JPH09219426A - ウェハプローバの遠隔操作システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数のプローバ装置が同時に動作していて
も、それぞれのプローバ装置の動作を一々操作者がつい
ていて監視する必要のないウェハプローバの遠隔操作シ
ステムを提供すること。 【解決手段】 ホストコンピュータ49と；画像情報デー
タと表示データとを同時に表示可能なタッチパネル式の
表示手段25及びプローブにより検査されるウエハを連続
的に撮影して画像情報データを出力する画像処理部及び
検査に係わる表示データを出力する表示制御部及び上記
画像処理部と上記表示制御部との出力を制御するプロー
バ制御部とを夫々有する複数のプローバ装置11と、上記
複数のプローバ装置11のタッチパネルに夫々表示される
画像情報データと表示データのうちの１のプローバ装置
からの画像情報データと表示データを選定して前記ホス
トコンピュータの表示手段に表示させるホストコンピュ
ータに設けられたマルチプレクサ46とから構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハに形
成された被測定の大規模集積回路等の半導体回路の被測
定点と接触するプローブ（ピン）を夫々有する複数のプ
ローバ装置を備えたウェハプローバの遠隔操作システム
に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体ウエハに形成された回
路、例えば、大規模集積回路（以下、ＬＳＩと称する）
用のテストシステムにおいては、１台の演算及び測定ユ
ニットに対し、プローブを備えたエレクトロニクス部を
含む複数のテストステーションが互いに独立して接続さ
れており、各テストステーション部にプローバ装置が設
けられている。これら複数のプローバ装置で、夫々ＬＳ
Ｉのテストを独立して、平行に行うようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この操作は、夫々のプ
ローバ装置に設けられた操作画面を見ながら互いに独立
して行っている。このため、夫々のプローバ装置が、例
えば正常に動作しているか否かは、これらプローバ装置
に操作者がついて確認しなければならず、非常に人的効
率が悪い。

【０００４】本発明の目的は、複数のプローバ装置が同
時に動作していても、それそれのプローバ装置の動作を
一々操作者がついていて監視する必要のないウェハプロ
ーバの遠隔操作システムを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に係わるウェハ
プローバの遠隔操作システムは、ホストコンピュータ
と；画像情報データと表示データとを同時に表示可能な
タッチパネル式の表示手段及びプローブにより検査され
るウエハを連続的に撮影して画像情報データを出力する
画像処理部及び検査に係わる表示データを出力する表示
制御部及び上記画像処理部と上記表示制御部との出力を
制御するプローバ制御部とを有する複数のプローバ装置
と、前記複数のプローバ装置のタッチパネルに夫々表示
される画像情報データと表示データのうちの１のプロー
バ装置からの画像情報データと表示データを選定して前
記ホストコンピュータの表示手段に表示させるホストコ
ンピュータに設けられた選定表示手段とを具備し、ホス
トコンピュータの表示手段上からもプローバ装置を操作
できるようにしたことを特徴とする。

【０００６】請求項２に係わるウェハプローバの遠隔操
作システムは、請求項１の表示制御部は、画像処理部か
らの画像情報データを記憶する第１の記憶手段と、表示
データを記憶する第２の記憶手段と、これら記憶手段を
制御する中央処理装置とを有し、前記画像処理部はウエ
ハを撮影して画像情報データを出力する撮像手段と、こ
の画像情報データの第１の記憶手段への送りを制御する
中央処理装置とを有し、そして、前記プローバ制御部
は、前記画像処理部の中央処理装置と表示制御部の中央
処理装置とを制御する中央処理装置を有し、さらに、こ
のプローバ制御部の中央処理装置と前記ホストコンピュ
ータとを接続するロ一カル・エリア・ネットワークを有
する。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の第１
の実施の形態について説明する。図１において、符号１
１は被測定の大規模集積回路の被測定点に、例えば、電
極パットに、夫々当接されて電気的に接続される複数の
プローブ（ピン）を有するプローバ回路を示す。このプ
ローバ回路１１内において、システムバス１２には、プ
ローバの制御を行うプローバ制御部１３、画像処埋を行
う画像処理部１４、表示制御を行う表示制御部１５が夫
々接続されている。このプローバ制御部１３は、後述す
るタッチパネルからの入力情報もしくはホストコンピュ
ータからの入力情報に基づいて、画像処理部１４と表示
制御部１５とを駆動制御して、これらに所定の動作を行
わせる。

