TWI752317B - 顯示裝置之顯示方法 - Google Patents

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Abstract

本案為一種顯示裝置之顯示方法。包含顯示彼此重疊的第一視窗及第二視窗於觸控顯示裝置，第一視窗小於第二視窗。第一圖像顯示於第一視窗內，第二圖像顯示於第二視窗內，第二圖像為由攝影模組即時截取的影像。根據第一觸控指令於第二視窗內顯示第一圖像，於第一視窗內顯示第二圖像。根據第二觸控指令於第一視窗內顯示第一圖像，於第二視窗內顯示第二圖像。

Description

顯示裝置之顯示方法
本發明關於一種顯示裝置之顯示方法，特別是關於一種晶圓探針台(wafer probe station)的顯示裝置顯示晶圓的方法。
按，一般的晶圓探針台是將晶圓搭載於晶圓載台(chuck stage)上進行檢測。晶圓探針台透過軟體使用者介面控制檢測流程，軟體使用者介面是在一顯示幕上顯示數位晶圓圖或是待測晶圓的即時影像，這些圖像由設置在電子顯微鏡上的攝影機擷取。在設置和檢測過程中，檢測操作者必須在數位晶圓圖及即時影像間切換，為達成此一工作，必須透過兩個顯示幕或是單一個顯示幕上配合兩個視窗來達成，使用上並不方便。
本案提供一種顯示裝置之顯示方法，適用於具有攝影模組之探針台。顯示裝置之顯示方法包含顯示第一視窗以及第二視窗於觸控顯示裝置，第一視窗與第二視窗彼此重疊，且第一視窗的尺寸小於第二視窗的尺寸；第一圖像顯示於第一視窗內，第二圖像顯示於第二視窗內，第二圖像為由攝影模組即時截取的影像；偵測於第一視窗產生的第一觸控指令，根據第一觸控指令於第二視窗內顯示第一圖像，並且於第一視窗內顯示第二圖像；偵測於第一視窗產生的第二觸控指令，根據第二觸控指令使第一圖像顯示於第一視窗內，且第二圖像顯示於第二視窗內。
請配合參閱圖1，圖1為本發明顯示裝置之顯示方法之一實施例適用之探針台。圖1繪示之探針台1包含晶圓載台11、攝影模組(camera stage)12、探針載台(probe platen)13、觸控顯示裝置14、探針座15(positioner stage)以及機殼16。其中晶圓載台11、攝影模組12與探針座15為可動元件。觸控顯示裝置14可以用來顯示數位晶圓圖、校正片圖像(digital calibration substrate map)以及攝影模組12即時截取到的影像。探針座15設置於探針載台13，探針座15除了可以隨著探針載台13移動之外，探針座15本身也可以單獨相對於探針載台13移動。攝影模組12可以從晶圓載台11之上方而沿著Z軸方向擷取影像，也可以位於機殼16的側邊而沿著X軸方向或者Y軸方向擷取影像。此外，前述可動元件亦不以晶圓載台11、攝影模組12及探針座15為限。
繼續參閱圖1，探針台1的晶圓載台11上乘載晶圓20，而探針座15上固持探針30。於此，探針30可以是設置於探針座15再設置於探針載台13上的探針30，或是設置於探針卡上再設置於探針載台13，本發明並不以此為限。探針台1的探針載台13可位移靠近晶圓載台11，探針載台13上的探針30接觸晶圓20，探針30的針尖接觸晶圓20並刺穿氧化層以形成電性連接而能進行檢測。
參閱圖1至圖4，於此，探針台1的觸控顯示裝置14主要用來顯示探針台1在檢測過程中的晶圓20圖像資訊供使用者便捷地了解檢測狀況。本發明顯示裝置之顯示方法的其中一步驟係顯示第一視窗W1以及第二視窗W2於觸控顯示裝置14。於一實施例中，第二視窗W2係相當於觸控顯示裝置14中用來顯示影像的大部分範圍，而第一視窗W1係在觸控顯示裝置14中用來顯示影像的範圍中的次範圍。也就是說，在此實施例中，第一視窗W1與第二視窗W2彼此重疊，且第一視窗W1的尺寸小於第二視窗W2的尺寸。藉此，透過於觸控顯示裝置14上同時顯示第一視窗W1與第二視窗W2，以供使用者能同時由第一視窗W1及第二視窗W2取得檢測過程中的晶圓20的圖像資訊。
進一步地，參閱圖1至圖4，第一圖像P1顯示於第一視窗W1內，第二圖像P2顯示於第二視窗W2內，且第二圖像P2為由攝影模組12即時截取的影像。於一實施例中，第一圖像P1可以是數位晶圓圖，數位晶圓圖的外輪廓為圓形或長方形，本發明並不以此為限。在此實施例中，數位晶圓圖的外輪廓為圓形，而數位晶圓圖上又分割為複數方格，每個方格相當於形成於晶圓上的各個晶粒。於此，攝影模組12係截取晶圓載台11上的晶圓20的真實影像，藉此，觸控顯示裝置14的第一視窗W1及第二視窗W2內同時顯示數位晶圓圖以及即時晶圓20影像，使用者可在觸控顯示裝置14上同步比對及觀測。
