JP3749318B2 - ウェハプローバの遠隔操作システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハに形成された被測定の大規模集積回路等の半導体回路の被測定点と接触するプローブ(ピン)を夫々有する複数のプローバ装置を備えたウェハプローバの遠隔操作システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体ウエハに形成された回路、例えば、大規模集積回路(以下、LSIと称する)用のテストシステムにおいては、1台の演算及び測定ユニットに対し、プローブを備えたエレクトロニクス部を含む複数のテストステーションが互いに独立して接続されており、各テストステーション部にプローバ装置が設けられている。これら複数のプローバ装置で、夫々LSIのテストを独立して、平行に行うようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
この操作は、夫々のプローバ装置に設けられた操作画面を見ながら互いに独立して行っている。このため、夫々のプローバ装置が、例えば正常に動作しているか否かは、これらプローバ装置に操作者がついて確認しなければならず、非常に人的効率が悪い。
【0004】
本発明の目的は、複数のプローバ装置が同時に動作していても、それそれのプローバ装置の動作を一々操作者がついていて監視する必要のないウェハプローバの遠隔操作システムを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係わるウェハプローバの遠隔操作システムは、ホストコンピュータと、 画像情報データと表示データとを同時に表示可能なタッチパネル式の表示手段及びプローブにより検査されるウエハを連続的に撮影して画像情報データを出力する画像処理部及び検査に係わる表示データを出力する表示制御部及び上記画像処理部と上記表示制御部との出力を制御するプローバ制御部とを夫々有する複数のプローバ装置と、上記タッチパネル式の表示手段に表示されている画像データ及び表示データから選択された一つのプローバ装置に対する画像情報データ及び表示データを選択すると同時に上記ホストコンピュータの表示手段に表示させる選択表示手段とを備え、この選択表示手段は、上記ホストコンピュータへのビデオキャプチャーボードと、出力がこのビデオキャプチャーボードに入力され上記各ブローバ装置の出力がそれぞれ入力されるマルチプレクサとを有し、上記ホストコンピュータの表示手段及び上記プローバ装置のタッチパネル式の表示手段のいずれからも上記ブローバ装置が操作できることを特徴とする。
【0006】
請求項2記載のウェハプローバの遠隔操作システムは、ホストコンピュータと、 画像情報データと表示データとを同時に表示可能なタッチパネル式の表示手段及びプローブにより検査されるウエハを連続的に撮影して画像情報データを出力する画像処理部及び検査に係わる表示データを出力する表示制御部及び上記画像処理部と上記表示制御部との出力を制御するプローバ制御部とを夫々有する複数のプローバ装置と、上記タッチパネル式の表示手段に表示されている画像データ及び表示データから選択された一つのプローバ装置に対する画像情報データ及び表示データを選択すると同時に上記ホストコンピュータの表示手段に表示させる選択表示手段とを備え、上記表示制御部は、上記画像処理部で得られた画像データを記憶する第1の記憶手段とと、表示データを記憶する第2の記憶手段とを有し、上記画像処理部は、ウェハの画像を撮像してその画像データを出力する撮像手段と、その画像データを上記第1の記憶手段に転送することを制御する中央処理装置を有し、プローバ制御部は、上記画像処理部及び表示制御部にそれぞれ設けられた中央処理装置を制御する中央処理装置と、このプローバ制御部の中央処理装置と上記ホストコンピュータを接続するローカルエリアネットワークを有することを特徴とする。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して本発明の第1の実施の形態について説明する。図1において、符号11は被測定の大規模集積回路の被測定点に、例えば、電極パットに、夫々当接されて電気的に接続される複数のプローブ(ピン)を有するプローバ回路を示す。このプローバ回路11内において、システムバス12には、プローバの制御を行うプローバ制御部13、画像処埋を行う画像処理部14、表示制御を行う表示制御部15が夫々接続されている。このプローバ制御部13は、後述するタッチパネルからの入力情報もしくはホストコンピュータからの入力情報に基づいて、画像処理部14と表示制御部15とを駆動制御して、これらに所定の動作を行わせる。
【0008】
