製作品の照明を消し、測定
器用の光源を付けて、その照明光線がレチクルを照明
し、その像がビームスプリッター上に投影されるように
する。ビームスプリッターはレチクル像をズームレンズ
を介してビデオカメラに反射し、ビデオカメラはマイク
ロプロセッサーを介してこの特定のレチクル像を後日の
用のために記録し、この測定された倍率を所望の時に再
現できるようにする。
に、まず作業者は既知の方法で「ＳＭＡＲＴ ＳＣＯＰ
Ｅ」機器を操作して製作品等上にズームレンズの焦点を
合せる。作業者は光学系の焦点を製作品上に合せた後、
ズームレンズ自体の倍率を希望する倍率及び視野になる
ように調節する。この後で、製作品の照明を消し、測定
器用の光源を付けて、その照明光線がレチクルを照明
し、その像がビームスプリッター上に投影されるように
する。ビームスプリッターはレチクル像をズームレンズ
を介してビデオカメラに反射し、ビデオカメラはマイク
ロプロセッサーを介してこの特定のレチクル像を後日の
用のために記録し、この測定された倍率を所望の時に再
現できるようにする。
【００１１】以下の実施では、レチクルは同心円状に配
置されかつ径方向に間隔をおいた一連の円環であり、そ
の中の最も大きなものはズームレンズの最小倍率で約５
ｍｍのビデオ像で現れ、その中の最も小さなものもレン
ズの最大倍率で約５ｍｍのビデオ像で現れる。
置されかつ径方向に間隔をおいた一連の円環であり、そ
の中の最も大きなものはズームレンズの最小倍率で約５
ｍｍのビデオ像で現れ、その中の最も小さなものもレン
ズの最大倍率で約５ｍｍのビデオ像で現れる。
【００１２】先に記録した選択する倍率に再設定するた
めには、光学系を既知の方法でその焦点を合せ、レチク
ル測定器を再び作動させ、レチクルの像をビームスプリ
ッターとズームレンズを介してビデオカメラ上に投影す
る。この像を、所定の選択する倍率のために前もって記
録しておいたレチクル像と対比し、手動またはコンピュ
ーターソフトによってズームレンズ自体を双方のレチク
ル像が一致するように調節する。
めには、光学系を既知の方法でその焦点を合せ、レチク
ル測定器を再び作動させ、レチクルの像をビームスプリ
ッターとズームレンズを介してビデオカメラ上に投影す
る。この像を、所定の選択する倍率のために前もって記
録しておいたレチクル像と対比し、手動またはコンピュ
ーターソフトによってズームレンズ自体を双方のレチク
ル像が一致するように調節する。
【００１３】この調節のためにコンピューターソフトが
用いられる時には、ビデオカメラ上に測定器によって投
影されている双方の像の径を計測し、計測した差の信号
によってソフトを働かせてズームレンズ機構の駆動系を
微調節し、両者の像を実質的に一致せしめる。
用いられる時には、ビデオカメラ上に測定器によって投
影されている双方の像の径を計測し、計測した差の信号
によってソフトを働かせてズームレンズ機構の駆動系を
微調節し、両者の像を実質的に一致せしめる。
【００１４】
【実施例】次に、図面を参照して符号により説明する
と、まず図１において、１０はズームレンズアセンブリ
全体を示すもので、このアセンブリの上方端にはビデオ
カメラ１１があり、このビデオカメラはマイクロプロセ
ッサーまたは中央処理ユニット（ＣＰＵ）１２により、
既知の方法で公知のモニター１３と連ながる。ズームレ
ンズアセンブリ１０の下方端から突出するハウジング１
４内には、製作品等Ｗ上に焦点が合せられるようにした
対物レンズＬが設けられており、製作品が公知の光源
（図示せず）により既知の方法で照明されると、その像
が対物レンズＬ，ズームレンズアセンブリ１０，ＣＰＵ
１２を介してモニター１３に投影される。ハウジング１
４とズームレンズ１０の一側に近接して、後に詳述する
レチクル１５が設けられる。
と、まず図１において、１０はズームレンズアセンブリ
全体を示すもので、このアセンブリの上方端にはビデオ
カメラ１１があり、このビデオカメラはマイクロプロセ
ッサーまたは中央処理ユニット（ＣＰＵ）１２により、
既知の方法で公知のモニター１３と連ながる。ズームレ
ンズアセンブリ１０の下方端から突出するハウジング１
４内には、製作品等Ｗ上に焦点が合せられるようにした
対物レンズＬが設けられており、製作品が公知の光源
（図示せず）により既知の方法で照明されると、その像
が対物レンズＬ，ズームレンズアセンブリ１０，ＣＰＵ
１２を介してモニター１３に投影される。ハウジング１
４とズームレンズ１０の一側に近接して、後に詳述する
レチクル１５が設けられる。
【００１５】レチクル１５の一側に近接しハウジング１
４から離れて設けられる第２光源１６は、レチクルの像
を対物レンズ１７とハウジング１４の一側の開口を介し
てビームスプリッター１８の表面上に投影する。このビ
ームスプリッターはズームレンズアセンブリの下方でハ
ウジング１４内に設けられ、ズームレンズアセンブリ１
０の軸を横切って該軸と対物レンズ１７の軸の双方に対
して約４５°の角度で伸展する。
４から離れて設けられる第２光源１６は、レチクルの像
を対物レンズ１７とハウジング１４の一側の開口を介し
てビームスプリッター１８の表面上に投影する。このビ
ームスプリッターはズームレンズアセンブリの下方でハ
ウジング１４内に設けられ、ズームレンズアセンブリ１
０の軸を横切って該軸と対物レンズ１７の軸の双方に対
して約４５°の角度で伸展する。
【００１６】このようにして、製作品Ｗが照し出されて
おらずに光源１６が照らされると、レチクルの像がレン