繼續參閱圖5，在顯示裝置之顯示方法的另一步驟中，係偵測於第一視窗W1產生的第一觸控指令，根據第一觸控指令於第二視窗W2內顯示第一圖像P1，並且於第一視窗W1內顯示第二圖像P2。在此實施例中，係以當觸控顯示裝置14啟動時，第一圖像P1顯示於第一視窗W1，而第二圖像P2顯示於第二視窗W2之狀態(圖4之顯示狀態)為例，但本發明並不以此為限。進一步地，第一觸控指令可以是於觸控顯示裝置14於第一視窗W1的位置上進行點觸、滑動或多點觸控的動作，也就是說，當操作者於觸控顯示裝置14對應第一視窗W1的位置進行點觸、滑動或多點觸控的動作時，第一視窗W1可以偵測到第一觸控指令。當然，在其他實施例中，可產生第一觸控指令的觸控動作也可以是基於使用者的自行定義。
在此，當偵測到第一觸控指令後，第一視窗W1及第二視窗W2內所顯示的圖像產生反轉。也就是說，在此實施例中，偵測到第一觸控指令後，根據第一觸控指令於第二視窗W2內顯示第一圖像P1，並且於第一視窗W1內顯示第二圖像P2。藉此，由於第一視窗W1與第二視窗W2的尺寸不同，使用者便能依據觀測需求控制第一圖像P1及第二圖像P2顯示於第一視窗W1或第二視窗W2內。
進一步地，在顯示裝置之顯示方法的另一步驟中，係偵測於第一視窗W1產生的第二觸控指令，根據第二觸控指令使第一圖像P1顯示於第一視窗W1內，且第二圖像P2顯示於第二視窗W2內。在此實施例中，第二觸控指令是順序位在第一觸控指令之後的觸控指令，當然，本發明並不以此為限。在其他實施例中，第二觸控指令也可以是以不同的觸控動作與第一觸控指令區分。
在此，當偵測到第二觸控指令後，第一視窗W1及第二視窗W2內所顯示的圖像再次產生反轉。也就是說，在此實施例中，偵測到第二觸控指令後，根據第二觸控指令於第一視窗W1內顯示第一圖像P1，並且於第二視窗W2內顯示第二圖像P2。據此，使用者能依據觀測需求自由控制第一圖像P1及第二圖像P2顯示於第一視窗W1或第二視窗W2內。
於一實施例中，為使操作者可以便於對應觀測第一圖像P1及第二圖像P2，第一視窗W1顯示第一圖像P1時更同時顯示第一指標T1，第二視窗W2顯示第二圖像P2時更同時顯示第二指標T2，且第一指標T1在第一圖像P1上的相對位置與第二指標T2在第二圖像P2上的相對位置相同。具體地，第一指標T1及第二指標T2可以但不限於是十字軸，在其他實施例中，第一指標T1及第二指標T2也可以是箭頭符號、其他具有指示性的符號或是晶粒範圍的醒目題示。
在此實施例中，第一指標T1在第一圖像P1上的相對位置與第二指標T2在第二圖像P2上的相對位置相同係指例如，當第一指標T1指向於數位晶圓圖中的正中間位置之晶粒時，第二指標T2也指向於位於晶圓載台11上的晶圓20的正中間位置之晶粒。如此一來，檢測操作者可以由第二圖像P2觀測到目前檢測位置的晶圓20狀況，並能由第一圖像P1觀測到目前的晶圓20檢測位置所對應的數位晶圓圖中的位置。
於一實施例中，觸控顯示裝置14的第二視窗W2更可以偵測位移指令，當第二視窗W2偵測到位移指令時，第二指標T2依據位移指令移動，而第一指標T1對應第二指標T2移動。具體地，位移指令可以是於觸控顯示裝置14於第二視窗W2的位置上進行點觸、滑動或多點觸控的動作，也就是說，當操作者於觸控顯示裝置14對應第二視窗W2的位置進行點觸、滑動或多點觸控的動作時，第二視窗W2可以偵測到位移指令。而為了與第二觸控指令區隔，可以設定第二觸控指令與位移指令為不同的動作。
進一步地，在位移指令為點觸的一實施例中，點觸於第二視窗W2上非第二指標T2的位置，第二指標T2即移動至到一目標點(點觸位置)，成為點對點的移動。而在位移指令為滑動的一實施例中，則可以設定位移指令係先接觸於第二指標T2的位置，並在維持接觸於第二指標T2的狀態下拖移第二指標T2移動，則第二指標T2即能隨使用者的拖移動作位移至所需位置。另外在位移指令為多點觸控的一實施例中，則可以設定第二視窗W2必須同時偵測到符合設定值的觸控位置數量以及符合設定值的觸控動作才視為有效的位移指令，例如檢測操作者必須以三指同時拖移第二指標T2的觸控動作才被視為有效的位移指令。而前述位移指令的各實施態樣僅為釋例說明，本發明並不以前述說明為限。