【０００８】プローバ制御部１３は、前記システムバス
１２に接続されたＣＰＵ２１を中心に構成されている。
このＣＰＵ２１には、プローバ制御のためのプログラム
やパラメータが記憶されているディスク装置２２が接続
されると共に、メモリアプリケーション２３が接続され
ている。このメモリアプリケーション２３には、マップ
データが記憶されている。このメモリアプリケーション
２３には、ＲＳインタフェース２４、信号ラインＬ１を
介してタッチパネル２５の出力側が接続されている。こ
の結果、タッチパネル２５を操作した場合に得られるタ
ッチパネル情報は、信号ラインＬ１を介してプローバ制
御部１３のＲＳインタフェース２４において、信号変換
された後、メモリアプリケーション２３に入り、この情
報が処理される。

【０００９】前記画像処理部１４において、符号３１
は、前記システムバス１２に接続され、画像処埋を統括
して制御するＣＰＵを示す。このＣＰＵ３１には、各種
画像処埋を行うための制御プログラムが記憶されている
Ｒ０Ｍ３２、アライメントの画像データ，プローブの針
先の画像データが記憶されるメモリ３３が夫々接続され
ている。このメモリ３３には、図示していないメインチ
ャック上での半導体ウエハのアライメントの画像，並び
に針先の画像を夫々撮影し、この画像に対応した画像デ
ータ信号を出力するための、例えば、ＣＣＤカメラより
構成された撮像装置３４が、ＡＤ変換器３５を介して接
続されている。この撮像装置３４からのアナログ画像デ
ータ信号は、ＡＤ変換器３５でデジタルデータ信号に変
換された後に、メモリ３３に記憶される。

【００１０】ＡＤ変換器３５でデジタル信号に変換され
た前記画像データは表示制御部１５に出力される。この
表示制御部１５において、符号４１は、前記システムバ
ス１２に接続され、表示制御を統括するＣＰＵを示す。
このＣＰＵ４１には、表示制御を行うための制御プログ
ラムが記憶されているＲＯＭ４２、上層（オーバレイ）
メモリ４３ｕ、下層（アンダーレイ）メモリ４３ｄが夫
々接続されている。

【００１１】前記両メモリ４３ｕ、４３ｄの出力側は、
ＶＧＡドライバ４４の入力側に接続されており、これら
メモリからの表示信号はＶＧＡドライバ４４に入力され
る。このＶＧＡドライバ４４の第１の出力側は、タッチ
パネル２５の入力側に、そして、第２の出力側は、光フ
ァイバーケープル４５を介して、マルチプレクサ４６の
複数の入力端の１つに接続されている。

【００１２】前記タッチパネル２５の表示画面は上層画
面と下層画面と有している。上層画面には、前記上層メ
モリ４３ｕに記憶されている表示データ（例えば、文字
データ）が表示され、また、下層画面には、下層メモリ
４３ｄに記憶されている表示データ（例えば、カメラ３
４で撮影されたアライメントの画像や針先の画像）が動
画として表示される。

【００１３】前記マルチプレサ４６の他の入力端には、
夫々ＶＧＡドライバ４４ａを備えた他のプローバ回路１
１ａ、とタッチパネル２５ａとにより構成された他のプ
ローバ装置が、光ファイバーケープル４５ａを介して、
夫々接続されている。これら他のプローバ回路１１ａ並
びにＶＧＡドライバ４４ａは、前記プローバ回路１１並
びにＶＧＡドライバ４４と構成も接続方法も同じなので
説明を省略する。また、図では、３つのプローバ回路１
１，１１ａがマルチプレクサ４６に接続されているが、
実際にはより多くのプローバ回路、例えば、８つのプロ
ーバ回路が接続され得る。

