TWI583971B - 檢測設備之操作方法 - Google Patents

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斯托揚 卡內夫
劉永欽
安德烈 盧米安特塞夫
姜耀川
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旺矽科技股份有限公司
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Description

檢測設備之操作方法
本發明關於一種檢測設備的移動控制方法，尤有關於一種半導體檢測設備之晶圓載台或攝影模組等可動元件的移動速率或方向的控制方法。
傳統半導體檢測設備之晶圓載台(或檢測物載台)、攝影模組或探針載台的移動僅透過搖桿、滑鼠、按鍵及半導體檢測設備內建的使用者操作軟體來執行，其方便性及效率有所限制。然而，現今市面上與文獻均未發現有透過觸控訊號來控制晶圓載台(或檢測物載台)、攝影模組、探針載台與探針座等可動元件的移動的技術方案。
因此本發明的目的之一為透過觸控訊號來控制檢測設備之可動元件以更直接有效率地來進行移動可動元件或檢查相關檢測物。
本發明的概念之一為一檢測設備之操作方法，適用於具有一可動元件之半導體檢測設備，該方法包含：顯示一晶圓圖於一觸控顯示裝置；偵測該觸控顯示裝置所產生之一觸控訊號；偵測該觸控訊號產生時該晶圓圖之放大倍率；及根據該觸控訊號產生時該晶圓圖之放大倍率決定該可動元件之移動速率。
請參照第1圖至第4圖，分別為半導體檢測設備示意圖以及晶圓圖示意圖（一）至（三），用以分別例示檢測設備及檢測物圖，其中晶圓圖示意圖（一）至（三）分別繪示了不同放大倍率下之晶圓圖，晶圓圖示意圖（三）之放大倍率大於晶圓圖示意圖（二），晶圓圖示意圖（二）之放大倍率又大於晶圓圖示意圖（一）。本發明第一實施例係一種檢測設備之操作方法，適用於具有一可動元件之半導體檢測設備1。如第1圖所示，半導體檢測設備1包含晶圓載台11、攝影模組12、探針載台13、觸控顯示裝置14、顯示器15、探針座16以及機殼19，其中晶圓載台11、攝影模組12、探針載台13與探針座16係為可動元件。觸控顯示裝置14可以用來顯示晶圓圖，顯示器15可以用來顯示攝影模組12所即時擷取到的影像。探針座16設置於探針載台13，其本身除了可以隨著探針載台13移動外，探針座16本身也可以單獨相對於探針載台13移動。攝影模組12可以從晶圓載台11之上方而沿著Z軸方向擷取影像，也可以位於機殼19的側邊而沿著X軸方向或者Y軸方向擷取影像。需注意的是，本實施例雖以半導體檢測設備的相關元件及模組與晶圓圖來進行例示說明，然其他的檢測設備及檢測物圖亦可以據以調整應用，並不以此為限，且可動元件亦不以晶圓載台11、攝影模組12、探針載台13、顯示器15及探針座16為限。
請參照第2圖至第4圖，本發明第一實施例所提出之檢測設備之操作方法的其中一步驟係將晶圓圖20顯示於觸控顯示裝置14。晶圓圖20上的每個方格相當於形成於晶圓上的各個晶粒，其中晶粒21係為有缺陷的晶粒，或者是預備要執行檢測的晶粒。當晶圓圖處於一第一放大倍率，也就是如第2圖之晶圓圖20所示之較低倍率的時候，此時攝影模組12的攝像範圍較廣，也就是顯示器15上會顯示出較多晶粒。當晶圓圖處於一第二放大倍率，也就是如第3圖之晶圓圖30所示之中倍率的時候，此時攝影模組12的攝像範圍變得比較窄，也就是顯示器15上會顯示出比較少的晶粒。當晶圓圖處於一第三放大倍率，也就是如第4圖之晶圓圖40所示之高倍率的時候，此時攝影模組12的攝像範圍變得更窄，也就是顯示器15上會顯示出更少的晶粒。