進一步地，在探針台1方面，當第二視窗W2偵測到位移指令，且第一指標T1對應第二指標T2移動時，探針台1的晶圓載台11或攝影模組12也可以產生實質的移動。例如晶圓載台11於此同時基於檢測操作者於第二視窗W2上產生的位移指令而位移。在此實施例中，當第一指標T1及第二指標T2的其中之一移動時，晶圓載台11隨其同步移動。
於一實施例中，觸控顯示裝置14的第二視窗W2更可以偵測圖像縮放指令，當第二視窗W2偵測到圖像縮放指令時，便能根據圖像縮放指令改變顯示於第二視窗W2內的第一圖像P1或第二圖像P2的圖像比例，藉此便於檢測操作者可以更為全面地由第二視窗W2進行晶圓20或數位晶圓圖的觀測。進一步地，圖像縮放指令可以但不限於是多點觸控，具體地，圖像縮放指令的多點觸控例如是以兩個手指頭相對靠近或遠離的滑動所產生的圖像縮放指令。
進一步地由此可知，觸控顯示裝置14的第一視窗W1內的第一圖像P1或第二圖像P2的圖像比例為固定比例。也就是說，於觸控顯示裝置14的第一視窗W1上的觸控指令皆只能作為切換顯示圖像的指令。
具體而言，顯示於第一視窗W1內的第一圖像P1或第二圖像P2除了比例不能縮放之外，第一視窗W1顯示第一圖像P1時係顯示第一圖像P1的全貌，且第一視窗W1顯示第二圖像P2時係顯示第二圖像P2的全貌。如此一來，可以確保觸控顯示裝置14上可以經常顯示數位晶圓圖的全貌或是晶圓20的即時影像全貌，如此一來，當第二視窗W2所顯示的第一圖像P1或第二圖像P2的放大倍率較高而僅能顯示局部圖像時，便能提供使用者在檢測過程中都能快速地由第一視窗W1觀測到當前的檢測位置係位在整體晶圓20或數位晶圓圖之中的位置。
參閱圖6，於一實施例中，觸控顯示裝置14更顯示第三視窗W3，第三視窗W3用以顯示數值化或圖像化的控制資訊。於此實施例中，在第一視窗W1顯示第一圖像P1時更可以同時顯示基準標示H，而第三視窗W3中顯示數值化的控制資訊。具體地，第三視窗W3中顯示複數數值輸入窗格W31，且數值輸入窗格W31可以是對應X軸方向或Y軸方向的移動量。在此實施例中，第三視窗W3偵測位移指令，第二指標T2依據位移指令移動，且第一指標T1對應第二指標T2移動。具體地，第三視窗W3中所能偵測的位移指令是於各數值輸入窗格W31中輸入所欲控制位移的數值，當第三視窗W3偵測到位移指令後，第二指標T2以基準標示H為原點進行相對位移，而位移量為數值輸入窗格W31中的數值。
舉例來說，當檢測操作者於對應X軸方向的數值輸入窗格W31中輸入A數值，並於對應Y軸方向的數值輸入窗格W31中輸入B數值，則第一指標T1便會以基準標示H為原點而沿著X軸方向位移A距離，且沿著Y軸方向位移B距離。透過於第三視窗W3的位移指令提供檢測操作者更為精準的位移控制。
雖然本揭露已以一些實施例揭露如上，然其並非用以限定本揭露，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本揭露之精神及範圍內，當可作些許更動及潤飾。因此本發明之專利保護範圍須視本說明書所附之申請專利範圍所界定者為準。
1‧‧‧探針台 11‧‧‧晶圓載台 12‧‧‧攝影模組 13‧‧‧探針載台 14‧‧‧觸控顯示裝置 15‧‧‧探針座 16‧‧‧機殼 20‧‧‧晶圓 30‧‧‧探針 W1‧‧‧第一視窗 W2‧‧‧第二視窗 W3‧‧‧第三視窗 W31‧‧‧數值輸入窗格 P1‧‧‧第一圖像 P2‧‧‧第二圖像 T1‧‧‧第一指標 T2‧‧‧第二指標 H‧‧‧基準標示 X、Y、Z‧‧‧軸方向
圖1為本發明顯示裝置之顯示方法之一實施例適用之探針台。 圖2為本發明顯示裝置之顯示方法之一實施例的第一圖像示意圖。 圖3為本發明顯示裝置之顯示方法之一實施例的第二圖像示意圖。 圖4為本發明顯示裝置之顯示方法之一實施例的顯示裝置顯示第一視窗與第二視窗的示意圖。 圖5為本發明顯示裝置之顯示方法之一實施例的顯示裝置顯示第一視窗與第二視窗的另一狀態示意圖。 圖6為本發明顯示裝置之顯示方法之一實施例的顯示裝置同時顯示第一視窗、第二視窗及第三視窗的狀態示意圖。
14‧‧‧觸控顯示裝置
W1‧‧‧第一視窗
W2‧‧‧第二視窗
P1‧‧‧第一圖像
P2‧‧‧第二圖像
T1‧‧‧第一指標
T2‧‧‧第二指標