ズ１７とビームスプリッター１８によりズームレンズア
センブリを介してビデオカメラ１１に投影され、ＣＰＵ
１２に電子的に記録される。図２は、この発明に用い得
るズームレンズアセンブリの一態様を更に詳しく図示し
たものである。即ち、ビームスプリッター１８，レチク
ル投影機構１５，１６，１７およびレチクルの像を比較
するための後述する手段を除けば、ズームレンズアセン
ブリ１０は商標「ＳＭＡＲＴ ＳＣＯＰＥ」名で販売さ
れている上記した計測系に使われている既知の種類のも
のと基本的には同一である。
おらずに光源１６が照らされると、レチクルの像がレン
ズ１７とビームスプリッター１８によりズームレンズア
センブリを介してビデオカメラ１１に投影され、ＣＰＵ
１２に電子的に記録される。図２は、この発明に用い得
るズームレンズアセンブリの一態様を更に詳しく図示し
たものである。即ち、ビームスプリッター１８，レチク
ル投影機構１５，１６，１７およびレチクルの像を比較
するための後述する手段を除けば、ズームレンズアセン
ブリ１０は商標「ＳＭＡＲＴ ＳＣＯＰＥ」名で販売さ
れている上記した計測系に使われている既知の種類のも
のと基本的には同一である。
【００１７】なお、この系の焦点を製作品上に合せるた
めに、ズームレンズアセンブリ１０とそれにつけられた
カメラ１１と対物レンズハウジング１４の上下方向の調
節が公知の方法でアーム２１によってなされる。このア
ームの一端はズームレンズアセンブリ１０のハウジング
２２に、またその対向端はＣＰＵ１２により制御される
既知の機構（図示せず）に付けられている。この光学系
の焦点が製作品上に合わされ、製品の像がモニター１３
上に表示されると、アーム２１の動きは停止し、ズーム
レンズ自体が最終または希望する倍率（視野）になるよ
うに調節されることになる。
めに、ズームレンズアセンブリ１０とそれにつけられた
カメラ１１と対物レンズハウジング１４の上下方向の調
節が公知の方法でアーム２１によってなされる。このア
ームの一端はズームレンズアセンブリ１０のハウジング
２２に、またその対向端はＣＰＵ１２により制御される
既知の機構（図示せず）に付けられている。この光学系
の焦点が製作品上に合わされ、製品の像がモニター１３
上に表示されると、アーム２１の動きは停止し、ズーム
レンズ自体が最終または希望する倍率（視野）になるよ
うに調節されることになる。
【００１８】図２に示される通り、この調節はズームレ
ンズの調節用レンズ胴２５を囲むようにこの胴に取付け
られたリングギヤー２４に近接してハウジング２２内に
置かれたサーボモーター２３によってなされる。サーボ
モーター２３の軸に固定された平歯車２６はリングギヤ
ー２４と係合してこれを駆動する。上記した「ＳＭＡＲ
Ｔ ＳＣＯＰＥ」計測系の一部をなすマウスまたは操作
レバーによって、作業者はサーボモーターを選択的に駆
動し、希望する倍率または視野を得る。この時、投影さ
れた像を介して製作品の選択した計測をＣＰＵに記録さ
せる。
ンズの調節用レンズ胴２５を囲むようにこの胴に取付け
られたリングギヤー２４に近接してハウジング２２内に
置かれたサーボモーター２３によってなされる。サーボ
モーター２３の軸に固定された平歯車２６はリングギヤ
ー２４と係合してこれを駆動する。上記した「ＳＭＡＲ
Ｔ ＳＣＯＰＥ」計測系の一部をなすマウスまたは操作
レバーによって、作業者はサーボモーターを選択的に駆
動し、希望する倍率または視野を得る。この時、投影さ
れた像を介して製作品の選択した計測をＣＰＵに記録さ
せる。
【００１９】図３に示される通り、レチクル１５はその
上に同心円状に刻み込まれる等した複数の径方向に間隔
を置いて同心円状に設けられたリング３５，３６，３７
を有し、このリングはそれぞれ大きさの合った内外径を
有する。ズームレンズが最大倍率にある時に、例えば約
０．５ｍｍの内径を有する一番小さなリング３５がモニ
ター１３上に適切な寸法となって現れる。ズームレンズ
が最小倍率にある時には、例えば３．０ｍｍの直径を有
する一番外側のリング３７が適切な寸法で現れる。異な
る内外径を有するその他のリングを使って中間倍率を表
示または測定することもできる。リングの数とそれらの
それぞれの内外径を変えることは、この発明を逸脱しな
い限り、勿論可能である。レチクル像としてリングを用
いるのは、機構中のカメラやその他の部分が誤って角回
転してもその像が影響を受けない、即ち歪まないからで
ある。
上に同心円状に刻み込まれる等した複数の径方向に間隔
を置いて同心円状に設けられたリング３５，３６，３７
を有し、このリングはそれぞれ大きさの合った内外径を
有する。ズームレンズが最大倍率にある時に、例えば約
０．５ｍｍの内径を有する一番小さなリング３５がモニ
ター１３上に適切な寸法となって現れる。ズームレンズ
が最小倍率にある時には、例えば３．０ｍｍの直径を有
する一番外側のリング３７が適切な寸法で現れる。異な
る内外径を有するその他のリングを使って中間倍率を表
示または測定することもできる。リングの数とそれらの
それぞれの内外径を変えることは、この発明を逸脱しな
い限り、勿論可能である。レチクル像としてリングを用
いるのは、機構中のカメラやその他の部分が誤って角回
転してもその像が影響を受けない、即ち歪まないからで
ある。
【００２０】上述した通り、計測を再度確かめるため
に、先の倍率にズームレンズを戻す必要がしばしば生じ
る。同一の倍率に復帰できることを確かなものとするた
