JP2007311430A - 被撮像物の移動方法、この方法を記録した記憶媒体及びこれらを用いる処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の被撮像物の移動方法は、第2のCCDカメラ15によって所定の倍率で撮像され且つ表示画面16に表示されたプローブカード12の撮像画像のピン画像Pを指定することにより、表示画面16上でピン画像Pを十字マークCへ移動させる際に、ピン画像Pの表示画面16上でのピクセル座標を記憶する工程と、ピン画像Pと十字マークCとの間のオフセット(x,y)を求める工程と、表示画面16上でピン画像Pを十字マークCへ移動させてオフセットに見合った距離だけステージ11を介して第2のCCDカメラ15を移動させる工程と、を備える。
【選択図】図3
Description
第1の被撮像物の移動方法について図2、図3を参照しながら説明する。まず、マウス19を操作して表示画面16のメニューから第1の被撮像物の移動方法を表すプログラムを選択する。表示画面16には例えば第2のCCDカメラ15によって撮像されたプローブカードの撮像画像が図2の(a)に示すように表示される。尚、図2の(a)では便宜上プローブカード12の複数のプローブピン中の1本のプローブがピン画像Pとして表示されているが、実際には複数のピン画像が表示される。そこで、マウス19を操作して撮像画像の一部であるピン画像Pをマウス19のマウスポインタ19Aで指定し、マウス19をクリックすると、同図の(b)に示すようにピン画像Pが十字マークCへ移動する。換言すれば、この操作によりピン画像Pに対応するプローブが第2のCCDカメラ15の中心に位置するようにステージ11が移動する。
本実施形態の被撮像物の移動方法について図4、図5を参照しながら説明する。まず、マウス19を操作して表示画面16のメニューから第2の被撮像物の移動方法を表すプログラムを選択する。表示画面16には例えば第2のCCDカメラ15によって撮像された2本のプローブが図4の(a)に示すように第1、第2のピン画像P1、P2として表示される。そこで、マウス19を操作して第1のピン画像P1をマウスポインタ19Aで指定しマウス19をクリックした後、同図の(b)に示すように第2のピン画像P2をマウス19のマウスポインタ19Aで指定しマウス19をクリックすると、同図の(c)に示すように第1、第2のピン画像P1、P2が移動しこれらの結線の中心が十字マークCへ移動する。この操作により第1、第2のピン画像P1、P2間の中心が第2のCCDカメラ15の中心になるようにステージ11が移動する。
本実施形態の被撮像物の移動方法について図6、図7を参照しながら説明する。まず、マウス19を操作して表示画面16のメニューから第3の被撮像物の移動方法を表すプログラムを選択する。表示画面16には例えば第2のCCDカメラ15によって撮像されたプローブカードの撮像画像が図6の(a)に示すように表示される。そこで、マウス19を操作して撮像画像の一部であるピン画像Pをマウスポインタ19Aで指定しマウス19をクリックした後、同図の(a)に示すようにマウス19を操作してマウスポインタ19Aをピン画像Pから矢印方向にドラッグして十字マークCに合わせてクリックを解除すると、ピン画像Pはマウスポインタ19Aに追随して十字マークCまで移動する。換言すれば、このドラッグ操作によりピン画像Pに対応するプローブが第2のCCDカメラ15の中心に位置するようにステージ11が移動する。
11 ステージ(載置台)
11A 駆動機構
11B 被撮像物の移動方法
12 プローブカード(対象物)
12A プローブ
13 アライメント機構
14 第1のCCDカメラ(第1の撮像手段)
15 第2のCCDカメラ(第2の撮像手段)
16 表示画面
17 制御装置(制御手段)
17A 中央演算処理部(演算部)
17B、17C 記憶部
P、P1、P2 ピン画像(指定部位)
Claims (16)
- 撮像手段によって所定の倍率で撮像され且つ表示画面に表示された被撮像物の撮像画像の任意の部位を指定することにより、上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させて上記表示画面上で上記指定部位を目標位置へ移動させる被撮像物の移動方法であって、
上記指定部位の上記表示画面上での座標を記憶する工程と、
上記指定部位と上記目標位置との間のオフセットを求める工程と、
上記オフセットに見合った距離だけ上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させて、上記表示画面上で上記指定部位を上記目標位置へ移動させる工程と、を備えた
ことを特徴とする被撮像物の移動方法。 - 撮像手段によって所定の倍率で撮像され且つ表示画面に表示された被撮像物の撮像画像の任意の複数の部位を指定することにより、上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させて上記表示画面上で上記複数の部位に基づいて求められる設定部位を目標位置へ移動させる被撮像物の移動方法であって、