プローバ制御部13は、前記システムバス12に接続されたCPU21を中心に構成されている。このCPU21には、プローバ制御のためのプログラムやパラメータが記憶されているディスク装置22が接続されると共に、メモリアプリケーション23が接続されている。このメモリアプリケーション23には、マップデータが記憶されている。このメモリアプリケーション23には、RSインタフェース24、信号ラインL1を介してタッチパネル25の出力側が接続されている。この結果、タッチパネル25を操作した場合に得られるタッチパネル情報は、信号ラインL1を介してプローバ制御部13のRSインタフェース24において、信号変換された後、メモリアプリケーション23に入り、この情報が処理される。
【0009】
前記画像処理部14において、符号31は、前記システムバス12に接続され、画像処埋を統括して制御するCPUを示す。このCPU31には、各種画像処埋を行うための制御プログラムが記憶されているR0M32、アライメントの画像データ,プローブの針先の画像データが記憶されるメモリ33が夫々接続されている。このメモリ33には、図示していないメインチャック上での半導体ウエハのアライメントの画像,並びに針先の画像を夫々撮影し、この画像に対応した画像データ信号を出力するための、例えば、CCDカメラより構成された撮像装置34が、AD変換器35を介して接続されている。この撮像装置34からのアナログ画像データ信号は、AD変換器35でデジタルデータ信号に変換された後に、メモリ33に記憶される。
【0010】
AD変換器35でデジタル信号に変換された前記画像データは表示制御部15に出力される。この表示制御部15において、符号41は、前記システムバス12に接続され、表示制御を統括するCPUを示す。このCPU41には、表示制御を行うための制御プログラムが記憶されているROM42、上層(オーバレイ)メモリ43u、下層(アンダーレイ)メモリ43dが夫々接続されている。
【0011】
前記両メモリ43u、43dの出力側は、VGAドライバ44の入力側に接続されており、これらメモリからの表示信号はVGAドライバ44に入力される。このVGAドライバ44の第1の出力側は、タッチパネル25の入力側に、そして、第2の出力側は、光ファイバーケープル45を介して、マルチプレクサ46の複数の入力端の1つに接続されている。
【0012】
前記タッチパネル25の表示画面は上層画面と下層画面と有している。上層画面には、前記上層メモリ43uに記憶されている表示データ(例えば、文字データ)が表示され、また、下層画面には、下層メモリ43dに記憶されている表示データ(例えば、カメラ34で撮影されたアライメントの画像や針先の画像)が動画として表示される。
【0013】
前記マルチプレサ46の他の入力端には、夫々VGAドライバ44aを備えた他のプローバ回路11a、とタッチパネル25aとにより構成された他のプローバ装置が、光ファイバーケープル45aを介して、夫々接続されている。これら他のプローバ回路11a並びにVGAドライバ44aは、前記プローバ回路11並びにVGAドライバ44と構成も接続方法も同じなので説明を省略する。また、図では、3つのプローバ回路11,11aがマルチプレクサ46に接続されているが、実際にはより多くのプローバ回路、例えば、8つのプローバ回路が接続され得る。
【0014】
前記マルチプレクサ46は、マルチプレクサ46に、夫々入力されるVGAドライバ44,44aからの全ての表示信号から1つの表示信号を選択して、これの出力側に接続されている、ホストコンピュータ49に組み込まれたビデオキャプチャーボード47に入力させる。
【0015】
図1中、符号48は例えばイーサネット(Ethernet)のような回線により楕成されるLAN(ローカル・エリア・ネットワーク)を示す。このLAN48は、上記プローバ制御部13のCPU21と、ホストコンピュータ49との間の接続も行っており、ホストコンピュータ49からの入力情報にもとづいて、前記タッチパネル25からの情報と同様に、プローバ制御部13を駆動させることが可能になっている。即ち、この装置においては、プローバ回路11をホストコンピュータ49からも、タッチパネル25からも、駆動させることができる。この駆動操作は、タッチパネル手段に限られることはなく、キー、マウス等の入力手段によっても可能である。
【0016】
次に、上記のように楕成された本発明の第1の実施の形態の動作について説明する。まず、タッチパネル25もしくはホストコンピュータ49からプローバ11回路を操作するために必要な情報を入力手段により入力する。タッチパネル25に入力した場合のタッチパネル情報、即ち、操作情報は、信号ラインL1を介してプローバ制御部13のメモリアプリケーション23に、RS232Cの規格で転送され、ここに格納される。このメモリアプリケーション23に記憶された操作情報にもとづいてCPU21は、画像処理部14並びに表示制御部15を夫々駆動すると共に、LAN48を介してホストコンピュータ49にこの情報を出力する。そして、このタッチパネル情報はホストコンピュータ49のメモリ(図示しない)に記憶される.