めに、製作品Ｗを所定の倍率で計測する直前または直後
にその時のズームレンズの特定の位置、即ち特定のＦＯ
Ｖを将来のために記録または測定するのである。かかる
測定のために、製作品への照明を消し、光源１６で照し
てその時のレチクルの像を対物レンズ１７によってビー
ムスプリッター１８上に投射し、ビームスプリッターが
ズームレンズを介してこの像を上方のカメラ１１に投射
し、ＣＰＵ１２による電子的記録がなされる。最も効果
的なレチクル１５は、例えば第３図に示される如き円盤
形状のものであることが、この発明を実施してみて確か
められた。この円盤状のレチクルは、その端縁の円周端
で円筒形のハウジング３１に固定され、このハウジング
はその先端（図２参照）にて右側端部が対物レンズ１７
を入れた胴ハウジング３２の外方端に調節自在に係止さ
れる。
に、先の倍率にズームレンズを戻す必要がしばしば生じ
る。同一の倍率に復帰できることを確かなものとするた
めに、製作品Ｗを所定の倍率で計測する直前または直後
にその時のズームレンズの特定の位置、即ち特定のＦＯ
Ｖを将来のために記録または測定するのである。かかる
測定のために、製作品への照明を消し、光源１６で照し
てその時のレチクルの像を対物レンズ１７によってビー
ムスプリッター１８上に投射し、ビームスプリッターが
ズームレンズを介してこの像を上方のカメラ１１に投射
し、ＣＰＵ１２による電子的記録がなされる。最も効果
的なレチクル１５は、例えば第３図に示される如き円盤
形状のものであることが、この発明を実施してみて確か
められた。この円盤状のレチクルは、その端縁の円周端
で円筒形のハウジング３１に固定され、このハウジング
はその先端（図２参照）にて右側端部が対物レンズ１７
を入れた胴ハウジング３２の外方端に調節自在に係止さ
れる。
【００２１】図４に示されるのは、改変例のズームレン
ズ機構１０′で、これは作業者によって手動でズームレ
ンズ胴２５を調節できるようになっている。この実施例
においては、手動操作の駆動ギヤ４１がシャフト４２の
中間に該シャフトと同軸上で取付けられている。シャフ
ト４２の両端は、ハウジング２２の内面が突出した一対
の突起またはラグ４３に回転できるように枢支され、ギ
ヤ４１の歯がリングギヤ２４と噛み合うように支持され
る。ギヤ４１の一部はハウジング２２の壁の開口から突
出していて、必要によって手動によりこのギヤ４１が回
動できるようになっており、レンズ胴２５の手動調整を
することができる。このようにして、倍率（ＦＯＶ）の
手動調節と、先に記録したレチクル像と新規のレチクル
像の手動による対比ができて、先に測定した倍率へ再設
定することができる。
ズ機構１０′で、これは作業者によって手動でズームレ
ンズ胴２５を調節できるようになっている。この実施例
においては、手動操作の駆動ギヤ４１がシャフト４２の
中間に該シャフトと同軸上で取付けられている。シャフ
ト４２の両端は、ハウジング２２の内面が突出した一対
の突起またはラグ４３に回転できるように枢支され、ギ
ヤ４１の歯がリングギヤ２４と噛み合うように支持され
る。ギヤ４１の一部はハウジング２２の壁の開口から突
出していて、必要によって手動によりこのギヤ４１が回
動できるようになっており、レンズ胴２５の手動調整を
することができる。このようにして、倍率（ＦＯＶ）の
手動調節と、先に記録したレチクル像と新規のレチクル
像の手動による対比ができて、先に測定した倍率へ再設
定することができる。
【００２２】この発明の好適な実施例によれば、ズーム
レンズは複数の倍率に前もって測定される。例えば、レ
ンズが製作品上に焦点が合された後に、ズームレンズを
第１と第２の極限位置、例えば最大と最小倍率に相当す
る位置の間にサーボモーター２３のシャフトを選択的に
反対方向に該両位置の間で回転することによって調整で
きるようにしておく。現在市販されている「ＳＭＡＲＴ
ＳＣＯＰＥ」機器では、モーター２３のシャフト上の
光学エンコーダーがＣＰＵのカウンターを操作し、この
カウンターが例えばモーター２３のシャフトが極限位置
の一方から他方へ回転した時に約１５，０００カウント
を記録する。即ち、異なる倍率はモーターシャフトの異
なった位置によって決められ、このモーターシャフトの
位置は、上記した光学エンコーダーによって操作される
カウンターによって記録される信号の数によって決めら
れる。
レンズは複数の倍率に前もって測定される。例えば、レ
ンズが製作品上に焦点が合された後に、ズームレンズを
第１と第２の極限位置、例えば最大と最小倍率に相当す
る位置の間にサーボモーター２３のシャフトを選択的に
反対方向に該両位置の間で回転することによって調整で
きるようにしておく。現在市販されている「ＳＭＡＲＴ
ＳＣＯＰＥ」機器では、モーター２３のシャフト上の
光学エンコーダーがＣＰＵのカウンターを操作し、この
カウンターが例えばモーター２３のシャフトが極限位置
の一方から他方へ回転した時に約１５，０００カウント
を記録する。即ち、異なる倍率はモーターシャフトの異
なった位置によって決められ、このモーターシャフトの
位置は、上記した光学エンコーダーによって操作される
カウンターによって記録される信号の数によって決めら
れる。
【００２３】このような機器を異なる倍率に測定するた
めには、ズームレンズをモーター２３によってその最大
倍率に動かし、ここでエンコーダーのカウンターを零に
して、カウンターのゼロカウントが最大倍率の、また１
