JP2016134630A - 検査装置の操作方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査装置の操作方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、可動子を有する半導体検査装置に適用される検査装置の操作方法を提出する。該方法は、ウエハ画像をタッチパネルディスプレイに表示することと、該タッチパネルディスプレイが生成したタッチ信号を検出することと、該タッチ信号生成時の該ウエハ画像の拡大倍率を検出することと、該タッチ信号生成時の該ウエハ画像の拡大倍率によって該可動子の移動速度を決定することと、を含む。このほかに、タッチ信号によって可動子の移動方向も決定できる。本発明を通じて、オペレータはより一層直感的に半導体検査装置内の各可動子を操作できる。
【選択図】図１

Description

本発明は、検査装置の移動制御方法に関し、特に、半導体検査装置のウエハーチャックテーブル又は撮像モジュール等の可動子の移動速度或いは方向の制御方法に関する。

従来の半導体検査装置のウエハーチャックテーブル（或いは被検査物載置台）、撮像モジュール又はプローバーの移動は、ジョイスティック、マウス、キー及び半導体検査装置に内蔵するユーザ操作ソフトウェアを通じて実施してきたが、その利便性及び効率に限りがあった。
しかしながら、現在の市場や文献において、タッチ信号によるウエハーチャックテーブル（或いは被検査物載置台）、撮像モジュール、プローバー及びプローバーヘッド等の可動子の移動を制御する技術的思想は見られなかった。

よって本発明の目的の１つは、タッチ信号によって検査装置の可動子を制御し、更に直接的かつ効率的に可動子の移動又は関連の被検査物の検査を行うことである。

本発明の概念の１つは、検査装置の操作方法で、可動子を有する半導体検査装置に適用される。該方法は、ウエハ画像をタッチパネルディスプレイに表示することと、該タッチパネルディスプレイが生成したタッチ信号を検出することと、該タッチ信号生成時の該ウエハ画像の拡大倍率を検出することと、該タッチ信号生成時の該ウエハ画像の拡大倍率によって該可動子の移動速度を決定することと、を含む。

半導体検査装置を示す模式図である。 ウエハ画像を示す模式図（一）である。 ウエハ画像を示す模式図（二）である。 ウエハ画像を示す模式図（三）である。 ウエハ画像が手指のスワイプ方向に伴って移動する様子を示す模式図（一）である。 ウエハ画像が手指のスワイプ方向に伴って移動する様子を示す模式図（二）である。

図１乃至図４を参照する。各々半導体検査装置を示す模式図及びウエハ画像を示す模式図（一）〜（三）で、検査装置及び被検査物図を各々例示するために用いられる。ウエハ画像を示す模式図（一）〜（三）は、異なる拡大倍率下のウエハ画像を各々示し、ウエハ画像を示す模式図（三）の拡大倍率がウエハ画像を示す模式図（二）より大きく、ウエハ画像を示す模式図（二）の拡大倍率が更にウエハ画像を示す模式図（一）より大きい。
本発明の実施例１は、検査装置の操作方法で、可動子を有する半導体検査装置１に適用される。図１に示すように、半導体検査装置１は、ウエハーチャックテーブル１１と撮像モジュール１２とプローバー１３とタッチパネルディスプレイ１４と表示装置１５とプローバーヘッド１６とケーシング１９とを含む。ウエハーチャックテーブル１１と撮像モジュール１２とプローバー１３とプローバーヘッド１６は可動子とする。タッチパネルディスプレイ１４は、ウエハ画像を表示するために用いることができ、表示装置１５が撮像モジュール１２のリアルタイムでキャプチャーした画像を表示するために用いることができる。
プローバーヘッド１６はプローバー１３に設けられ、プローバー１３と伴って移動できる以外に、プローバーヘッド１６自体も単独でプローバー１３に対して移動できる。撮像モジュール１２は、ウエハーチャックテーブル１３の上方からＺ軸方向に沿って画像をキャプチャーでき、またケーシング１９の側辺においてＸ軸方向或いはＹ軸方向に沿って画像もキャプチャーできる。
特に、本実施例は半導体検査装置の関連素子及びモジュールとウエハ画像で例示説明を行うが、その他の検査装置及び被検査物図もこれをもって調整して応用でき、これに限られるものではなく、且つ可動子もウエハーチャックテーブル１１、撮像モジュール１２、プローバー１３、表示装置１５及びプローバーヘッド１６に限られるものではない。