上記複数の指定部位の上記表示画面上での座標をそれぞれ記憶する工程と、
上記複数の指定部位の座標値と予め設定された関係式に基づいて上記設定部位を求める工程と、
上記設定部位と上記目標位置との間のオフセットを求める工程と、
上記オフセットに見合った距離だけ上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させて、上記表示画面上で上記設定部位を上記目標位置へ移動させる工程と、を備えた
ことを特徴とする被撮像物の移動方法。 - 撮像手段によって所定の倍率で撮像され且つ表示画面に表示された被撮像物の撮像画像の任意の部位を指定し、その状態で上記指定部位を上記表示画面上で目標位置へドラッグすることにより、上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させて上記表示画面上で上記指定部位を上記目標位置へ移動させる被撮像物の移動方法であって、
上記指定部位の上記表示画面上での座標を記憶する工程と、
上記ドラッグ後の上記目標位置の上記表示画面上での座標を記憶する工程と、
上記指定部位と上記ドラッグ後の上記目標位置とのオフセットを求める工程と、
上記オフセットに見合った距離だけ上記撮像手段と上記被撮像物を相対的に移動させて、上記表示画面上で上記指定部位を上記目標位置へ移動させる工程と、を備えた
ことを特徴とする被撮像物の移動方法。 - 上記任意の部位にマウスポインタを当て、マウスをクリックすることにより上記任意の部位を指定することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の被撮像物の移動方法。
- 上記表示画面がタッチパネルである場合には、上記任意の部位に触れることにより上記任意の部位を指定することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の被撮像物の移動方法。
- 上記目標位置が上記表示画面の中心であることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の被撮像物の移動方法。
- 上記オフセットと上記倍率との関係に基づいて上記オフセットに見合った距離を求めることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の被撮像物の移動方法。
- コンピュータを駆動させて、請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の被撮像物の移動方法を実行させるプログラムが記録されていることを特徴とする記憶媒体。
- 所定の倍率で被撮像物を撮像する撮像手段と、上記撮像手段による撮像画像を表示する表示画面と、上記被撮像物と上記撮像手段とを相対的に移動させる移動手段と、上記移動手段を駆動する駆動手段と、これらを制御する制御手段と、を備え、制御手段の制御下で、上記表示画面に表示された上記被撮像物の撮像画像の任意の部位を指定することにより、上記撮像手段と上記被撮像物が相対的に移動して上記表示画面上で指定部位を目標位置へ移動させるように構成された処理装置であって、
上記撮像画像の少なくとも一つの任意の部位を指定する指定手段と、
上記指定手段による上記指定部位の上記表示画面上での座標を記憶する記憶手段と、
上記表示画面上での上記指定部位と上記目標位置とのオフセットを求める演算手段と、を有し、
上記駆動手段が上記オフセットに基づいて駆動し、上記移動手段を介して上記オフセットに見合った距離だけ上記撮像手段と上記被撮像物が相対的に移動する
ことを特徴とする処理装置。 - 上記指定手段は、上記任意の部位を少なくとも二箇所指定する手段を有することを特徴とする請求項9に記載の処理装置。
- 上記演算手段は、上記少なくとも二箇所の指定部位を示す位置データと予め設定され関係式に基づいて上記指定部位とは別の設定部位を求める手段と、上記設定部位を上記目標位置とのオフセットを求める手段と、を有することを特徴とする請求項10に記載の処理装置。
- 上記指定手段は、ドラッグ手段を有することを特徴とする請求項9に記載の処理装置。
- 上記指定手段がマウスであることを特徴とする請求項9〜請求項12のいずれか1項に記載の処理装置。
- 上記表示画面がタッチパネルを有することを特徴とする請求項9〜請求項12のいずれか1項に記載の処理装置。
- 上記移動手段は、上記被処理体を載置する載置台であることを特徴とする請求項9〜請求項14のいずれか1項に記載の処理装置。
- 上記被処理体の電気的特性検査を行う際に用いられるプローブカードと、このプローブカードの複数のプローブと上記被処理体の位置合わせを行うアライメント機構と、を備え、上記アライメント機構は、上記撮像手段として第1、第2の撮像手段を有することを特徴とする請求項15に記載の処理装置。
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