５，０００カウントが最小倍率のシャフト位置をそれぞ
れ示すようにする。他の倍率のシャフト位置は０（ゼ
ロ）と１５，０００との間のカウントによって表示され
ることとする。
めには、ズームレンズをモーター２３によってその最大
倍率に動かし、ここでエンコーダーのカウンターを零に
して、カウンターのゼロカウントが最大倍率の、また１
５，０００カウントが最小倍率のシャフト位置をそれぞ
れ示すようにする。他の倍率のシャフト位置は０（ゼ
ロ）と１５，０００との間のカウントによって表示され
ることとする。
【００２４】以下の実施例では、ズームレンズは１０個
の異なる位置に前もって測定されていて、その時の各モ
ーターシャフトの位置は１，６６６カウントずつ離れて
いる。
の異なる位置に前もって測定されていて、その時の各モ
ーターシャフトの位置は１，６６６カウントずつ離れて
いる。
【００２５】しかしながら、モーター２３のシャフトの
位置は、ズームレンズを所定の倍率に測定するために検
出かつ記録されるパラメーターの一つに過ぎない。この
モーターシャフト位置によるパラメーターに加えて、レ
チクル光源１６による設定が記録される。この記録に
は、モニター１３のスクリーン上に投射されるレチクル
像の選択された円上の３点の正確なる位置（ＸＹ座標）
を決めるために、サブ絵画素端縁検出（ＳＵＢ−ＰＩＸ
ＥＬ ＥＤＧＥ ＤＥＴＥＣＴＩＯＮ）が用いられる
（１９８９年１２月発刊のオプチカルエンジニアリング
２８（１２）の１３１１〜１３１６頁のエー・ジー・シ
ョエツ著の「マシンビジョン度量衡学システムにおける
光学的とデジタル処理技術」を参照）。
位置は、ズームレンズを所定の倍率に測定するために検
出かつ記録されるパラメーターの一つに過ぎない。この
モーターシャフト位置によるパラメーターに加えて、レ
チクル光源１６による設定が記録される。この記録に
は、モニター１３のスクリーン上に投射されるレチクル
像の選択された円上の３点の正確なる位置（ＸＹ座標）
を決めるために、サブ絵画素端縁検出（ＳＵＢ−ＰＩＸ
ＥＬ ＥＤＧＥ ＤＥＴＥＣＴＩＯＮ）が用いられる
（１９８９年１２月発刊のオプチカルエンジニアリング
２８（１２）の１３１１〜１３１６頁のエー・ジー・シ
ョエツ著の「マシンビジョン度量衡学システムにおける
光学的とデジタル処理技術」を参照）。
【００２６】これらの３ＸＹ座標は、選択された円の径
を確かめるために用いられる（１９６１年のニューヨー
クのマックグロウーヒル社刊の「科学者と技術者のため
の数学ハンドブック」第１版のジー・エーとティー・エ
ム・コーン著の２．４−６（ａ）欄を参照）。この端縁
検出ルーチンは、所定のまたは選択した倍率に対する絵
画素／インチにおける正確な視野（ＦＯＶ）を決めるた
めにも用いられる。これらの５つのパラメーター（モー
ターシャフト位置，レチクル光度，３ＸＹ座標，レチク
ル円径と最終ＦＯＶ）が、従って特定倍率に対する測定
アレイとして記録される。
を確かめるために用いられる（１９６１年のニューヨー
クのマックグロウーヒル社刊の「科学者と技術者のため
の数学ハンドブック」第１版のジー・エーとティー・エ
ム・コーン著の２．４−６（ａ）欄を参照）。この端縁
検出ルーチンは、所定のまたは選択した倍率に対する絵
画素／インチにおける正確な視野（ＦＯＶ）を決めるた
めにも用いられる。これらの５つのパラメーター（モー
ターシャフト位置，レチクル光度，３ＸＹ座標，レチク
ル円径と最終ＦＯＶ）が、従って特定倍率に対する測定
アレイとして記録される。
【００２７】次に、モニターまたはスクリーン１３上の
レチクル像の円の計測について更に説明する。円の径の
計測は、まず円上で角度を隔てた３点のＸＹ座標を選
び、その絵画素を記録することから始まる。この時、Ｘ
は製作品ホルダーが横方向に移動される方向で、Ｙはそ
れと直交する軸である。これらの３点のＸＹ座標は前述
したハンドブックで記述されている通り、円の大きさを
決めるために用いられる。製作品ホルダーの横方向（Ｘ
方向）の横方向の動き、とりも直さず製作品Ｗのそのよ
うな動きは、現行の「ＳＭＡＲＴ ＳＣＯＰＥ」機器に
おいては、インチ単位で検出され記録される。以下で説
明する通り、絵画素／インチの視野（ＦＯＶ）の正確な
決定と記録ができることになる。
レチクル像の円の計測について更に説明する。円の径の
計測は、まず円上で角度を隔てた３点のＸＹ座標を選
び、その絵画素を記録することから始まる。この時、Ｘ
は製作品ホルダーが横方向に移動される方向で、Ｙはそ
れと直交する軸である。これらの３点のＸＹ座標は前述
したハンドブックで記述されている通り、円の大きさを
決めるために用いられる。製作品ホルダーの横方向（Ｘ
方向）の横方向の動き、とりも直さず製作品Ｗのそのよ
うな動きは、現行の「ＳＭＡＲＴ ＳＣＯＰＥ」機器に
おいては、インチ単位で検出され記録される。以下で説
明する通り、絵画素／インチの視野（ＦＯＶ）の正確な
決定と記録ができることになる。
【００２８】以下でリスト状に記載するのは、所定倍率
（ＦＯＶ）に機器を前測定するためになされる一連のス
テップである。ここでの特定の例は、機器をズームレン
ズをその最大倍率にする位置に前測定するためのステッ
プである。その他の倍率にはサーボシャフトを他の位置
に動かして、その後の他の測定ステップをたどることに
よって前測定できるものである。例えば、レンズを１０
の異なる倍率に前測定するためには、エンコーダーのカ
ウンターのカウントを１，６６６ずつ上げて、サーボモ