當放大倍率係處於晶圓圖20所示之第一放大倍率時，若此時操作員以手指於觸控顯示裝置14上滑動，則晶圓載台11將會以第一速率移動。當放大倍率係處於晶圓圖30所示之第二放大倍率時，若此時操作員以手指於觸控顯示裝置14上滑動，則晶圓載台11將會以第二速率移動。當放大倍率係處於晶圓圖40所示之第三放大倍率時，若此時操作員以手指於觸控顯示裝置14上滑動，則晶圓載台11將會以第三速率移動。其中，第三速率小於第二速率，第二速率小於第一速率，也就是晶圓圖之放大倍率愈高，晶圓載台11隨之移動的速度愈慢；或是說當操作員以手指於觸控顯示裝置14上滑動相同距離時，若此時對應之晶圓圖之放大倍率較高，則其相對的晶圓載台11的移動距離會較短。晶圓載台11移動或操作過程中，攝影模組12仍持續地擷取位於晶圓載台11上之晶圓的影像，並透過顯示器15或觸控顯示裝置14來顯示晶圓(檢測物)的全圖、局部圖、標示圖、及/或放大圖以供操作員觀察。
若是觸控顯示裝置14支援多點觸控，則上述晶圓圖的放大倍率可以透過操作員於觸控顯示裝置14之手勢操作來執行，例如當兩根手指在觸控顯示裝置14上彼此靠近，則晶圓圖將會縮小，當兩根手指在觸控顯示裝置14上彼此遠離，則晶圓圖將會放大。
請參照第5圖與第6圖，分別為晶圓圖隨手指滑動方向移動之示意圖（一）與示意圖（二）。在第一實施例中，觸控訊號係由發生於觸控顯示裝置14之一滑動軌跡29所觸發，當操作員以手指39於觸控顯示裝置14上滑動出一滑動軌跡29時，本實施例將會計算出對應於滑動軌跡29之複數觸碰座標，並且根據所計算出之觸碰座標而計算出一滑動方向，然後根據所計算出之滑動方向來決定可動元件（例如晶圓載台11、攝影模組12、探針載台13與探針座16等）之移動方向。
此外，晶圓圖40本身也會依據手指39的滑動方向而於觸控顯示裝置14之畫面上移動。晶圓圖40的移動速率與移動方向取決於手指39的滑動速率與滑動方向，當手指39於觸控顯示裝置14上一滑動，晶圓圖40便即時地隨著移動。
承上，本實施例尚可進一步根據所計算出之觸碰座標而計算出一滑動速率，並根據所計算出滑動速率來決定可動元件之移動速率。舉例來說，可於半導體檢測設備1中內建一滑動速率與移動速率之對應表，當所計算出之滑動速率介於第一值與第二值之間時，則移動速率為V1，當所計算出之滑動速率介於第二值與第三值之間時，則移動速率為V2，依此類推。也就是說可以透過查表的方式來決定可動元件的移動速率，而並非一定要依照一特定的演算法來計算並決定可動元件的移動速率。其中，若該第三值大於該第二值且該第二值大於該第一值，則V2大於V1。
第一實施例係根據觸控顯示裝置14上所顯示之晶圓圖的放大倍率來決定可動元件的移動速率，隨著晶圓圖的放大倍率的上升，晶圓載台11的移動速率會變慢，原因在於隨著晶圓圖的放大，攝影模組12之攝像範圍也變窄，此時晶圓若是移動過快，很可能所想要觀測的晶粒便會跑出攝像範圍外。此外第一實施例也可以根據操作員於觸控顯示裝置14上之手指的滑動方向來決定可動元件的移動方向。藉由本實施例，半導體檢測設備1中之各個可動元件的控制變得更加直覺，操作上更為便利。
本發明的第二實施例同樣是一種檢測設備之操作方法，適用於具有可動元件之半導體檢測設備1，所述可動元件係選自晶圓載台11、攝影模組12、探針載台13與探針座16之其中一者。本實施例同樣顯示一晶圓圖於觸控顯示裝置14，並根據操作員之手指39於觸控顯示裝置14之滑動軌跡29而計算出對應於滑動軌跡29之複數觸碰座標。然後根據所計算出之複數觸碰座標計算出滑動方向，再根據所計算出之滑動方向來決定可動元件之移動方向。
第二實施例也可以進一步偵測觸控訊號產生時晶圓圖之放大倍率，然後再根據觸控訊號產生時晶圓圖之放大倍率決定可動元件之移動速率。其中觸控訊號產生的當下，若是晶圓圖之放大倍率愈高，則可動元件之移動速率愈低。同樣地，第二實施例也可以進一步根據觸碰座標計算出滑動速率與滑動方向，並根據所計算出之手指39的滑動速率與滑動方向來決定可動元件之移動速率與移動方向。此外，晶圓圖40本身也可以依據所計算出之手指39的滑動方向而於觸控顯示裝置14之畫面上即時地對應移動。
在本實施例中，晶圓載台11僅例示在XY平面上移動，但本發明不以此為限，而攝影模組12、探針載台13以及探針座16則進一步可以沿著Z軸上移動，也就是可以相對於晶圓載台11上升或下降。為了讓操作員可以藉由觸控顯示裝置14來控制攝影模組12、探針載台13以及探針座16的升降，可以在觸控顯示裝置14上設置實體或虛擬的切換開關，讓操作員決定其手指在觸控顯示裝置14上下移動時，是要控制可動元件沿著Y軸移動或者是沿著Z軸移動。亦可以將切換開關或可動元件之操作控制開關設置於其他位置，如一操控台(未圖式)，本發明不以此為限。