【００１４】前記マルチプレクサ４６は、マルチプレク
サ４６に、夫々入力されるＶＧＡドライバ４４，４４ａ
からの全ての表示信号から１つの表示信号を選択して、
これの出力側に接続されている、ホストコンピュータ４
９に組み込まれたビデオキャプチャーボード４７に入力
させる。

【００１５】図１中、符号４８は例えばイーサネット
（Ｅｔｈｅｒｎｅｔ）のような回線により楕成されるＬ
ＡＮ（ローカル・エリア・ネットワーク）を示す。この
ＬＡＮ４８は、上記プローバ制御部１３のＣＰＵ２１
と、ホストコンピュータ４９との間の接続も行ってお
り、ホストコンピュータ４９からの入力情報にもとづい
て、前記タッチパネル２５からの情報と同様に、プロー
バ制御部１３を駆動させることが可能になっている。即
ち、この装置においては、プローバ回路１１をホストコ
ンピュータ４９からも、タッチパネル２５からも、駆動
させることができる。この駆動操作は、タッチパネル手
段に限られることはなく、キー、マウス等の入力手段に
よっても可能である。

【００１６】次に、上記のように楕成された本発明の第
１の実施の形態の動作について説明する。まず、タッチ
パネル２５もしくはホストコンピュータ４９からプロー
バ１１回路を操作するために必要な情報を入力手段によ
り入力する。タッチパネル２５に入力した場合のタッチ
パネル情報、即ち、操作情報は、信号ラインＬ１を介し
てプローバ制御部１３のメモリアプリケーション２３
に、ＲＳ２３２Ｃの規格で転送され、ここに格納され
る。このメモリアプリケーション２３に記憶された操作
情報にもとづいてＣＰＵ２１は、画像処理部１４並びに
表示制御部１５を夫々駆動すると共に、ＬＡＮ４８を介
してホストコンピュータ４９にこの情報を出力する。そ
して、このタッチパネル情報はホストコンピュータ４９
のメモリ（図示しない）に記憶される．反対に、ホスト
コンピュータ４９に、タッチパネル、キーボードのキー
もしくは／並びにマウスを使用して操作情報を入力した
場合には、プローバ制御部１３はＬＡＮ４８を介して、
前記と同様に機能する。

【００１７】上記画像処理部１４が駆動されることによ
り、プローバ回路１１での測定中に、ウエハのアライメ
ントの画像やプローブの針先の画像は撮像装置３４でリ
アルタイムに撮影されている。この撮像装置３４で撮影
されたアライメントの画像や針先の画像は、ＡＤ変換器
３５でデジタルデータに変換された後、ビデオバスＶ１
を介して、表示制御部１５下層メモリ４３ｄに動画像デ
ータとして順次記憶される。

【００１８】この画像処理部１４の動作と同時に、表示
制御部１５において、作成された案内メッセージ等の表
示データは上層メモリ４３ｕに格納される。そして、上
層メモリ４３ｕに格納されている表示データ及び下層メ
モリ４３ｄに格納されている動画像データは、ＶＧＡド
ライバ４４に出力される。そして、このＶＧＡドライバ
４４により、タッチパネル２５の上層に表示データが、
下層にカメラ３４で撮影されたアライメントの画像や針
先の画像が表示される。

【００１９】上層メモリ４３ｕに格納されている表示デ
ータ及び下層メモリ４３ｄに格納されている動画像デー
タはマルチプレクサ４６を介してヒデオキャプチャーボ
ード４７に出力される。そして、このビデオキャプチャ
ーボード４７で取り込まれた表示データ及び動画像デー
タはホストコンピュータ４９の画面に表示される。従っ
て、ホストコンピュータ４９の画面上に案内メッセージ
等の表示データ及びカメラ３４で撮影されたアライメン
トの画像や針先の動画像を表示させることができる。こ
のため、ホストコンピュータ４９で、プローバ回路１１
のタッチパネル２５の表示内容を見ることができる。