ーター２３のシャフトを最大倍率から最小倍率に向って
動かせばよい。
（ＦＯＶ）に機器を前測定するためになされる一連のス
テップである。ここでの特定の例は、機器をズームレン
ズをその最大倍率にする位置に前測定するためのステッ
プである。その他の倍率にはサーボシャフトを他の位置
に動かして、その後の他の測定ステップをたどることに
よって前測定できるものである。例えば、レンズを１０
の異なる倍率に前測定するためには、エンコーダーのカ
ウンターのカウントを１，６６６ずつ上げて、サーボモ
ーター２３のシャフトを最大倍率から最小倍率に向って
動かせばよい。
【００２９】前測定：「ＳＭＡＲＴ ＳＣＯＰＥ」機器
を操作してズームレンズアセンブリの焦点を照し出され
た製作品Ｗ上に合せた後、作業者がキーボード，マウ
ス，ソフトウェア等によってなすべきステップは、次の
通りである。
を操作してズームレンズアセンブリの焦点を照し出され
た製作品Ｗ上に合せた後、作業者がキーボード，マウ
ス，ソフトウェア等によってなすべきステップは、次の
通りである。
【００３０】ステップ１：製作品Ｗが最大倍率下にもた
らされるようにモーター２３によりズームレンズを動か
す。 ２：製作品用光源を消し、レチクル用光源を点灯する。 ３：レチクル用光源を調節して、像がよく見える水準に
する。 ４：サブ絵画素端縁検出ルーチンを用いて、モーター１
３のスクリーン上のＦＯＶに完全に合う一番大きなレチ
クル円上の３つのＸＹ座標を選択する。 ５：この３つのＸＹ座標を用いて、絵画素の円径を計測
する。 ６：計測した円径、３のＸＹ座標、レチクル光源の（光
度水準の）設定とモーターシャフト位置を測定アレイと
して記録する。 ７：レチクル用光源を消し、製作品用光源を元に戻す。 ８：ＦＯＶの中心近くにきれいな端縁（例えば、かみそ
りの刃）をおく。 ９：製作品用光源を充分な水準に調節する。 １０：サブ絵画素端縁検出ルーチンを用いて刃のＸ位置
を絵画素で計測する。 １１：ホルダーをＸ方向の左右いずれかに動かして刃の
像を横方向に数絵画素だけ動かす。 １２：端縁検出ルーチンを再び操作して、絵画素中の新
しい刃の位置を計測する。 １３：刃を動かした分の絵画素の数をホルダーがＸ方向
に動かされたインチ数で割って、インチ当りの絵画素に
よるＦＯＶの概数計測を得る。 １４：上記１３ステップで決められたＦＯＶ値を用い
て、刃をＸ方向へ１／３ＦＯＶ位置に動かす。 １５：単純な端縁検出ルーチンを用いて絵画素による刃
の新しい位置を計測する。 １６：刃をＸ方向へ２／３ＦＯＶ位置に動かす。 １７：単純な端縁検出を用いて絵画素による刃の新しい
位置を計測する。 １８：上記１５ステップと１７ステップで得られた刃位
置間の絵画素の差と、ホルダーの位置間の対応するイン
チの差を求める。 １９：上記１８ステップで求めた絵画素の差を対応する
インチの差で割り、絵画素／インチによる最終の正確な
ＦＯＶを決める。 ２０：ズームレンズを最大倍率にした時の最終ＦＯＶ値
を測定アレイ中に記録する。
らされるようにモーター２３によりズームレンズを動か
す。 ２：製作品用光源を消し、レチクル用光源を点灯する。 ３：レチクル用光源を調節して、像がよく見える水準に
する。 ４：サブ絵画素端縁検出ルーチンを用いて、モーター１
３のスクリーン上のＦＯＶに完全に合う一番大きなレチ
クル円上の３つのＸＹ座標を選択する。 ５：この３つのＸＹ座標を用いて、絵画素の円径を計測
する。 ６：計測した円径、３のＸＹ座標、レチクル光源の（光
度水準の）設定とモーターシャフト位置を測定アレイと
して記録する。 ７：レチクル用光源を消し、製作品用光源を元に戻す。 ８：ＦＯＶの中心近くにきれいな端縁（例えば、かみそ
りの刃）をおく。 ９：製作品用光源を充分な水準に調節する。 １０：サブ絵画素端縁検出ルーチンを用いて刃のＸ位置
を絵画素で計測する。 １１：ホルダーをＸ方向の左右いずれかに動かして刃の
像を横方向に数絵画素だけ動かす。 １２：端縁検出ルーチンを再び操作して、絵画素中の新
しい刃の位置を計測する。 １３：刃を動かした分の絵画素の数をホルダーがＸ方向
に動かされたインチ数で割って、インチ当りの絵画素に
よるＦＯＶの概数計測を得る。 １４：上記１３ステップで決められたＦＯＶ値を用い
て、刃をＸ方向へ１／３ＦＯＶ位置に動かす。 １５：単純な端縁検出ルーチンを用いて絵画素による刃
の新しい位置を計測する。 １６：刃をＸ方向へ２／３ＦＯＶ位置に動かす。 １７：単純な端縁検出を用いて絵画素による刃の新しい
位置を計測する。 １８：上記１５ステップと１７ステップで得られた刃位
置間の絵画素の差と、ホルダーの位置間の対応するイン
チの差を求める。 １９：上記１８ステップで求めた絵画素の差を対応する
インチの差で割り、絵画素／インチによる最終の正確な
ＦＯＶを決める。 ２０：ズームレンズを最大倍率にした時の最終ＦＯＶ値
を測定アレイ中に記録する。
【００３１】ズームレンズ系１０を前測定した位置に限
らず所定倍率に測定するためには、計測される製作品に
最も適した新しいＦＯＶ（倍率）が得られるように、新
しい位置にサーボモーター２３を介してズームレンズが
調節される。この場合も、上述したステップを遂行し、
このモーター位置に対する測定アレイにおける最終ＦＯ
Ｖ値が記録される。
らず所定倍率に測定するためには、計測される製作品に
最も適した新しいＦＯＶ（倍率）が得られるように、新
しい位置にサーボモーター２３を介してズームレンズが