反対に、ホストコンピュータ49に、タッチパネル、キーボードのキーもしくは/並びにマウスを使用して操作情報を入力した場合には、プローバ制御部13はLAN48を介して、前記と同様に機能する。
【0017】
上記画像処理部14が駆動されることにより、プローバ回路11での測定中に、ウエハのアライメントの画像やプローブの針先の画像は撮像装置34でリアルタイムに撮影されている。この撮像装置34で撮影されたアライメントの画像や針先の画像は、AD変換器35でデジタルデータに変換された後、ビデオバスV1を介して、表示制御部15下層メモリ43dに動画像データとして順次記憶される。
【0018】
この画像処理部14の動作と同時に、表示制御部15において、作成された案内メッセージ等の表示データは上層メモリ43uに格納される。そして、上層メモリ43uに格納されている表示データ及び下層メモリ43dに格納されている動画像データは、VGAドライバ44に出力される。そして、このVGAドライバ44により、タッチパネル25の上層に表示データが、下層にカメラ34で撮影されたアライメントの画像や針先の画像が表示される。
【0019】
上層メモリ43uに格納されている表示データ及び下層メモリ43dに格納されている動画像データはマルチプレクサ46を介してヒデオキャプチャーボード47に出力される。そして、このビデオキャプチャーボード47で取り込まれた表示データ及び動画像データはホストコンピュータ49の画面に表示される。従って、ホストコンピュータ49の画面上に案内メッセージ等の表示データ及びカメラ34で撮影されたアライメントの画像や針先の動画像を表示させることができる。このため、ホストコンピュータ49で、プローバ回路11のタッチパネル25の表示内容を見ることができる。
【0020】
ホストコンピュータ49のタッチパネル、キーもしくはマウスにより、別のプローバ回路11aを選定して、前記と同様の操作をすることにより、別のプローバ回路11aの案内メッセージ等の表示データ及びカメラ34で撮影されたアライメントの画像や針先の動画像を、前記画像に代えて、画面に新たに表示させることができる。
【0021】
従って、例えば、複数のプローバ回路11,11aをクリーンルーム内に配設し、これらに接続されたホストコンピュータ49をクリーンルームの外に配置することにより、夫々のプローバ装置によるウエハの検査状態をクリーンルームに入ることがなく、ホストコンピュータ49で、順次もしくは、選択的に監視することができる。
【0022】
次に、本発明の第2の実施の形態について図2及び図3を参照して説明する。この第2の実施の形態では、各々が図1に示すような構成の複数のプローバ装置が共通のホストコンピュータ49に接続され、これらプローバ装置の内の幾つか、あるいは全部の選定された画像情報が同時にホストコンピュータ49の画面に表示され得る。
【0023】
図2において、符号11は,VGAドライバ44を備えたプローバ回路を示し、これらプローバ回路11には、VGAドライバからの信号が入力されるタッチパネル25と、マルチプレクサ46とが接続されている。各マルチプレクサ46には、上記プローバ回路11以外に複数の、この実施例では7つのプローバ回路11a(VGAドライバ44a)が接続されている。従って、1つのプローバ装置は、8つのプローバ回路11,11aと、これらに夫々対応したタッチパネル25,25aとを備えており、図1に示す実施例と同様に、各プローバ回路の所望のプローバの情報が対応するタッチパネルに表示され得る。
【0024】
マルチプレクサ46は、ビデオキャプチャーボード47に夫々接続されており、これらビデオキャプチャーボード47の出力側は、共通のパーソナルコンピュータ49の入力側に接続されている。このコンピュータのフロントパネルには、図3に示すように、選択ボタン61と、画面62と、カーソルスイッチ63とが設けられている。この画面は、CRT画面でも、またタッチパネル機能を備えているものでも良い。この選択ボタン61は、各プローバ装置の第1ないし第8のプローバ回路に対応した番号が付されていて、この内のどのプローバの情報を画面に表示するのかを選定するスイッチである。この例では、複数の、例えば、16グループのプローバ装置群のうちの複数のプローバ装置群をキーボード64で選定する。例えば、16のプローバ装置群のうち4つ群をキーボードで選定し、選定された各プローバ装置群の8台のプローバのうちの1台を選択ボタン61で設定することにより、ホストコンピュータ49の画面には、4つのプローバ装置群のうちから選定された1台プローバ回路の情報(画像情報と表示情報)が表示され得る。
【0025】
これらプローバ装置の選定と、選定されたプローバ装置のうちの1つのプローバ回路の選定とをする選定手段は、上記実施例のように、キーボード64と、選択ボタン61とに限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、キーボードか選定ボタンに、上記両選定機能を持たせても良く。またタッチパネルにより行うようにしても良い。