図２乃至図４を参照する。本発明の実施例１で提出した検査装置の操作方法のうちの１つのステップは、ウエハ画像２０をタッチパネルディスプレイ１４に表示することである。
ウエハ画像２０上の各グリッドはウエハ上に形成される各チップに相当し、２１を付けているチップは欠陥を有するチップ或いは検査実施予定チップとする。ウエハ画像は、第１拡大倍率である図２のウエハ画像２０に示すような比較的低い倍率にある時、撮像モジュール１２の撮像範囲が比較的広く、つまり表示装置１５上に比較的多いチップを表示する。ウエハ画像は、第２拡大倍率である図３のウエハ画像３０に示されるような中程度の倍率にある時、撮像モジュール１２の撮像範囲が比較的狭くなり、つまり表示装置１５上に比較少ないチップを表示する。ウエハ画像は、第３拡大倍率である図４のウエハ画像４０に示すような高倍率にある時、撮像モジュール１２の撮像範囲がより狭くなり、つまり表示装置１５上により少ないチップを表示する。

拡大倍率がウエハ画像２０が示す第１拡大倍率にある場合オペレータが手指をタッチパネルディスプレイ１４上でスワイプすると、ウエハーチャックテーブル１１が第１速度で移動する。拡大倍率がウエハ画像３０に示す第２拡大倍率にある場合オペレータが手指をタッチパネルディスプレイ１４上でスワイプすると、ウエハーチャックテーブル１１が第２速度で移動する。拡大倍率が、ウエハ画像４０に示す第３拡大倍率にある場合オペレータが手指をタッチパネルディスプレイ１４上でスワイプすると、ウエハーチャックテーブル１１が第３速度で移動する。第３速度は、第２速度より小さく、第２速度が第１速度より小さい。つまりウエハ画像の拡大倍率が高ければ高いほど、ウエハーチャックテーブル１１の伴う移動速度が遅くなり、又はオペレータは手指をタッチパネルディスプレイ１４上で同じ距離をスワイプした時、対応するウエハ画像の拡大倍率が比較的高い場合、その対応するウエハーチャックテーブル１１の移動距離は比較的短くなる。
ウエハーチャックテーブル１１の移動或いは操作過程中、撮像モジュール１２はやはりウエハーチャックテーブル１１上にあるウエハの画像をキャプチャーし続け、また表示装置１５或いはタッチパネルディスプレイ１４を通じてウエハ（被検査物）の全体図、局部図、マーク図、及び／或いは拡大図を表示してオペレータの観察のために供する。

タッチパネルディスプレイ１４がマルチタッチをサポートする場合、上記ウエハ画像の拡大倍率は、オペレータのタッチパネルディスプレイ１４における指の動きを通じて実行できる。例えば２本の手指をタッチパネルディスプレイ１４上に互いに接近する場合、ウエハ画像が縮小され、２本の手指でタッチパネルディスプレイ１４上を互いに開いた場合、ウエハ画像が拡大される。

図５と図６は、各々ウエハ画像が手指のスワイプ方向に伴って移動する様子を示す模式図（一）及び（二）である。
実施例１において、タッチ信号はタッチパネルディスプレイ１４に発生したスワイプ軌跡２９でトリガーされ、オペレータが手指３９をタッチパネルディスプレイ１４上でスワイプ軌跡２９をスワイプした時、本実施例はスワイプ軌跡２９に対応する複数のタッチ座標を算出し、且つ算出したタッチ座標に基づいてスワイプ方向を算出し、そして算出したスワイプ方向によって可動子（例えばウエハーチャックテーブル１１、撮像モジュール１２、プローバー１３及びプローバーヘッド１６等）の移動方向を決定する。