【００２０】ホストコンピュータ４９のタッチパネル、
キーもしくはマウスにより、別のプローバ回路１１ａを
選定して、前記と同様の操作をすることにより、別のプ
ローバ回路１１ａの案内メッセージ等の表示データ及び
カメラ３４で撮影されたアライメントの画像や針先の動
画像を、前記画像に代えて、画面に新たに表示させるこ
とができる。

【００２１】従って、例えば、複数のプローバ回路１
１，１１ａをクリーンルーム内に配設し、これらに接続
されたホストコンピュータ４９をクリーンルームの外に
配置することにより、夫々のプローバ装置によるウエハ
の検査状態をクリーンルームに入ることがなく、ホスト
コンピュータ４９で、順次もしくは、選択的に監視する
ことができる。

【００２２】次に、本発明の第２の実施の形態について
図２及び図３を参照して説明する。この第２の実施の形
態では、各々が図１に示すような構成の複数のプローバ
装置が共通のホストコンピュータ４９に接続され、これ
らプローバ装置の内の幾つか、あるいは全部の選定され
た画像情報が同時にホストコンピュータ４９の画面に表
示され得る。

【００２３】図２において、符号１１は，ＶＧＡドライ
バ４４を備えたプローバ回路を示し、これらプローバ回
路１１には、ＶＧＡドライバからの信号が入力されるタ
ッチパネル２５と、マルチプレクサ４６とが接続されて
いる。各マルチプレクサ４６には、上記プローバ回路１
１以外に複数の、この実施例では７つのプローバ回路１
１ａ（ＶＧＡドライバ４４ａ）が接続されている。従っ
て、１つのプローバ装置は、８つのプローバ回路１１，
１１ａと、これらに夫々対応したタッチパネル２５，２
５ａとを備えており、図１に示す実施例と同様に、各プ
ローバ回路の所望のプローバの情報が対応するタッチパ
ネルに表示され得る。

【００２４】マルチプレクサ４６は、ビデオキャプチャ
ーボード４７に夫々接続されており、これらビデオキャ
プチャーボード４７の出力側は、共通のパーソナルコン
ピュータ４９の入力側に接続されている。このコンピュ
ータのフロントパネルには、図３に示すように、選択ボ
タン６１と、画面６２と、カーソルスイッチ６３とが設
けられている。この画面は、ＣＲＴ画面でも、またタッ
チパネル機能を備えているものでも良い。この選択ボタ
ン６１は、各プローバ装置の第１ないし第８のプローバ
回路に対応した番号が付されていて、この内のどのプロ
ーバの情報を画面に表示するのかを選定するスイッチで
ある。この例では、複数の、例えば、１６グループのプ
ローバ装置群のうちの複数のプローバ装置群をキーボー
ド６４で選定する。例えば、１６のプローバ装置群のう
ち４つ群をキーボードで選定し、選定された各プローバ
装置群の８台のプローバのうちの１台を選択ボタン６１
で設定することにより、ホストコンピュータ４９の画面
には、４つのプローバ装置群のうちから選定された１台
プローバ回路の情報（画像情報と表示情報）が表示され
得る。

【００２５】これらプローバ装置の選定と、選定された
プローバ装置のうちの１つのプローバ回路の選定とをす
る選定手段は、上記実施例のように、キーボード６４
と、選択ボタン６１とに限定されるものではなく、種々
の変形が可能である。例えば、キーボードか選定ボタン
に、上記両選定機能を持たせても良く。またタッチパネ
ルにより行うようにしても良い。

【００２６】このように、１つの画面６２に複数のプロ
ーバ回路のタッチパネルの表示を同時に表示するように
したので、１つのホストコンピュータ４９で複数のプロ
ーバ装置を同時に監視することができる。

【００２７】なお、図１においては、ＲＳインタフェー
ス２４は信号ラインＬ１を介してタッチパネル２５に接
続されていたが、図４に示すように、ＲＳインタフェー
ス２４からマルチプレクサ４６ａ、信号ラインＬ１を介
してタッチパネル２５に接続するようにしても良い。