調節される。この場合も、上述したステップを遂行し、
このモーター位置に対する測定アレイにおける最終ＦＯ
Ｖ値が記録される。
【００３２】前測定位置への復帰：作業者がズームレン
ズを前測定した倍率に復帰したいときには、レチクル１
５の像を再びビームスプリッター１８上に投影し、この
新しい像をカメラ１１を介してＣＰＵ１２に投影し、前
回記録した像と比較する。このためのステップは、以下
の通りである。
ズを前測定した倍率に復帰したいときには、レチクル１
５の像を再びビームスプリッター１８上に投影し、この
新しい像をカメラ１１を介してＣＰＵ１２に投影し、前
回記録した像と比較する。このためのステップは、以下
の通りである。
【００３３】ステップ１：ズームレンズをモニター２３
によって新しい位置に動かして、計測される製品に最も
適した新しいＦＯＶを選択する。 ２：この新しい位置に最も近いモニター２３位置を有す
る前測定した位置を決める。 ３：モニター２３を最も近い前測定した位置に動かす。 ４：製作品用光源を消し、レチクル用光源をつける。 ５：レチクル光源をこの位置に対する前測定で記録した
水準に設定する。 ６：この位置に対して前測定して記録された３つのＸＹ
座標を使って、サブ絵画素端縁検出ルーチンにより円径
を絵画素によって計測する。 ７：得られた円径寸法を前測定による円径により記録さ
れた参照値と比較する。 ８：もし、計測した円径が参照値よりも（許容範囲のト
レランスよりも）大きい時には、モニター２３を最小倍
率位置方向へ向って僅かに動かす。反対に、もし計測し
た円径が参照値よりも（許容範囲のトレランスよりも）
小さい時には、モニター２３を最大倍率位置方向へ向っ
て僅かに動かす。 ９：上記ステップ６，７，８を繰返して、計測した円径
が参照径と同一か許容される範囲のトレランス内にある
ようにする。 １０：レチクル用光源を消し、製作品用光源を元に戻
す。 １１：この位置について前測定され記録されたインチ当
り絵画素数値を呼び出し、この数値をこの倍率でなされ
る計測に使う。
によって新しい位置に動かして、計測される製品に最も
適した新しいＦＯＶを選択する。 ２：この新しい位置に最も近いモニター２３位置を有す
る前測定した位置を決める。 ３：モニター２３を最も近い前測定した位置に動かす。 ４：製作品用光源を消し、レチクル用光源をつける。 ５：レチクル光源をこの位置に対する前測定で記録した
水準に設定する。 ６：この位置に対して前測定して記録された３つのＸＹ
座標を使って、サブ絵画素端縁検出ルーチンにより円径
を絵画素によって計測する。 ７：得られた円径寸法を前測定による円径により記録さ
れた参照値と比較する。 ８：もし、計測した円径が参照値よりも（許容範囲のト
レランスよりも）大きい時には、モニター２３を最小倍
率位置方向へ向って僅かに動かす。反対に、もし計測し
た円径が参照値よりも（許容範囲のトレランスよりも）
小さい時には、モニター２３を最大倍率位置方向へ向っ
て僅かに動かす。 ９：上記ステップ６，７，８を繰返して、計測した円径
が参照径と同一か許容される範囲のトレランス内にある
ようにする。 １０：レチクル用光源を消し、製作品用光源を元に戻
す。 １１：この位置について前測定され記録されたインチ当
り絵画素数値を呼び出し、この数値をこの倍率でなされ
る計測に使う。
【００３４】
【発明の効果】前述したところから明らかな通り、本発
明は製作品等を検査または計測するために、上述した種
類のズームレンズ系が調節される倍率を正確に記録また
は測定するための新規な方法と装置を提供するものであ
る。所定の倍率が選定されると、その時のレチクル像が
観察され、将来の用に記録される。後で、倍率を先に記
録したレチクル像に対応するように再設定したい時に
は、レチクル像用光源１６を再点灯し、レチクル１５の
新しい像をズームレンズアセンブリ１０とカメラ１１を
介してＣＰＵ１２に投影する。この新しい像はそこで先
に記録したレチクルの像と比較され、この新しく投影さ
れたレチクル像が前に記録された像と実質的な正確さで
一致するように倍率がギヤ４１を手動操作することによ
り、あるいはコンピューターソフトを操作することによ
って調整される。このようにして、システム１０のズー
ムレンズは正確に希望する倍率に再設定されることにな
る。
明は製作品等を検査または計測するために、上述した種
類のズームレンズ系が調節される倍率を正確に記録また
は測定するための新規な方法と装置を提供するものであ
る。所定の倍率が選定されると、その時のレチクル像が
観察され、将来の用に記録される。後で、倍率を先に記
録したレチクル像に対応するように再設定したい時に
は、レチクル像用光源１６を再点灯し、レチクル１５の
新しい像をズームレンズアセンブリ１０とカメラ１１を
介してＣＰＵ１２に投影する。この新しい像はそこで先
に記録したレチクルの像と比較され、この新しく投影さ
れたレチクル像が前に記録された像と実質的な正確さで
一致するように倍率がギヤ４１を手動操作することによ
り、あるいはコンピューターソフトを操作することによ
って調整される。このようにして、システム１０のズー
ムレンズは正確に希望する倍率に再設定されることにな
る。
【００３５】この発明を実施例により図示し詳述した
が、特許請求の範囲内とそれに均等な方法と装置をなす
改変例も、この発明の範囲内であることを付記してお
く。
が、特許請求の範囲内とそれに均等な方法と装置をなす
改変例も、この発明の範囲内であることを付記してお