以上各實施例所稱之晶圓圖可為經由數據資料處理後所轉換而成的圖示、藉由攝影模組12所實際拍攝的影像檔案、或其他形式的代表圖式。
本發明另揭露一檢測設備之操作方法，適用於具有一可動元件之半導體檢測設備，該可動元件選自晶圓載台、攝影模組、探針載台與探針座之其中一者，該方法包含： 顯示一晶圓圖於一觸控顯示裝置； 偵測該觸控顯示裝置所產生之一觸控訊號； 偵測該觸控訊號產生時該晶圓圖之放大倍率；及 根據該觸控訊號產生時該晶圓圖之放大倍率決定該可動元件之移動速率。
本發明另揭露一檢測設備之操作方法，適用於具有一可動元件之半導體檢測設備，該可動元件可選自晶圓載台、攝影模組、探針載台與探針座之其中一者，該方法包含： 顯示一晶圓圖於一觸控顯示裝置； 偵測該觸控顯示裝置所產生之一觸控訊號，該觸控訊號係由發生於該觸控顯示裝置之一滑動軌跡所觸發； 計算出對應於該滑動軌跡之複數觸碰座標； 根據該些觸碰座標計算出一滑動方向；及 根據該滑動方向決定該可動元件之移動方向。
本發明另揭露一檢測設備之操作方法，適用於具有一可動元件之半導體檢測設備，該可動元件可選自晶圓載台、攝影模組、探針載台與探針座之其中一者，其特徵在於： 利用一觸控顯示裝置所產生之一觸控訊號來移動該可動元件。
本發明另揭露一檢測設備之操作方法，適用於具有一可動元件之檢測設備，該可動元件為晶圓載台(檢測物載台)及攝影模組之其中一者，該方法包含： 顯示一檢測物圖於一觸控顯示裝置； 偵測該觸控顯示裝置所產生之一觸控訊號； 偵測該觸控訊號產生時該檢測物圖之放大倍率；及 根據該觸控訊號產生時該檢測物圖之放大倍率決定該可動元件之移動速率。
上述四個方法實施例的內容可由本說明書中之前述說明而得到，為求簡潔起見，於此不再贅述。
綜上所述，根據說明書所揭露的內容，本發明係可透過觸控訊號來控制檢測設備之可動元件以更直接有效率地來進行移動可動元件或檢驗相關檢測物。
本發明之技術內容已以實施例揭示如上述，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神所做些許之更動與潤飾，皆應涵蓋於本發明之範疇內，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
1‧‧‧半導體檢測設備
11‧‧‧晶圓載台
12‧‧‧攝影模組
13‧‧‧探針載台
14‧‧‧觸控顯示裝置
15‧‧‧顯示器
16‧‧‧探針座
19‧‧‧機殼
20、30、40‧‧‧晶圓圖
21‧‧‧晶粒
29‧‧‧滑動軌跡
39‧‧‧手指
[第1圖]為半導體檢測設備示意圖。 [第2圖]為晶圓圖示意圖（一）。 [第3圖]為晶圓圖示意圖（二）。 [第4圖]為晶圓圖示意圖（三）。 [第5圖]為晶圓圖隨手指滑動方向移動之示意圖（一）。 [第6圖]為晶圓圖隨手指滑動方向移動之示意圖（二）。
1‧‧‧半導體檢測設備
11‧‧‧晶圓載台
12‧‧‧攝影模組
13‧‧‧探針載台
14‧‧‧觸控顯示裝置
15‧‧‧顯示器
16‧‧‧探針座
19‧‧‧殼體

Claims (16)

  1. 一種檢測設備之操作方法，適用於具有一可動元件之半導體設備，該可動元件選自晶圓載台、攝影模組、探針載台與探針座之其中一者，該方法包含：顯示一晶圓圖於一觸控顯示裝置；偵測該觸控顯示裝置所產生之一觸控訊號；偵測該觸控訊號產生時該晶圓圖之放大倍率；及根據該觸控訊號產生時該晶圓圖之放大倍率決定該可動元件之移動速率。
  2. 如請求項1所述之方法，其中該觸控訊號產生時該晶圓圖之放大倍率愈高，該可動元件之移動速率愈低。
  3. 如請求項1所述之方法，其中該觸控訊號係由發生於該觸控顯示裝置之一滑動軌跡所觸發，所述方法更包含：計算出對應於該滑動軌跡之複數觸碰座標；根據該些觸碰座標計算出一滑動方向；及根據該滑動方向決定該可動元件之移動方向。
  4. 如請求項3所述之方法，更包含：依據該滑動方向而於該觸控顯示裝置上即時地移動該晶圓圖。