【００２８】このようにすることにより、ホストコンピ
ュータとプローバ装置のディスプレイやタッチパネル２
５とを直接接続できるのでＬＡＮなどの回線の負荷を軽
減できる。

【００２９】図５は、図３に示すホストコンピュータ４
９をウインドウズに対応するように設計した画面を示
し、画面上の選択ボタン６１は、プローブ装置の数に対
応した数のウインドウズを有しており、所望のプローブ
装置に対応したウインドウの選択ボタンを、キーもしく
はマウスにより画面に呼び出し、このうちの所望の番号
を押すことにより、画面には、所望のプローブ装置の所
望のプローブ回路のプローバ情報を複数、画面に順次表
示することができる。

【００３０】

【発明の効果】請求項１乃至２記載の発明によれば、プ
ローバ装置のタッチパネルの表示内容をホストコンピュ
ータに伝送すると共に、プローバ装置側と、ホストコン
ピュータ側からのプローバ装置操作情報を双方向で同時
に扱えるようにしたので、ホストコンピュータで複数の
プローバの監視を行うことができるウェハプローバの遠
隔操作システムを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係わるウェハプロ
ーバの遠隔操作システムを示す図。

【図２】本発明の第２の実施の形態に係わるウェハプロ
ーバの遠隔操作システムを示す図。

【図３】本発明の変形例を説明するためのＣＲＴ表示画
面を示す図。

【図４】第１の実施の形態の変形例を示す図。

【図５】ウインドウズ対応のホストコンピュータの画面
を示す図。

【符号の説明】

１１…プローバ回路、１２…システムバス、１３…プロ
ーバ制御部、１４…画像処理部、１５…表示制御部、２
１…ＣＰＵ、２２…ディスク装置、２３…メモリアプリ
ケーション、２４…ＲＳインタフェース、２５…タッチ
パネル、３１…ＣＰＵ、３２…ＲＯＭ、３３…メモリ、
３４…撮像装置、３５…ＡＤ変換器、４１…ＣＰＵ、４
２…ＲＯＭ、４３ｕ…上層メモリ、４３ｄ…下層メモ
リ、４４…ＶＧＡドライバ、４５…光ファイバーケーブ
ル、４６…マルチプレクサ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｒ 31/28 Ｙ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ホストコンピュータと；画像情報データ
   と表示データとを同時に表示可能なタッチパネル式の表
   示手段及びプローブにより検査されるウエハを連続的に
   撮影して画像情報データを出力する画像処理部及び検査
   に係わる表示データを出力する表示制御部及び上記画像
   処理部と上記表示制御部との出力を制御するプローバ制
   御部とを夫々有する複数のプロ−バ装置と、 前記複数のプローバ装置のタッチパネルに夫々表示され
   る画像情報データと表示データのうちの１のプローバ装
   置からの画像情報データと表示データを選定して前記ホ
   ストコンピュータの表示手段に表示させるホストコンピ
   ュータに設けられた選定表示手段とを具備し、ホストコ
   ンピュータの表示手段上からもプローバ装置を操作でき
   るようにしたウェハプローバの遠隔操作システム。
2. 【請求項２】 上記表示制御部は、画像処理部からの画
   像情報データを記憶する第１の記憶手段と、表示データ
   を記憶する第２の記憶手段と、これら記憶手段を制御す
   る中央処理装置とを有し、前記画像処理部はウエハを撮
   影して画像情報データを出力する撮像手段と、この画像
   情報データの第１の記憶手段への送りを制御する中央処
   理装置とを有し、そして、前記プローバ制御部は、前記
   画像処理部の中央処理装置と表示制御部の中央処理装置
   とを制御する中央処理装置を有し、さらに、このプロー
   バ制御部の中央処理装置と前記ホストコンピュータとを
   接続するロ一カル・エリア・ネットワークを有する請求
   項１記載のウェハプローバの遠隔操作システム。