く。
【図１】本発明の一実施例によるズームレンズを測定す
るために用いられる方法を説明する説明図である。
るために用いられる方法を説明する説明図である。
【図２】本発明による新規な測定器が設けられたズーム
レンズ機構の正面図であり、その一部を破断した図であ
る。
レンズ機構の正面図であり、その一部を破断した図であ
る。
【図３】図２中の矢符方向から見た３−３線による拡大
断面図である。
断面図である。
【図４】ズームレンズ機構の改変例の一部を示す一部破
断正面図である。
断正面図である。
Ｌ−対物レンズ
Ｗ−製作品
１０−ズームレンズアセンブリ
１１−ビデオカメラ
１２−マイクロプロセッサー（ＣＰＵ）
１３−モニター
１４−ハウジング
１５−レチクル
１６−レチクル用光源
１７−対物レンズ
１８−ビームスプリッター
２１−アーム
２２−ハウジング
２３−サーボモーター
２４−リングギヤー
２５−胴
２６−平歯車
３１−ハウジング
３５−リング
３６−リング
３７−リング
４１−駆動ギヤ
４２−シャフト
４３−ラグ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平１−202607（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−10724（ＪＰ，Ａ)
特開 昭58−168027（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01B 11/02
G02B 21/00
Claims (12)
- 【請求項１】 計測される製作品の像が調節可能なズー
ムレンズアセンブリによりビデオカメラに投影され中央
処理装置を介して記録されてビデオスクリーンに投影さ
れる種類の光学計測系であって、ズームレンズアセンブ
リに近接して設けられたレチクルと、このアセンブリの
ズームレンズの選択された倍率でレチクルの像をズーム
レンズとビデオカメラを介して中央処理装置に送って中
央処理装置でレチクル像を電子的に記録する手段と、上
記の選択した倍率への再設定が必要の際にはレチクルの
新しい像をズームレンズとカメラを介して中央処理装置
に送りスクリーン上でこの新しいレチクル像と先に記録
したレチクル像との比較を可能にする手段と、新しい像
と先に記録した像との比較により新しい像が記録されて
いた像と一致するようにズームレンズを調節して必要と
する選択した所定の倍率が得られるようにする手段とを
備えてなる上記の光学計測系。 - 【請求項２】 請求項１に述べる計測系で、そのレチク
ルは径方向に間隔をおき同心円状に配置された複数の円
よりなる光学的計測系。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の計測系で、その
ズームレンズアセンブリは調節自在に設けられたズーム
レンズをその一端に、また他端には該ズームレンズと同
一軸で設けられた対物レンズを有するハウジングを包含
し、ズームレンズと対物レンズとの間のこのハウジング
内には該ハウジングに設けられた開口を通してレチクル
と面するビームスプリッターが設けられ、またハウジン
グの前記した開口から遠いレチクルの側には光源が設け
られ、この光源はビームスプリッターにレチクルの像を
選択的に投影し得るようにした光学的計測系。 - 【請求項４】 請求頂３に記載の計測系で、ズームレン
ズを調節する手段は手動調節により倍率（ＦＯＶ）の調
節を可能にするハウジングに設けられた手段を有する光
学的計測系。 - 【請求項５】 請求項３に記載の計測系で、ズームレン
ズを調節する手段はズームレンズと作動的に連結してハ
ウジングに設けられ、レンズを選択的に対向する方向に
移動させて倍率を増または減ずるサーボモーターを含ん
でなる光学計測系。 - 【請求項６】 請求項５に記載の計測系で、サーボモー
ターを中央処理装置につなぎ、所定の倍率への再設定の
ための制御に働く手段を含む光学計測系。 - 【請求項７】 焦点が合わされた製作品の像をズームレ
ンズアセンブリとビデオカメラを介して記録し、かつビ
デオスクリーン上に再帰表示し得る中央処理装置へ投影
するためのズームレンズアセンブリの調節可能なズーム
レンズを選択した倍率へ再設定するための方法であっ
て、レンズアセンブリの焦点を製作品上に合わせ、該ア
センブリのズームレンズを選択した倍率に調節し、この
選択した倍率下でのレチクルの像を中央処理装置で電子
的に記録するためにズームレンズとカメラを介して該像
を中央処理装置に送って該選択された倍率下で現れるレ
チクル像の記録をし、その後に該選択された倍率へ再帰
したい時にはレチクルの新しい像を中央処理装置へズー
ムレンズとカメラを介して送り、レチクルのこの新しい
像と先に記録したレチクルの像とを比較し、新しいレチ
クルの像がレチクルの先に記録された像と実質的に一致
するようにズームレンズを調節することよりなる上記の
方法。 - 【請求項８】 請求頂７に記載の方法にして、レチクル
の新しい像と先に記録された像との対比は、双方の像を
同時にビデオスクリーン上に投影して目視で対比するこ
とよりなる調節可能なズームレンズの選択した倍率を記
録し再設定するための方法。 - 【請求項９】 請求項８に記載の方法にして、対比する
新しい像が記録されている像よりも大きい時にはズーム
レンズを低い倍率へ向って調節し、新しい像が記録され
ている像よりも小さい時には高い倍率に向って調節する