  5. 如請求項3所述之方法，更包含：根據該些觸碰座標計算出一滑動速率；及根據該滑動速率決定該可動元件之移動速率。
  6. 如請求項5所述之方法，更包含： 依據該滑動速率而於該觸控顯示裝置上即時地移動該晶圓圖。
  7. 一種檢測設備之操作方法，適用於具有一可動元件之半導體設備，該可動元件選自晶圓載台、攝影模組、探針載台與探針座之其中一者，該方法包含：顯示一晶圓圖於一觸控顯示裝置；偵測該觸控顯示裝置所產生之一觸控訊號，該觸控訊號係由發生於該觸控顯示裝置之一滑動軌跡所觸發；計算出對應於該滑動軌跡之複數觸碰座標；根據該些觸碰座標計算出一滑動方向；根據該滑動方向決定該可動元件之移動方向；偵測該觸控訊號產生時該晶圓圖之放大倍率；及根據該觸控訊號產生時該晶圓圖之放大倍率決定該可動元件之移動速率。
  8. 如請求項7所述之方法，其中該觸控訊號產生時該晶圓圖之放大倍率愈高，該可動元件之移動速率愈低。
  9. 一種檢測設備之操作方法，適用於具有一可動元件之半導體設備，該可動元件選自晶圓載台、攝影模組、探針載台與探針座之其中一者，該方法包含：顯示一晶圓圖於一觸控顯示裝置；偵測該觸控顯示裝置所產生之一觸控訊號，該觸控訊號係由發生於該觸控顯示裝置之一滑動軌跡所觸發；計算出對應於該滑動軌跡之複數觸碰座標； 根據該些觸碰座標計算出一滑動方向；根據該滑動方向決定該可動元件之移動方向；根據該些觸碰座標計算出一滑動速率；及根據該滑動速率決定該可動元件之移動速率。
  10. 如請求項9所述之方法，更包含：根據該滑動速率而於該觸控顯示裝置上即時地移動該晶圓圖。
  11. 一種檢測設備之操作方法，適用於具有一可動元件之半導體設備，該可動元件選自晶圓載台、攝影模組、探針載台與探針座之其中一者，該方法包含：顯示一晶圓圖於一觸控顯示裝置；偵測該觸控顯示裝置所產生之一觸控訊號，該觸控訊號係由發生於該觸控顯示裝置之一滑動軌跡所觸發；計算出對應於該滑動軌跡之複數觸碰座標；根據該些觸碰座標計算出一滑動方向；根據該滑動方向決定該可動元件之移動方向；及根據該滑動方向而於該觸控顯示裝置上即時地移動該晶圓圖。
  12. 一種檢測設備之操作方法，適用於具有一晶圓載台之半導體設備，該方法包含：顯示一晶圓圖於一觸控顯示裝置；偵測該觸控顯示裝置所產生之一觸控訊號，該觸控訊號係由發生於該觸控顯示裝置之一滑動軌跡所觸發；計算出對應於該滑動軌跡之複數觸碰座標； 根據該些觸碰座標計算出一滑動方向；根據該滑動方向決定該晶圓載台之移動方向；及依據該滑動方向決定該晶圓載台於一平面上之移動方向。
  13. 一種檢測設備之操作方法，適用於具有一可動元件之半導體設備，該可動元件為攝影模組、探針載台與探針座之其中一者，該方法包含：顯示一晶圓圖於一觸控顯示裝置；偵測該觸控顯示裝置所產生之一觸控訊號，該觸控訊號係由發生於該觸控顯示裝置之一滑動軌跡所觸發；計算出對應於該滑動軌跡之複數觸碰座標；根據該些觸碰座標計算出一滑動方向；根據該滑動方向決定該可動元件之移動方向；及依據該滑動方向決定該可動元件之上升或下降。
  14. 一種檢測設備之操作方法，適用於具有一可動元件之半導體設備，該可動元件選自晶圓載台、攝影模組、探針載台與探針座之其中一者，其特徵在於：利用一觸控顯示裝置所產生之一觸控訊號來移動該可動元件，並根據該觸控訊號產生時該晶圓圖之放大倍率來決定該可動元件之移動速率。
  15. 如請求項14所述之方法，其中該觸控訊號係由發生於該觸控顯示裝置之一滑動軌跡所觸發，該方法更包含：根據該滑動軌跡來決定該可動元件之移動方向。
  16. 一種檢測設備之操作方法，適用於具有一可動元件之檢測設備，該可動元件為檢測物載台及攝影模組之其中一者，該方法包含：顯示一檢測物圖於一觸控顯示裝置；偵測該觸控顯示裝置所產生之一觸控訊號；偵測該觸控訊號產生時該檢測物圖之放大倍率；及根據該觸控訊號產生時該檢測物圖之放大倍率決定該可動元件之移動速率。
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