このほかに、ウエハ画像４０自体も手指３９のスワイプ方向によってタッチパネルディスプレイ１４の画面上で移動できる。ウエハ画像４０の移動速度と移動方向は、手指３９のスワイプ速度とスワイプ方向によって決まる。手指３９をタッチパネルディスプレイ１４上でスワイプした場合、ウエハ画像４０がリアルタイムで伴って移動する。

上記に続き、本実施例は、更に算出したタッチ座標に基づいてスワイプ速度を算出し、また算出したスワイプ速度によって可動子の移動速度を決定できる。
例を挙げて言うと、半導体装置１内にスワイプ速度と移動速度の対照表を内蔵でき、算出したスワイプ速度は第１値と第２値の間にある時、移動速度がＶ１で、算出したスワイプ速度が第２値と第３値の間にある時、移動速度がＶ２となり、以後も同様とする。つまり対照表を見る方式によって可動子の移動速度を決定でき、必ず特定のアルゴリズムで計算して可動子の移動速度を決定することはない。該第３値は該第２値より大きく且つ該第２値が該第１値より大きい場合、Ｖ２がＶ１より大きくなる。

実施例１は、タッチパネルディスプレイ１４上で表示するウエハ画像の拡大倍率によって可動子の移動速度を決定し、ウエハ画像の拡大倍率の上昇に伴い、ウエハーチャックテーブル１１の移動速度が遅くなり、その原因がウエハ画像の拡大に伴い、撮像モジュール１２の撮像範囲も狭くなり、この時ウエハの移動が速すぎると、観察したいチップが撮像範囲から外れる。これ以外に、実施例１もオペレータのタッチパネルディスプレイ１４上における手指のスワイプ方向によって可動子の移動方向を決定できる。
本実施例を介して半導体装置１内の各可動子の制御はより一層直感的となり、操作もより一層便利になる。

本発明の実施例２は、同様に検査装置の操作方法で、可動子を有する半導体検査装置１に適用される。前記可動子は、ウエハーチャックテーブル１１、撮像モジュール１２、プローバー１３及びプローバーヘッド１６から選ばれるいずれか１つである。
本実施例は、同様にウエハ画像をタッチパネルディスプレイ１４に表示し、またオペレータの手指３９をタッチパネルディスプレイ１４でのスワイプ軌跡２９によってスワイプ軌跡２９に対応する複数のタッチ座標を算出する。そして算出した複数のタッチ座標に基づいてスワイプ方向を算出し、更に算出したスワイプ方向によって可動子の移動方向を算出する。

実施例２も更にタッチ信号生成時のウエハ画像の拡大倍率を検出してからタッチ信号生成時のウエハ画像の拡大倍率によって可動子の移動速度を決定できる。タッチ信号生成時、ウエハ画像の拡大倍率が高ければ高いほど、可動子の移動速度が低くなる。
同様に実施例２も更にタッチ座標に基づいてスワイプ速度とスワイプ方向を算出し、また算出した手指３９のスワイプ速度とスワイプ方向によって可動子の移動速度と移動方向を決定できる。このほかに、ウエハ画像４０自体も算出した手指３９のスワイプ方向によってタッチパネルディスプレイ１４の画面上でリアルタイムで対応移動できる。

本実施例において、ウエハーチャックテーブル１１は、ＸＹ平面上における移動のみについて例示するが、本発明はこれに限られるものではなく、撮像モジュール１２、プローバー１３及びプローバーヘッド１６は更にＺ軸上に沿って移動でき、つまりウエハーチャックテーブル１１に対して上昇或いは下降できる。
オペレータにタッチパネルディスプレイ１４を通じて撮像モジュール１２、プローバー１３及びプローバーヘッド１６の昇降を制御させるため、タッチパネルディスプレイ１４上に物理的又は仮想の切替スッチを設けてオペレータに手指をタッチパネルディスプレイ１４で上下に移動する時、可動子を制御してＹ軸に沿って移動するか、又はＺ軸に沿って移動するかを決定させることができる。また切替スイッチ或いは可動子の操作制御スイッチを例えば操作卓（図示せず）のようなその他の位置に設けることができ、本発明はこれに限られるものではない。