【0026】
このように、1つの画面62に複数のプローバ回路のタッチパネルの表示を同時に表示するようにしたので、1つのホストコンピュータ49で複数のプローバ装置を同時に監視することができる。
【0027】
なお、図1においては、RSインタフェース24は信号ラインL1を介してタッチパネル25に接続されていたが、図4に示すように、RSインタフェース24からマルチプレクサ46a、信号ラインL1を介してタッチパネル25に接続するようにしても良い。
【0028】
このようにすることにより、ホストコンピュータとプローバ装置のディスプレイやタッチパネル25とを直接接続できるのでLANなどの回線の負荷を軽減できる。
【0029】
図5は、図3に示すホストコンピュータ49をウインドウズに対応するように設計した画面を示し、画面上の選択ボタン61は、プローブ装置の数に対応した数のウインドウズを有しており、所望のプローブ装置に対応したウインドウの選択ボタンを、キーもしくはマウスにより画面に呼び出し、このうちの所望の番号を押すことにより、画面には、所望のプローブ装置の所望のプローブ回路のプローバ情報を複数、画面に順次表示することができる。
【0030】
【発明の効果】
請求項1乃至2記載の発明によれば、プローバ装置のタッチパネルの表示内容をホストコンピュータに伝送すると共に、プローバ装置側と、ホストコンピュータ側からのプローバ装置操作情報を双方向で同時に扱えるようにしたので、ホストコンピュータで複数のプローバの監視を行うことができるウェハプローバの遠隔操作システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係わるウェハプローバの遠隔操作システムを示す図。
【図2】本発明の第2の実施の形態に係わるウェハプローバの遠隔操作システムを示す図。
【図3】本発明の変形例を説明するためのCRT表示画面を示す図。
【図4】第1の実施の形態の変形例を示す図。
【図5】ウインドウズ対応のホストコンピュータの画面を示す図。
【符号の説明】
11…プローバ回路、12…システムバス、13…プローバ制御部、14…画像処理部、15…表示制御部、21…CPU、22…ディスク装置、23…メモリアプリケーション、24…RSインタフェース、25…タッチパネル、31…CPU、32…ROM、33…メモリ、34…撮像装置、35…AD変換器、41…CPU、42…ROM、43u…上層メモリ、43d…下層メモリ、44…VGAドライバ、45…光ファイバーケーブル、46…マルチプレクサ。
Claims (2)
- ホストコンピュータと、
画像情報データと表示データとを同時に表示可能なタッチパネル式の表示手段及びプローブにより検査されるウエハを連続的に撮影して画像情報データを出力する画像処理部及び検査に係わる表示データを出力する表示制御部及び上記画像処理部と上記表示制御部との出力を制御するプローバ制御部とを夫々有する複数のプローバ装置と、
上記タッチパネル式の表示手段に表示されている画像データ及び表示データから選択された一つのプローバ装置に対する画像情報データ及び表示データを選択すると同時に上記ホストコンピュータの表示手段に表示させる選択表示手段とを備え、
この選択表示手段は、上記ホストコンピュータへのビデオキャプチャーボードと、出力がこのビデオキャプチャーボードに入力され上記各ブローバ装置の出力がそれぞれ入力されるマルチプレクサとを有し、
上記ホストコンピュータの表示手段及び上記プローバ装置のタッチパネル式の表示手段のいずれからも上記ブローバ装置が操作できることを特徴とするウェハプローバの遠隔操作システム。 - ホストコンピュータと、
画像情報データと表示データとを同時に表示可能なタッチパネル式の表示手段及びプローブにより検査されるウエハを連続的に撮影して画像情報データを出力する画像処理部及び検査に係わる表示データを出力する表示制御部及び上記画像処理部と上記表示制御部との出力を制御するプローバ制御部とを夫々有する複数のプローバ装置と、
上記タッチパネル式の表示手段に表示されている画像データ及び表示データから選択された一つのプローバ装置に対する画像情報データ及び表示データを選択すると同時に上記ホストコンピュータの表示手段に表示させる選択表示手段とを備え、
上記表示制御部は、上記画像処理部で得られた画像データを記憶する第1の記憶手段とと、表示データを記憶する第2の記憶手段とを有し、
上記画像処理部は、ウェハの画像を撮像してその画像データを出力する撮像手段と、その画像データを上記第1の記憶手段に転送することを制御する中央処理装置を有し、
プローバ制御部は、上記画像処理部及び表示制御部にそれぞれ設けられた中央処理装置を制御する中央処理装置と、このプローバ制御部の中央処理装置と上記ホストコンピュータを接続するローカルエリアネットワークを有することを特徴とするウェハプローバの遠隔操作システム。
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