Claims (8)

  1. 一種顯示裝置之顯示方法，適用於具有一攝影模組之探針台，包含：顯示一第一視窗以及一第二視窗於一觸控顯示裝置，該第一視窗與該第二視窗彼此重疊，且該第一視窗的尺寸小於該第二視窗的尺寸；一第一圖像顯示於該第一視窗內，一第二圖像顯示於該第二視窗內，該第一圖像為數位晶圓圖或校正片圖像，該第二圖像為由該攝影模組即時截取的影像；偵測於該第一視窗產生的一第一觸控指令，根據該第一觸控指令於該第二視窗內顯示該第一圖像，並且於該第一視窗內顯示由該攝影模組即時擷取的影像而呈現的該第二圖像；以及偵測於該第一視窗產生的一第二觸控指令，根據該第二觸控指令使該第一圖像顯示於該第一視窗內，且由該攝影模組即時擷取的影像而呈現的該第二圖像顯示於該第二視窗內。
  2. 如請求項1所述之顯示裝置之顯示方法，其中該第二視窗偵測一位移指令，顯示於該第二視窗的一第二指標依據該位移指令移動，而顯示於該第一視窗的一第一指標對應該第二指標移動。
  3. 如請求項2所述之顯示裝置之顯示方法，其中該第二指標依據該位移指令滑移。
  4. 如請求項2所述之顯示裝置之顯示方法，其中該第二指標依據該位移指令移動到一目標點。
  5. 如請求項1所述之顯示裝置之顯示方法，其中該第二視窗偵測一圖像縮放指令，並根據該圖像縮放指令改變顯示於該第二視窗內的該第一圖像或該第二圖像的圖像比例。
  6. 如請求項1所述之顯示裝置之顯示方法，其中該觸控顯示裝置更顯示一第三視窗，該第三視窗偵測一位移指令，顯示於該第二視窗的一第二指標依據該位移指令移動，而顯示於該第一視窗的一第一指標對應該第二指標移動。
  7. 如請求項6所述之顯示裝置之顯示方法，其中該第一視窗顯示該第一圖像時更同時顯示一基準標示，該第一指標依據該位移指令相對該基準標示移動，而該第二指標對應該第一指標移動。
  8. 如請求項1所述之顯示裝置之顯示方法，其中顯示於該第一視窗內的該第一圖像或該第二圖像之圖像比例固定。
TW108115176A 2018-05-25 2019-05-01 顯示裝置之顯示方法 TWI752317B (zh)

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