以上の各実施例で称するウエハ画像は、データ処理を経た後変換した図面、撮像モジュール１２で実際に撮影した画像ファイル、又はその他の形の代表図面とすることができる。

本発明は、検査装置の操作方法を別途開示する。可動子を有する半導体検査装置に適用され、該可動子がウエハーチャックテーブル、撮像モジュール、プローバー及びプローバーヘッドから選ばれたいずれか１つとする。
該方法は、ウエハ画像をタッチパネルディスプレイに表示するＳ１１０と、該タッチパネルディスプレイが生成したタッチ信号を検出するＳ１２０と該タッチ信号生成時の該ウエハ画像の拡大倍率を検出するＳ１３０と、該タッチ信号生成時の該ウエハ画像の拡大倍率によって該可動子の移動速度を決定するＳ１４０と、を含む。

本発明は、検査装置の操作方法を別途開示する。可動子を有する半導体検査装置に適用され、該可動子がウエハーチャックテーブル、撮像モジュール、プローバー及びプローバーヘッドから選ばれたいずれか１つとする。
該方法は、ウエハ画像をタッチパネルディスプレイに表示するＳ２１０と、該タッチパネルディスプレイが生成し、タッチパネルディスプレイに発生したスワイプ軌跡でトリガーされるタッチ信号を検出するＳ２２０と、該スワイプ軌跡に対応する複数のタッチ座標を算出するＳ２３０と、それらタッチ座標に基づいてスワイプ方向を算出するＳ２４０と該スワイプ方向によって該可動子の移動方向を決定するＳ２５０と、を含む。

本発明は、検査装置の操作方法を別途開示する。可動子を有する検査装置に適用され、該可動子が被検査物の載置台及び撮像モジュールから選ばれたいずれか１つとする。
該方法は、被検査物図をタッチパネルディスプレイに表示するＳ４１０と、該タッチパネルディスプレイが生成したタッチ信号を検出するＳ４２０と該タッチ信号生成時の該被検査物図の拡大倍率を検出するＳ４３０と、該タッチ信号生成時の該被検査物図の拡大倍率によって該可動子の移動速度を決定するＳ４４０と、を含む。

上記の３つ方法の実施例の内容は、本明細書内の前記説明から得られるが、簡潔を求めるため、ここではその説明を省略する。

上記を取りまとめると、明細書で開示されている内容によれば、本発明はタッチ信号によって検査装置の可動子を制御することで、より一層直接的かつ効率的に可動子の移動又は関連の被検査物の検査を行うことができる。

上述の説明は、単に本発明の最良の実施例を挙げたまでであり、本発明を限定しない。その他本発明の開示する要旨を逸脱することなく完成された同等効果の修飾または置換はいずれも後述の特許請求の範囲に含まれる。

１ 半導体検査装置
１１ ウエハーチャックテーブル
１２ 撮像モジュール
１３ プローバー
１４ タッチパネルディスプレイ
１５ 表示装置
１６ プローバーヘッド
１９ ケーシング
２０ ウエハ画像
２１ チップ
２９ スワイプ軌跡
３９ 手指
４０ ウエハ画像
Ｓ１１０〜Ｓ４４０ ステップ

Claims (15)