ことよりなる調節可能なズームレンズの選択した倍率を
記録し再設定するための方法。 - 【請求項１０】 請求項７に記載の方法にして、焦点が
合わせられた製作品を複数の倍率下にもたらされるよう
にズームレンズを順次に調節し、それぞれの倍率にズー
ムレンズが調節される毎にレチクルの像をズームレンズ
とカメラを介して中央処理装置に送り、所定の複数の倍
率のそれぞれにおけるレチクルの像を記録することより
なる調節可能なズームレンズの選択した倍率を記録し再
設定するための方法。 - 【請求項１１】 請求項１０に記載の方法にして、ズー
ムレンズを複数の倍率のーつに調節する毎にその時のレ
チクルの像をビデオスクリーン上に投影し、スクリーン
上に現れた該レチクルの投影された像を計測してその寸
法を求めてこれを中央処理装置に記録し、その後にこの
投影された像をズームレンズの所望倍率への復帰のため
に用いることよりなる調節可能なズームレンズの選択し
た倍率を記録し再設定するための方法。 - 【請求項１２】 請求項１１に記載の方法にして、スク
リーン上に投影されるレチクル像は複数の径方向に間隔
をおいた同心円状の円であり、スクリーン上に投影され
た像の計測はスクリーン上の像の視野と完全に一致する
円の最大のものの径を求めることよりなる調節可能なズ
ームレンズの選択した倍率を記録し再設定し得るように
するための方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/148,396 US5389774A (en) | 1993-11-08 | 1993-11-08 | Method and means for calibrating the magnification of zoom optical systems using reticle images |
| US08/148,396 | 1993-11-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07208935A JPH07208935A (ja) | 1995-08-11 |
| JP3427236B2 true JP3427236B2 (ja) | 2003-07-14 |
Family
ID=22525595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30008394A Expired - Lifetime JP3427236B2 (ja) | 1993-11-08 | 1994-10-27 | ズーム光学系の倍率の測定法と手段 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5389774A (ja) |
| JP (1) | JP3427236B2 (ja) |
| DE (1) | DE4439557C2 (ja) |
Families Citing this family (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5668665A (en) * | 1995-07-10 | 1997-09-16 | Optical Gaging Products, Inc. | Telecentric, parfocal, multiple magnification optical system for videoinspection apparatus |
| US5619031A (en) * | 1995-11-15 | 1997-04-08 | Optical Gaging Products, Inc. | Variable magnification apparatus for reticle projection system |
| ES2136541B1 (es) * | 1997-05-06 | 2000-08-01 | Indo Int Sa | Aparato para el centrado y bloqueo de un disco de lente oftalmica. |
| DE19745270C1 (de) * | 1997-10-15 | 1999-02-25 | Kapitza Hans Georg Dr | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Bildern mit definierter Vergrößerung im Lupenbereich |
| GB2336729B (en) * | 1998-04-25 | 2001-10-31 | Ibm | A reticle for an object measurement system |
| US6362882B1 (en) * | 2000-01-24 | 2002-03-26 | Optical Gaging Products, Inc. | Reticle projection system for video inspection apparatus |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5389774A (en) | 1995-02-14 |
| JPH07208935A (ja) | 1995-08-11 |
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