1. 可動子を有する半導体装置に適用される検査装置の操作方法であって、
   前記可動子はウエハーチャックテーブル、撮像モジュール、プローバー及びプローバーヘッドのうちの１つであり、
   ウエハ画像をタッチパネルディスプレイに表示することと、
   前記タッチパネルディスプレイが生成したタッチ信号を検出することと、
   前記タッチ信号生成時の前記ウエハ画像の拡大倍率を検出することと、
   前記タッチ信号生成時の前記ウエハ画像の拡大倍率によって前記可動子の移動速度を決定することと、を含むことを特徴とする、
   検査装置の操作方法。
2. 前記タッチ信号の生成時、前記ウエハ画像の拡大倍率が高ければ高いほど、前記可動子の移動速度が低くなることを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 前記タッチ信号は、タッチパネルディスプレイに発生したスワイプ軌跡でトリガーされ、前記方法は、前記スワイプ軌跡に対応する複数のタッチ座標を算出することと、前記タッチ座標に基づいてスワイプ方向を算出することと、前記スワイプ方向によって前記可動子の移動方向を決定することと、を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
4. 前記スワイプ方向によって前記タッチパネルディスプレイ上でリアルタイムで前記ウエハ画像を移動することを更に含むことを特徴とする請求項３に記載の方法。
5. 前記タッチ座標に基づいてスワイプ速度を算出することと、前記スワイプ速度によって前記可動子の移動速度を決定することと、を更に含むことを特徴とする請求項３に記載の方法。
6. 前記スワイプ速度によって前記タッチパネルディスプレイ上でリアルタイムで前記ウエハ画像を移動することを更に含むことを特徴とする請求項５に記載の方法。
7. 可動子を有する半導体装置に適用される検査装置の操作方法であって、
   前記可動子はウエハーチャックテーブル、撮像モジュール、プローバー及びプローバーヘッドのうちの１つであり、
   ウエハ画像をタッチパネルディスプレイに表示することと、
   前記タッチパネルディスプレイが生成し、前記タッチパネルディスプレイに発生したスワイプ軌跡でトリガーされるタッチ信号を検出することと、
   前記スワイプ軌跡に対応する複数のタッチ座標を算出することと、
   前記タッチ座標に基づいてスワイプ方向を算出することと、
   前記スワイプ方向によって前記可動子の移動方向を決定することと、を含むことを特徴とする、
   検査装置の操作方法。
8. 前記タッチ信号の生成時の前記ウエハ画像の拡大倍率を検出することと、前記タッチ信号生成時の前記ウエハ画像の拡大倍率によって前記可動子の移動速度を決定することと、を更に含み、前記タッチ信号生成時、前記ウエハ画像の拡大倍率が高ければ高いほど、前記可動子の移動速度が低くなることを特徴とする請求項７に記載の方法。
9. 前記タッチ座標に基づいてスワイプ速度を算出することと、前記スワイプ速度によって前記可動子の移動速度を決定することと、を更に含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
10. 前記スワイプ速度によって前記タッチパネルディスプレイ上でリアルタイムで前記ウエハ画像を移動することを更に含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
11. 前記スワイプ方向によって前記タッチパネルディスプレイ上でリアルタイムで前記ウエハ画像を移動することを更に含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
12. 前記可動子は前記ウエハーチャックテーブルであり、前記スワイプ方向によって前記ウエハーチャックテーブルの平面上における移動方向を決定することを更に含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
13. 前記可動子は前記撮像モジュール、前記プローバー及び前記プローバーヘッドのうちのいずれかであり、前記スワイプ方向によって前記可動子の上昇或いは下降を決定することを更に含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
14. 可動子を有する検査装置に適用される検査装置の操作方法であって、
    前記可動子が被検査物の載置台及び撮像モジュールのうちの１つであり、
    被検査物図をタッチパネルディスプレイに表示することと、
    前記タッチパネルディスプレイが生成したタッチ信号を検出することと、
    前記タッチ信号生成時の該被検査物図の拡大倍率を検出することと、
    前記タッチ信号生成時の前記被検査物図の拡大倍率によって前記可動子の移動速度を決定することと、を含むことを特徴とする、
    検査装置の操作方法。
15. 前記タッチ信号生成時、前記被検査物図の拡大倍率が高ければ高いほど、前記可動子の移動速度が低くなることを特徴とする請求項１４に記載の方法。

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